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Benutzerhandbuch MP107D - Physik Instrumente (PI)

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1. M 687 U0 mit Controller C 867 in Betrieb nehmen 1 4 M 687 U0 Kreuztisch Nehmen Sie eine Achse des M 687 UO in Betrieb siehe C 867 Benutzerhandbuch Die Inbetriebnahme umfasst folgende Schritte Auswahl des Verstellertyps Referenzwertbestimmung der Achse Kommandieren von Bewegungen im geregelten Betrieb Im C 867 Benutzerhandbuch wird die Inbetriebnahme anhand des Programms PIMikroMove beschrieben Passen Sie die Regelparameter an und speichern Sie sie Passen Sie f r die optimale Performance der Achse die Regelparameter des C 867 an z B P Term I Term D Term Beschleunigung Geschwindigkeit siehe C 867 Benutzerhandbuch Speichern Sie die neuen Parameterwerte f r die sp tere Verwendung in einer Verstellerdatenbank auf dem PC oder im permanenten Speicher des Controllers siehe C 867 Benutzerhandbuch und PIMikroMove Handbuch Steuern Sie einige Bewegungszyklen zum Test und zum Einlaufen der Mechanik Geschwindigkeit lt 50 mm s Nach dem Einlaufen erreicht der M 687 UO seine maximale dynamische Kraft F hren Sie die Schritte 1 bis 3 f r die zweite Achse des M 687 UO aus MP107D Version 1 1 0 33 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung ssssessssesssrnessernessnnnesrenneennnnnntennnennnnnnnenneennnnnnennnnnna 35 Wartungstahrt durchtUlTOM ccciiciccioni cri 35 M 687 UO reinigen sun 36 7 1 Allgemeine Hin
2. 60529 M 687 UO Kreuztisch Nur zur Verwendung in Innenr umen 2000 m 1100 hPa bis 0 1 hPa entspricht etwa 825 Torr bis 0 075 Torr H chste relative Luftfeuchte 80 f r Temperaturen bis 31 C Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C 20 C bis 40 C 20 C bis 75 C 20 C bis 75 C IP20 MP107D Version 1 1 0 43 10 Technische Daten P I 10 2 Beeinflussung der statischen Haltekraft durch Stillstandszeiten 100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 Statische Haltekraft in 0 4 8 12 16 20 24 Stillstandszeit in h Abbildung 11 Statische Haltekraft des M 687 U0 in Abh ngigkeit von der Stillstandszeit des Motors 44 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 3 Abmessungen Abmessungen in mm 307 5 M4 36 23 5 10x45 3x M47 8 16 51 208 237 106 6 0 1 110 2 0 125 134 16 FE 11 of A 76 Abbildung 12 Kreuztisch M 687 UO Abstandshalter M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 45 10 Technische Daten P I 10 4 Pinbelegung Stecker MDR14 N10214 52B2VC 3M A1 A7 v o B1 B7 Abbildung 13 Vorderansicht des MDR14 Steckers Sora ran N A 3 4 nicht angeschlossen 6 A7 USM_P1 Eingang Piezo 71 VAC RMS i
3. D Sub 15 pol 1 m Verlangerungskabel f r PILine MDR auf D Sub 15 pol 3 m Verl ngerungskabel f r PlLine MDR auf D Sub 15 pol 5 m Langere Kabel auf Anfrage erhaltlich gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 39 3 6 Technische Ausstattung 3 6 1 Linearencoder Der M 687 UO ist pro Achse mit einem optischen Linearencoder ausgestattet Die Aufl sung entnehmen Sie der Tabelle im Abschnitt Spezifikationen S 41 Optische Linearencoder messen die Ist Position direkt Direktmetrologie Fehler im Antriebsstrang wie z B Nichtlinearit t Umkehrspiel oder elastische Deformation k nnen die Positionsmessung nicht beeinflussen 3 6 2 Endschalter Der M 687 UO ist mit ber hrungslosen Hall Effekt Endschaltern ausgestattet Jeder Endschalter sendet sein Signal auf einer eigens zugewiesenen Leitung zum Controller Der Controller sorgt dann f r den Abbruch der Bewegung F hrt der Controller den Abbruch nicht rechtzeitig aus f hrt der Kreuztisch an den mechanischen Anschlag Weitere Informationen siehe Endschalter Spezifikationen S 42 3 6 3 Referenzschalter Der M 687 UO ist pro Achse mit einem richtungserkennenden Referenzschalter ausgestattet der ungef hr in der Mitte des Stellwegs angebracht ist Dieser Sensor sendet ein TTL Signal das anzeigt ob sich die Achse auf der positiven oder negativen Seite des Referenzschalters befindet Die Befehle die das Referenzsignal verwenden sind im
4. RMS USM_P2 Eingang Piezo 71 VAC RMS USM_P3 Eingang Piezo 71 VAC RMS ENCA Ausgang Encoderkanal A RS 422 B4 ENCA Ausgang Encoderkanal A invertiert RS 422 B2 B3 ENCB Ausgang Encoderkanal B RS 422 ENCB Ausgang Encoderkanal B invertiert RS 422 REFSWITCH Ausgang Referenzschalter TTL negativ B5 7 B 46 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 11 Altger t entsorgen 11 Altger t entsorgen Nach geltendem EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der internationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI Altger tes sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altger t von PI besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 D 76228 Karlsruhe M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 47 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 12 EG Konformitatserklarung 12 EG Konformitatserklarung PI Konformitatserklarung gem DIN EN ISO IEC 17050 1 2005 Hersteller Physik Instrumente Pl GmbH 8 Co KG Herstelleradresse Auf der R me
5. UO spezifiziert ist Betreiben Sie den M 687 UO nur wenn die Betriebsspannung ordnungsgem angeschlossen ist siehe Pinbelegung S 46 M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 27 6 Inbetriebnahme und Betrieb P J HINWEIS Unbeabsichtigte Bewegungen Der M 687 UO kann beim Anschlie en an den Controller unbeabsichtigte Bewegungen ausf hren Fehlerhafte Software und fehlerhafte Bedienung der Software k nnen ebenfalls unbeabsichtigte Bewegungen verursachen gt Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen gt Pr fen Sie vor dem Anschlie en des M 687 UO ob im Controller ein Makro als Startup Makro festgelegt ist und heben Sie die Auswahl des Startup Makros gegebenenfalls auf Sch den durch Kollisionen HINWEIS Kollisionen k nnen den Kreuztisch die zu bewegende Last und die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass im Bewegungsbereich des Kreuztischs keine Kollisionen zwischen Kreuztisch zu bewegender Last und Umgebung m glich sind gt Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion des Controllers die Bewegung sofort an gt Wenn m glich passen Sie die Stellwegsgrenzen in der zur Bewegungskommandierung verwendeten Software an Ihr mechanisches System an HINWEIS Unkontrollierte Schwingungen Ihre Anwendung kann durch unk
6. unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den M 687 UO nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den M 687 UO installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und reinigen M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 7 PIEZO NANO POSITIONING 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel Produktansicht Produktbeschriftung Lieferumfang Geeignete Controller Optionales Zubeh r Technische Ausstattung 3 1 Produktansicht Abbildung 1 M 687 UO Produktansicht KR HB gt 5 Anschluss f r Controllerkabel Y Achse Anschluss f r Controllerkabel X Achse Untere Plattform X Achse Obere Plattform Y Achse Grundk rper X Bewegungsrichtungen der X Achse Y Bewegungsrichtungen der Y Achse M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 WWW PI WS 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung P I 3 2 Produktbeschriftung Abbildung 2 M 687 UO Position der Produktbeschriftung exemplarische Ansicht Position Beschriftung Beschreibung A Schutzleitersymbol kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des M 687 UO M 687 U0 Produktbezeichnung 113062227 Seriennummer Beispiel individuell f r jeden M 687 UO Bedeutung der Stellen Z hlung von links 1 inte
7. 687 UO theoretisch ger uschlos arbeitet sind w hrend des Betriebs Ger uschpegel von bis zu 50 dB A m glich Der Ultraschallantrieb des M 687 UO kann auch bei Frequenzen zwischen 100 und 500 kHz h here Ger uschpegel erzeugen INFORMATION Die Wiederholgenauigkeit des Positionierens ist nur gew hrleistet wenn der Referenzschalter immer von derselben Seite angefahren wird Diese Anforderung erf llen Controller von PI durch die automatische Richtungserkennung f r Referenzfahrten zum Referenzschalter M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 29 6 Inbetriebnahme und Betrieb P I F r maximale Krafterzeugung ist bei der Inbetriebnahme des M 687 UO und nach l ngeren Stillstandszeiten eine Einlaufprozedur erforderlich siehe auch Beeinflussung der statischen Haltekraft durch Stillstandszeiten S 44 Nach dem Einlaufen erreicht der M 687 UO seine maximale dynamische Kraft gt Kommandieren Sie zum Einlaufen einige Bewegungszyklen bei niedriger Geschwindigkeit ber den gesamten Stellweg hinweg Abbildung 10 M 687 UO Bewegungsrichtungen der X Achse und Y Achse 30 Version 1 1 0 MP107D M 687 U0 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 2 M 687 UO mit Controller C 867 in Betrieb nehmen HINWEIS A Falsche Parametereinstellungen Bei Verwendung der im Lieferumfang des Controllers C 867 enthaltenen Software k nnen die Betriebsparameter des M 687 UO aus einer Verstellerdate
8. 765335B2 US6806620B1 US6806620B1 US7218031B2 US7598656B2 US7737605B2 US7795782B2 US7834518B2 US7973451B2 US8253304B2 US8344592B2 US8482185B2 Japan JP2011514131 JP2011522506 JP3804973B2 JP4377956 JP4435695 JP4477069 JP4598128 JP4617359 JP4620115 JP4648391 JP4860862 JP4914895 JP2013539346 China ZL200380108542 0 ZL200580015994 3 ZL200580029560 9 ZL200580036995 6 ZL200680007223 4 ZL200680030007 1 ZL200680042853 5 Internationale Patentanmeldungen WO2009059939A2 WO2010121594A1 WO2012048691A2 WO2012113394A1 WO2012155903A1 WO2013034146A3 WO2013117189A2 2014 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich gesch tzt Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG beh lt insoweit samtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbetriebsanleitung Erstdruck 14 02 2014 Dokumentnummer MP107D CBo Version 1 1 0 Anderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 3 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS Inhalt 1 Uber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ccooooccccconoccccnanoncncnanancnnnnnancnnnnno 1 1 2 Symbole und Kennzeichnungen ursn
9. Benutzerhandbuch des Controllers und oder in den entsprechenden Softwarehandb chern beschrieben Weitere Informationen siehe Referenzschalter Spezifikationen S 42 M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 13 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 4 Auspacken 4 Auspacken M 687 UO Kreuztisch Packen Sie den M 687 UO vorsichtig aus Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an Pl Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss MP107D Version 1 1 0 15 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation s4444444Hnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 17 M 687 UO an Schutzleiter anschlie en 24042400nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnannennnnnnnnnn 18 M 687 UO auf Unterlage befestigen urs44usrnnonnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnn en 20 Versteller auf M 687 UO befestigen 20 224044440nnnnonnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 22 Mikroskop Universalhalter einsetzen und herausnehmen 4440o seen 25 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation A Gefahrliche Spannung und Restladung auf Piezoaktoren Piezomotoren werden von Piezoaktor
10. D Version 1 1 0 41 10 Technische Daten P I 10 1 2 Endschalter Spezifikationen Magnetischer Hall Effekt Sensor Versorgungsspannung 5 V Masse Versorgung ber den Motorstecker Signalausgang TTL Pegel Signallogik High aktiv Beim berfahren des Endschalters ndert sich der Signalpegel OrdnungsgemaBer Betrieb des Motors low 0 V Endschalter erreicht high 5 V 10 1 3 Referenzschalter Spezifikationen Versorgungsspannung 5 V Masse Versorgung Uber den Motorstecker Signalausgang TTL Pegel Signal Logik Richtungserkennung m glich durch unterschiedliche Signalpegel links und rechts des Referenzschalters Signalpegel ndert sich von 0 auf 5 V beim Uberfahren des Referenzschalters Hysterese Ca 1 um bei Anfahrt aus positiver oder negativer Richtung 10 1 4 Bemessungsdaten Kreuztische M 687 UO sind f r folgende Betriebsgr en ausgelegt Maximale Betriebsfrequenz Maximale Betriebsspannung Leistungsaufnahme M 687 UO 200 Vpp bzw 71 Vms 152 bis 165 kHz 42 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 1 5 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind fur den M 687 UO zu beachten Einsatzbereich Maximale H he Luftdruck Relative Luftfeuchte Betriebstemperatur Lagertemperatur Transporttemperatur berspannungskategorie Schutzklasse Verschmutzungsgrad Schutzart gem IEC
11. MP107D M 687 UO Kreuztisch Benutzerhandbuch Version 1 1 0 Datum 14 02 2014 Dieses Dokument beschreibt folgendes Produkt M 687 U0 Kreuztisch f r inverse Olympus Mikroskope 100 mm x 75 mm selbsthemmend PlLine Linearantriebe 0 1 um Aufl sung Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany Telefon 49 721 4846 0 Telefax 49 721 4846 1019 E Mail info pi ws PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS PI Physik Instrumente PI GmbH 8 Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PIO PICO PICMA PlLine PIFOC PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation Picoactuator Plnano Im technologischen Umfeld der Ultraschall Piezomotoren PlLine halt PI folgende Patente oder Patentanmeldungen Deutschland DE102004024656A1 DE102004044184B4 DE102004059429B4 DE102005010073A1 DE102005039357B4 DE102005039358A1 DE102006041017B4 DE102008012992A1 DE102008023478A1 DE102008058484A1 DE102010022812A1 DE102010047280A1 DE102010055848 DE102011075985A1 DE102011082200A1 DE102011087542B3 DE102011087542B3 DE102011087801B4 DE102011108175 DE102012201863B3 DE19522072C1 DE19938954A1 Europa EP0789937B1 EP1210759B1 EP1267425B1 EP1581992B1 EP1656705B1 EP1747594B1 EP1812975B1 EP1861740B1 EP1915787B2 EP1938397B1 EP2095441B1 EP2130236B1 EP2153476B1 EP2164120B1 EP2258004B1 EP2608286A2 USA US2010 0013353A1 US5872418A US6
12. Sie auf der Website im Bereich User login am linken Seitenrand den Benutzernamen und das Kennwort in die entsprechenden Felder ein Klicken Sie auf Login Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung ccoococcccnnnonocinononcncnnnononnnnnnn cnn nnnnn nn aran nn r anna 5 Allgemeine Sicherheitshinweise oooooconnnnnnnncnnnnccnnnconnncnnonnccnnrnnn nr nana cnc nc nr 6 Organisatorische Ma nahmen c oococcccnoncconocanoncccnoncnnnnnnnnnn cnn cn nan nnnnn nn nn nana 7 2 1 BestimmungsgemaBe Verwendung Der M 687 UO ist ein Laborgerat im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenraumen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz Ol und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauform ist der M 687 UO f r die Positionierung Justierung und Verschiebung von Lasten in zwei Achsen bei verschiedenen Geschwindigkeiten im Intervallbetrieb vorgesehen Der M 687 UO ist nicht vorgesehen f r Anwendungen in Bereichen in denen ein Ausfall erhebliche Risiken f r Mensch oder Umwelt zur Folge h tte Der M 687 UO ist nur f r die horizontale Montage vorgesehen Die bestimmungsgem e Verwendung des M 687 UO ist nur in komplett montiertem und
13. an Ihre Pl Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail info pi ws Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebssystem sofern vorhanden Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 39 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 Technische Daten In diesem Kapitel Spezifikationen iii A a A a it 41 Beeinflussung der statischen Haltekraft durch Stillstandszeiten n 44 Abmessungen cc 2222 Hein aligelee 45 Pinbelegung u u s aha en 46 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle M 687 UO Einheit Toleranz Kreuztisch f r Olympus Mikroskope Aktive Achsen X Y Bewegung und Positionieren Stellweg 100 x 75 mm Integrierter Sensor Linearencoder Sensoraufl sung 0 1 um Bidirektionale 0 4 um Wiederholgenauigkeit Neigen Gieren 300 urad typ Geschwindigkeit 120 mm s max Referenzschalter Optisch 1 um Wiederholgenauigkeit Endschalter Hall Effekt Mechanische Eigenschaften Belastbarkeit 50 N max Druck Zugkraft 7 N max Anschl sse und Umgebung Betriebstemperaturbereich 20 bis 40 C Material Aluminium schwarz eloxiert Masse 3 2 kg 5 M 687 UO Kreuztisch MP107
14. angeschlossenem Zustand m glich Der M 687 UO verwendet als Antrieb PILine Ultraschall Piezolinearmotoren und muss mit einem geeigneten Controller S 12 betrieben werden Der Controller ist nicht im Lieferumfang des M 687 UO enthalten M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 5 2 Sicherheit P I 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der M 687 UO ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgem er Verwendung des M 687 UO k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am M 687 UO entstehen gt Benutzen Sie den M 687 UO nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend Der Betreiber ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des M 687 UO verantwortlich Piezomotoren werden von Piezoaktoren angetrieben Piezoaktoren k nnen nach dem Trennen von der Elektronik f r einige Stunden elektrisch geladen bleiben Auch Temperaturschwankungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren erzeugen Das Ber hren geladener Teile des M 687 UO kann zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt ffnen Sie den M 687 UO nicht gt Ber hren Sie nicht die Kontakte im Anschlussstecker des M 687 UO Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am M 687 UO e
15. auf Seite 5 RS 232 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachtes Warnzeichen das auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweist 1 3 Begriffserkl rung Belastbarkeit Maximale Belastbarkeit vertikal wenn der Kreuztisch horizontal montiert ist Der Angriffspunkt der Last liegt in der Mitte der Plattform Linearencoder Der Linearencoder ist ein inkrementeller Sensor zur Erfassung von Lage nderungen Die Signale des Sensors werden f r die R ckmeldung der Achsenposition verwendet Nach dem Einschalten des Controllers muss eine Referenzwert bestimmung durchgef hrt werden bevor absolute Zielpositionen kommandiert und erreicht werden k nnen 2 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 ber dieses Dokument 1 4 Abbildungen Zugunsten eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr enverh ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abweichen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar 1 5 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben Controller C 867 262 MS196E User Manual C 867 262 PlLine Controller PiLine Versteller MP121EK Kurzanleitung 1 6 Handbucher herunterladen INFORMATION Wenn ein Han
16. ceeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeteeeeeeeeeeeaees 17 5 2 M 687 UO an Schutzleiter ANSCHIIGBEN eeececeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeseeeetaeeteeeeeaees 18 5 3 M 687 UO auf Unterlage befestigen 200442400nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 20 5 4 Versteller auf M 687 UO befestigen 220u4220044440nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnannn 22 5 5 Mikroskop Universalhalter einsetzen und herausnehmen nn 25 6 Inbetriebnahme und Betrieb 27 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb 27 6 2 M 687 UO mit Controller C 867 in Betrieb nehmen uuuunennanannnneennennnnnnnnn 31 10 11 12 Wartung 7 1 7 2 Wartungsfahrt durchf hren 7 3 M 687 U0 reinigen St rungsbehebung Kundendienst Allgemeine Hinweise zur Wartung Technische Daten 10 1 10 2 10 3 10 4 EG Konformit tserkl rung Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle 10 1 2 Endschalter Spezifikationen 10 1 3 Referenzschalter Spezifikationen 10 1 4 Bemessungsdaten 10 1 5 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Beeinflussung der statischen Haltekraft durch Stillstandszeiten Abmessungen Pinbelegung Altger t entsorgen PI PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 Uber dieses Dokument 1 Uber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ccoococcccconocccccononcccnnnancncnnnancnncnnnncncnnnns 1 Symbole und KennZeichnungen cccccccceecceceeeeeeeaeeeeae
17. ch MP107D Version 1 1 0 19 5 Installation P I 5 3 M 687 UO auf Unterlage befestigen HINWEIS Hervorstehende Schraubenk pfe Hervorstehende Schraubenk pfe k nnen den M 687 UO besch digen gt Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe in den Montagebohrungen vollst ndig abgesenkt sind und die Bewegung nicht beeintr chtigen HINWEIS Verspannen des Grundk rpers Ungeeignete Montage kann den Grundk rper verspannen Ein Verspannen des Grundk rpers erh ht den Verschlei und verringert die Genauigkeit gt Befestigen Sie den M 687 UO auf ebener Grundfl che Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt 5 um gt Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Befestigen Sie den M 687 UO nur auf Grundfl chen die m glichst dieselben W rmeausdehnungseigenschaften wie der M 687 UO besitzen z B Grundfl chen aus Aluminium Abbildung 5 M 687 UO Bewegungsrichtungen der X Achse und Y Achse 20 Version 1 1 0 MP107D M 687 U0 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation Abbildung 6 M 687 UO Montagebohrungen im Grundk rper Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 v Sie haben eine geeignete Unterlage bereitgestellt f r die erforderliche Lage und Tiefe der Bohrungen zur Aufnahme der Schrauben siehe Abmessungen S 45 Vier Bohrungen M5 sind vorhanden Die Ebenheit der Oberfl che ist
18. das Benutzerhandbuch des Controllers S 3 Erh hter Verschlei Verspannter Montieren Sie den M 687 UO auf Verringerte Grundk rper ebener Grundflache Die Genauigkeit empfohlene Ebenheit der Grundflache betragt 5 um Bei Anwendungen mit groBen Temperaturschwankungen Montieren Sie den M 687 UO nur auf Grundflachen die m glichst dieselben W rmeausdehnungs eigenschaften wie der M 687 UO besitzen z B Grundfl chen aus Aluminium M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 37 8 St rungsbehebung PI St rung M gliche Ursachen Behebung Achse erreicht die kommandierte Position nicht Werte der gt W hlen Sie in der PC Software den Stellwegsparameter passenden Verstellertyp aus im Controller passen separate Parameters tze f r nicht zur Achsen X und Y des Kreuztischs angeschlossenen Wenn der M 687 UO Bestandteil eines Achse des Kreuztischs vorkonfigurierten Systems ist gt Verbinden Sie M 687 UO und Controller durch die Kabel so miteinander dass die Zuordnung eingehalten wird die durch die im Controller gespeicherten Parameters tze vorgegeben ist Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 39 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen
19. dbuch auf unserer Website fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 39 Auf unserer Website finden Sie die Handb cher in ihrer aktuellen Version F r einige Produkte z B Hexapodsysteme und Elektroniken die mit einer CD ausgeliefert werden ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Das Kennwort ist auf der CD enthalten M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 1 Uber dieses Dokument P I Frei zug ngliche Handb cher herunterladen 1 2 3 Offnen Sie die Website http www pi portal ws Klicken Sie auf Downloads Klicken Sie auf die entsprechende Kategorie z B M Hexapods Micropositioning Klicken Sie auf den entsprechenden Produktcode z B M 687 Klicken Sie auf Documents Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Kennwortgesch tzte Handb cher herunterladen 1 F hren Sie die Schritte 1 bis 5 f r das Herunterladen frei zug nglicher Handb cher aus Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals ffnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password Geben
20. e den Versteller je nach Ausf hrung mit drei oder vier geeigneten Schrauben siehe Tabelle 24 Version 1 1 0 MP107D M 687 U0 Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 5 Mikroskop Universalhalter einsetzen und herausnehmen In die freie Apertur 160 x 110 mm des M 687 UO kann der Mikroskop Universalhalter M 687 AP1 fiir Objekttrager und Petrischalen eingesetzt werden Abbildung 8 Mikroskop Universalhalter M 687 AP1 Abbildung 9 M 687 UO Biegefeder in Apertur Werkzeug und Zubehor Mikroskop Universalhalter M 687 AP1 erh ltlich als optionales Zubeh r S 12 M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 25 5 Installation P I Mikroskop Universalhalter in Apertur einsetzen 1 Richten Sie den Universalhalter so aus dass der rote Punkt auf dem Halter in Richtung der Biegefeder der Apertur siehe Abbildung zeigt 2 Setzen Sie den Universalhalter mit der kurzen zur Biegefeder zeigenden Kante ungef hr in der Mitte der Apertur an zwei Seiten flach auf 3 Schieben Sie den Universalhalter langsam in Richtung Biegefeder bis die Kante erreicht und die Biegefeder gespannt ist 4 Dr cken Sie den Universalhalter auf der gegen berliegenden Seite langsam nach unten bis er vollst ndig einrastet Der Universalhalter ist nun festgeklemmt Mikroskop Universalhalter aus Apertur herausnehmen gt Ziehen Sie den Universalhalter auf einer Seite von Hand nach oben bis er sich l st 26 Ve
21. eceeeeesaeeesaaeseeneeseeeeseaeeeeeeeeaes 1 Begriffserkl runga u el 2 Abbildungen ee a haben 3 Mitgeltende Dokumente ae aes 3 Handb cher herunterladen ceccccecceceeeeeeeeeeeeeeeceeeeseneeeeesseceeeeneeaeeeeseneeeeesenseeeenenaes 3 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enth lt die erforderlichen Informationen f r die bestimmungsgem e Verwendung des M 687 U0 Grunds tzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsma nahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzungen gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden HINWEIS n Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 oz 1 Uber dieses Dokument P I INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Bedeutung Kennzeichnung 1 Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge 2 eingehalten werden muss gt Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung S 5 Querverweis
22. en angetrieben Piezoaktoren k nnen nach dem Trennen von der Elektronik fiir einige Stunden elektrisch geladen bleiben Auch Temperaturschwankungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren erzeugen Das Ber hren oder Kurzschlie en der Kontakte im Anschlussstecker des M 687 UO kann zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Ber hren Sie nicht die Kontakte im Anschlussstecker des M 687 UO HINWEIS Schmiermittel Schmutz Kondenswasser Schmutz Ol Schmiermittel und Kondenswasser machen den Motor Antrieb funktionsunfahig gt Halten Sie die Piezomotoren des M 687 UO frei von Schmiermitteln gt Halten Sie den M 687 U0 frei von Schmutz und Kondenswasser M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 17 5 Installation P I HINWEIS Erw rmung des M 687 U0 w hrend des Betriebs Die w hrend des Betriebs des M 687 UO abgegebene W rme kann Ihre Anwendung beeintr chtigen gt Installieren Sie den M 687 UO so dass die Anwendung nicht durch die abgegebene W rme beeintr chtigt wird HINWEIS Ungeeignete Kabel Ungeeignete Kabel k nnen Sch den am Controller verursachen und die Leistung des M 687 UO beeinflussen gt Verwenden Sie f r den Anschluss des M 687 UO an den Controller nur Originalteile von PI gt Wenn Sie l ngere Kabel ben tigen verwenden Sie Adapterboxen des Typs M 663 AB und Verl ngerungskabel von PI S 12 5 2 M 687 UO an Schutzleiter anschlie en INFORMATION gt Beac
23. ezifikation S 41 auf die bewegte Plattform wirken d rfen HINWEIS Zu lange Schrauben Zu tief eingebrachte Schrauben k nnen den M 687 UO besch digen gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen in der oberen Plattform S 45 gt Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen L nge f r die entsprechenden Montagebohrungen 22 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation Voraussetzung Y Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Sie haben das Benutzerhandbuch des zu befestigenden Verstellers gelesen und verstanden Sie haben den M 687 UO ordnungsgem befestigt Der M 687 UO und der zu befestigende Versteller sind nicht mit dem jeweiligen Controller verbunden Werkzeug und Zubeh r M 687 UO Kreuztisch Schrauben von geeigneter Gr e und L nge Versteller P 561 bis P 563 PD73Z2ROW M4x12 P 737 1SL M2 5x10 P 737 2SL M2 5x10 Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben PD73Z2COW M4x12 MP107D Version 1 1 0 23 5 Installation P I Versteller auf M 687 UO befestigen Abbildung 7 M 687 UO Gewindebohrungen in der oberen Plattform schraffierte Pfeile 8 x M4 schwarze Pfeile 4 x M6 graue Pfeile 3 x M4 1 Richten Sie den Versteller so auf dem M 687 UO aus dass sich die zu verwendenden Bohrungen in Versteller und oberer Plattform Y Achse berdecken 2 Befestigen Si
24. hten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schutzleiterbefestigung Am M 687 UO befindet sich in der N he der Controlleranschl sse eine Bohrung M4 zur Schutzleiterbefestigung In der folgenden Abbildung ist diese Bohrung mit einem Pfeil gekennzeichnet Abbildung 3 M 687 UO Schutzleiteranschluss 18 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation Abbildung 4 Montage des Schutzleiters Profilansicht Untere Plattform des M 687 UO Unterlegscheibe Sicherungsscheibe Schraube Kabelschuh Schutzleiter Da AR O Noa Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 v Der M 687 UO ist nicht mit dem Controller verbunden Werkzeug und Zubeh r Geeigneter Schutzleiter Kabelquerschnitt 20 75 mm Mitgelieferter Schraubensatz M4 Schutzerde S 11 f r die Montage eines Schutzleiters Geeigneter Schraubendreher M 687 U0 an Schutzleiter anschlie en 1 Wenn n tig befestigen Sie einen geeigneten Kabelschuh am Schutzleiter 2 Befestigen Sie den Kabelschuh des Schutzleiters mit der Schraube M4 am Schutzleiteranschluss des M 687 UO wie in der Profilansicht dargestellt 3 Ziehen Sie die Schraube M4 mit einem Drehmoment von 1 2 Nm bis 1 5 Nm fest 4 Stellen Sie sicher dass der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen lt 0 1 Q bei 25 A ist M 687 UO Kreuztis
25. lt 5 um Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Die Unterlage besitzt m glichst dieselben W rmeausdehnungseigenschaften wie der M 687 UO z B Unterlage aus Aluminium v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt v Der M 687 UO ist nicht mit dem Controller verbunden Werkzeug und Zubeh r Montagezubeh r aus dem Lieferumfang S 11 4 Schrauben M5x25 Sechskant Winkelschraubendreher M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 21 5 Installation PI M 687 UO auf Unterlage befestigen 1 Richten Sie den M 687 UO so auf der Unterlage aus dass sich die vier Bohrungen siehe Pfeile in der Abbildung in M 687 UO und Unterlage berdecken F hren Sie die vier Schrauben in die Bohrungen im Grundk rper des M 687 U0O ein Ziehen Sie die Schrauben mit einem maximalen Drehmoment von jeweils 5 Nm fest Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe vollst ndig abgesenkt sind berpr fen Sie den spielfreien Sitz des M 687 UO auf der Unterlage Wenn n tig verwenden Sie zus tzlich Schraubenkleber zur Schraubensicherung 5 4 Versteller auf M 687 UO befestigen HINWEIS Unzul ssig hohe Last am Kreuztisch Eine unzul ssig hohe Last beeintr chtigt die Bewegung der bewegten Plattform und kann den Kreuztisch besch digen gt Beachten Sie hinsichtlich Masse und Befestigungsart der Last die maximal zul ssigen Kr fte die laut Sp
26. nbank geladen werden Die Verstellerdatenbank P Stages2 dat enth lt die Standard Parameterwerte Ihres Kreuztischs f r die Ausf hrung erster Testbewegungen bei der Inbetriebnahme Je nach Anwendung kann die Verwendung der Standard Parameterwerte z B f r P Term I Term D Term Beschleunigung und Geschwindigkeit jedoch zu Sch den am Kreuztisch f hren insbesondere bei hohen Lasten gt Wenn m glich F hren Sie die erste Inbetriebnahme ohne Last durch gt Installieren Sie stets die aktuellste Version der Verstellerdatenbank PIStages2 dat auf Ihrem PC Bei Inbetriebnahme mit Last gt Stellen Sie vor der Inbetriebnahme sicher dass der M 687 UO ordnungsgem installiert ist S 17 gt Passen Sie f r die optimale Performance der bewegten Achse die Betriebsparameter des C 867 an z B P Term I Term D Term Beschleunigung Geschwindigkeit siehe C 867 Benutzerhandbuch gt Speichern Sie die neuen Parameterwerte f r die sp tere Verwendung in einer Verstellerdatenbank auf dem PC oder im permanenten Speicher des Controllers siehe C 867 Benutzerhandbuch und PIMikroMove Handbuch M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 31 6 Inbetriebnahme und Betrieb P I INFORMATION Die Achsen X und Y des Kreuztischs M 687 UO haben unterschiedliche Stellwege Die Verstellerdatenbank aus der die Betriebsparameter in den Controller geladen werden k nnen enth lt deshalb f r jede Achse einen separaten Verstellertyp mit
27. ns Piezomotorcontroller Treiber 2 Kan le f r PlLine Systeme gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 39 3 5 Optionales Zubeh r P 545 2R7 PInano XY Piezotisch freie Apertur f r Objekttr ger 200 um x 200 um piezoresistive Sensoren mit USB Controller P 545 3R7 PInano XYZ Piezotisch freie Apertur f r Objekttr ger 200 um x 200 um x 200 um piezoresistive Sensoren mit USB Controller PD73Z2COW PInano Z Piezoscannersystem mit freier Apertur f r Mikrotiterplatten f r inverse Olympus Mikroskope 220 um kapazitiver Sensor mit USB Digitalcontroller PD73Z2ROW PInano Z Piezoscannersystem mit freier Apertur f r Mikrotiterplatten f r inverse Olympus Mikroskope 220 um piezoresistive Sensoren mit USB Digitalcontroller P 737 1SL PIFOC Nanofokusversteller f r Mikroskop Probenhalter 100 um DMS LEMO Stecker P 737 2SL PIFOC Nanofokusversteller f r Mikroskop Probenhalter 250 um DMS LEMO Stecker M 687 AP1 Mikroskop Universalhalter f r Objekttr ger und Petrischalen f r PI Tische mit 160 mm x 110 mm freier Apertur M 663 AB Adapterbox MDR auf D Sub 15 pol f r PlLine Versteller mit langem Kabel Technical Note M663T0015 zur Adapterbox 12 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung Bestellnummer Beschreibung Verl ngerungskabel zur Verwendung mit Adapterbox M 663 AB Verl ngerungskabel f r PILine MDR auf
28. ntstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des M 687 UO zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt Schlie en Sie den M 687 UO vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 18 Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den M 687 UO vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schuizleiter an Mechanische Kr fte k nnen den M 687 UO besch digen oder dejustieren gt Vermeiden Sie St e die auf den M 687 UO einwirken gt Lassen Sie den M 687 UO nicht fallen gt berschreiten Sie nicht die maximal zul ssigen Belastungen gem den Spezifikationen S 41 6 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherheit 2 3 Organisatorische MaBnahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am M 687 UO verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den M 687 UO an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines
29. ontrollierte Schwingung des M 687 UO besch digt werden Wenn w hrend des Betriebs des M 687 UO Ger usche auftreten gt Schalten Sie unverz glich die Servoregelung der betreffenden Achsen aus gt Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter 28 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS O Aufprall der bewegten Plattformen auf dem mechanischen Anschlag Der Aufprall der bewegten Plattformen des M 687 UO am mechanischen Anschlag kann zu Sch den oder erheblichem Verschlei am M 687 UO f hren gt Vermeiden Sie Bewegungen im ungeregelten Betrieb gt Wenn mit dem Controller C 867 Bewegungen im ungeregelten Betrieb notwendig sind Setzen Sie den Stellwert mit dem Befehl sMO so dass sich die Achsen mit niedriger Geschwindigkeit bewegen Stoppen Sie die Achsen rechtzeitig Verwenden Sie dazu die Befehle 24 STP oder HLT oder setzen Sie den Stellwert mit dem Befehl Smo auf null gt Stellen Sie sicher dass das Ende des Stellwegs mit geringer Geschwindigkeit angefahren wird gt Nehmen Sie nderungen der Geschwindigkeit Beschleunigung Verz gerung und Last nur in kleinen Schritten vor gt Deaktivieren Sie die Endschalter nicht softwareseitig gt Pr fen Sie die Funktion der Endschalter nur bei niedrigen Geschwindigkeiten gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion der Endschalter die Bewegung sofort an INFORMATION Obwohl der M
30. rne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer Warnzeichen Handbuch beachten Altger teentsorgung S 47 Herkunftsland Herstelleradresse Website Herstellerlogo 10 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung pe ane eli Controlleranschluss f r die X Achse Controlleranschluss f r die Y Achse 3 3 Lieferumfang Der M 687 UO kann Bestandteil eines Systems sein Das System hat die Bestellnummer M26821LOJ Zum System geh ren der Controller C 867 262 dessen Lieferumfang im Handbuch MS196E aufgef hrt ist sowie der USB Joystick C819B0002 Lieferumfang des M 687 UO Artikel Bezeichnung nummer M 687 U0 1 Kreuztisch f r inverse Olympus Mikroskope 100 mm x 75 mm selbsthemmend PlLine Linearantriebe 0 1 um Aufl sung 000037640 1 Schraubensatz zum Befestigen des M 687 UO bestehend aus 5 Zylinderschrauben M5x25 ISO4762 1 Sechskant Winkelschraubendreher 000036450 1 Schraubensatz M4 Schutzerde bestehend aus 1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8 ISO 7045 2 Sicherungsscheiben 2 Unterlegscheiben K060B0073 2 Kabel MDR 14 m nnlich m nnlich 1 1 1 5 m zum Anschluss an den Controller C 867 262 MP121EK Kurzanleitung f r PlLine Versteller M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 11 3 Produktbeschreibung P I 3 4 Geeignete Controller Produktcode Beschreibung C 867 262 Hochprazisio
31. rsion 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb uuesnnennnnenennnnennnnnn 27 M 687 UO mit Controller C 867 in Betrieb nehmen uursnsusrsnennnnnnnnnennnnnnnnnn 31 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb N Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am M 687 UO entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des M 687 UO zu leichten Verletzungen durch Stromschlag f hren gt gt gt Schlie en Sie den M 687 UO vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 18 Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den M 687 UO vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schuizleiter an HINWEIS Q Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Sch den am M 687 UO verursachen gt gt Verwenden Sie nur Controller Treiber und Originalzubeh r von PI f r den Betrieb des M 687 U0 berschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich S 42 f r den der M 687
32. rstra e 1 D 76228 Karlsruhe Der Hersteller erkl rt hiermit dass das Produkt Produktbezeichnung Kreuztisch fiir inverse Mikroskope Modellnummer M 687 Produktausf hrungen alle alle einschl gigen Bestimmungen der Maschinenrichtlinie 2006 42 EG erf llt Au erdem erf llt es alle Bestimmungen der EMV Richtlinie 2004 108 EG sowie der RoHS Richtlinie 2011 65 EG Die zum Nachweis der Konformitat zugrundegelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Sicherheit von Maschinen EN 12100 2010 Elektrische Sicherheit EN 61010 1 2010 Elektromagnetische Emission EN 61000 6 3 2007 EN 55011 2009 Elektromagnetische St rfestigkeit EN 61000 6 1 2007 Bevollm chtigte r f r die Zusammenstellung der relevanten technischen Unterlagen Bernd Philips Adresse siehe Herstelleradresse 20 M rz 2013 Karlsruhe Pea i _ Norbert Ludwig Gesch ftsf hrer Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG Auf der R merstra e 1 76228 Karlsruhe Germany PIEZO NANO POSITIONING Telefon 49 721 4846 0 Telefax 49 721 4846 1019 E Mail info pi ws www pi ws RE SEE et SNUS M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 49
33. speziell angepassten Parametern gt Weisen Sie den Achsen in der PC Software den passenden Verstellertyp zu Die Zuordnung des Verstellertyps ergibt sich aus den Kabelverbindungen zwischen Kreuztisch und Controller Wenn der M 687 UO Bestandteil eines vorkonfigurierten Systems ist sind die passenden Parameters tze bereits auf dem Controller gespeichert Die Zuweisung des Verstellertyps in der PC Software entf llt in diesem Fall Standardkonfiguration bei Verwendung des Controllers C 867 262 F r Achse 1 des Controllers Buchse Motor 1 ist der Parametersatz f r Achse X des Kreuztischs gespeichert F r Achse 2 des Controllers Buchse Motor 2 ist der Parametersatz f r Achse Y des Kreuztischs gespeichert gt Verbinden Sie M 687 UO und Controller durch die Kabel so miteinander dass die Zuordnung eingehalten wird die durch die im Controller gespeicherten Parametersatze vorgegeben ist Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 27 v Sie haben das Benutzerhandbuch des Piezomotorcontrollers treibers C 867 gelesen und verstanden Der M 687 UO ist ordnungsgem installiert S 17 Der Piezomotorcontroller treiber C 867 und die ben tigte Software sind installiert Alle Anschl sse am C 867 sind eingerichtet siehe C 867 Benutzerhandbuch 32 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb
34. ssssnsennnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 1 1 3 Begriffserkl r ng u en ee een 2 1 4 Abbildungen sense td 3 1 5 Mitgeltende DOKUMENHE eee ceeceeeeeeeeeeeeeeeeaeeeeeeeaeeeeeaaeeeeeeaaeeeseeaaeeeeeeaaeeeeseaas 3 1 6 Handb cher herunterladen ccecccececeeeeeeeeeeneeeeeeeaeeeeeeaaeeeeeeaaeeeseeaaeeeeeenaeeeeseaas 3 2 Sicherheit 5 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung uuersnsesensnnnnnennnnnnnennnnnnnnnnnnnnonnnnnnnnnnn nn 5 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise uusrssnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nen 6 2 3 Organisatorische Ma nahmen rs44srsnsunnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnn nn 7 3 Produktbeschreibung 9 3 1 Produktansicht occitano E AEEA ia 9 3 2 ProduktbeschriftunQ ooooccccnnnccccnnnoccconnnonccnnnnnnnncnnnnnn cnn nro cnn ran cnn anna rn rra 10 3 3 LISTS MUNN ANG is ri a 11 3 4 Geeignete Controller cecccecceeeecceceeeeeeceeeeeeeceneeecaeeesaaeeeeaeeseeeessaeeseaeeeeeeeeaas 12 3 5 Optionales Zubeh r rsnn0ersnnnnsnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnen 12 3 6 Technische Ausstattung oooocccccnnoccconnnocccnnnnoncconn noc cnn nor rc 13 3 6 1 LINGAPONCOCEL coccccccnnncccnononccnnonnnccn nn 13 3 6 2 Endschalo imitar 13 3 6 3 ReferenzschalteT oomooccconncccconnnccccnnonccnnnnnnecnnnnnnecnnnnnnec cnn naa cnn nana nenn 13 4 Auspacken 15 S Installation iM 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation 00 0 cee
35. tsprechend der Wartungsanleitung vor die Sie von unserem Kundendienst erhalten gt Stellen Sie sicher dass die Piezomotoren des M 687 UO nicht mit Schmiermitteln in Kontakt geraten 7 3 M 687 UO reinigen Voraussetzungen v Sie haben den Kreuztisch vom Controller getrennt Kreuztisch reinigen gt Wenn notwendig reinigen Sie die Oberfl chen des Kreuztischs mit einem Tuch das leicht mit einem milden Reinigungs oder Desinfektionsmittel angefeuchtet wurde gt Verwenden Sie keine organischen L sungsmittel 36 Version 1 1 0 MP107D M 687 UO Kreuztisch PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 8 Storungsbehebung 8 Storungsbehebung St rung M giche Ursachen Behebuns Ger usche w hrend Unkontrollierte gt Schalten Sie die Servoregelung der des Betriebs Schwingung des betreffenden Achsen unverz glich M 687 UO aus Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter Kreuztisch Einschwingfenster Verkleinern Sie das positioniert ungenau um die Zielposition Einschwingfenster settling window zu gro indem Sie am Controller die Parameterwerte f r die Grenzen des Einschwingfensters ndern Einzelheiten siehe das Benutzerhandbuch des Controllers S 3 Erreichen der Einschwingfenster Vergr ern Sie das Zielposition dauert um die Zielposition Einschwingfenster settling window zu lange zu klein indem Sie am Controller die Parameterwerte f r die Grenzen des Einschwingfensters ndern Einzelheiten siehe
36. weise zur Wartung HINWEIS A Sch den durch falsche Wartung i i Eine falsche Wartung kann zum Ausfall des M 687 UO f hren gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch gt Halten Sie die Piezomotoren des M 687 UO frei von Schmiermitteln 7 2 Wartungsfahrt durchf hren In Abh ngigkeit von den Einsatzbedingungen und der Einsatzdauer des M 687 UO sind die folgenden WartungsmaBnahmen erforderlich Wartungsfahrt Die Wartungsfahrt dient zum Verteilen des vorhandenen Schmiermittels auf den F hrungen des M 687 UO gt F hren Sie nach 500 Einsatzstunden oder sp testens nach 1 Jahr eine Wartungsfahrt ber den gesamten Stellweg durch damit sich das vorhandene Schmiermittel gleichmaBig auf den F hrungen verteilt gt Falls Sie den M 687 UO im industriellen Dauereinsatz ber einen kleinen Verfahrbereich bewegen lt 20 des gesamten Stellwegs f hren Sie nach jeweils 5000 Bewegungszyklen eine Wartungsfahrt ber den gesamten Stellweg durch M 687 UO Kreuztisch MP107D Version 1 1 0 35 7 Wartung P I Nachschmieren Unter Laborbedingungen ist ein Nachschmieren der F hrungen des M 687 UO nur in Ausnahmef llen n tig Im industriellen Dauereinsatz m ssen die Intervalle f r das Nachschmieren individuell festgelegt werden gt Schmieren Sie die F hrungen des M 687 UO nur nach R cksprache mit unserem Kundendienst S 39 nach gt Gehen Sie beim Nachschmieren der F hrungen en

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