Benutzerhandbuch PZ251D - Physik Instrumente (PI)
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1. IN Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzungen gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden HINWEIS Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 mb 1 ber dieses Dokument INFORMATION PI Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Kennzeichnung 1 2 gt S 5 RS 232 AA 1 3 Abbildungen Bedeutung Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge eingehalten werden muss Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung Querverweis auf Seite 5 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachte Warnzeichen die auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweisen Zugunsten eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr enverh ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abweichen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar 1 4 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von Pl sind in separaten Handb chern beschrieben Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit E 712 Digitaler Piezocon2. 0 5 mrad Parallelmetrologie kapazitive Sensoren 000036450 Schraubensatz M4 Schutzerde bestehend aus 1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8 ISO 7045 2 Sicherungsscheiben 2 Unterlegscheiben K030B0055 Kabelsatz 3 m schleppkettentauglich zum Anschluss an den Controller bestehend aus 2 Kabel D Sub Mix 25W3 m w PZ240DK Kurzanleitung f r Piezopositioniersysteme 3 4 Empfohlene Piezocontroller Bestellnummer Beschreibung E 712 6CD Digitaler Piezocontroller modulares System f r bis zu 6 Achsen bestehend aus 1 x E 712 M1 Digitales Rechen und Schnittstellenmodul mit Ethernet Schnittstelle USB RS 232 2 x E 711 SC3H Modul fur kapazitive Sensoren 3 Kan le 2 x E 711 AL4P Leistungsstarkes Verst rkermodul 4 Kan le 8 W 30 bis 135 V 1 x E 712 R1 9 5 Chassis mit Netzteil fur Piezospannungen bis 135 V 3 bis 6 Kanale gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 35 P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 11 3 Produktbeschreibung pP J 3 5 Technische Ausstattung 3 5 1 PICMA Piezoaktoren P 587 Versteller werden von PICMA Piezoaktoren angetrieben PICMA Aktoren sind vollkeramisch isoliert und daher konventionellen Aktoren in Leistung und Lebensdauer weit Uberlegen Der monolithische Piezokeramikblock ist durch die keramische Isolierschicht vor Luftfeuchtigkeit und gegen Ausf lle durch erh hten Leckstrom gesch tzt Auch unter extremen Umgebungsbedingungen
3. 5 2 P 587 an Schutzleiter anschlieBen INFORMATION Bei P 587 Verstellern mit D Sub Stecker k nnen Brummschleifen auftreten wenn der Versteller Uber seinen Schutzleiteranschluss und zusatzlich uber den Schirm des Anschlusskabels fur die Elektronik geerdet ist gt Wenden Sie sich bei Auftreten einer Brummschleife an unseren Kundendienst S 35 INFORMATION gt Beachten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schutzleiterbefestigung Der P 587 hat eine Bohrung M4 f r die Befestigung des Schutzleiters Diese Bohrung befindet sich neben dem Kabelabgang und ist mit dem Schutzleitersymbol amp gekennzeichnet siehe Abmessungen S 40 Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 v Der Versteller ist nicht an der Elektronik angeschlossen Werkzeug und Zubeh r Geeigneter Schutzleiter Kabelquerschnitt 20 75 mm Mitgelieferter Schraubensatz M4 Schutzerde S 11 f r den Anschluss des Schutzleiters Geeigneter Schraubendreher P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 19 5 Installation pP I Abbildung 2 Montage des Schutzleiters Profilansicht Grundk rper des P 587 Unterlegscheibe Sicherungsscheibe Schraube Kabelschuh Schutzleiter 9 OA KR O Ny a P 587 an Schutzleiter anschlie en 1 Wenn n tig befestigen Sie einen geeigneten Kabelschuh am Schutzleiter 2 Befestigen Sie den Kabelschuh des Schutzleiters mit der Schraube M4 am Schutzleit
4. Das Ber hren oder Kurzschlie en der Kontakte in den D Sub Einbausteckern des P 587 kann zu leichten Verletzungen f hren Die Piezoaktoren k nnen durch eine abrupte Kontraktion zerst rt werden gt gt ffnen Sie den P 587 nicht Entladen Sie vor der Installation die Piezoaktoren des Verstellers Schlie en Sie den Versteller an den ausgeschalteten Controller von Pl an der mit einem internen Entladewiderstand ausgestattet ist Ziehen Sie die Anschlusskabel nicht w hrend des Betriebs von Versteller oder Elektronik ab Ber hren Sie nicht die Kontakte in den D Sub Einbausteckern des P 587 oder den daran angeschlossenen Anschlusskabeln Sichern Sie die Anschlusskabel des Verstellers mit Schrauben gegen das Abziehen von Versteller und Controller Mechanische Kr fte k nnen den P 587 besch digen oder dejustieren gt gt gt Vermeiden Sie St e die auf den P 587 einwirken Lassen Sie den P 587 nicht fallen berschreiten Sie nicht die maximal zul ssigen Belastungen gem den Spezifikationen S 37 Halten Sie den P 587 nur au en am Grundk rper Der P 587 ist wartungsfrei und erreicht seine Positioniergenauigkeit durch die optimierte Abstimmung von mechanischen Komponenten und Piezoaktoren Gel ste Schrauben f hren zum Verlust der Positioniergenauigkeit gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch gt ffnen Sie den P 587 nicht 6 Version 1 0 0 PZ251D P 5
5. PZ251D Version 1 0 0 17 5 Installation P I HINWEIS Mechanische berlastung durch falsche Handhabung Unzul ssige mechanische Belastung der bewegten Plattform des P 587 kann zu Sch den an den Piezoaktoren Sensoren und Festk rpergelenken des P 587 sowie zu Genauigkeitsverlusten f hren gt Halten Sie den P 587 nur au en am BE AA AT A HINWEIS Sch den durch ungeeignete Kabel E Ungeeignete Kabel k nnen Sch den am Versteller und an der Elektronik verursachen gt EE OE AE hae cn On MUnnepe yer Sie fur den Anschluss des P 587 an die Elektronik nur Kabel von PI HINWEIS Schaden durch fehlerhafte Montage Eine fehlerhafte Montage des P 587 oder falsch befestigte Teile k nnen den P 587 besch digen gt Befestigen Sie den P 587 sowie Lasten nur an den daf r vorgesehenen nn u ar Bohrungen HINWEIS Sch den durch falsch angezogene Schrauben Falsch angezogene Schrauben k nnen Sch den verursachen gt Halten Sie bei der Installation den f r die verwendeten Schrauben angegebenen Drehmomentbereich S 40 ein INFORMATION Verl ngerte Kabel k nnen die Positioniergenauigkeit des P 587 verringern oder die Sensorauswertung durch die Elektronik beeintr chtigen gt Verl ngern Sie die Kabel nicht Wenn Sie l ngere Kabel ben tigen wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 35 18 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation
6. der CD in das Verzeichnis Manuals ffnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password Geben Sie auf der Website im Bereich User login am linken Seitenrand den Benutzernamen und das Kennwort in die entsprechenden Felder ein Klicken Sie auf Login Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger 4 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung ccccccseeeeceeeceeeeeeeeecaeeeceeeesseeseeeesesaaeeeeeesseseeeeeaas 5 Allgemeine Sicherheitshinweise ooccccccccccccoconncnnnnonononononenonononononannnnnnnnnononananennnnnnns 5 Organisatorische Ma nahmen cccccccccssssseeeceeeeeceeeeseeeceeeeesaeeeseeeeeeseesaeaeeeeeeeeeessaas 7 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Der P 587 ist ein Laborger t im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz l und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauart ist der P 587 f r die Feinpositionierung sowie schnelle und pr zise Bewegung von kleineren Objekten vorgesehen Die Spezifikat
7. hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 35 34 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre Pl Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail info pi ws Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebssystem sofern vorhanden Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 35 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten In diesem Kapitel PP A Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ABMESSUNGEN meines ran ia tabasco idad cialis Drehmoment f r Edelstahlschrauben A2 70 A A 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle Aktive Achsen Bewegung und Positionieren Integrierter Sensor Stellweg in X Y geregelt Stellweg in Z geregelt Kippwinkel in Ox 8y geregelt Kippwinkel in 67 geregelt Aufl sung in X Y ungeregelt geregelt Aufl sung in Z ungeregelt geregelt Aufl sung in Ox y ungeregelt geregelt Aufl sung in 87 ungeregelt geregelt Linearit tsabweichung in X Y Z Linea
8. 1D Version 1 0 0 45 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 12 EG Konformit tserklarung 12 EG Konformitatserklarung F r den P 587 wurde eine EG Konformit tserkl rung gem den folgenden europ ischen Richtlinien ausgestellt 2006 95 EG Niederspannungsrichtlinie 2004 108 EG EMV Richtlinie 2011 65 EU RoHS Richtlinie Die zum Nachweis der Konformit t zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Sicherheit Niederspannungsrichtlinie EN 61010 1 2010 EMV EN 61326 1 2013 RoHS EN 50581 2012 P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 47
9. 87 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherheit 2 3 Organisatorische MaBnahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am P 587 verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den P 587 an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den P 587 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den P 587 installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und reinigen P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 7 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel oo ee een ee 9 Ho o eg doo A e E nee ee ee ee ee 10 ICTS PUM ANGE na an A A ea nreere 11 Empfohlene Piezocontroller oooocccccoonnococonnnnccooconoconcnnnonanonnononcononnanonnnnanancononons 11 Technische Ausstattung scoo
10. ONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb INFORMATION Schall und Schwingungen z B Trittschall St e k nnen sich auf den Versteller bertragen und seine Leistungsmerkmale hinsichtlich der Positionsstabilit t beeintr chtigen gt Vermeiden Sie die bertragung von Schall und Schwingungen w hrend des Betriebs des Verstellers 6 2 P 587 betreiben gt Folgen Sie f r die Inbetriebnahme und den Betrieb des P 587 den Anweisungen im Handbuch des verwendeten Controllers 6 3 P 587 entladen Der P 587 muss in folgenden F llen entladen werden Vor der Installation Wenn der P 587 nicht benutzt wird der Controller aber zur Gew hrleistung der Temperaturstabilit t eingeschaltet bleibt Vor Demontage z B vor Reinigung und Transport des P 587 sowie bei Umbauten Der P 587 wird ber den internen Entladewiderstand des Controllers von Pl entladen Am Controller angeschlossenen P 587 entladen Im geregelten Betrieb 1 Schalten Sie am Controller den Servomodus aus 2 Stellen Sie am Controller die Piezospannung auf 0 V ein Im ungeregelten Betrieb gt Stellen Sie am Controller die Piezospannung auf 0 V ein P 587 entladen der nicht am Controller angeschlossenen ist gt Schlie en Sie den Versteller an den ausgeschalteten Controller von Pl an P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 29 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wart
11. PI PZ251D P 587 Versteller Benutzerhandbuch Version 1 0 0 Datum 27 03 2014 Dieses Dokument beschreibt das folgende Produkt P 587 6CD 6 Achsen Nanopositioniersystem mit groBem Stellweg 800 um x 800 um x 200 um 0 5 mrad Parallelmetrologie kapazitive Sensoren D Sub Stecker Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany Telefon 49 721 4846 0 Telefax 49 721 4846 1019 E Mail info pi ws PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS PI Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PIO PICO PICMA PlLine PIFOC PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation Picoactuator Plnano Die in diesem Dokument beschriebenen Produkte fallen zumindest teilweise unter den Schutz der folgenden Patente Deutsches Patent Nr 10021919C2 Deutsches Patent Nr 10234787C1 Deutsches Patent Nr 10348836B3 Deutsches Patent Nr 102005015405B3 Deutsches Patent Nr 102007011652B4 US Patent Nr 7 449 077 Japan Patent Nr 4667863 China Patent Nr ZL03813218 4 2014 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschutzt Physik Instrumente Pl GmbH Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbet
12. abh ngig von Z 10 4 Drehmoment f r Edelstahlschrauben A2 70 40 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 5 Pinbelegung D Sub Mix Einbaustecker 25W3 XY ROT As 1 11 fol ee A1 Innenleiter Ausgang Probe Sensorsignal Y1 unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors A1 Au enleiter GND Schirm von Probe Sensorsignal Y1 A2 Innenleiter Ausgang Probe Sensorsignal Y2 unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors A2 Au enleiter GND Schirm von Probe Sensorsignal Y2 A3 Innenleiter Ausgang Probe Sensorsignal X unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors A3 Au enleiter GND Schirm von Probe Sensorsignal X Eingang Target Sensorsignal Y1 beweglicher Teil des kapazitiven Sensors Eingang Target Sensorsignal Y2 beweglicher Teil des kapazitiven Sensors TON SR eoo e CANINO ee RT 8 E Pezsspamung YE 30D ns 6 Jensans Pezsspamung 30 90 08 ss P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 41 10 Technische Daten pP I 42 Target Sensorsignal X beweglicher Teil des kapazitiven Sensors C e eee IN eRe CC ICONS GAN CO ere D Sub Mix Einbaustecker 25W3 Z TIP TILT A1 Innenleiter Ausgang Probe Sensorsignal Z2 unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors A1 Au enleiter GND Schirm von Probe Sensorsignal Z2 A2 Innenleiter Ausgang Probe Sensorsignal Z3 unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors A2 Au enleiter GND Schirm vo
13. ee ea 37 10 1 1 do A e En ea ee 37 10 1 2 BEMESSUMOSC ALC ei een ara 38 10 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ss04444444sRnne nennen 39 193 ABMESSUNO nica cr nenne rear 40 10 4 Drehmoment f r Edelstahlschrauben Al 70 ooooccccccconnccnnccononccnncnonanconnnnonanenns 40 10 5 FMD CIC QUIN ems S 41 Altger t entsorgen 45 EG Konformit tserkl rung 47 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 Uber dieses Dokument 1 Uber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ccccseececeeeeeeeeceeeeesaeeeeeseeeeeeeeees Symbole und Kennzeichnungen 4 4 ole a 3 To gt q PER SEEN scaare nc craaSemeescee A 2 Mitgeltende DokUMente occcccccconccnncccconcconcnononccnnononnncnnnonononcnnnononnnrnnnnnnnnnrnnnnnnnanennnonnnas 2 Handb cher herunterladen oooccccccccccnnoconnncccnonnnnononcnnononnnnnononnnnnnnncnnnnonnnnnonancnnenonens 3 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enth lt die erforderlichen Informationen f r die bestimmungsgem e Verwendung des P 587 Grunds tzliches Wissen ber Regelungstechnik Antriebstechnologien und geeignete Sicherheitsma nahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet
14. er werkseitig mit einer digitalen Elektronik kalibriert wird werden die Kalibrationsdaten zusammen mit spezifischen Produktinformationen auf dem ID Chip gespeichert Beim Einschalten lesen digitale Elektroniken die Daten vom ID Chip des angeschlossenen Verstellers Versteller deren ID Chip die Kalibrationsdaten enth lt k nnen deshalb ohne Neukalibration an eine beliebige geeignete digitale Elektronik angeschlossen werden Weitere Informationen ber den ID Chip finden Sie im Handbuch des verwendeten Controllers P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 13 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 4 Auspacken 4 Auspacken HINWEIS Mechanische berlastung durch falsche Handhabung Unzul ssige mechanische Belastung der bewegten Plattform des P 587 kann zu Sch den an den Piezoaktoren Sensoren und Festk rpergelenken des P 587 sowie zu Genauigkeitsverlusten f hren gt Halten Sie den P 587 nur au en am Grundk rper P 587 Versteller Packen Sie den P 587 vorsichtig aus Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss PZ251D Version 1 0 0 15 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 Installation In di
15. eranschluss des P 587 wie in der Profilansicht dargestellt 3 Ziehen Sie die Schraube M4 mit einem Drehmoment von 1 2 Nm bis 1 5 Nm fest 4 Stellen Sie sicher dass der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen lt 0 1 Q bei 25 A ist 20 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 3 P 587 befestigen HINWEIS Verspannen des P 587 durch Montage auf unebenen Flachen Die Montage des P 587 auf unebener Grundfl che kann den P 587 verspannen Ein Verspannen verringert die Genauigkeit gt Befestigen Sie den P 587 auf ebener Grundfl che Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt lt 20 um gt Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Befestigen Sie den P 587 nur auf Grundfl chen die dieselben oder hnliche W rmeausdehnungseigenschaften wie der P 587 besitzen HINWEIS C Zugbelastung auf Piezoaktor bei vertikaler Montage Bei vertikaler Montage des Verstellers kann in bestimmten Ausrichtungen eine Zugbelastung entstehen die die Vorspannung des Piezoaktors verringert und den Piezoaktor zerst rt gt Wenn Sie den P 587 vertikal montieren wollen wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 35 HINWEIS Hervorstehende Schraubenk pfe Hervorstehende Schraubenk pfe k nnen den P 587 besch digen gt Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe in den Montagebohrungen vollst ndig abge
16. esem Kapitel Allgemeine Hinweise zur InstallatiON ooooncccccnnccncoconnnnononcnnonnnnoncnnanennnnnnrnnconanenoos 17 P 587 an Schutzleiter anschlieBen oooonccccncccccocconnnononoconononnnennnnnononnnannnnnnnncnnnnonos 19 OO enter A ee esse er ee ne ee ee 21 LAST DEESIE 9 een ans ee ne ee ee 23 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation En 57 A Gef hrliche Spannung und Restladung auf Piezoaktoren Der P 587 wird von Piezoaktoren angetrieben Durch Temperaturschwankungen und Druckbelastungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren entstehen Nach dem Trennen von der Elektronik k nnen Piezoaktoren f r einige Stunden aufgeladen bleiben Das Ber hren oder Kurzschlie en der Kontakte in den D Sub Einbausteckern des P 587 kann zu leichten Verletzungen f hren Die Piezoaktoren k nnen durch eine abrupte Kontraktion zerst rt werden gt ffnen Sie den P 587 nicht gt Entladen Sie vor der Installation die Piezoaktoren des Verstellers Schlie en Sie den Versteller an den ausgeschalteten Controller von Pl an der mit einem internen Entladewiderstand ausgestattet ist gt Ziehen Sie die Anschlusskabel nicht w hrend des Betriebs von Versteller oder Elektronik ab gt Ber hren Sie nicht die Kontakte in den D Sub Einbausteckern des P 587 oder den daran angeschlossenen Anschlusskabeln gt Sichern Sie die Anschlusskabel des Verstellers mit Schrauben gegen das Abziehen von Versteller und Controller P 587 Versteller
17. ichtung Lastschwerpunkt an optimaler Position Abbildung 4 Exemplarische Darstellung einer optimal platzierten Last Lastschwerpunkt an ungeeigneter Position Abbildung 5 Hoher Aufbau und Lastschwerpunkt weit oberhalb der bewegten Plattform 24 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation Abbildung 6 Langer Hebel und Lastschwerpunkt seitlich der bewegten Plattform Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Werkzeug und Zubeh r Schrauben von geeigneter Gr e und Lange S 40 Geeignetes Werkzeug Last befestigen gt Befestigen Sie Lasten nur an den daf r vorgesehenen Gewindebohrungen S 40 mit geeigneten Schrauben Halten Sie dabei den angegebenen Drehmomentbereich S 40 ein gt Befestigen Sie die Last mittig so dass sich der Lastschwerpunkt auf der bewegten Plattform befindet P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 25 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb 444ssnennen nennen 27 Poor DETSIDO REI ee te poss a See ee een eher 29 o A PQ a Eo o 29 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehle
18. ionen des P 587 gelten f r die horizontale Montage Die Bewegung erfolgt in zwei Achsen horizontal in einer Achse vertikal und in drei Achsen rotatorisch X Y Z Ox By 07 Die bestimmungsgem e Verwendung des P 587 ist nur in Verbindung mit geeigneter Steuer und Regelelektronik S 11 m glich die von Pl angeboten wird Die Elektronik ist nicht im Lieferumfang des P 587 enthalten Die Elektronik muss die ben tigten Betriebsspannungen bereitstellen Au erdem muss sie in der Lage sein die Signale der kapazitiven Sensoren auszulesen und weiterzuverarbeiten damit die Servoregelung einwandfrei funktioniert 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der P 587 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgem er Verwendung des P 587 k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am P 587 entstehen gt Benutzen Sie den P 587 nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend Der Betreiber ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des P 587 verantwortlich P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 5 2 Sicherheit PI Der P 587 wird von Piezoaktoren angetrieben Durch Temperaturschwankungen und Druckbelastungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren entstehen Nach dem Trennen von der Elektronik k nnen Piezoaktoren f r einige Stunden aufgeladen bleiben
19. n Probe Sensorsignal Z3 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten A3 Innenleiter Ausgang Probe Sensorsignal Z1 unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors ND Schirm von Probe Sensorsignal Z1 Eingang Target Sensorsignal Z2 beweglicher Teil des kapazitiven Sensors Eingang Target Sensorsignal Z3 beweglicher Teil des kapazitiven Sensors A3 AuBenleiter G Fee Fe beweglicher Teil des kapazitiven Sensors al D CO Fe CN Fe Fe CN Fe CN Fe Posen za Piezospannung Z1 und Z2 MNI N N GND Schirm von Target Sensorsignal Z1 P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 43 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 11 Altgerat entsorgen 11 Altgerat entsorgen Nach geltendem EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der internationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI Altger tes sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altger t von Pl besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 D 76228 Karlsruhe P 587 Versteller PZ25
20. n X und Y betragen 3 mrad Aufgrund der Parallelkinematik ist in der Extremposition der Kippwinkel keine lineare Bewegung in X oder Y gleichzeitig m glich 10 1 2 Bemessungsdaten 38 P 587 Versteller sind f r folgende Betriebsgr en ausgelegt Versteller Maximale Maximale Betriebs Maximale Betriebsspannung frequenz unbelastet Leistungsaufnahme P 587 6CD 20 bis 120 V X Achse 23 Hz X1 X2 Y1 Y2 Y Achse 23 Hz Jeweils 40 W Z Achse 44 Hz Z1 Z2 Z3 24 Jeweils 8 5 W Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind fur den P 587 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenraumen Maximale Hohe 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 0 1 hPa entspricht etwa 825 Torr bis 0 075 Torr Relative Luftfeuchte Hochste relative Luftfeuchte 80 fur Temperaturen bis 31 C Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C Betriebstemperatur Transporttemperatur berspannungskategorie TI Schutzklasse yA Verschmutzungsgrad Schutzart gem IEC 60529 P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 39 10 Technische Daten P I 10 3 Abmessungen Abmessungen in mm 080 n135 160 0200 80 45 MSY71 I 10x45 3123 137 0170 D240 Abbildung 7 P 587 6CD 1 Rotationszentrum
21. ner Kontaktfl che Das Befestigen von Lasten mit unebener Kontaktfl che kann den P 587 verspannen Ein Verspannen verringert die Genauigkeit gt Befestigen Sie auf dem P 587 nur Lasten deren Kontaktfl che mit der bewegten Plattform des Verstellers eine Ebenheit von mindestens 20 um besitzt gt Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Befestigen Sie auf dem P 587 nur Lasten die dieselben oder hnliche Warmeausdehnungseigenschaften wie der P 587 besitzen HINWEIS Lastschwerpunkt an ungeeigneter Position Wenn der Schwerpunkt der Last weit au erhalb der bewegten Plattform liegt z B hohe Aufbauten und lange Hebel kann der P 587 durch hohe Belastung der Festk rpergelenksf hrungen hohe Drehmomente und Schwingungen besch digt werden gt Wenn der Schwerpunkt der zu befestigenden Last weit oberhalb oder seitlich der bewegten Plattform liegt passen Sie vor Inbetriebnahme die Controllereinstellungen an oder wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 35 P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 23 5 Installation P I HINWEIS Zu lange Schrauben Zu tief eingebrachte Schrauben k nnen den P 587 besch digen gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen in der bewegten Plattform S 40 gt Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen L nge f r die entsprechenden Montagebohrungen INFORMATION Die Pfeile in den Abbildungen in Abmessungen S 40 zeigen die positive Bewegungsr
22. nnnnnncnnannnnononnnnennnannns 12 3 5 1 PICMA Piezoaktoren occcccccococconcconcncconncnnnanonnnonnnancnnnnonanncnnnnnnnns 12 3 5 2 Festk rpergelenksf hrungen uu004444000nennnnnnnnnn nennen een 12 3 5 3 Kapazitive Sensoren ueessseennneesnnennnnnennnennnnnennnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 12 3 5 4 A e 13 4 Auspacken 15 5 Installation 17 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation 4u000404800 Rennen nnnnnn nennen een 17 5 2 P 587 an Schutzleiter anschlieBen oooccccccccnnccnncccnonccnncononnncnnononancnnncnnnanennnnos 19 5 3 P 587 befestigen uuus0222040000nnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnennnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnn nennen 21 5 4 Last befestigen cccooonccnnccccooncnnnocnonnonnonononnnnnnnonnnnnnnnonnnnnnnnnnnnnnrnnnnnnnnnrnnnnnnnanennnnss 23 6 Inbetriebnahme und Betrieb 27 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb cccoooccccccoocnnconononns 27 6 2 P 587 betreiben ooccccccnncccoconcncccconnncononnnnononnnnonnnnnnnonannnnnnnnnnnnnnnnnnnonancnnonannnnnnnos 29 6 3 P 587 entladen cccccccecececcccececuccccececcccuaececscuuaunecscaeuaesecseauaenececstauaenecscanaeners 29 10 11 12 PI Wartung 31 7 1 Allgemeine Hinweise zur WartunQ cccccooccnnccnoncncononcnnononcnnconanononnnnrnnononcnncnnanennos 31 7 2 P 587 CHING e PE UU GOO regen ee 31 St rungsbehebung 33 Kundendienst 35 Technische Daten 37 105 E PEZINKA ONC
23. r hohen statischen Spannung an Piezoaktoren f hrt zu einer erheblichen Verringerung der Lebensdauer der Piezokeramik des Aktors gt Wenn der P 587 nicht benutzt wird die Elektronik aber zur Gew hrleistung der Temperaturstabilit t eingeschaltet bleibt entladen Sie den P 587 S 29 HINWEIS Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Sch den am P 587 verursachen gt Verwenden Sie nur Controller Treiber und Originalzubeh r von PI f r den Betrieb des P 587 gt berschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich S 38 f r den der P 587 spezifiziert ist gt Betreiben Sie den P 587 nur wenn die Betriebsspannung ordnungsgem angeschlossen ist siehe Pinbelegung S 41 HINWEIS Unkontrollierte Schwingungen Schwingungen k nnen den Versteller irreparabel besch digen Schwingungen machen sich durch ein Summen bemerkbar und k nnen folgende Ursachen haben Wechselnde Last und oder Dynamik erfordert die Anpassung der Regelparameter Der Versteller wird nahe seiner Resonanzfrequenz betrieben Wenn Sie Schwingungen bemerken gt Schalten Sie im geregelten Betrieb den Servomodus sofort aus gt Stoppen Sie im ungeregelten Betrieb sofort den Versteller INFORMATION Die Pfeile in den Abbildungen in Abmessungen S 40 zeigen die positive Bewegungsrichtung 28 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITI
24. rch siehe Controller Handbuch Belastung in Bewegungsrichtung Umgebungs Betriebstemperatur des Verstellers liegt weit ober oder unterhalb der Kalibrationstem peratur 21 C bis 24 C PZ251D Version 1 0 0 33 8 Storungsbehebung PI St rung M gliche Ursachen Behebung Verringerte Verspannung des Genauigkeit Grundk rpers oder der bewegten Plattform Versteller beginnt Regelparameter falsch zu schwingen eingestellt da z B die oder positioniert Last ge ndert wurde ungenau Ungeregelter Betrieb nahe der Resonanz frequenz Montieren Sie den P 587 nur auf Grundfl chen mit folgenden Eigenschaften Ebenheit von mindestens 20 um Die W rmeausdehnungs eigenschaften hneln denjenigen des P 587 z B Grundfl chen aus Aluminium Befestigen Sie auf dem P 587 nur Lasten mit folgenden Eigenschaften Die Kontaktflache der Last besitzt eine Ebenheit von mindestens 20 um Die Warmeausdehnungs eigenschaften hneln denjenigen des P 587 z B Lasten aus Aluminium Schalten Sie den Servomodus der betreffenden Versteller achsen unverz glich aus Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter am Controller Passen Sie die Regel parameter am Controller entsprechend der Last nderung an Betreiben Sie den Versteller im ungeregelten Betrieb nur mit einer Frequenz die unterhalb der Resonanzfrequenz liegt Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef
25. riebsanleitung Erstdruck 27 03 2014 Dokumentnummer PZ251D CBo Version 1 0 0 Anderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 3 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS Inhalt 1 Uber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs occccococcnncconcnnconononcononcnnononcnnnnnos 1 1 2 Symbole und KennzeichnungeN cccccccncccnncccnoccnnnononancnnnnnnnnncnnnonnnnnnnnnnnnnnrnnnnnnnanenss 1 1 3 A een rennen 2 1 4 Mitgeltende DOKUMENHE ccccccccssseeceecceeeeeeeceaeeeeeeeesseaeeesseueaseeeesseaeeeesssaaaes 2 1 5 Handb cher herunterladen ooccccccocnnnccconcnccconnnncnconnnnononcnnonononnnonannnnonanennnnoness 3 2 Sicherheit 5 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung cooooccnncccnnnccnncnononccnncnnnannnnncnnnanennnonnnancnnononons 5 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise occccccccocnccnccccnoncnnonononnconononannnnnononannnnnnnnnanenanoss 5 2 3 Organisatorische Ma nahmen 22220002202000nnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnn nennen 7 3 Produktbeschreibung 9 3 1 oo e are 9 3 2 PrFOdUKRIDESCHIIITUNG nee een 10 3 3 APP nen e PR REESE O PEO E 11 3 4 Empfohlene Piezocontroller oooocccccconcocccoononoccnnnncnnoncnnononnonnnnanonconancnnnnnos 11 3 5 Technische Ausstattung ccccconccnccconnnccconcononnononnnnannncononcnnn
26. rit tsabweichung in 8x By Oz Wiederholgenauigkeit in X Y Wiederholgenauigkeit in Z Wiederholgenauigkeit in Ox Oy Wiederholgenauigkeit in 07 Ebenheit SteifigkeitinX Y Z Resonanzfrequenz unbelastet in X Y Z Resonanzfrequenz belastet in X Y Z 500 g Resonanzfrequenz belastet in X Y Z 2000 g Druck Zugbelastbarkeit in Stellrichtung P 587 Versteller PZ251D 10 Technische Daten P 587 6CD Einheit X Y Z Ox By Oz Kapazitiv 800 200 0 5 0 5 0 9 2 2 0 4 0 7 0 05 0 1 0 1 0 3 0 01 0 1 3 2 0 1 0 15 lt 15 um mrad mrad nm nm urad urad 0 55 0 55 1 35 N um 103 103 235 Hz 88 88 175 Hz 65 65 118 Hz 50 10 N Version 1 0 0 Toleranz typ typ typ typ typ typ typ typ typ typ 20 20 20 max 37 10 Technische Daten p I P 587 6CD Einheit Toleranz Antriebseigenschaften Keramiktyp PICMA Elektrische Kapazit tinX Y Z 81 81 18 4 ur 20 Dynamischer Stromkoeffizient DSK in 12 6 UA Hz x 20 X ve O um Dynamischer Stromkoeffizient DSK in 11 5 uA Hz x 20 Z Ox By um Anschl sse und Umgebung Betriebstemperaturbereich 20 bis 80 C Material Aluminium Abmessungen 240 mm x 240 mm x50 mm Masse 7 2 Kg 5 Kabell nge 3 0 m 10 mm Sensor Spannungsanschluss 2 x D Sub Spezial Empfohlene Controller Verst rker E 712 6CD Digitalcontroller Der maximale Rotationswinkel in 67 betr gt 8 mrad die Kippwinkel i
27. rs oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am P 587 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des P 587 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Schlie en Sie den P 587 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 19 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den P 587 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische berschl ge Der Einsatz des P 587 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen kann zur Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische berschl ge f hren Elektrische berschl ge k nnen durch Feuchtigkeit hohe Luftfeuchtigkeit Fl ssigkeiten und leitende Materialien z B Metallstaub hervorgerufen werden Dar ber hinaus k nnen in bestimmten Luftdruckbereichen aufgrund der erh hten Leitf higkeit der Luft elektrische berschl ge auftreten gt Vermeiden Sie den Betrieb des P 587 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen k nnen gt Betreiben Sie den P 587 nur innerhalb der zul ssigen Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen S 39 P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 27 6 Inbetriebnahme und Betrieb pP I HINWEIS Verringerte Lebensdauer des Piezoaktors durch dauerhaft hohe Spannung Das dauerhafte Anlegen eine
28. senkt sind und die Bewegung nicht beeintr chtigen P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 21 5 Installation Abbildung 3 Montagebohrungen im Grundk rper Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Werkzeug und Zubeh r Schrauben von geeigneter Gr e und L nge S 40 Geeignetes Werkzeug Versteller auf Unterlage befestigen 1 Positionieren Sie den Versteller auf einer ebenen Unterlage 2 Befestigen Sie den Versteller an den Montagebohrungen siehe Abbildung mit geeigneten Schrauben Halten Sie dabei den angegebenen Drehmomentbereich S 40 ein 22 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 4 Last befestigen HINWEIS Mechanische berlastung durch hohe Drehmomente und hohe Lasten Hohe Drehmomente beim Befestigen der Last sowie hohe Lasten k nnen die bewegte Plattform des P 587 berlasten Eine mechanische berlastung kann zu Sch den an den Piezoaktoren Sensoren und Festk rpergelenken des P 587 sowie zu Genauigkeitsverlusten f hren gt Halten Sie bei der Installation den f r die verwendeten Schrauben angegebenen Drehmomentbereich S 40 ein gt Vermeiden Sie Drehmomente gt 2 5 Nm an der bewegten Plattform gt berschreiten Sie nicht die maximal zul ssigen Belastungen gem den Spezifikationen S 37 HINWEIS Verspannen des P 587 durch Befestigen von Lasten mit unebe
29. ter 12 3 1 Produktansicht Die Abbildung ist exemplarisch und kann von Ihrem Verstellermodell abweichen ao A 5 Abbildung 1 Exemplarische Produktansicht Bewegte Plattform Grundk rper Anschluss Z TIP TILT f r Controllerkabel Anschluss XY ROT f r Controllerkabel Schutzleiteranschluss NDA O MH a P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 3 Produktbeschreibung pP J 3 2 Produktbeschriftung Der P 587 ist auf der Seite mit den Anschl ssen wie folgt beschriftet Beschriftung Beschreibung P 587 6CD Produktbezeichnung Beispiel die Stellen nach dem Punkt kennzeichnen das Modell 113045786 Seriennummer Beispiel individuell fur jeden P 587 Bedeutung der Stellen Zahlung von links 1 interne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer Herstellerlogo Warnzeichen Handbuch beachten Altgerateentsorgung S 45 Konformitatszeichen CE Country of Origin Herkunftsland Germany Herstelleradresse Website Z TIP TILT Anschluss Z TIP TILT fur Controllerkabel Anschluss XY ROT f r Controllerkabel Warnzeichen Achtung Restspannung Hinweis auf Stromschlaggefahr S 5 Schutzleitersymbol kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des P 587 10 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung 3 3 Lieferumfang Bestellnummer Komponenten P 587 6CD 6 Achsen Nanopositioniersystem mit groBem Stellweg 800 um x 800 um x 200 um
30. troller PZ195E P 5xx P 6xx P 7xx Piezopositioniersysteme PZ240DK Kurzanleitung 2 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 Uber dieses Dokument 1 5 Handbucher herunterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch auf unserer Website fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 35 Auf unserer Website finden Sie die Handb cher in ihrer aktuellen Version Fur einige Produkte z B Hexapodsysteme und Elektroniken die mit einer CD ausgeliefert werden ist der Zugang zu den Handbuchern durch ein Kennwort gesch tzt Das Kennwort ist auf der CD enthalten Frei zugangliche Handbucher herunterladen 1 2 3 P 587 Versteller Offnen Sie die Website http www pi portal ws Klicken Sie auf Downloads Klicken Sie auf die entsprechende Kategorie z B P Piezo Actuators Nanopositioning amp Scanning Systems Klicken Sie auf den entsprechenden Produktcode z B P 587 Klicken Sie auf Documents Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger PZ251D Version 1 0 0 3 1 ber dieses Dokument pP I Kennwortgesch tzte Handb cher herunterladen 1 F hren Sie die Schritte 1 bis 5 f r das Herunterladen frei zug nglicher Handb cher aus Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein Wechseln Sie auf
31. ung cccoooccccocccnnncccncnnncnanonnnnonnncononnnnnnnnnnnnonannnconannanonnas 31 FSB LTE SO ee ee E ae un re 31 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS Dejustage durch L sen von Schrauben Der P 587 ist wartungsfrei und erreicht seine Positioniergenauigkeit durch die optimierte Abstimmung von mechanischen Komponenten und Piezoaktoren Gel ste Schrauben f hren zum Verlust der Positioniergenauigkeit gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch gt ffnen Sie den P 587 nicht 7 2 P 587 reinigen Voraussetzungen v Sie haben die Piezoaktoren des P 587 entladen S 29 v Sie haben den P 587 vom Controller getrennt P 587 reinigen gt Reinigen Sie die Oberfl chen des P 587 mit einem Tuch das leicht mit einem milden Reinigungs oder Desinfektionsmittel z B Ethanol oder Isopropanol angefeuchtet wurde gt F hren Sie keine Ultraschallreinigung durch P 587 Versteller PZ251D Version 1 0 0 31 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 8 Storungsbehebung 8 Storungsbehebung St rung m gliche Ursachen Behebung Kabel nicht korrekt gt Pr fen Sie die angeschlossen Kabelanschl sse Keine oder eingeschr nkte Bewegung P 587 Versteller Zu hohe Last berschreiten Sie nicht die maximal zul ssigen Belastungen gem den Spezifikationen S 37 Nullpunktverschiebung F hren Sie einen des Sensors aus Nullpunktabgleich des Sensors folgenden Gr nden du
32. wird so eine besonders hohe Zuverl ssigkeit erreicht Im Gegensatz zu motorischen Antrieben gibt es keine rotierenden oder reibenden Teile Die Piezoaktoren sind dadurch spiel wartungs und verschlei frei 3 5 2 Festk rpergelenksf hrungen P 587 Versteller verf gen ber Festk rpergelenksf hrungen Flexures f r reibungsfreie Bewegung und hohe F hrungsgenauigkeiten Ein Flexure ist ein haft und gleitreibungsfreies Element das auf der elastischen Deformation Biegung eines Festk rpers z B Stahl basiert und v llig ohne rollende oder gleitende Teile auskommt Flexureelemente zeigen eine hohe Steifigkeit und Belastbarkeit Festk rpergelenksf hrungen sind wartungs und verschlei frei Sie sind 100 vakuumkompatibel arbeiten in einem weiten Temperaturbereich und ben tigen keinerlei Schmierstoffe 3 5 3 Kapazitive Sensoren Kapazitive Sensoren messen die Position unmittelbar an der bewegten Plattform Direktmetrologie und arbeiten ber hrungslos Weder Reibung noch Hysterese beeintr chtigen die Bewegung wodurch in Kombination mit der hohen Positionsaufl sung ausgezeichnete Linearit tswerte erreicht werden Kapazitive Sensoren erreichen in Verbindung mit geeigneter Elektronik die beste Aufl sung Stabilit t und Bandbreite 12 Version 1 0 0 PZ251D P 587 Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung 3 5 4 ID Chip Im D Sub Stecker des Verstellers befindet sich ein ID Chip Wenn der Verstell
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