Benutzerhandbuch PZ178D - Physik Instrumente (PI)
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1. en vor m Trennen Sie den E 47x 20 von der Netzspannung m L sen Sie die Schrauben an der Frontplatte des entsprechenden E 421 Verst rkermoduls Ziehen Sie das Verst rkermodul nach vorne aus dem E 47x Geh use m L sen Sie die Schrauben auf der R ckwand des E 421 Verst rkermoduls und entfernen Sie die R ckwand des E 421 Verst rkermoduls m Legen Sie den Schalter um eingekreist in der nachfolgenden Abbildung m Bringen Sie die R ckwand wieder an stecken Sie das Verst rkermodul wieder ins Geh use und befestigen Sie die Frontplattenschrauben des E 421 Moduls LARRABEE ALANS Abbildung 3 E 421 ohne R ckwand Der Schalter f r die Vorzeichenwahl des Verst rkungsfaktors ist eingekreist Standardeinstellung 100 Beispiel Ein Eingangssignal von 2 5 bis 7 5 V bedingt eine Ausgangsspannung von 250 bis 750 V wenn Bereich 4 gew hlt ist und die werkseitige Einstellung von 100 f r den Verst rkungsfaktor gilt E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 13 Bedienung Piezo Nano Positioning PI 2 6 Aktoranschluss GEFAHR HOCHSPANNUNG E 47x 20 Leistungsverstarker geben SEHR HOHE SPANNUNGEN und HOHE STROME ab die zu Tod oder schweren Verletzungen f hren k nnen Besondere Vorsicht ist bei der Verwendung von Produkten anderer Hersteller geboten Halten Sie sich an die Richtlinien zur Unfallvermeidung Arbeiten mit diesen Ger ten d rfen nur von entsprechend qualifiziertem2. kommandiert der Benutzer die Ausgangsspannung f r den betreffenden Piezoaktor Geregelter Betrieb Servobetrieb Positionsgeregelter Betrieb setzt das Vorhandensein von Positionssensoren und eines Servomoduls z B E 509 voraus Dabei kommandiert der Benutzer die Position des betreffenden Piezoaktors Die erforderliche Ausgangsspannung wird intern durch die Servosteuerung berechnet und aufgrund der Einstellung und der R ckmeldung des Positionssensors korrigiert siehe Benutzerhandbuch f r E 509 PZ77E Hinweis Der maximale Spannungshub betr gt 1100 V Ca 10 der Verst rkerleistung werden im Servobetrieb zur Kompensierung von Nichtlinearit ten und Drift ben tigt 2 7 2 Analogbetrieb www pi ws Alle E 47x 20 Modelle k nnen durch ein Analogsignal gesteuert werden Abh ngig vom ungeregelten oder geregelten Betrieb wird mit diesem Signal entweder die Ausgangsspannung oder die Position f r den betreffenden Piezoaktor eingestellt Die Bereichsgrenzen des Analogsignals sind an den eingestellten Ausgangsspannungsbereich anzupassen Kapitel zum Anpassen des analogen Steuersignals an den Ausgangsspannungsbereich siehe Analoges Steuersignal S 17 Das Analogsignal setzt sich aus folgenden Komponenten zusammen Externes Analogsignal An die BNC Buchse Control In wird eine von einer externen Spannungsquelle gelieferte Spannung angelegt Dieses Signal darf in einem Bereich von 10 bis 10 V den Maximalbetrag von 11 V nicht berschr
3. 788 Karlsruhe Germany Dr Karl Spanner President Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Firmennamen Marken PI Bei den nachfolgend aufgef hrten Bezeichnungen handelt es sich um gesch tzte Firmennamen bzw eingetragene Marken fremder Inhaber LabVIEWTM Die in diesem Handbuch beschriebenen Produkte fallen teilweise unter den Schutz der folgenden erteilten Patente US Patent No 6 950 050 1999 2012 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuches sind urheberrechtlich gesch tzt Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Erstdruck 23 10 2012 Dokumentnummer PZ178D BSc BRo Version 1 1 0 E 47x_E 421_User_PZ178D110 doc nderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist unter www pi ws http www pi ws zum Herunterladen verf gbar Uber dieses Dokument Zielgruppe dieses Handbuches Dieses Handbuch soll dem Leser bei der Installation und Inbetriebnahme des E 47x 20 HVPZT Hochleistungsverst rkers helfen Es wird vorausgesetzt dass der Leser ber grunds tzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsma nah
4. A Wandlerkarten von National Instruments und ist kompatibel zum PI General Command Set GCS LabVIEW Treibersatz der f r alle neuen Controller von PI verf gbar ist Insbesondere unterst tzen die LabVIEW Treiber von PI alle Karten von National Instruments die zu DAQmx 8 3 kompatibel sind Kompatibilit t zu LabVIEW ist ab Version 7 1 gegeben F r die Nutzung dieser Option ist der Anschluss des Sensor Monitor Signals eines Sensormoduls z B E 509 n tig Der Treibersatz steht auch auf der Pl Website zum Herunterladen zur Verf gung E 500 HCD Zugang zur Hyperbit Funktionalit t zur Erh hung der Aufl sung Die patentierte Hyperbit Funktionalit t mit der die Aufl sung der D A Karte erh ht werden kann ist im Treibersatz E 500 ACD bereits enthalten Zum Freischalten dieser kostenpflichtigen Option ist ein Passwort erforderlich das unter der Bestellnummer E 500 HCD bei PI angefordert werden kann E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 7 Einleitung Piezo Nano Positioning PI 1 5 Auspacken www pi ws Packen Sie den E 47x 20 HVPZT Hochleistungsverstarker vorsichtig aus Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste Die folgenden Komponenten sind enthalten E 421 E 47x in der bestellten Konfiguration PZ178 Benutzerhandbuch f r E 421 E 47x 20 dieses Dokument 3763 Netzkabel berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen vo
5. Personal vorgenommen werden Ber hren Sie w hrend des Betriebs keine an die Hochspannungs ausg nge angeschlossenen Teile GEFAHR UNSACHGEM SSE VERKABELUNG KANN ZU TOD VERLETZUNG UND GERATESCHADEN FUHREN Veranderungen an Hochspannungssteckern sollten nur vom Hersteller vorgenommen werden Jegliche unerlaubte Veranderung kann das Bedienungspersonal gefahrden Vorsicht bei hoher Spannung und hohen Str men Schlie en Sie Ihren Piezoaktor an die PZT Out Buchse des E 47x 20 an Falls Ihr Piezoaktor von PI noch nicht mit einem Stecker versehen wurde oder Sie Aktoren einer Fremdfirma anschlie en m chten lesen Sie bitte die nachfolgenden Abschnitte zum Aktortyp gr ndlich durch und befolgen Sie unbedingt etwaige Hinweise die dem Piezoaktor beiliegen Piezoaktoren reagieren empfindlich auf berspannung und Polaritatsumkehr www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 14 Bedienung Piezo Nano Positioning PI Setzen Sie Piezoaktoren keinen Spannungen aus die zu weit au erhalb ihres Betriebsbereichs liegen Dies f hrt zur Zerst rung des aktiven Aktorelements Achten Sie auf die korrekte Polarit t der Anschl sse Eine Vorzeichenumkehr bei der Spannung kann von einem unipolaren Piezoaktor nur bis zu ca 25 der maximalen Spannung toleriert werden Eine gr ere Umkehrspannung depolarisiert den Piezoaktor und besch digt ihn damit dauerhaft 2 6 1 Bipolare Aktoren Bei bipolaren Aktoren
6. ber D A Wandler m glich F r bestimmte D A Wandlerkarten von National Instruments bietet Pl einen vollst ndigen LabVIEW Treibersatz an Dieser ist kompatibel zum PI General Command Set GCS der f r alle neuen Controller von PI verf gbar ist Der Treibersatz beinhaltet als weitere Option die patentierte Hyperbit Funktionalit t mit der eine Aufl sung h her als die der D A Karte erreicht werden kann 12 Bestimmungsgem e Verwendung Entsprechend ihrem Aufbau sind die E 47x 20 HVPZT Hochleistungsverst rker dazu vorgesehen kapazitive Lasten hier Piezoaktoren anzutreiben E 47x 20 d rfen nur entsprechend ihrer Ger tespezifikation verwendet werden insbesondere nicht zum Betrieb mit ohmschen oder induktiven Lasten Beachten Sie die Sicherheitshinweise in diesem Benutzerhandbuch E 47x 20 erf llen die Anforderungen der Norm EN 61010 f r den sicheren Betrieb unter normalen Umgebungsbedingungen Details finden Sie in der Datentabelle siehe Spezifikationen S 24 1 3 Sicherheitshinweise Lesen Sie auch alle weiteren f r die Verwendung des Produktes relevanten Anleitungen sorgf ltig durch www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 4 Einleitung Piezo Nano Positioning PI Nichtbeachten der nachfolgenden Sicherheitshinweise kann zu einer gesundheitlichen Gef hrdung f r den Benutzer oder zu Sachsch den und zum Verlust der Ger tegarantie f hren GEFAHR HOCHSPANNUNG E 47x 20 Le
7. den SERVO Modus ein ON VORSICHT Falls Ihr Piezoaktor zu schwingen beginnt sirrendes Ger usch schalten Sie bitte sofort den Servomodus wieder aus Der Aktor k nnte irreparablen Schaden nehmen Wenden Sie sich an Ihre PI Vertretung Falls ein Displaymodul vorhanden ist springt die Positionsanzeige des Piezoaktors jetzt auf 0 Schlie en Sie ein Voltmeter parallel zum Piezoaktor an die PZT Out Buchse an oder falls vorhanden kontrollieren Sie die Ausgangsspannung ber ein Displaymodul Stellen Sie mit dem ZERO Potentiometer am E 509 Modul folgenden Wert f r die Ausgangsspannung am Sensor Nullpunkt ein Gew hlter Einzustellender Ausgangsspannungs Wert Ausgangsspannungsbereich f r den Nullpunkt des Sensors Obs100V 50V 250 bis 750 V 200 V 500 bis 500 V 450 V Piezoaktor mit positiver Polarit t 450 V Piezoaktor mit negativer Polarit t 250 bis 750 V 200 V 0 bis 1000 V 50 V Diesem Wert ist jetzt die geringste Ausdehnung des Piezoaktors zugewiesen Uberpr fen Sie den Ausgangsbereich der Spannung an der PZT Out Buchse entweder ber das Voltmeter oder ein Displaymodul indem Sie entweder eine Spannung von 0 bis 10 V an den Analogeingang anschlie en oder das DC Offset Potentiometer bis zum Anschlag im Uhrzeigersinn drehen Wenn der vollst ndige Ausgangsbereich angesteuert werden kann ist der Nullpunktabgleich beendet Falls nicht wiederholen Sie die Einstellung des Nullpunkts mit einem leicht ge
8. der Auslieferung f r die Netzspannung eingerichtet die im Bestellerland vorherrschend ist entweder 115 V 50 60 Hz oder 230 V 50 60 Hz Die eingestellte Spannung ist auf der Ger ter ckseite ablesbar S 21 Beim Wechsel der Versorgungsspannung m ssen die Netzstromsicherungen gewechselt werden Das Kapitel Stromversorgung und Netzstromsicherungen S 21 beinhaltet eine Anleitung zum Sicherungswechsel und listet die notwendigen Sicherungstypen auf Verbinden Sie den Spannungsanschluss auf der Verst rker R ckseite mithilfe des mitgelieferten Netzkabels mit einer geeigneten Spannungsauelle 2 5 Ausgangsspannungsbereich Der Verstarker E 47x 20 liefert maximal 1100 V Spannungshub Im geregelten Betrieb werden ca 10 der Verst rkerleistung f r die Regelung ben tigt Werkseitig wird der Ausgangsspannungsbereich von 0 bis 1100 1000 V voreingestellt Sie k nnen den Ausgangsspannungsbereich ndern ber einen Stift auf der R ckseite des E 421 Verst rkermoduls GEFAHR HOCHSPANNUNG Trennen Sie unbedingt das Gerat von der Versorgungsspannung bevor Sie den Ausgangsspannungsbereich andern HINWEIS Bei einem geregelten System erfordert eine ge nderte Ausgangsspannung eine Neukalibration Wenden Sie sich an Ihre PI Vertretung www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 11 Bedienung Piezo Nano Positioning PI Zur Umstellung der Ausgangsspannung gehen Sie folgendermaBen vo
9. ndig entladen sind 3 ffnen Sie die Abdeckung oberhalb des Netzanschlusses und entnehmen Sie den Sicherungstr ger 4 Ersetzen Sie beide Sicherungen mit solchen des passenden Typs 220 V AC bis 240 V AC 2 x IEC 1 25 A HT trage 250 V AC 100 V AC bis 120 V AC 2 x IEC 2 5 A HT tr ge 250 V AC 5 Drehen Sie den Sicherungstr ger so dass die richtige Spannungseinstellung 115 V oder 230 V durch die Offnung an der Abdeckung lesbar ist 6 Schieben Sie den Sicherungstr ger wieder zur ck und schlie en Sie die Abdeckung HINWEIS F r den Verst rker E 472 mit zwei Verst rkermodulen E 421 in einem Chassis gelten folgende Werte f r die Sicherungen m 220 VACbis240 VAC 2xIEC 2 5 AHT tr ge 250 V AC m 100 VACbis 120 VAC 2xIEC5AHT tr ge 250 V AC 3 2 Reinigung Die Gehauseoberflache kann mit einem milden Reinigungsmittel oder Desinfektionsl sung gereinigt werden Verwenden Sie keine organischen L sungsmittel IEC Sicherungsstandards www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 22 Piezo Nano Positioning PI Behebung von St rungen 4 Behebung von St rungen Der Versteller bewegt sich nicht Die Kabel sind nicht korrekt angeschlossen oder defekt m berpr fen Sie die Verbindungskabel m Beachten Sie den zul ssigen Bereich f r das analoge Steuersignal am Control In Eingang Der zul ssige Bereich der analogen Steuerspannung betr gt ein Hundertstel des Ausgangsspannungsbereic
10. sie zu Der Verst rker E 471 20 ist erweiterbar mit Modulen f r Positionssensor Auswertung und Positionsregelung E 509 PC Schnittstelle Display E 517 und Display E 515 Diese Module werden im Chassis montiert geliefert Falls ein Servomodul und ein Piezoaktor mit E 471 20 gemeinsam bestellt werden wird das komplette System fertig kalibriert ausgeliefert E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 6 Einleitung www pi ws Piezo Nano Positioning PI Kontaktieren Sie Ihren Pl Vertriebsingenieur falls Sie Ihren Verst rker nachtr glich aufr sten m chten S mtliche Zusatzmodule sind in separaten Handb chern beschrieben Verf gbar sind E 509 C1A Sensor Servocontrollermodul f r kapazitive LVDT bzw E 509 L1 DMS Positionssensoren jeweils 1 Kanal E 509 S1 zur Eliminierung von Drift und Hysteresefehlern bei Positionierungsaufgaben E 517 11 110 Schnittstellen Displaymodul 24 Bit D A TCP IP USB RS 232 nur i1 IEEE488 1 Kanal zeigt die Piezospannung und Position falls Servomodul vorhanden an und erm glicht die Steuerung vom PC aus dynamische Programmbibliothek und LabVIEW Treiber sowie passende Benutzersoftware stehen zur Verf gung E 515 01 Displaymodul f r Piezospannung und Position 1 Kanal E 500 ACD CD mit Treibersatz f r analoge Controller auf Anfrage kostenlos erh ltlich Dieser LabVIEW Treibersatz erm glicht die analoge Steuerung vom PC aus ber bestimmte D
11. une 24 52 Aussteuergrenzen une erkenne 25 5 3 5 4 55 BIGCKSCHAItD IG nenna E T 2a 26 Signalpfad mit Servocontroller und PC Interfacemodu 26 Piribelegung ee ee 28 55 1 2 Pin Hochspannungsanschluss ccceeeeeeeeeeeeeeeeeeeenaeeeeeenaeeeeeenaes 28 552 Stecker an der inneren R ckseite des E 47x Geh uses 29 553 Hauptanschluss am E 421 Verst rkermodul 29 Einleitung Piezo Nano Positioning PI 1 Einleitung 1 1 berblick Abbildung 1 Konfigurationsbeispiel E 471 20 HVPZT Verst rker mit E 509 X1 Sensor Servocontrollermodul und E 516 Schnittstellen Displaymodul Vorg nger des aktuellen E 517 Schnittstellen und Displaymoduls Die Hochleistungsverst rker Controller der Serie E 470 wurden speziell f r den dynamischen Betrieb von Piezoaktoren Translatoren mit hohen elektrischen Kapazit ten wie PICA Hochvolt Piezoaktoren entwickelt Sie basieren auf dem E 421 Verst rkermodul das einen Spitzenstrom von 500 mA in einem Spannungsbereich von 3 bis 1100 V abgeben und aufnehmen kann ein negativer oder bipolarer Betrieb ist einstellbar Drei Standardkonfigurationen sind verf gbar m E 470 20 ist der Verst rker als kompaktes Tischgerat in einem 9 5 Chassis f r den einkanaligen ungeregelten Betrieb m E 471 20 beinhaltet das Verst rkermodul in einem 19 Chassis mit Platz f r ein Servocontroller und ein Schnittstellen Displaymodu
12. Notes zur Bedienungsanleitung hinzu www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 5 Einleitung Piezo Nano Positioning PI VORSICHT BEL FTUNG Decken Sie die L ftungsschlitze an der Oberseite des E 47x 20 nicht ab Das Ger t muss waagerecht mit 3 cm Bel ftungsbereich aufgestellt werden Senkrechtes Aufstellen verhindert den internen Temperaturausgleich Unzureichende Luftzirkulation f hrt zu berhitzung und vorzeitigem Ausfall des Ger ts 1 4 Modell bersicht und optionale Erweiterungen www pi ws Die Verstarker der Serie E 47x sind in folgenden Standardkonfigurationen erhaltlich E 470 20 1 Kanal Hochleistungspiezoverstarker 1100 V Spannungshub 550 W Tischgerat bestehend aus einem E 421 Piezoverstarker Modul mit Netzteil im 9 5 Chassis E 471 20 1 Kanal Hochleistungspiezoverstarker 1100 V Spannungshub 550 W bestehend aus einem E 421 Piezoverstarker Modul und Netzteil vorbereitet f r Servocontroller und Display PC Schnittstelle 19 Chassis zum Rackeinbau E 472 20 2 Kanal Hochleistungspiezoverst rker 1100 V Spannungshub 550 W bestehend aus zwei E 421 Piezoverst rker Modulen und Netzteil entsprechend E 471 20 mit E 421 Erweiterung 19 Chassis zum Rackeinbau HINWEIS Angaben im vorliegenden Benutzerhandbuch gelten nur f r die oben aufgelisteten Versionen Die Vorg ngermodelle E 47x 00 und E 420 werden nicht mehr hergestellt und dieses Handbuch trifft nicht f r
13. Piezo Nano Positioning PI PZ178D Benutzerhandbuch E 421 E 470 E 471 E 472 HVPZT Hochleistungsverst rker Version 1 1 0 Datum 23 10 2012 Dieses Dokument beschreibt folgende s Produkt e E E 421 00 HVPZT Hochleistungsverst rkermodul 1 Kanal E E 470 20 HVPZT Hochleistungsverst rker Controller 1 Kanal Tischger t E E 471 20 HVPZT Hochleistungsverst rker Controller 1 Kanal 19 E E 472 20 HVPZT Hochleistungsverst rker Controller 2 Kan le E7421 WU AMPLIFIER Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany Moving the NanoWorld www pi ws Tel 49 721 4846 0 Fax 49 721 4846 1019 Ei a info pi ws www pi ws Declaration of Conformity according to ISO IEC Guide 22 and EN 45014 Manufacturer Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Manufacturer s Auf der R merstrasse 1 Address D 76228 Karlsruhe Germany The manufacturer hereby declares that the product Product Name Power Amplifier for HVPZT Model Numbers E 470 E 471 E 472 E 421 Product Options all complies with the following European directives 73 23 EEC Low voltage directive 89 336 EEC EMC Directive The applied standards certifying the conformity are listed below Electromagnetic Emission EN 61000 6 3 EN 55011 Electromagnetic Immunity EN 61000 6 1 Safety Low Voltage Directive EN 61010 1 February 19 2007
14. brientes System zurne ae eeeana 9 22 AU S eE acer onus chacatanwobenacexeen 9 23 B dienelemenle ca ensure 10 24 Spannungsanschl ss nes tere ee 11 25 Ausgangsspannungsbereich 22444nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 11 2 6 ZAKlOrANSEHIUSSc ce daumiuns cawedaa Grav gdeneanecaaaeens dee 14 26 1 Bipolare Aktoren 40ss44444nennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn nnn nn 15 262 Unipolare Aktoren uur0 s444een nennen nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn namen nn 15 263 Beispiel zur Leitungsf hrung 444s4ssnnnnnnnnnnennnnnnnnnn san nnnn ann 15 2 7 BElrlEBSarlan A nen ana R R RE agent 16 2 71 Ungeregelter und geregelter Betrieb 44sn nennen 16 2 72 Anal gbetrieb 4 nH neben AR 16 273 Steuerung ber PC Schnittstelle 0urs400sr nenn nnnnnnennnnnnnnn 17 28 Analoges Steuersignal uurussssnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 17 29 Erste Inbetriebnahme 004040000000000000nnnnnnnnn nenne nennen nenn nennen 17 2 10 Nullpunktabgleich im Servobetrieb mit E 509 urnns nn 19 Wartung 21 3 1 Stromversorgung und Netzstromsicherungen 244444444 20 gt 21 3 1 1 Netzkabel Be I 21 3 1 2 Netzstromsicherungen nsssrsnnnnennnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn nenne 21 32 REINIGUNG ee MER ER 22 Behebung von St rungen 23 Technische Daten 24 51 Spezifikationen nee
15. echt mit 3 cm Bel ftungsbereich aufgestellt werden Senkrechtes Aufstellen verhindert den internen Temperaturausgleich Unzureichende Luftzirkulation f hrt zu berhitzung und vorzeitigem Ausfall des Ger ts Die Verst rker E 471 20 und E 472 20 sind zum Einbau in ein 19 Rack geeignet Achten Sie auf ausreichenden Abstand oben und unten mind 3 cm und verdecken Sie nicht die L ftungsschlitze an der Vorder und R ckseite des Ger ts www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 9 Bedienung Piezo Nano Positioning PI 2 3 Bedienelemente HVPZT POWER AMPLIFIER DC OFFSET CONTROL INPUT 2 HIGH 2 VOLTAGE DC OFFSET Drehknopf 10 Gang Potentiometer f r DC Offset Einstellung siehe Analoges Steuersignal S 17 CONTROL INPUT BNC Anschluss des Steuersignals siehe Analoges Buchse Steuersignal S 17 PZT HIGH VOLTAGE Hochspannungsausgang zum Piezoaktor LEMO Buchse POWER LED gr nes Dauerlicht bei Betrieb Die Bedienelemente der optionalen Module f r geregelten Betrieb E 509 und PC Schnittstelle Display E 517 E 515 sind in separaten Handb chern beschrieben Ein Aus Schalter Netzanschluss und Sicherungen befinden sich an der R ckseite des Ger ts S 21 www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 10 Piezo Nano Positioning PI Bedienung 2 4 Spannungsanschluss Falls nicht ausdr cklich anders gew nscht wird das Ger t vor
16. eiten Das Signal kann optional ber eine D A Wandlerkarte im PC erzeugt werden PI bietet f r bestimmte Karten von National Instruments einen LabVIEW Treiber an der kompatibel zum Pl General Command Set GCS ist Innerhalb dieses Treibers ist als weitere Option die patentierte Hyperbit Funktionalit t zur Erh hung der Aufl sung am Piezospannungsausgang verf gbar siehe Modell bersicht und optionale Erweiterungen S 6 E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 16 Bedienung Piezo Nano Positioning PI DC Offset Potentiometer Je nach Potentiometerstellung wird eine Gleichspannung von 0 bis 10 V bereitgestellt Falls ein konstanter DC Offset ben tigt wird darf die Stellung des Drehknopfs nicht ver ndert werden 2 7 3 Steuerung ber PC Schnittstelle Mit dem optionalen Schnittstellen Displaymodul E 517 kann der E 47x 20 ber eine PC Schnittstelle TCP IP USB RS 232 oder IEEE488 gesteuert werden In dieser Betriebsart werden alle analogen Eingaben ignoriert Signal an Control In Einstellung des DC Offset Potentiometers Bei vorhandenen Modulen f r geregelten Betrieb m ssen alle SERVO Schalter OFF gesetzt werden Diese Betriebsart wird gelegentlich als Online Modus bezeichnet w hrend f r die analoge Steuerung auch die Bezeichnung Offline Modus verwendet wird Einzelheiten finden Sie im Benutzerhandbuch des E 517 Moduls 2 8 Analoges Steuersignal Der zul ssige Bereich der analogen Ste
17. hs siehe Analoges Steuersignal S 17 Noch Probleme Wenden Sie sich an Ihre PI Vertretung oder schreiben Sie an info pi ws bitte mit folgenden Systeminformationen m Geratecodes und Seriennummern von allen Produkten im System m Aktuelle Firmware des Controllers sofern vorhanden m Softwareversion des Treibers oder Anwendersoftware sofern vorhanden m Anwenderbetriebssystem sofern vorhanden www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 23 PI Piezo Nano Positioning Technische Daten 5 Technische Daten www pi ws Bandbreite Kleinsignal Bandbreite GroBsignal Restwelligkeit Rauschen 0 bis 100 kHz Strombegrenzung Spannungsverstarkung Eingangswiderstand Eingangsspannungsbereich Schnittstellen und Bedienung Piezoanschluss Analogeingang DC Offset Einstellung Umgebung Betriebsspannung Betriebstemperaturbereich Uberhitzungsschutz Masse Abmessungen E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 5 1 Spezifikationen E 470 20 E 471 20 Einheit E 472 20 E 421 00 Funktion Leistungsverst rker f r PICA Hochvoltpiezoaktoren Servocontroller und Interfaceoption f r E 471 Verst rker Ausgangsspannung 3 bis 1100 Standard V 260 bis 780 550 bis 550 260bis 780 3 bis 1100 einstellbar Verst rkerkan le 1 E 472 2 Dauerausgangsstrom 100 mA Spitzenstrom lt 5ms 500 mA statisch bis 3 kHz abh ngig von Piezolast siehe Graph zu Aussteuerg
18. ich sowohl im Online als auch im Offline Modus S 17 durchf hren Offline und Online Betrieb d rfen nicht vermischt werden Im Online Modus mit Schnittstellen Displaymodul E 517 werden keine zus tzlichen Hilfsmittel ben tigt lesen Sie hierzu das Benutzerhandbuch zu E 517 Folgende zus tzliche Hilfsmittel werden f r einen Abgleich im Offline Modus ben tigt eine einstellbare Soannungsquelle die Spannungen im erforderlichen Spannungsbereich liefert 1 100 der Ausgangsspannung sowie ein Voltmeter Hier wird nur der Prozess im Offline Modus beschrieben 1 Montieren Sie den Piezoaktor in Ihrer Anwendung unter normalen Betriebsbedingungen Last Temperatur 2 Stellen Sie sicher dass am Analogeingang Control In des Verstarkers 0 V anliegen und drehen Sie das DC Offset Potentiometer an den linken Anschlag 3 Schalten Sie den SERVO Modus aus Schalterposition OFF 4 Verbinden Sie ein Voltmeter mit der SENSOR MONITOR Buchse 5 Schalten Sie die Netzspannung ein 6 Drehen Sie das DC Offset Potentiometer am Verst rker bis zum Anschlag im Uhrzeigersinn um den Piezoaktor maximal E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 19 Bedienung www pi ws Piezo Nano Positioning PI auszulenken und drehen Sie es anschlieBend bis zum Anschlag entgegen dem Uhrzeigersinn 7 Verstellen Sie das ZERO Potentiometer am E 509 Modul so dass am SENSOR MONITOR Ausgang 0 V anliegen 8 Schalten Sie jetzt
19. istungsverstarker geben SEHR HOHE SPANNUNGEN und HOHE STROME ab die zu Tod oder schweren Verletzungen f hren k nnen Besondere Vorsicht ist bei der Verwendung von Produkten anderer Hersteller geboten Halten Sie sich an die Richtlinien zur Unfallvermeidung Arbeiten mit diesen Ger ten d rfen nur von entsprechend qualifiziertem Personal vorgenommen werden Ber hren Sie w hrend des Betriebs keine an die Hochspannungs ausg nge angeschlossenen Teile Piezoaktoren reagieren empfindlich auf Uberspannung und Polaritatsumkehr Setzen Sie Piezoaktoren keinen Spannungen aus die zu weit au erhalb ihres Betriebsbereichs liegen Dies f hrt zur Zerst rung des aktiven Aktorelements Achten Sie auf die korrekte Polarit t der Anschl sse Eine Vorzeichenumkehr bei der Spannung kann von einem unipolaren Piezoaktor nur bis zu ca 25 der maximalen Spannung toleriert werden Eine gr ere Umkehrspannung depolarisiert den Piezoaktor und besch digt ihn damit dauerhaft VORSICHT Installieren und benutzen Sie das Produkt erst nach genauem Studium der Bedienungsanleitung Bewahren Sie die Bedienungsanleitung in der N he des Ger tes an einem sicheren Ort griffbereit auf Sollte die Anleitung verloren gehen oder unbrauchbar werden fordern Sie beim Hersteller ein neues Exemplar an oder laden Sie es von der PI Website http www pi ws herunter F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen wie z B Erg nzungen und Technical
20. l m E 472 20 besteht aus zwei Verstarkermodulen in einem 19 Chassis f r den dynamischen ungeregelten Betrieb www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 3 Einleitung Piezo Nano Positioning PI Geregelte und ungeregelte Piezopositionierung Diese Verstarker bieten eine prazise Steuerung von Piezoaktoren und Piezopositioniersystemen sowohl im geregelten wie im ungeregelten Betrieb Im ungeregelten Betrieb wird die Ausgangsspannung wahlweise manuell mit einem hochaufl senden 10 Gang Offset Potentiometer exakt eingestellt oder ber ein analoges Signal gesteuert Der ungeregelte Betrieb ist ideal f r Anwendungen bei denen schnelle Ansprechzeiten und sehr hohe Aufl sungen bei maximaler Bandbreite erforderlich sind Die Vorgabe oder die R ckmeldung der Position in absoluten Werten ist dann entweder nicht ma geblich oder wird von externen Wegsensoren bernommen Erweiterbar zum Servocontroller Die Version E 471 20 erm glicht die einfache Installation des optionalen Sensor Servocontrollermoduls E 509 f r den positionsgeregelten Betrieb Abh ngig von der angeschlossenen Piezomechanik und von der Sensorart ist dabei eine Positioniergenauigkeit und Wiederholbarkeit im Nanometerbereich m glich Steuerung ber PC Das optionale 20 Bit Schnittstellen Displaymodul E 517 erm glicht die Steuerung ber digitale PC Schnittstellen sowie die Positionskontrolle Optional ist die analoge Steuerung vom PC aus
21. men verf gt Das Handbuch beschreibt au erdem die Spezifikationen des E 47x 20 HVPZT Hochleistungsverst rkers Vereinbarungen Die in diesem Handbuch verwendeten Hinweise und Symbole haben folgende Bedeutungen Kennzeichnet eine m gliche Gef hrdung mit mittlerem Risiko die zu K rperverletzung oder Tod f hren kann Kennzeichnet das Vorhandensein von Hochspannung gt 50 V und damit eine unmittelbare Gef hrdung mit hohem Risiko die zu K rperverletzung oder Tod f hren kann VORSICHT Kennzeichnet eine Gef hrdung mit geringem Risiko die Sachschaden zur Folge haben k nnte HINWEIS Zus tzliche Informationen oder Anwendungshinweise Alle in dieser Dokumentation erw hnten optionalen Elemente und Softwaretools werden in separaten Handb chern beschrieben S mtliche Dokumente stehen in ihrer aktuellsten Version auf der Pl Website als PDF Dateien zum Herunterladen bereit www pi ws http www pi ws Aktuelle Versionen erhalten Sie auch von Ihrem Physik Instrumente Vertriebsingenieur oder per E Mail an info pi ws mailto info pi ws Inhaltsverzeichnis Einleitung 3 i PRI 17 91 itina Po De ee 3 12 BestimmungsgemaBe Verwendung ccceeeeeeeeneeeeeeeeeeeeeeeenneeeeeeees 4 1 3 Sicherheitshinweise ccccccccccecececeeeeeeeeeeeeeeeeeeesssesessseesseeseesees 4 14 Modellibersicht und optionale Erweiterungen ccccceeeeeeeeeeees 6 1 3 SAUSPACKENE na ee rer 8 Bedienung 9 2 1 Kal
22. n Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich bitte sofort an PI Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 8 Piezo Nano Positioning PI Bedienung Bedienung 2 1 Kalibriertes System Falls Sie einen um die Servooption erweiterten Controller zusammen mit einem Piezoaktor bestellt haben wird das System bei PI nach Ihren Vorgaben kalibriert und mit einer entsprechenden Information ausgeliefert VORSICHT KALIBRIERUNG Eine Neukalibrierung sollte nur von entsprechend ausgebildeten Personen und nach R cksprache mit PI durchgef hrt werden andernfalls gehen voreingestellte Daten verloren Sofern Sie Pl ber Ihre Anwendung informieren wird Ihr E 47x 20 vor der Auslieferung vollst ndig kalibriert In Normalfall m ssen Sie vor der Verwendung des Ger tes nur noch die Nullpunkteinstellung vornehmen Tauschen Sie keinesfalls Controller oder Piezoversteller eines kalibrierten Systems aus Beachten Sie die Zuordnung der Piezoaktoren zu den jeweiligen Controllerkan len Diese Zuordnung geht aus den Seriennummern auf den Ger teaufklebern hervor Beachten Sie bei mehrachsigen Verstellern die Kanal Achsenzuordnung entsprechend der Kabelbeschriftung 2 2 Aufstellen VORSICHT BELUFTUNG Decken Sie die L ftungsschlitze an der Oberseite des E 47x 20 nicht ab Das Ger t muss waager
23. n Betrieb berpr fen Achten Sie darauf dass der vollst ndige Spannungshub erreicht wird Falls ein E 509 Modul eingebaut ist k nnen Sie am SENSOR MONITOR Ausgang eine Spannung im Bereich von 0 bis 10 V abgreifen die der Auslenkung des Piezoaktors proportional ist Beispiel Ein Aktor mit einer nominalen Auslenkung von 100 um liefert bei einer tats chlichen Auslenkung von 15 um ein Signal von E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 18 Bedienung Piezo Nano Positioning PI 1 5 V am Sensor Monitor Bei einem Aktor mit einer nominalen Auslenkung von 30 um entsprechen 1 5 V am Sensor Monitor 15 von 30 um also 4 5 um 8 Falls Sie ein externes Analogsignal zur Steuerung verwenden m chten verbinden Sie eine geeignete Signalquelle mit der Control In BNC Buchse Der zul ssige Bereich f r das analoge Steuersignal betr gt 1 100 des gew hlten Ausgangsspannungs bereichs S 11 Falls Sie ein geregeltes System haben f hren Sie anschlie end einen Nullpunktabgleich durch 2 10 Nullpunktabgleich im Servobetrieb mit E 509 www pi ws Der Abgleich ist dann erforderlich wenn sich die Betriebstemperatur geandert hat oder die Last am Piezoaktor verandert wurde Damit wird sichergestellt dass der vollstandige Ausgangsspannungsbereich des Verstarkers am Piezo zur Verf gung steht ohne dass Spitzenwerte abgeschnitten werden Overflow Condition s E 509 Benutzerhandbuch PZ77E Sie k nnen den Abgle
24. nderten Wert E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 20 Piezo Nano Positioning PI Wartung 3 Wartung E WARNUNG NETZSPANNUNG Installieren Sie den E 47x 20 so dass er schnell und einfach von der Spannungszufuhr getrennt werden kann Vor dem Offnen des Geh uses vor dem Wechsel der Sicherungen und vor dem Reinigen des E 47x 20 muss das Ger t ausgeschaltet und der Netzstecker gezogen werden 3 1 Stromversorgung und Netzstromsicherungen 3 1 1 Netzkabel Ersetzen Sie das mitgelieferte Netzkabel nur durch ein ausreichend bemessenes Netzkabel 3 1 2 Netzstromsicherungen Falls nicht ausdr cklich anders gew nscht wird das Ger t vor der Auslieferung f r die Netzspannung eingerichtet die im Bestellerland vorherrschend ist Beim Wechsel der Versorgungsspannung m ssen die Sicherungen gewechselt werden VORSICHT DOPPELTE ABSICHERUNG a Beide Sicherungen sind aktiv und m ssen im Falle einer St rung berpr ft werden Abbildung 5 Sicherungstr ger Abbildung 4 Lage der Netzsicherungen und des Tr gers nur eine von zwei Sicherungen ist sichtbar www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 21 Wartung Piezo Nano Positioning PI Um die Sicherungen zuganglich zu machen gehen Sie wie folgt vor 1 Schalten Sie den E 47x 20 aus und ziehen Sie den Netzstecker 2 Warten Sie mindestens eine Minute um sicherzugehen dass alle elektrischen Leitungen vollst
25. nur die Schritte 1 und 2 aus und folgen anschlieBend der Anleitung im Benutzerhandbuch zu E 517 1 Verbinden Sie den E 47x 20 ber das mitgelieferte Netzkabel mit der Netzspannung Der Anschluss befindet sich an der R ckseite des Geh uses siehe Kapitel Spannungsanschluss siehe Spannungsanschluss S 11 f r Details Verbinden Sie den Piezoaktor mit dem E 47x 20 Verst rker Bei geregelten Systemen siehe auch Benutzerhandbuch zu E 509 21 Verbinden Sie das Sensorkabel mit der entsprechenden Buchse 22 Falls Sie das Sensor Monitor Signal auslesen m chten verbinden Sie eine geeignete Elektronik mit der SENSOR MONITOR Buchse 23 Schalten Sie die Servosteuerung aus SERVO Kippschalter am Servomodul OFF Drehen Sie das DC Offset Potentiometer gegen den Uhrzeigersinn bis zum Anschlag Stellen Sie sicher dass am Control In Eingang 0 V anliegen Schalten Sie jetzt die Netzspannung ein Die gr ne POWER LED leuchtet auf Kommandieren Sie eine erste Bewegung des Aktors indem Sie das Offset Potentiometer im Uhrzeigersinn bis zum Anschlag drehen um eine maximale Auslenkung des Piezoaktors zu bewirken und drehen Sie anschlie end das Potentiometer gegen den Uhrzeigersinn bis zum Anschlag Falls ein E 517 Schnittstellen Displaymodul oder ein E 515 Displaymodul im System integriert ist k nnen Sie die Ausgangsspannung bei zus tzlichem E 509 Servomodul auch die Piezopositionswerte auf dem Display ablesen und so den korrekte
26. r m Trennen Sie den Verst rker von der Netzspannung und warten Sie eine Minute um sicherzustellen dass alle elektrischen Leitungen vollst ndig entladen sind m Entfernen Sie die R ckwand des E 47x Geh uses m W hlen Sie den gew nschten Spannungsbereich durch Umstecken des Kodierstifts siehe Abbildung Bei E 472 Die Ausgangsspannungsbereiche f r beide Kan le sind voneinander unabh ngig m Bringen Sie die R ckwand wieder an Abbildung 2 Wahl des Ausgangsspannungsbereichs der rote Kodierstift befindet sich in der werkseitig eingestellten untersten Position Position des Kodierstiftes Ausgangsspannung 5 Unterste Position 3 bis 1100 V voreingestellt 4 260 bis 780 V 3 550 bis 550 V 2 260 bis 780 V 1 Oberste Position 3 bis 1100 V Wahl des Verst rkungsfaktors Der Verst rkungsfaktor jedes Verst rkerkanals ist umstellbar und betr gt wahlweise 100 oder 100 Als Standardeinstellung ist werkseitig die positive Ausgangsspannung gesetzt Die Umstellung des Verst rkungsfaktors eines Kanals sollte nur dann vorgenommen werden wenn sein analoges Eingangssignal nicht in dem www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 12 Bedienung www pi ws Piezo Nano Positioning PI Bereich verf gbar ist der durch den gew hlten Ausgangsspannungsbereich vorgegeben ist Kapitel Analoges Steuersignal S 17 Zur Umstellung des Verst rkungsfaktors gehen Sie folgenderma
27. renzen statisch bis 3 kHz abh ngig von Piezolast siehe Graph zu Aussteuergrenzen lt 25 mVRrus 100 200 nF mVpp kurzschlussfest 100 1 Standard 100 1 100 kQ ohne Servo 1 100 des gew hlten Ausgangsspannungsbereichs mit Servo 0 bis 10 V LEMO EGG 0B 701 CJL1173 BNC Buchse 10 Gang Potentiometer addiert 0 bis 10 V zur Eingangsspannung 100 120 oder 220 240 V AC w hlbar Sicherungswechsel erforderlich 5 C bis 50 C Leistungsminderung Uber 40 C C Max 75 C Abschaltung des Spannungsausgangs 5 2 E 470 7 6 E 471 10 1 E 472 2 5 E 421 kg 236 x 132 x 296 Griffe E 470 450 x 132 x 296 Griffe E 471 mm E 472 215 x 123 x 185 E 421 Seite 24 Technische Daten Piezo Nano Positioning PI 5 2 Aussteuergrenzen 1100 0 eo Amplitude FroquencyMz Abbildung 6 E 421 00 Aussteuergrenzen mit verschiedenen Piezolasten Kapazit tswerte in nF www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 25 Technische Daten Piezo Nano Positioning PI 5 3 Blockschaltbild Das Blockschaltbild zeigt einen Kanal E 421 Modul eines E 47x Verstarkers E 421 HU AMPLIFIER DC Offset x Potentiometer Control Input 11U Active Range Abbildung 7 E 421 Blockschaltbild GNO Control Out PZT Monitor Out Control In Amplifier In LINE Neutral LINE Phase 11 U7 LINE Phase 229U Protecti
28. ten nur vom Hersteller vorgenommen werden Jegliche unerlaubte Ver nderung kann das Bedienungspersonal gef hrden Vorsicht bei hoher Spannung und hohen Str men Typ LEMO EGG 0B 701 CJL 1173 HV OUT 0 1100 Controller socket front view Anschlussbelegung HV OUT HV bis 1100 V PGND Power Ground Geh use Kabelschirm www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 28 Technische Daten Piezo Nano Positioning PI 5 5 2 Stecker an der inneren R ckseite des E 47x Geh uses Der Stecker an der Innenseite des E 47x Geh uses dient zur Signal bertragung und Spannungsversorgung des E 421 Verstarkermoduls GND Power 15 V output 0 3 A 15 V output 0 3 A 10 5 V output 1 0 A 12 GND measurement 14 Control output 16 Piezo Monitor 0 1 von HV out 18 Control input 0 Sync 22 Sync 24 Line power 120 230 V AC neutral N oO gt fed 8 Line 120 V AC Phase 30 Line 230 V AC Phase 2 GND chassis oO 5 5 3 Hauptanschluss am E 421 Verstarkermodul Der r ckw rtige Anschluss am E 421 Verst rkermodul passt in die Buchsen des E 47x Chassis Fragen Sie PI falls Sie die Pinbelegung f r eine externe Anwendung ben tigen www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 29
29. uerspannung im ungeregelten Betrieb betr gt ein Hundertstel des Ausgangsspannungsbereichs Falls der Verst rkungsfaktor zu 100 invertiert wurde ist auch der Bereich f r das Steuersignal entsprechend ge ndert siehe Ausgangsspannungsbereich S 11 Das externe Analogsignal an der Control In Buchse und die vom DC Offset Potentiometer erzeugte Spannung addieren sich intern zum eigentlichen analogen Steuersignal so dass mit dem DC Offset Potentiometer das externe Analogsignal in den passenden Bereich verschoben werden kann Dies kann notwendig sein um den vollen Ausgangsspannungsbereich nutzen zu k nnen Der zul ssige Bereich der Steuerspannung liegt im geregelten Betrieb mit dem Sensor Servomodul E 509 zwischen 0 und 10 V 2 9 Erste Inbetriebnahme www pi ws VORSICHT BELUFTUNG Decken Sie die L ftungsschlitze an der Oberseite des E 47x 20 nicht ab Das Ger t muss waagerecht mit 3 cm Bel ftungsbereich aufgestellt werden Senkrechtes Aufstellen verhindert den internen Temperaturausgleich Unzureichende Luftzirkulation f hrt zu berhitzung und vorzeitigem Ausfall des Ger ts E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 17 Bedienung www pi ws Piezo Nano Positioning PI Die folgenden Anweisungen beziehen sich auf den Analogbetrieb S 16 des Systems Falls Ihr E 47x 20 mit einem E 517 Schnittstellen Displaymodul ausgestattet ist und das System Uber den PC gesteuert werden soll fuhren Sie
30. ve ground PE lt Chassis 5 4 Signalpfad mit Servocontroller und PC Interfacemodul Das Blockschaltbild zeigt die Schaltverbindungen zwischen den einzelnen Modulen Bei Verstarkern ohne Servo oder Schnittstellen Displaymodule sind die entsprechenden Verbindungen durch Dummymodule gew hrleistet VORSICHT Falls Ihr E 47x 20 Dummymodule enth lt Nehmen Sie den Verst rker nicht ohne diese in Betrieb Das System wird nicht korrekt funktionieren da der Schaltkreis unterbrochen ist www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 26 Technische Daten Piezo Nano Positioning PI FRONT PANEL REAR CONNECTOR TCPAP USB RS 232 IEEE 488 SERVO ON OFF PC CONNECTION TARGET OUT E 517 Computer Interface Display P2T MONITOR CONTROL IN PZT NONITOR PIT AMPLIFIER IN HV OUT CONTROL IN POWER ANPLIFIER SERVO ON OFF SERVO TOGGLE paket orr E 802 SEAVO Q SLEW RATE CONTROL OUT o LINITER P I SERVO E 509 SERVO CONTROLLER Abbildung 8 Verbindungen der Module E 509 und E 517 mit dem Verst rkermodul WWW Pi WS E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 27 Technische Daten Piezo Nano Positioning PI 5 5 Pinbelegung 5 5 1 2 Pin Hochspannungsanschluss GEFAHR UNSACHGEM SSE VERKABELUNG KANN ZU TOD VERLETZUNG UND GER TESCH DEN F HREN Ver nderungen an Hochspannungssteckern soll
31. wird der Spannungshub bipolar angelegt sowohl im negativen als auch im positiven Spannungsbereich Ublich sind dabei Spannungen bis zu 500 V auf einem Leiter und 0 V PGND auf dem anderen 2 6 2 Unipolare Aktoren Die Bezeichnungen positiv und negativ der Polarit t bei Piezoaktoren beziehen sich nicht auf die Richtung der Auslenkung Unipolare Piezos beider Kategorien erfahren eine Ausdehnung beim Anlegen der Spannung Positiv bzw negativ bezieht sich auf das Vorzeichen der am Piezoaktor angelegten Spannung Beispielsweise liegt bei einem unipolaren Aktor mit positiver Polarit t ein Leiter auf Ground Potential w hrend am anderen Leiter die Hochspannung mit bis zu 1100 V anliegt siehe 2 Pin Hochspannungsanschluss S 28 2 6 3 Beispiel zur Leitungsf hrung Im Beispiel rechts ist ein Piezoaktor HU OUT mit positiver Polarit t an einen Verst rker mit 0 bis 1100 V Ausgangsspannungsbereich angeschlossen Dazu wird der positive Leiter eventuell mit 1100 V beschriftet an HV Out angeschlossen und der negative an PGND Standardpiezoaktoren von PI haben positive Polarit t und sind mit PGND passenden LEMO Steckern versehen 11 Q VU www pi ws E 421 E 470 E 471 E 472 PZ178D Version 1 1 0 Seite 15 Bedienung Piezo Nano Positioning PI 2 7 Betriebsarten 2 7 1 Ungeregelter und geregelter Betrieb Ungeregelter Betrieb All E 47x 20 Versionen k nnen ungeregelt betrieben werden Dabei
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