GASKLEENÒ PURIFIER Assembly
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1. ffnen Sie das stromaufw rts gerichtete Isolationsventil d Setzen Sie den Gasreiniger unter Druck das Helium darf den maximalen Betriebs berdruck des Ger ts jedoch nicht berschreiten e F hren Sie au en am Gasreiniger an den Eingangs und Ausgangsanschl ssen eine Dichtheitspr fung mit einer Schn ffelsonde durch f Sollte ein Leck vorhanden sein wenden Sie sich zwecks technischer Hilfe an die Pall Corporation SLS Versuchen Sie nicht den Gasreiniger selbst zu reparieren Achtung Eine Helium Dichtheitspr fung innen wird nicht empfohlen weil die Gefahr besteht dass das AresKleen Reinigungsmaterial durch Lufteinbruch kontaminiert wird wenn das Vakuum nachl sst Auch bei der Auslieferung enthalten Pall Maxi Gaskleen Gasreiniger aufgrund des blichen Herstellungsprozesses geringe Spuren von Helium Zur Durchf hrung einer Helium Dichtheitspr fung innen an den Prozessleitungen vor der Montage des Gasreinigers Kann ein Zwischenst ck verwendet werden Falls eine Helium Dichtheitspr fung innen im Gasreiniger erforderlich ist wenden Sie sich zwecks technischer Hilfe an die Pall Corporation SLS 14 Nach der Helium Dichtheitspr fung den Gasreiniger und die Gasleitung sp len Hierf r die Helium Zufuhr stoppen den Druck des Reinigers senken und dann den Zustrom von inertem Gas mit der f r die Installation erforderlichen Flussrate siehe Tabelle 1 Spalte A 5 10 Minuten lang fortsetzen um das restliche2. PALL POU GASKLEEN GASREINIGER mit AresKleen Reinigungsmaterialien Echte Point of Use Reiniger Anweisungen f r Installation und Tausch Version F August 2013 Pall Microelectronics Group 25 Harbor Park Drive Port Washington New York 11050 516 484 5400 1 800 645 6532 Fax 516 801 9754 http www pall com Seite 1 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 PALL POU GASKLEEN GASREINIGER Anweisungen f r Installation und Tausch Diese Anweisungen gelten f r die folgenden Pall POU GASKLEEN Gasreiniger mit Pall AresKleen Reinigungsmaterial MINI GASKLEEN GASREINIGER Teilenr GLPXXPVMM4 GASKLEEN II GASREINIGER Teilenr GLP2XXPVMM4 GASKLEEN II EL GASREINIGER Teilenr GLP6XXPVMMA4 GASKLEEN ST GASREINIGER Teilenr GLPSXXPVMM4 MAXI GASKLEEN GASREINIGER Teilenr GLP8XXPVMMA4 Bitte lesen Sie alle Anweisungen genau durch Fragen sollten vor der Installation eines Gasreinigers gekl rt werden F r technische Hilfe wenden Sie sich an Pall Corporation Scientific amp Laboratory Services SLS Pall Gaskleen In Line Reiniger wurden speziell f r einegleichbleibende Gasqualit t von niedrig bis moderaten Volumenstrom in Spezial und Inertgasen entwickelt Spezifische Details f r jede Art von Gasreiniger sind in den Tabellen 1 amp 3 aufgelistet Bestimmen Sie anhand der Teilenummer des installierten Gasreinigers die entsprechenden Bedin
3. Ammoniak NH CLXP HCLP OXP Bortrichlorid BCI Chlorwasserstoff HCI Luft CDA Chlor Cl Chlorsilane SiH Cl SIH Ch SIHC Sauerstoff O Tetrachlormethan CC1 und SiCl Kohlendioxid CO2 Chlorsilan SIH3Cl Alle bei OXP aufgef hrten Gase Stickstoffoxid N20 Dichlorsilan SiH gt C ausgenommen Sauerstoff O gt Inerte Gase siehe INP Trichlorsilan SiIHC Tetrachlorsilan SiCl HBRP Bromwasserstoff HBr F r technische Hilfe wenden Sie sich an Pall Corporation Scientific amp Laboratory Services SLS WARNHINWEISE e Die Reaktion von Reinigungsmaterial mit gro er Luft oder Wasserkonzentration Kann zu Folgendem f hren Seite 3 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 Hitze und entflammbares Gas bei Reinigungsmaterialien INP SIP und FCP Hitze und korrosives Gas bei Reinigungsmaterialien CLXP HCLP und HBRP Hitze entflammbares und korrosives Gas bei Reinigungsmaterialien SF6P und NH3P Hitze entflammbares und giftiges Gas bei Reinigungsmaterial GEH4P Hitze bei Reinigungsmaterial OXP e NIEMALS REINEN SAUERSTOFF ODER LUFT DURCH EINEN PALL GASKLEEN GASREINIGER LEITEN DER DIE REINIGUNGSMATERIALIEN INP SIP FCP GEH4P SF6P ODER NH3P ENTH LT e Den Beh lter nicht mit einem spitzen Gegenstand anstechen Das ffnen des Beh lters k nnte zu Kontakt mit Chemikalien f hren die schwere Augenverbrennungen und Haut
4. Gastein 2 26 ft 22 6 ft 0 68 ft 21 2 scfh 2 12 scfh Hinweis F r technische Hilfe bei der Konditionierung eines Gaskleen POU Gasreinigers f r den Einsatz mit Gasen die nachfolgend nicht aufgelistet sind wenden Sie sich bitte an die Pall Corporation SLS Warnhinweis Ein Gasreiniger der f r ein bestimmtes Prozessgas konditioniert wurde darf nur mit diesem Prozessgas verwendet werden Das AresKleen Reinigungsmaterial ist gasspezifisch Ohne die vorherige Genehmigung der Pall Corporation d rfen Gaskleen Gasreiniger die f r ein Gas gekauft wurden nicht mit einem anderen Gas verwendet werden Mit Ausnahme von Gasreinigern die AresKleen HCLP oder HBRP Materialien enthalten werden alle Reiniger mit einer berhitzungsanzeige ausgeliefert die an der Plakette auf dem Geh use angebracht ist Diese Anzeige sollte w hrend der Konditionierung beobachtet werden Wenn die Anzeige schwarz wird stoppen Sie die Konditionierung Halten Sie hierf r den Strom des Konditionierungsgases an und f hren Sie inertes Gas zu Wenden Sie sich dann zwecks Seite 10 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 technischer Hilfe an die Pall Corporation SLS Bei Gasreinigern die HCLP oder HBRP Materialien enthalten befindet sich die Anzeige bei Auslieferung des Gasreinigers in der Originalverpackung sie ist jedoch nicht am Geh use angebracht W hren
5. 2068 Katalognr P2212967 Fehlfunktion Bei Verdacht einer Fehlfunktion den Betrieb der Ausr stung sofort unterbrechen und dann die Pall Corporation SLS benachrichtigen Die Ausr stung nicht betreiben bis sie nicht von qualifizierten Personen repariert und getestet wurde Austritt von Reinigungsmaterial Austritt von Reinigungsmaterial und die Exposition von Mitarbeitern gegen ber Reinigungsmaterial oder sich entwickelnden Gasen sollten gem den relevanten Sicherheitsdatenbl ttern SDB gehandhabt werden Die erforderlichen SDB sollten stets verf gbar sein Wenn das SDB eines spezifischen Reinigungsmaterials ben tigt wird Kontaktieren Sie Pall Microelectronics f r eine Kopie SDB f r Prozessgase erhalten Sie von Ihrem Gaslieferanten Da der Gasreiniger jedoch ausreichend robust ist ist der Austritt von Reinigungsmaterial h chst unwahrscheinlich Zu einem Austritt von Reinigungsmaterial kann es nur dann kommen wenn die Ausr stung in erheblichem Ausma missbr uchlich verwendet oder besch digt wurde Im Allgemeinen sollten Sie das Einatmen die Aufnahme sowie den K rperkontakt mit Reinigungsmaterialien oder Gasen vermeiden Sollte es zu einem K rperkontakt mit Reinigungsmaterial kommen das Reinigungsmaterial sofort abschrubben und dann die betroffenen K rperstellen mit Leitungswasser 20 Min lang absp len Sofort einen Arzt aufsuchen 5 Wartung Verbrauchte Reiniger Ein ersch pftes Reinigungsmaterial li
6. Helium zu entfernen 15 Nach Abschluss dieses Vorgangs ist der Gasreiniger bereit zur Konditionierung 2 Konditionierung Zweck der Konditionierung ist die Verdr ngung von inertem Gas das w hrend der Installation des Gasreinigers verwendet wurde und die Erzeugung bzw Aktivierung bestimmter funktioneller Gruppen die chemisch mit dem AresKleen Reinigungsmaterial verbunden sind Zudem werden w hrend des Konditionierungsprozesses auch alle verstreuten Verunreinigungen die auf den Installationsvorgang zur ckzuf hren sind entfernt Warnhinweis Die Konditionierung von Reinigungsmaterial mit reaktiven oder korrosiven Gasen erzeugt f r gew hnlich eine exotherme w rmeerzeugende Reaktion Wenn die Konditionierung nicht ordnungsgem ausgef hrt wird Kann K rperverletzung durch die Emission gef hrlicher Gase die Folge sein Um eine Luftverunreinigung und Kontamination der Prozessleitungen und Prozesswerkzeuge zu verhindern sollten Gase die w hrend der Konditionierung aus dem Gasreiniger ausstr men zu einem geeigneten Filter geleitet werden Sollten w hrend der Konditionierung des Materials Fragen auftauchen bitte sofort den Prozessgasstrom durch Schlie en der Eingangs und Ausgangsventile des Gasreinigers unterbrechen und die Pall Corporporation SLS zwecks technischer Hilfe kontaktieren Seite 8 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 e Wenn das Reinigungsmaterial
7. Swagelok Seite 5 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 Vorbereitung der Arbeitsfl che e Bei der Arbeit mit Komponenten die Kontakt mit Prozess oder Sp lgas haben z B Metalldichtscheiben stets ungebrauchte saubere Latex Handschuhe tragen um eine Kontamination zu verhindern F r das beste Ergebnis die Installationsschritte in einer inerten Umgebung ausf hren Glove Bag e Alle Dichtoberfl chen vor dem Einbau auf Schmutz Kratzer Dellen L cher oder Korrosion berpr fen Betroffene Anschl sse vor dem Zusammenbauen reinigen oder ersetzen e Beiallen Anschl ssen die mit Prozessgas in Ber hrung kommen vor der Installation des Reinigers eine Helium Dichtheitspr fung durchf hren um sicherzustellen dass das System leckfrei ist Anstelle des Gasreinigers Kann f r diesen Test ein Zwischenst ck mit entsprechenden Anschl ssen verwendet werden Wenn die Dichtheitspr fung nicht bestanden wird das Leck suchen reparieren und den Test wiederholen Die Abl ufe f r eine Dichtheitspr fung sind in SEMI F1 ASTM E 498 oder ASTM E 499 dokumentiert e Vorder Installation des Gasreinigers alle relevanten Leitungen Anschl sse und Komponenten mit inertem Gas sp len Stickstoff oder Argon Eingangs und ausgangsseitige Anschl sse f r Prozessgas e Die Schutzkappenam Eingang und Ausgang des Gasreinigers erst kurz vor der Installation der Ausr stung entfernen e Wenn ein Gasreinig
8. Gruppe IH F r HCl HBr CCl BCh Ch SIH Cl SiIH gt Ch SIHC und SiCl4 Setzen Sie den Gasreiniger langsam mit 100 igem Prozessgas unter Druck und sorgen Sie f r einen Leitungsdruck von 2 15 psig 0 10 MPa f r die Dauer von zwei 2 Stunden Siehe Tabelle 4 Spalten B und D f r das Mindestvolumen eines Prozessgases das durch den Gasreiniger str men muss sowie die maximale Flussrate die w hrend der Konditionierung nicht berschritten werden darf Beispiel Konditionierung eines Gaskleen II Gasreinigers f r den Einsatz mit HCl Ger t unter Druck setzen mit 30 psig 0 21 MPa HCI f r die Dauer von 2 Stunden dann Durchfluss von 1 0 slpm 2 12 scfh 100 igem Prozessgas durch das Ger t f r die Dauer von 50 Minuten Stellen Sie sicher dass das ausstr mende Gas w hrend der Konditionierung zu einem Gasw scher oder einer geeigneten Abluftreinigung geleitet wird und NICHT zum Prozesswerkzeug Hinweis Die Oberfl che des Gasreinigers kann sich w hrend der Konditionierung warm anf hlen Wenn der Gasreiniger sich hei anf hlt die Konditionierung fortsetzen Verringern Sie hierf r die Gasstromrate oder f hren Sie ein inertes Gas zu um eine Mischung zu erzeugen bis die erh hte Temperatur sinkt Kehren Sie dann zu den vorherigen Konditionierungsparametern zur ck Das Reinigungsmaterial oder der Gasreiniger werden voraussichtlich nicht besch digt Sobald das Ger t vollst ndig abgek hlt ist ist der Gasreiniger wieder einsatzb
9. Spalte B des Prozessgases durch den Gasreiniger str men und zwar mit einer Flussrate die lt der maximalen Flussrate ist die Seite 12 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 w hrend der Konditionierung nicht berschritten werden darf Nach der Konditionierung der verd nnten Mischung wiederholen Sie den Vorgang mit der eigentlichen Prozessgas Konzentration mit einem zus tzlichen Gasvolumen das gleich dem Mindestvolumen ist Spalte B Wenn die Verwendung einer verd nnten Mischung nicht m glich ist verwenden Sie die eigentliche Prozessgas Konzentration bei einer niedrigeren Flussrate 10 der Angabe von Spalte D Beispiel Konditionierung eines Gaskleen II Gasreinigers f r den Einsatz mit SiH gt C Ger t hierf r mit einer Mischung mit 10 SiH2Cl 2 Stunden lang unter Druck setzen Danach die 10 ige SiH2Cl2 Mischung mit 0 5 slpm 1 06 scfh 100 Minuten lang durch das Ger t str men lassen Dann den Fluss ndern auf 1 0 slpm 2 12 scfh 100 iges SIH gt Cl Prozessgas und weitere 50 Minuten durch das Ger t str men lassen Stellen Sie sicher dass das ausstr mende Gas w hrend der Konditionierung zu einem geeigneten Gasw scher oder einer geeigneten Abluftreinigung geleitet wird und NICHT zum Prozesswerkzeug Hinweis Die Oberfl che des Gasreinigers kann sich w hrend der Konditionierung der Gase der Gruppe III warm anf hlen Wenn der Gasreiniger sich hei anf hlt die Gass
10. andfest angezogenen Position um weitere 45 Grad 1 8 Drehung zu drehen Der Gasdruck im Gasreiniger sollte nun ausgeglichen werden und zwar durch Zuleitung von Sp lgas in das Ger t Pall empfiehlt den Druck f r das zugef hrte Sp lgas zwischen 30 60 psig 0 21 0 41 MPa festzulegen Den maximalen Betriebs berdruck des Gasreinigers dabei nicht berschreiten Sobald der Druck ausgeglichen ist was bis zu einer Minute in Anspruch nehmen kann die Schutzkappe ausgangsseitig des Gasreinigers entfernen Wenn keine Druchstr mung des Gasreinigers mit Sp lgas gestgestellt werden Kann ist der Druck des Sp lgases so lange zu erh hen bis dies der Fall ist Das Ausgangsende des Reinigers an die Ausgangsgasleitung unter Verwendung einer neuen Dichtscheibe anschlie en Die Muttern handfest anziehen auch den Anschluss wie in Schritt 7 beschrieben festziehen ffnen Sie nun das stromabw rts gerichtete Isolationsventil der Installationszone Stellen Sie sicher dass der Weg des Gasstroms in der Ausgangsgasleitung ungehindert zum Filter oder der Entl ftung f hrt Das inerte Gas weitere 5 10 Minuten str men lassen F hren Sie f r den Gasreiniger eine Helium Dichtheitspr fung wie folgt durch a Schlie en Sie die beiden Isolationsventile des Gasreinigers b Leiten Sie gereinigtes Heliumgas in die Installationszone ein Seite 7 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967
11. as Reinigungsmaterial vor seiner Verwendung neuerlich konditioniert werden F r technische Hilfe und Empfehlungen wenden Sie sich bitte an die Pall Corporation SLS e Bereits konditioniertes Reinigungsmaterial KEINEM Vakuum aussetzen Jedes gef hrliche Gas das physisch auf der Oberfl che des Reinigungsmaterials adsorbiert wird kann freigesetzt werden wenn das Material einem Vakuum ausgesetzt wird F r technische Hilfe bei Verwendung des Gasreinigers mit Unterdruck wenden Sie sich bitte an die Pall Corporation SLS e Die Konditionierung des Reinigungsmaterials vor Ort erfordert normalerweise eine Flusskontrolle des Prozessgases und ein berwachungsger t z B ein Drosselventil f r die Zustromleitung und einen Str mungsmesser Solche Bestandteile werden nicht als Standardausr stung zur Verf gung gestellt F r den Erwerb und die Installation dieser Komponenten ist ausschlie lich der K ufer verantwortlich F r die Konditionierung ist ein Mindestvolumen V Liter des Prozessgases erforderlich Bei Verwendung eines reinen Prozessgases 100 Konzentration bei einer Flussrate von F slpm errechnet sich die Mindestzeit f r den Gasstrom T Minuten w hrend der Konditionierung wie folgt T Minuten V F Wenn ein Tr gergas zum Vermischen mit dem Prozessgas verwendet wird verl ngert sich die Konditionierungsdauer Die Dauer erh ht sich proportional zum Kehrwert des Prozentsatzes der Mischung A Prozentsatz der aktiven Wirksubs
12. b der Inhalt der Gasflasche Gasquelle mit dem vorgesehenen Prozessgas das mit dem Gasreiniger zu verwenden ist bereinstimmt laut Teilenummer des Produkts Werden keine Lecks gefunden und passt der Inhalt der Gasflasche k nnen Sie den Gasstrom fortsetzen Gruppe II F r Luft O2 N20 NH3 und CO2 Siehe Tabelle 4 Spalten A und D f r das Mindestvolumen eines Prozessgases das durch den Gasreiniger str men muss sowie die maximale Flussrate die w hrend der Konditionierung nicht berschritten werden darf Beispiel Konditionierung eines Gaskleen II Gasreinigers f r den Einsatz mit O2 Durchfluss 0 5 slpm 1 06 scfh 100 iges Prozessgas durch das Ger t f r die Dauer von 10 Minuten Hinweis Die Oberfl che des Gasreinigers Kann sich w hrend der Konditionierung warm anf hlen Wenn der Gasreiniger sich hei anf hlt die Konditionierung fortsetzen Verwenden Sie hierf r am Ein und Ausgang ein Absperrventil um den Gasreiniger zu isolieren Verringern Sie die Gasstromrate oder f hren Sie ein inertes Gas zu um eine Mischung zu erzeugen bis die erh hte Temperatur sinkt Kehren Sie dann zu den vorherigen Konditionierungsparametern zur ck Das Reinigungsmaterial oder der Gasreiniger werden voraussichtlich nicht besch digt Seite 11 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 Sobald das Ger t vollst ndig abgek hlt ist ist der Gasreiniger wieder einsatzbereit
13. bessern und erhalten die Reinheit bestimmter Prozessgase oder Gasmischungen die in der Halbleiterfertigung und anderen Anwendungen bei denen Reinheit absolut kritisch ist verwendet werden Angaben zur Leistung finden Sie in den Datenbl ttern der Gasreiniger Wichtig Die Verwendung dieser Ausr stung mit nicht vorgesehenen Gasen birgt ein Gefahrenpotential in sich Das zu reinigende Prozessgas muss mit der Teilenummer die auf der Plakette des Gasreinigers aufgef hrt ist bereinstimmen Stellen Sie sicher dass der Gasreiniger die entsprechende Teilenummer f r den beabsichtigten Gaseinsatz aufweist siehe Tabelle 2 unten Tabelle 2 Reinigungsmaterialbezeichnungen xxP in Teilenr und vorgesehene Prozessgase INP SIP FCP Helium He Wasserstoff H2 Fluormethan CH F Stickstoff N2 Methan CH4 Difluormethan CH gt F gt Neon Ne Ethen Ethylen C2H4 Trifluormethan CHF Argon Ar Ethan C2H6 Tetrafluormethan CF4 Krypton Kr Propen Propylen C3H6 Tetrafluorethan C gt H gt F Xenon Xe Propan C H Pentafluorethan C HF Tetrachlorsilan SiCl Butan C4H 0 Perfluorethan CF6 Cyclopropan c C3H Heptafluorpropan C HF J Dimethylether CH O Perfluorpropan C F3 Kohlenstoffmonoxid CO Perfluorcyclobutan C4F3 Silan SiH Disilan Si2H6 Methylsilan SiIH3CH3 Trimethylsilan SIH CH Carbonylsulfid COS GEH4P SF6P NH3P German GeH Schwefelhexafluorid SF
14. d der normalen Konditionierung f r den Einsatz mit HC oder HBr kann die Temperatur des Gasreinigers so hoch steigen dass die Anzeige schwarz wird Pall empfiehlt daher die Anzeige nach Abschluss des Konditionierungsprozesses am Gasreiniger anzubringen Hinweis Vor der Konditionierung sollten Sie die Dichtheit des Systems sicherstellen und darauf achten dass der Inhalt der Gasflasche Gasquelle mit dem vorgesehenen Prozessgas das mit dem Gasreiniger verwendet werden soll bereinstimmt laut Teilenummer des Produkts Werden keine Lecks gefunden und passt der Inhalt der Gasflasche k nnen Sie mit dem Konditionierungsprozess fortfahren Gruppe I F r He N Ne Ar Kr KE H CH C Hs c CzH C3Hg C4Hi0 CH gt 0 CO COS CHF CH F CHF CF C2H2F C2HF C2F6 CHF CFs und C4Fs oder Gemische dieser Gase Siehe Tabelle 4 Spalten A und D f r das Mindestvolumen eines Prozessgases das durch den Gasreiniger str men muss sowie die maximale Flussrate die w hrend der Konditionierung nicht berschritten werden darf Beispiel Konditionierung eines Gaskleen II Gasreinigers f r den Einsatz mit H2 Durchfluss 0 5 slpm 1 06 scfh 100 iges Prozessgas durch das Ger t f r die Dauer von 10 Minuten Hinweis Wenn sich die Oberfl che des Gasreinigers w hrend der Installation oder Konditionierung warm anf hlt halten Sie sofort den Gasstrom an berpr fen Sie das Ger t auf Lecks und kontrollieren Sie nochmals o
15. durch Schlie en des Eingangsventils der Eingangsventile am Gasreiniger senken Der Gasdruck sollte sich auf lt 5 psig 0 03 MPa verringern am besten jedoch etwas ber dem atmosph rischen Druck liegen 4 Den Gasreiniger durch Schlie en des Ausgangsventils der Ausgangsventile und ffnen des Eingangsventils der Eingangsventile am Gasreiniger unter Druck setzen Sp lgas in die Einheit einstr men lassen bis der Druck bei gt 60 psig 0 41 MPa liegt Nicht den zul ssigen Betriebs berdruck des Gasreinigers berschreiten 5 Die Konzentration des toxischen gef hrlichen Gases im ausstr menden Gas mithilfe eines geeigneten Ger ts z B Messger t messen 6 Weiterhin abwechselnd die Schritte 3 und 4 ausf hren bis das ausstr mende Gas nicht mehr gef hrlich ist 7 Alternativ kann der Prozess durch eine st rkere Entl ftung Schritt 3 beschleunigt werden Hierf r den Druck des Gasreinigers auf 12 psig 0 83 MPa oder weniger senken d h lt 2 7 psig lt 186 Millibar Nach dem Sp lvorgang sollten die Reste des gef hrlichen Gases im Gasreiniger auf einen Wert reduziert sein der unter dem zul ssigen TW A Wert der OSHA liegt Wenn die Konzentration ber diesem OSHA Wert legt muss der Gasreiniger so lange gesp lt werden bis die Konzentration des gef hrlichen toxischen Gases unter dem h chstzul ssigen TLV Wert der OSHA liegt Stellen Sie sicher dass die Konzentration des gef hrlichen toxischen Gases geringer
16. egt f r gew hnlich dann vor wenn das Reinigungsmaterial zu einer inakzeptablen Konzentration von Verunreinigungen im Prozessgasstrom f hrt Ersch pfte oder teilweise ersch pfte Reinigungsmaterialien werden als gef hrliche Produktionsmaterialien eingestuft Deshalb d rfen ersch pfte oder teilweise ersch pfte Reinigungsmaterialien ausschlie lich in entsprechenden Entsorgungseinrichtungen f r gef hrliches Produktionsmaterial entsorgt werden siehe unten Abschnitt Entsorgung 6 Sp lvorgang vor dem Abtrennen und _ Entfernen des Gasreinigers normaler Ablauf Es wird weder eine Sp lausr stung noch ein Sp lprotokoll bereitgestellt Beide liegen in der ausschlie lichen Verantwortlichkeit des Benutzers Der hier angef hrte typische Ablauf dient nur als Richtlinie Wom glich muss er an die spezifischen Anwendungen angepasst werden Sollten Zweifel bestehen ob ein in Betracht gezogener Sp lvorgang geeignet ist oder Sie Beratung in Bezug auf eine Sp lausr stung ben tigen wenden Sie sich bitte zwecks technischer Hilfestellung an die Pall Corporation SLS Seite 15 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 GEFAHR REINIGUNGSMATERIAL DAS MIT GEF HRLICHEN GASEN IN KONTAKT GEKOMMEN IST MUSS VOR DEM ENTFERNEN ORDNUNGSGEM SS GESP LT WERDEN Wenn ein gef hrliches Gas gereinigt wurde muss vor dem Entfernen des Gasreinigers seine Konzentration im Gasreiniger und den dami
17. eigneten Abluftreinigung geleitet wird und NICHT zum Prozesswerkzeug Hinweis Die Oberfl che des Gasreinigers kann sich w hrend der Konditionierung der Gase der Gruppe IV warm anf hlen Wenn der Gasreiniger sich hei anf hlt die Gasstromrate verringern oder f r die Konditionierung eine st rker verd nnte Mischung verwenden Seite 13 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 Im ausstr menden Gas k nnen einige Zeit nach der Konditionierung Argonspuren zu finden sein Stellen Sie nach Abschluss der obigen Konditionierungsabl ufe sicher dass die Produktplakette auf dem Gasreiniger mit dem verwendeten Prozessgas bereinstimmt und sp len Sie alle angeschlossenen Leitungen und Ausr stungen Der Pall POU Gaskleen Gasreiniger ist nun einsatzbereit 3 Nach der Konditionierung l Sobald der Gasreiniger mit einem Prozessgas konditioniert wurde muss er weiterhin mit diesem Gas unter Druck gesetzt bleiben Wenn das Prozessgas in Folge durch ein intertes Gas beseitigt wird ist m glicherweise vor der neuerlichen Verwendung mit demselben Prozessgas eine zweite Konditionierung mit diesem Prozessgas erforderlich 2 Eine Konditionierung kann auch erforderlich sein wenn die Prozessgasmischung durch eine Gasmischung mit einer anderen Konzentration ersetzt wird Wenn ein Gasreiniger der mit Hybriden oder Gasmischungen verwendet wird f r einen l ngeren Zeitraum au er Betrieb
18. er f r die Reinigung von gef hrlichen Gasen verwendet wird muss er in einer geeigneten geschlossenen Vorrichtung mit ausreichender Bel ftung installiert werden Alle Anschl sse au erhalb dieser Umgebung m ssen gem den relevanten Sicherheitsbestimmungen und richtlinien geschwei t und abgest tzt sein Bei bestimmten gef hrlichen Gasen kann eine doppelwandige Verrohrung verpflichtend sein e Heben Sie nach dem Abtrennen des Gasreinigers die Schutzkappen der Anschl sse zur zuk nftigen Verwendung auf e Die Oberfl che einer Dichtung kann besch digt werden wenn die Dichtung zu fest angezogen oder ohne Dichtscheibe montiert wird Bei jeder neuen Verbingung muss eine neue Dichtscheibe verwendet werden im Lieferumfang des Reinigers enthalten Hinweis Tragen Sie w hrend der Installation saubere Handschuhe um eine Kontamination zu vermeiden F r das beste Ergebnis die Installationsschritte in einer inerten Umgebung ausf hren Glove Bag Installationsablauf 1 Alle Leitungen Anschl sse und Komponenten in der Installationszone mit inertem Gas reinigen Stickstoff oder Argon 2 Den Sp lfluss siehe Tabelle 3 Spalte A zur Installationszone durch ffnen eines vorgeschalteten Ventils starten Den Sp lfluss des Reinigungsgases bis zum Abschluss der Installation AUFRECHTERHALTEN 3 Entfernen und entsorgen Sie die vorhandene Komponente indem Sie die stromaufw rts und stromabw rts gerichteten Anschl sse der Kompo
19. ereit Bei Gasreinigern die HCLP oder HBRP Materialien enthalten wird die Anzeige mit dem Ger t ausgeliefert sie ist jedoch nicht am Geh use angebracht Bringen Sie nach der Konditionierung d h wenn das Geh use auf Raumtemperatur abgek hlt ist die mitgelieferte berhitzungsanzeige an der Aluminiumplakette auf dem Geh use an und zwar auf dem Kreis neben dem Text Wenn schwarz berhitzung Sonstige Gruppe III F r SiH3Cl SiH gt Ch SiIHC und SiCla Bei Gasen der Gruppe III kann die Konditionierung alternativ zuerst mit einer verd nnten Mischung die weniger als 20 Prozessgas enth lt bei einer niedrigen Flussrate durchgef hrt werden Nach Verwendung der Mischung sollte die Konditionierung mit der tats chlichen Prozessgasmischung Betriebsmischung wiederholt werden Dieser zweistufige Konditionierungsprozess hilft bei der Vermeidung von zu hohen Temperaturen im Gasreiniger Hohe Temperaturen wirken sich zwar nicht negativ auf das AresKleen Reinigungsmaterial aus k nnen aber zum Abbau des Prozessgases f hren und so aufgrund der hei en Oberfl che eine Gefahr f r Personal darstellen Siehe Tabelle 4 Spalten B und D Setzen Sie den Gasreiniger langsam mit einer verd nnten Mischung bei gt 15 psig 0 10 MPa f r eine Dauer von 2 Stunden unter Druck die maximale Flussrate f r die Konditionierung darf nicht berschritten werden Spalte D Lassen Sie dann die verd nnte Gasmischung mit dem Mindestvolumen
20. gungen f r den beabsichtigten Betrieb Wichtig Achten Sie darauf dass der Gasreiniger die richtige Teilenummer siehe Datenbl tter f r den Gasreiniger und Tabelle 2 f r den beabsichtigten Gaseinsatz aufweist Tabelle 1 Hardware Vorgesehene Flussrate Abmessungen des er Frodukt Gasreinigers Anschl sse ZU ARSIENT gers i Betriebs berdruck Durchmesser 0 84 Mini Gaskleen 21 mm Ya Dichtung Au engewinde 1 slpm 2 1 scfh Gasreiniger L nge 3 31 nicht drehbar 3000 psig 20 7 MPa 84 mm Durchmesser 1 36 EB 35 mm Ya Dichtung Au engewinde 3 slpm 6 4 scfh G skleen I Gasteiger L nge 3 31 nicht drehbar 1000 psig 6 9 MPa 84 mm Durchmesser 1 36 Gaskleen I EL 35 mm Ya Dichtung Au engewinde 10 sipm 21 2 scfh Gasreiniger L nge 4 50 nicht drehbar 1000 psig 6 9 MPa 114 mm Durchmesser 1 25 OR 32 mm Ya Dichtung Au engewinde 5 slpm 10 6 scfh GaskleenS Gasteiger L nge 5 00 nicht drehbar 2200 psig 15 2 MPa 127 mm Maxi Gaskleen Doreh sger 7220 1 4 Dichtung Au engewinde 50 sipm 105 9 scfh Gasreiniger 64 mm drehbar 750 psig 5 2 MPa L nge 8 20 ps g O Seite 2 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 208 mm e VCR kompatibel VCR ist eine Handelsmarke von Swagelok e Pall Gaskleen In Line Gasreiniger ver
21. irritationen verursachen k nnen Referenzmaterialien Sicherheitsdatenbl tter im Lieferumfang des Ger ts enthalten e Gef hrliche Gase d rfen erst nach einer erfolgreichen Dichtheitspr fung des Gasreinigers und der angeschlossenen Leitungen eingeleitet werden siehe Schritt 12 dieser Installationsanleitung Die Pall Corporation bernimmt keine Haftung f r Sch den oder Verletzungen die auf die unsachgem e Installation oder den nicht ordnungsgem en Betrieb des Gaskleen Gasreinigers zur ckzuf hren sind Letztendlich ist der Benutzer f r die Sicherheit der Ausr stung und die Einhaltung geltender Sicherheitsvorschriften verantwortlich PALL POU GASKLEEN GASREINIGER 1 Installation UHP Diaphragm Valve POU Gaskleen en Purifier ER gt L IX Gas Source UHP Ben UHP a To Tool alve alve Diese Abbildung zeigt eine typische Installation eines Pall POU Gaskleen Gasreinigers f r den Einsatz von inertem Gas F r den Einsatz von Gasen die eine Konditionierung des Reinigungsmaterials vor der Verwendung erfordern werden weitere Gasleitungen und Ventile die vom Endnutzer bereitzustellen sind ben tigt In der Leitung sind ein Druckminderer und Temperaturbegrenzer erforderlich um die Einheit vor berdruck und berhitzung zu sch tzen Leitungsst tzen in einem Abstand von 12 Inches 305 mm zu den Anschl ssen des Reinigers werden ben tigt Hinweis Die Anschl sse des Reinigers wurden so konzipiert dass sie nu
22. ist als die von der NIOSH geforderte Maximalkonzentration IDLH des Gases Spezifische Angaben zu diesen Werten finden Sie in den SDB der einzelnen Gase TWA Time Weighted Average zeitgewichteter Durchschnitt TLV Threshold Limit Value Schwellengrenzwert NIOSH National Institute for Occupational Safety amp Health Nationales Institut f r Arbeits und Gesundheitsschutz IDLH Immediately Dangerous to Life and Health concentration Konzentration mit unmittelbarer Gefahr f r Leben und Gesundheit Nach der Au erbetriebnahme des Gasreinigers auf beiden Enden die Kappen auf die Anschl sse aufsetzen Verwenden Sie hierf r neue VCR Dichtungen um eine m gliche Freisetzung von gef hrlichen Gasen zu vermeiden 7 Probleml sung Hohe Konzentration von Verunreinigungen bei zugef hrtem Prozessgas Beobachtung Die Konzentration von Verunreinigungen imgereinigten Prozessgas ist gr er als angegeben M gliche Ursachen e Leck oder Kontamination der Ausr stung stromabw rts vom Gasreiniger e Reinigungsmaterial ersch pft e Reinigungsmaterial ist unzureichend f r das vorgesehene Prozessgas konditioniert Seite 17 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 e Reinigungsmaterial ist nicht f r das Beseitigen von vorhandenen Verunreinigungen geeignet berm ige Hitzeerzeugung w hrend des Reinigungsvorgangs Interpretation Der Gasreiniger ist unangenehm warm w hrend das Prozessga
23. ndeten toxischen Gas finden Sie in den entsprechenden SDB Als einen Service f r nationale Kunden hat die Pall Corporation eine Stelle eingerichtet bei der Sie Informationen ber die Entsorgung und den Umgang mit Gaskleen Gasreinigern erhalten F r Hilfe kontaktieren Sie Waste Technology Service Inc unter der Nummer 716 754 5400 Pall Microelectronics Group 25 Harbor Park Drive Port Washington New York 11050 Seite 18 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 516 484 5400 1 800 645 6532 Fax 516 801 9754 http www pall com Pall Gaskleen Gasreiniger entsprechen den geltenden Abschnitten der Richtlinie 97 23 EG ber Druckger te DGRL Gasreiniger ohne das CE Kennzeichen entsprechen zwar der Richtlinie ben tigen jedoch keine Kennzeichnung 08 en 8 8 Copyright 1993 1998 Pall Corporation Alle Rechte vorbehalten Seite 19 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967
24. nente die Komponente und Seite 6 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 10 11 12 13 Dichtscheibenentfernen und die Anschl sse der Komponente abdecken Befolgen Sie die entsprechenden Sicherheitshinweise f r die jeweilige Art des Sp lgases Die Dichtungsfl che n der Gasleitungsanschl sse berpr fen Bei Besch digung die Anschl sse tauschen Den Gasreiniger aus seiner Schutzh lle entnehmen und den mitgelieferten gasspezifischen Aufkleber an der Aluminiumplakette des Ger ts falls vorhanden anbringen W hrend das Sp lgas von der Eingangsleitung zustr mt die Schutzkappe des Gasreigingers eingangsseitig entfernen und die Einheit sofort mit einer neuen Dichtscheibe an der Eingangsgasleitung anschlie en Die Muttern per Hand festziehen Bei diesem Schritt m ssen beide Kappen abgenommen werden wenn es ein Platzproblem gibt und der Eingangsanschluss mit der Kappe am Ausgang nicht hergestellt werden kann Die Dichtung sitzt dort wo es einen pl tzlichen Widerstand beim Drehen der Mutter gibt Ziehen Sie mit einem passenden Gabelschl ssel am Gasreiniger siehe Tabelle 1 Spalte C und einem Gabelschl ssel an der Anschlussmutter den Anschluss fest Siehe hierf r Anweisungen des Dichtscheiben Lieferanten Hinweis Dichtungslieferanten empfehlen normalerweise die Anschlussmutter bei Dichtungen aus Nickel versilbertem Nickel oder Edelstahl ab der h
25. r das Gewicht des Reinigers tragen Einfl sse durch Bewegung Wind Erdbeben und Transport abgesehen vom Standardversand der Komponenten wurden bei der Entwicklung dieses Produkts nicht ber cksichtigt Seite 4 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 Gasreiniger werden mit einer berhitzungsanzeige ausgeliefert die w hrend der Installation berpr ft werden sollte Wenn die Anzeige schwarz wird rufen Sie die Pall Corporation SLS f r technische Hilfe SICHERHEITSHINWEISE e Nur geschultes Personal sollte Gasregelger te installieren betreiben und instand halten e Alle komprimierten Gase sind potenziell gef hrlich und d rfen nur von geschultem Personal gehandhabt werden Der inkorrekte Betrieb kann zu Brand Explosion Freisetzung von gef hrlichem Gas in die Atmosph re oder eine kostspielige Kontamination von Prozessausr stung f hren e Alle betroffenen Mitarbeiter sollten f r alle Gase und Reinigungsmaterialien die im Werk verwendet werden Zugang zu Sicherheitsdatenbl ttern haben Diese Datenbl tter sind von Gaslieferanten und der Pall Corporation erh ltlich e Wenn die M glichkeit eines berdrucks besteht d h Drucksto liegt ber dem h chstzul ssigen Betriebs berdruck des Gasreinigers m ssen f r den vorgelagerten Prozess ein Gasdruckregler und ein Druckbegrenzer installiert werden e Bei Gaskleen In Line Gasreinigern muss der Eingangsanschluss von Hand angezogen
26. reiniger auf jeden Fall mit dem Mindestvolumen an Sp lgas wie oben angegeben sp len Stellen Sie sicher dass das ausstr mende Gas zu einem geeigneten Gasw scher oder einer geeigneten Abluftreinigung geleitet wird und NICHT zum Prozesswerkzeug Gasreiniger die mit vorgesehenen Prozessgasen in Kontakt kamen die f r die Reinigungsmaterialien INP und OXP gelistet sind m ssen nicht gesp lt werden mit Ausnahme von SiCl4 O2 CO7 und N20 die auf jeden Fall mit dem Mindestvolumen an inertem Gas wie oben f r den jeweiligen Gasreiniger aufgef hrt gesp lt werden sollten Gasreiniger die mit vorgesehenen Prozessgasen in Kontakt kamen die f r die Reinigungsmaterialien SIP FCP NH3P und SF6P gelistet sind m ssen auf jeden Fall mit dem Mindestvolumen an inertem Gas wie oben f r den jeweiligen Gasreiniger aufgef hrt gesp lt werden mit Ausnahme von SiH3 Si2H6 SiH3CH3 und SIH CH3 die mit mindestens dem 10 fachen des aufgelisteten Volumens von inertem Gas gesp lt werden sollten Gasreiniger die mit vorgesehenen Prozessgasen in Kontakt kamen die f r die Reinigungsmaterialien CLXP HCLP HBRP und SF6P gelistet sind sollten mit Seite 16 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 mindestens dem 5 fachen des aufgelisteten Volumens von inertem Gas wie oben f r den jeweiligen Gasreiniger aufgef hrt gesp lt werden 3 Den Druck im Gasreiniger
27. s durch das Reinigungsmaterial Bett str mt M gliche Ursachen e Gr eres Leck oder Kontamination der Ausr stung stromaufw rts vom Gasreiniger e Zu hohe Konzentration von Verunreinigungen eventuell Wasserdampf in der Prozessgaszufuhr e Reinigungsmaterial ist f r die Reinigung des zustr menden Prozessgases nicht geeignet Reinigungsmaterial war nicht ausreichend f r das vorgesehene Prozessgas Konditioniert e Falsches Gas an den Gasreiniger zugef hrt Geringe Flussrate oder geringer Druck bei Gaszufuhr Interpretation Nicht m glich den erforderlichen Strom oder Druck bei der Zufuhr des Prozessgases zu erreichen M gliche Ursachen Verstopfung bei Reinigungsfilter Ventil Reinigungsmaterial Bett oder Gasleitung Unzureichender Druck bei Prozessgaszufuhr Defektes Ventil Ventilantrieb nicht richtig positioniert Gasreiniger zu klein f r Anwendung 8 Entsorgung Der Kunde hat die Verantwortung den Gasreiniger gem allen bundesstaatlichen staatlichen und lokalen Vorschriften zu entsorgen Wenn der Gasreiniger toxischen Gasen oder Gasen die toxische Elemente beinhalten ausgesetzt wird kann das Reinigungsmaterial dieses toxische Material oder Folgeprodukte davon enthalten Es kann die Charakteristika von Toxizit t aufweisen wie sie in den US amerikanischen Vorschriften f r Sonderm ll 40 CFR 261 Abschnitte C oder D definiert sind Die entsprechenden Vorschriften zur Lagerung und Entsorgung des spezifisch verwe
28. t verbundenen Leitungen auf einen Wert reduziert werden der geringer ist als der gasspezifische Schwellengrenzwert Hierf r den Gasreiniger auf jeden Fall mit der Mindestmenge an inertem Gas sp len Siehe unten die Werte f r die einzelnen Gasreiniger berwachen Sie das ausstr mende Gas um zu bestimmen ob es sicher ist den Gasreiniger zu entfernen Mini Gaskleen Gasreiniger Mindestens 24 Liter 0 85 ft inertes Sp lgas Gaskleen II Gasreiniger Mindestens 50 Liter 1 76 ft inertes Sp lgas Gaskleen II EL Gasreiniger Mindestens 100 Liter 3 53 ft inertes Sp lgas Gaskleen ST Gasreiniger Mindestens 100 Liter 3 53 ft inertes Sp lgas Maxi Gaskleen Gasreiniger Mindestens 310 Liter 10 9 ft inertes Sp lgas Achtung Dem Wartungspersonal muss geeignete Schutzkleidung zur Verf gung gestellt werden Auch wenn ein Gasreiniger der bisher f r die Reinigung von gef hrlichem Gas verwendet wurde wahrscheinlich ordnungsgem gesp lt wurde K nnen kleine aber gef hrliche Mengen von Prozessgas dennoch am Reinigungsmaterial oder den Ausr stungsoberfl chen haften bleiben Aus diesem Grund und zur Vermeidung von m glichen Personensch den m ssen Mitarbeiter die einen Gasreiniger tauschen der bereits zur Reinigung von gef hrlichen Gasen verwendet wurde eine geeignete Schutzausr stung tragen Typischer Ablauf 1 Eingangs und Ausgangsventile am Gasreiniger ffnen 2 Bei allen Prozessarten den Gas
29. tanz Beispiel Wenn das Gas eine Mischung aus A des Prozessgases ist dann errechnet sich die Mindestzeit T Minuten wie folgt Seite 9 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr 2068 Katalognr P2212967 T Minuten V A 100 F W hlen Sie die entsprechende Gasgruppe nach Wirksubstanz siehe folgende Seiten aus Im Allgemeinen ist die Wirksubstanz das vorhergesehene Prozessgas wie in der Teilenummer des Gasreinigers spezifiziert Falls erforderlich wenden Sie sich zwecks technischer Hilfe an die Pall Corporation SLS TABELLE 4 KONDITIONIERUNG Spalte A Spalte B Spalte C Spalte D Spalte E Mindest Mindest Mindest Maximale Maximale Produkt volumen volumen volumen Flussrate Flussrate 100 100 100 f r f r Gruppe Prozessgas f r Prozessgas Prozessgas Gruppen I IV Gruppen I und f r Gruppe II f r Gruppe I und II I IV u 5 Liter 24 Liter 0 72 Liter 1 0sipm 0 4 sipm 3 3 3 ae 0 18 ft 0 85 ft 0 03 ft 2 12 scfh 0 85 scfh Gaskleen II 5 Liter 50 Liter 1 50 Liter 3 0 slpm 1 0 sIpm Gasreiniger 0 18 ft 1 76 f 0 05 ft 6 36 scfh 2 12 scfh et I 10 Liter 100 Liter 3 00Liter 5 0sipm 1 0sipm 3 3 3 Gasreiniger 0 35 ft 3 53 ft 0 11 ft 10 6 scfh 2 12 scfh Gaskleen ST 10 Liter 100 Liter 3 00 Liter 5 0 slpm 1 0 sIpm Gasreiniger 0 35 ft 3 53 f 0 11 ft 10 6 scfh 2 12 scfh eo 64 Liter 640 Liter 19 2 Liter 10 sipm 1 0 sIpm 3 3 3
30. tromrate verringern oder f r die Konditionierung eine st rker verd nnte Mischung verwenden Gruppe IV F r C2H C2H6 SiH Si2H SiH CH SiH CH 3 GeHy und SF Bei Gasen der Gruppe IV wird ausdr cklich empfohlen die Konditionierung zuerst mit einer Mischung die weniger als 20 Prozessgas enth lt bei einer niedrigen Flussrate durchzuf hren Nach Verwendung der Mischung sollte die Konditionierung mit der tats chlichen Prozessgasmischung Betriebsmischung wiederholt werden Dieser zweistufige Konditionierungsprozess hilft zu hohe Temperaturen im Gasreiniger zu vermeiden Moderate Temperaturen wirken sich zwar nicht negativ auf das AresKleen Reinigungsmaterial aus k nnen aber zum Abbau des Prozessgases f hren und so aufgrund der hei en Oberfl che eine Gefahr f r Personal darstellen Siehe Tabelle 4 Spalten C und E f r das Mindestvolumen eines Prozessgases das durch den Gasreiniger str men muss sowie die maximale Flussrate die w hrend der Konditionierung nicht berschritten werden darf Beispiel Konditionierung eines Gaskleen II Gasreinigers f r den Einsatz mit SiH4 Durchfluss 0 25 slpm 0 53 scfh 10 iges Prozessgas durch das Ger t f r die Dauer von 60 Minuten Dann den Fluss ndern auf 0 5 slpm 1 06 scfh 100 iges Prozessgas und weitere 3 Minuten durch das Ger t str men lassen Stellen Sie sicher dass das ausstr mende Gas w hrend der Konditionierung zu einem geeigneten Gasw scher oder einer ge
31. urspr nglich Prozessgasen ausgesetzt wird Kann eine betr chtliche Menge des Prozessgases reagieren oder vom Reinigungsmaterial adsorbiert werden Die Folge ist eine anf nglich instabile Leistung des Gasreinigers F r ein optimales Ergebnis muss das Reinigungsmaterial vor der Betriebnahme mit dem vorgesehenen Prozessgas Konditioniert werden e Der spezifisch erforderliche Konditionierungsprozess h ngt von der Art des Prozessgases und der Art des verwendeten Reinigungsmaterials ab Befolgen Sie genau die angegebenen Abl ufe berschreiten Sie insbesondere nicht die empfohlene Flussrate des Prozessgases da berhitzung und eine Sch digung des Reinigungsmaterials die Folge sein k nnte e Die Konditionierung sollte nach der Installation des Gasreinigers erfolgen Eine Konditionierung wird auch empfohlen wenn ein Gasreiniger zwei Wochen oder l nger nicht verwendet wurde insbesondere bei vorgesehenen Prozessgasen der Gruppe IV Wenn das Prozessgas aus einem Gemisch von zwei oder mehreren Gasen besteht wird eine Konditionierung bereits dann empfohlen wenn der Gasreiniger mindestens drei Tage nicht verwendet wurde Die Konditionierung stellt sicher dass der relative Prozentsatz der Bestandteile auf dem Weg durch den Gasreiniger gleich bleibt e Nach Konditionierung des Reinigungsmaterials mit dem Prozessgas sollte der berdruck dieses Prozessgases stets gleich bleiben Sollte jemals eine Sp lung mit einem inerten Gas erforderlich sein muss d
32. war wird eine Sp lung des Gasreinigers mit mindestens 10 des in Tab 4 Spalte B angegebenen Gasvolumens empfohlen 3 Den Gasreiniger KEINEM Vakuum aussetzen wenn das Material mit einem toxischen oder korrosiven Gas konditioniert wurde Unter einem Vakuum k nnen toxische oder korrosive Gase freigesetzt werden 4 Ein Gasreiniger der f r ein bestimmtes Prozessgas konditioniert wurde darf nur mit diesem Prozessgas verwendet werden Das Reinigungsmaterial ist gasspezifisch Warnhinweis 1 Wenn ein Gaseiniger mit einem anderen Gas als einem inerten Gas konditioniert wurde muss angenommen werden dass das ausstr mende Gas stets eine gewisse Menge des Konditionierungsgases enth lt z B wenn ein Gasreiniger mit inertem Gas gesp lt wurde bevor er au er Betrieb gesetzt wurde 2 Giftige oder kKorrosive Gase k nnen freigesetzt werden wenn nicht darauf geachtet wird diese Gase ordnungsgem aufzufangen oder zu entsorgen 4 Betrieb Im Notfall Unmittelbare Ma nahme Sollte es in der N he der Ausr stung zu einer m glicherweise gef hrlichen Situation kommen befolgen Sie die Standortrichtlinien zum Abschalten der Einrichtung und der Evakuierung von Mitarbeitern Wenn eine solche Standortrichtlinie nicht vorhanden ist 1 Die Gasflasche mit dem Prozessgas oder das Ventil der Prozessgas Quelle schlie en 2 S mtliches Personal aus dem Bereich evakuieren Seite 14 von 19 POU GASKLEEN Gasreiniger Formularnr
33. werden Die Zuleitung des inerten Gases sollte innerhalb einer Minute nach dem Entfernen der Schutzkappe erfolgen Eine Verz gerung kann zu einer Qualit tsminderung des Reinigungsmaterials f hren e Vor der Arbeitsaufnahme m ssen alle Mitarbeiter die f r die Installation oder den Betrieb der Ausr stung verantwortlich sind ber die auszuf hrenden spezifischen Abl ufe sowie alle diesbez glichen Sicherheitsbestimmungen genau Bescheid wissen TABELLE 3 INSTALLATION Spalte A Spalte B Spalte C F r die Produkt Flussrate Sp lgas Aash Installation bei Installation i erforderliche Werkzeuge Mini Gaskleen 0 5 bis 1 0 sIpm Ya Dichtung Au engewinde Gabelschl ssel Gasreiniger 1 1 bis 2 1 scfh nicht drehbar VCR kompatibel 11 16 und 4 Gaskleen II 0 5 bis 3 0 slpm Ya Dichtung Au engewinde Zwei Gasreiniger 1 1 bis 2 1 scfh nicht drehbar VCR kompatibel Gabelschl ssel Gaskleen II EL 0 5 bis 6 0 sIpm 14 Dichtung Au engewinde Zwei Gasreiniger 1 1 bis 12 7 scfh nicht drehbar VCR kompatibel Gabelschl ssel Gaskleen ST 0 5 bis 3 0 slIpm Ya Dichtung Au engewinde Zwei Gasreiniger 1 1 bis 6 4 scfh nicht drehbar VCR kompatibel Gabelschl ssel Maxi Gaskleen 1 0 bis 10 slpm Ya Dichtung Au engewinde Gabelschl ssel 5 8 Gasreiniger 2 1 bis 21 2 scfh drehbar VCR kompatibel und 3 4 VCR ist eine Handelsmarke von
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