Vakuum Messumformer Vacuum Transducer Betriebsanleitung
Contents
1. 15pole male ra PN ua PIN2 A Pin 1 Identification O out Pin2 Signal Output 0 10VD M Pin3 AGND PNA Pin4 Voltage Supply 24VDC LE e do Pin 5 Supply GND id SS GND O Pin 6 Relay A N O FINA m Pin 7 Relay A Common T Pin 8 Relay A N C i Pind o BND Pin 10 RS485 PN a Pin 11 RS485 ee i Pin 12 Shield O Pin 13 Relay B N O PINS Pin 14 Relay B Common PINIO Pin 15 Relay B N C Pan q PIN 13 o OPIN 14 a j T PN Boag o PLEASE NOTE We recommend to have Shield Pin 6 and supply common g 2 Pin5 grounded in the supply unit CAUTION Incorrect connection or inadmissible supply voltage can damage the transducer 2 THYRACONT 4 Operation 4 1 General Measurement Principle The VSM72 vacuum transducer is equipped with an internal combination sensor of type Pirani Cold Cathode The Pirani principle uses the heat conduction of gases for measuring vacuum A sensor filament is heated to a certain temperature threshold according to a patented pulsed mode the time needed for heating is a measure for total gas pressure The cold cathode sensor creates ionized gas molecules by an electric discharge The resulting ion current is a measure for the number of gas molecules present in the sensor and proportional to the absolute pressure Output Signal The output signal 1 8 8 6 V of your VSM72 has a logari2. float cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read setpoint 2 001S2V g 00184000160 a gt 4 0x10 4 mbar Unlock setpoint 2 001s2v R 001s2v R Set setpoint 2 to 001s420016q R 001s420016q n 4 2x10 4 mbar Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 3 THYRACONT 4 5 Mode Cold Cathode For certain vacuum processes it may be favoured to suppress the start ofthe cold cathode sensor which is automatically controlled by the transducer electronics Therefore it is possible to disable the cold cathode by software command via RS485 interface o Mode disabled gt cold cathode sensor remains switched off 1 Modus enabled start of cold cathode is automatically controlled by the transducer standard When the cold cathode is disabled your VSM72 behaves like a Pirani transducer with range 1000 1x10 mbar Correspondingly the output ur in this case means that actual pressure is below 1x10 mbar PLEASE NOTE Parameter Mode Cold Cathode is only temporarily saved in the transducer memory After mains supply is switched off or E disconnected the VSM72 will always be in mode cold cathode enabled Address
3. tes eine Kontaminiationsbescheinigung bei gt Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter Piktogramm Definitionen WARNUNG Gefahr von Personensch den 2 WARNUNG Starkes Magnetfeld Gefahr von Personensch den ACHTUNG Gefahr von Sch den an Ger t oder Anlage HINWEIS Wichtige Information ber das Produkt dessen Handhabung Y c oder den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung auf den beson E ders aufmerksam gemacht werden soll 3 4 THYRACONT 2 Vakuum Messumformer VSM72 2 1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist g ltig f r Produkte mit den Artikelnummern VSM72MV VSM72MVCF Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild Technische Anderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten 2 2 Lieferumfang Zum Lieferumfang geh ren Messumformer VSM72 Staubschutzkappe Betriebsanleitung Lieferbares Zubeh r Messkabel 2m zum Anschluss an Anzeigeger t VD9 W1506002 Messkabel 6m zum Anschluss an Anzeigeger t VD9 W1506006 Gegenstecker SubD 15polig XB1500002 2 3 Produktbeschreibung Der Vakuum Messumformer VSM72 dient zur Absolutdruck Messung im Bereich 1000 5x10 9 mbar Das Ger t kann an ein Thyracont Anzeigeger t ange schlossen oder gem Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Span nungsversorgung betrieben werden Das analoge Mess Signal 1 8V 8 6V ist dabei ber den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck abh ngig Zus tzlich bes
4. Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code I for reading i for writing the parameter Data 1 Byte 1 to enable 0 to disable the cold cathode sensor cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 OR Carriage Return ODh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Enable cold cathode 001i1k g 001i1k g Disable cold cathode 001 iOj R 001 iOj R Read mode cold cathode 0011Z g 001H KER gt enabled Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 THYRACONT 3 4 6 Mode Sensor Transition By default the VSM72 performs a continuous transition between Pirani and cold cathode range whereupon an assimilation of the sensor signals is carried out In order to adapt the performance of the transducer to the requirements of the vacuum process you can configure the parameter mode sensor transition according to the following 0 no transition but direct switch over between Pirani and cold cathode at 1 0 x10 mbar 1 continuous transition in the range 1 0 2 0x1 0 mbar standard Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code W for reading w for writing the parameter Data 6 Bytes 000001 transition 0000
5. Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code S zum Lesen s zum Schreiben des Sollwerts Data Leseanfrage oder Unlock 1 Byte 1 f r Schaltpunkt 1 Relais A 2 f r Schaltpunkt 2 Relais B Wert lesen oder schreiben 6 Byte float cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Beispiel f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Schaltpunkt 2 lesen 001S2V 00184000160 8 gt 4 0x10 4 mbar Unlock Schaltpunkt 2 001s2v R 001s2v R Schaltpunkt 2 auf 001s420016q r 001s420016q a 4 2x10 4 mbar setzen Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 THYRACONT 15 4 5 Modus Kaltkathode Bei bestimmten Prozess Schritten kann es gew nscht sein das von der Gerateelektronik automatisch gesteuerte Einschalten des Kaltkathodensensors zu unterdr cken Hierzu ist es m glich die Kaltkathode per Softwarebefehl ber die RS485 Schnittstelle zu deaktivieren o Modus deaktiviert gt kein Einschalten der Kaltkathode Sr Modus aktiv gt automatisches Ein und Abschalten der Kaltkathode Bei deaktivierter Kaltkathode verh lt sich der VSM72 wie ein reiner Pirani Messumformer mit Messbereich 1000 1x10 mbar Entsprechend bedeutet die Ausgabe ur in diesem
6. Druck abh ngig Die Umrechnung erfolgt gem folgendem Zusammenhang Vou V 0 6 log p mbar 6 8 p mbar 10 Vout 68 06 Serielle Schnittstelle RS485 Der gemessene Druckwert kann ber die serielle RS485 Schnittstelle des Messumformers digital ausgelesen werden Dar ber hinaus k nnen verschiede ne Parameter wie Gasart Korrekturfaktoren programmiert werden Weitere Informationen hierzu finden sie im Abschnitt 4 2 Kommunikation Stabilisierungszeit Die Ausgabe des Mess Signals erfolgt direkt nach Einschalten des Ger ts Zur Ausnutzung der vollen Genauigkeit des VSM72 kann es insbesondere nach extremen Druckspr ngen angebracht sein eine Stabilisierungszeit von 2min zu beachten Messgenauigkeit Das Ger t ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von 24VDC abgeglichen Verschmutzung Alterung extreme klimatische Bedingun gen oder andere Einbaulagen k nnen ein Nachjustieren erforderlich machen Im Bereich oberhalb 20mbar ist die Messgenauigkeit reduziert 10 THYRACONT Gasartabh ngigkeit Das Mess Signal ist gasartabh ngig Das Ger t ist auf N2 bzw trockene Luft abgeglichen F r andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0 1 mbar korrigiert werden indem Korrekturfaktoren f r beide Sensortypen via RS485 gesetzt werden siehe Abschnitt 4 2 bzw 4 3 4 2 Kommunikation 4 2 1 Die serielle Schnittstelle des VSM72 Der Messumformer VSM72 verf gt ber eine serielle Schnittstelle RS48
7. kleiner 5 0x10 mbar sein HINWEIS Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen emp E fehlen wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von min E destens 5 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten Zum Justieren zun chst den Gummistopfen ber dem Taster adj entfernen 1 dann mit einem d nnen Schraubendreher oder hnlichem Hilfsmittel kurz auf den Taster dr cken 2 Gummistopfen nun wieder einsetzen 18 THYRACONT Nachjustieren ber RS485 Ein Nachjustieren auf Atmosph rendruck oder Nulldruck ist auch durch entsprechende Software Befehle ber die RS485 Schnittstelle m glich Um unbeabsichtigtes Justieren des Messumformers zu verhindern muss der jeweilige Justierpunkt f r Atmosph rendruck bzw Nulldruck zun chst freige schaltet werden danach kann die eigentliche Justierung erfolgen Beispiel f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Unlock Justierpunkt f r 001j1l g 001j1l g Atmosph rendruck Justieren auf Atmosph rendruck 001j100023a n 001j100023a n Unlock Justierpunkt f r 001j0k g 001j0k g Nulldruck Justieren auf Nulldruck 001j100016c g 001j100016c a Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 THYRACONT 19 4 8 Ausheizen Elektronik abnehmen Soll die Vakuumkammer ausgeheizt werden so darf die Temperatur am Sensorflansch 80 n
8. 00 direct switch over cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Set mode sensor transition 001w1k g 001w1k g to continuous transition Read mode sensor transition 001Wh g 001W1Y g 2 transition Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 4 THYRACONT 4 7 Readjustment The transducer is adjusted ex works with 24V voltage supply in upright position flange to the bottom Other orientation operation under different climatic conditions extreme temperature changes ageing or contamination can result in the need for readjustment of the Pirani sensor Readjustment by pushbutton Readjustment on atmosphere or zero pressure can be done by means of the adjust pushbutton adj of the VSM72 The transducer will notice automatically which adjustment point is relevant PLEASE NOTE For zero adjustment actual pressure should be less than 5 0x10 mbar PLEASE NOTE To achieve optimum results of the adjustment we recommend to consider a warm up of at least 5 minutes at the appropriate u calibration pressure before any adjustment For adjustment first remove the rubber cap over the adj button 1 then press the pushbutton by means of a screwdriver or
9. 5 Um die Kommunikation ber RS485 zu aktivieren ist zun chst der Gummistopfen ber dem Adress Schalter zu entfernen 1 und anschlie end der Adress Schalter mit einem d nnen Schraubendreher oder hnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 15 einzustellen 2 Danach den Gummistopfen wieder einsetzen Die Kommunikation erfolgt gem Thyracont Protokoll ausf hrliche Detailinfor mationen hierzu finden Sie in einer gesonderten Beschreibung HINWEIS Der analoge Signalausgang 0 10V steht auch bei aktiver il RS485 in Schalterstellung 1 15 zur Verf gung THYRACONT 141 4 2 2 Kommunikationsprotokoll Die Kommunikation erfolgt gem B Thyracont Protokoll Die Befehle werden in folgendem Rahmen als Zeichenfolge im ASCII Code bertragen Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code 1 Byte Befehlsparameter Gro buchstaben f r Lesen Kleinbuch staben f r Schreiben Data Datenfeld max 6 Bytes kann je nach Code auch fehlen cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Addresse Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Datenformate BOOLEAN 1 Byte STRING max 6 Bytes UNSIGNED INT 6 Bytes mit f hrenden Nullen FLOAT 6 Bytes Exponentialformat 4 Bytes Mantisse entspricht Mantissenwert x 1000 2 Bytes Exponent Offset 20 FLOAT Werte werden in hPa mbar bertragen Beispiel Der Wert 4
10. 6 Byte unsigned int cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Der Wert des Datenfeldes beim Lesen oder Schreiben des Korrekturfaktors beinhaltet f hrende Nullen und entspricht dem 100fachen des Korrekturfaktors Wertebereich 000020 f r 0 20 bis 000800 f r 8 00 Beispiel f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Gasart Korrekturfaktor 2 lesen 001C2F a 001C000240z g gt c2 2 40 Unlock Gasart Korrekturfaktor 1 001c1e R 001c1e g Gasart Korrekturfaktor 1 001c000057 R 001c000057 R auf 0 57 setzen Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 14 THYRACONT 4 4 Schaltpunkte Das VSM72 besitzt 2 unabh ngige potentialfreie Relais Schaltpunkte Diese sind als Umschalter gem der in Abschnitt 3 3 2 beschriebenen Pinbelegung am Anschluss Stecker nach auBen gef hrt Die Schalter sind jeweils bei Druckwerten unterhalb der zugeh rigen Sollwerte aktiv und es leuchten die entsprechenden Kontroll LEDs auf der Steckerseite des VSM72 Die Schalthysterese ist fest auf 30 vom Sollwert eingestellt e 2 e 4 a a Hysteresis Swite hpoint switching function off Time Die Programmierung der beiden Sollwerte erfolgt via RS485 Schnittstelle Address
11. 60016 in einem Float Datenfeld steht f r 4 6x1 0 mbar Schnittstellen Parameter 9600 baud 8 Datenbits 1 Stopbit keine Parit t 4 2 3 Befehls bersicht Der Messumformer reagiert auf Typanfragen Messwertanfragen Justierbefehle und Befehle zum Setzen von Gasart Korrekturfaktoren siehe Abschnitt 4 3 Die Programmierung der beiden Relais Schaltpunkte des VSM72 ist ebenfalls via RS485 m glich siehe Abschnitt 4 4 Dar ber hinaus lassen sich bestimmte Parameter konfigurieren die das Verhalten der Sensorik bestimmen siehe Abschnitt 4 5 und 4 6 12 THYRACONT Befehls bersicht Typ T STRING lesen VSM72 VSH208 Messwert M FLOAT lesen Schaltpunkt S s FLOAT lesen S schreiben s VSM72 SP1 und SP2 Gasart Korrekturfaktor C c UNSIGNED INT lesen C schreiben c VSM72 C1 f r Pirani C2 f r Kaltkathode Modus Kaltkathode Li BOOLEAN lesen I schreiben i Modus W w UNSIGNED INT lesen W schreiben w Wertangleichung Druckjustierwert j FLOAT schreiben Beispiele f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer 4 2x10 4 mbar setzen Typ lesen 001Te g 001TVSH208p amp Messwert lesen 001M g 001M260014K 4 2 2 6x10 6 mbar Schaltpunkt 2 lesen 001S2V R 001S4000160 R gt 4 0x10 4 mbar Unlock Schaltpunkt 2 001s2v R 001s2v R Schaltpunkt 2 auf 001s420016q a 001s420016q a Atmosph rendr
12. 85 interface To enable communication via RS485 please remove the rubber cap over the address switch 1 and then set the address switch to a value between 1 and 15 using a small screw driver or a similar tool 2 Afterwards insert the rubber cap again Communication is carried out according to the Thyracont protocol detailed information hereto is provided in a separate description PLEASE NOTE gt The analog output signal 0 10V is simultaneously available when RS485 is activated by address setting 1 15 3 THYRACONT 4 2 2 Communication Protocol Communication is carried out according to the Thyracont protocol The commands are sent as ASCII code in the following command frame Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code 1 Byte command parameter upper case character for read command lower case character for write command Data data field max 6 Bytes can be absent depending on code cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 OR Carriage Return 0Dh 13d Data Formats BOOLEAN 1 Byte STRING max 6 Bytes UNSIGNED INT 6 Bytes with leading zeros FLOAT 6 Bytes exponential format 4 Bytes mantissa means mantissa value x 1000 2 Bytes exponent offset 20 FLOAT values are transmitted in hPa mbar Example Value 460016 in a float type data field means 4 6x1 0 mbar I
13. Fall dass der Druckwert unterhalb 1x10 mbar liegt HINWEIS Der Parameter Modus Kaltkathode wird nur tempor r im Ge r t gespeichert Nach Ausfall oder Ausschalten der Span E nungsversorgung befindet sich der VSM72 immer im Modus Kaltkathode aktiv Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code I zum Lesen i zum Schreiben des Parameters Data 1 Byte 1 zum aktivieren 0 zum deaktivieren der Kaltkathode cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Beispiel f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Kaltkathode aktivieren 001ilk n 001ilk n Kaltkathode deaktivieren 001 iOj R 001 iOj R Modus Kaltkathode lesen OO11ZUR 00111 K9g 2 aktiv Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 16 THYRACONT 4 6 Modus Wertangleichung Im VSM72 erfolgt standardm ig ein kontinuierlicher bergang zwischen Pirani und Kaltkathodenbereich Dabei findet eine Wertangleichung statt Um das Verhalten des Messumformers den Prozessanforderungen optimal anzupassen k nnen mit dem Parameter Modus Wertangleichung per RS485 folgende Optionen konfiguriert werden 0 keine Wertangleichung d h hartes Umscha
14. NT 3 2 Vakuumanschluss ACHTUNG Schmutz und Besch digungen insbesondere am Flansch be i eintr chtigen die Funktion dieses Ger tes Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten erforderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Besch digung Staubschutzkappe entfernen wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder ben tigt Vakuumanschluss ber Kleinflansch DN25 ISO KF VSM72MV oder DNAOCF Flansch VSM72MVCF herstellen Bei Verbindung ber Kleinflansch Metall Spannelemente verwenden die sich nur mit einem Werkzeug ffnen und schlie en lassen z B Spannband Spannring Dichtringe mit Zentrierring verwenden Sicherstellen dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerdeten Vakuumkammer metallische Spannelemente Die Einbaulage ist frei w hlbar jedoch kann eine Montage von unten d h mit nach oben gerichtetem Flansch zu vorzeitiger Verschmutzung f hren Zu bevorzugen ist der Einbau von oben d h mit nach unten gerichtetem Flansch damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle ansammeln k nnen Der Messumformer ist in dieser Lage ab Werk justiert ist Bei anderer Einbaulage ist ohne Nachjustierung eine erh hte Messwertabweichung im Druckbereich oberhalb 20 mbar zu erwarten ACHTUNG Das Ger t beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen dies kann zur mechanischen Besch digung f hren WARNUNG Bei berdruck im Vakuumsyst
15. THYRACONT Vacuum Instruments VSM72 Vakuum Messumformer Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions 2 THYRACONT Inhalt 1 Hinweise f r Ihre Sicherheit ssec 3 2 Vakuum Messumformer VSM72 essere nnn nnn nnn 4 2 4 Zur Orientierung eei tco landline 4 2 2 Lieferumfang a a 4 2 3 Produktbeschreibung 4 3 Ha EACUENITSSERET RC ICI 5 3 1 Hinweise zur Installation siena 5 3 2 Vakuumanschluss reter nnne nenne 6 3 3 Elektrischer Anschluss eres 7 3 8 1 Anschluss an Thyracont Anzeigeger te 7 3 3 2 Kundeneigene Spannungsversorgung 8 4 lij meu E 9 AA Allgemelnes sn 9 4 2 Gmhmounikatidddg necu eet a 10 4 2 1 Die serielle Schnittstelle des VSM72 10 4 2 2 Kommunikationsprotokoll 11 4 2 3 Bofehls bersicht serrana 11 4 3 Gasart Korrekturfaktoren eese 13 4 4 Schaltpunkte ssssssssssseeseneenenneee enne nennen 14 4 5 Modus Kaltkathode cccccssssececececeseessseceeeeceseeeseeseeeeeeeeanees 15 4 6 Modus Wertangleichung 16 4 7 Nachjustieren eres 17 4 8 X Ausheizen Elektronik abnehmen sssseeeeess 19 5 Wartung und Service essent 20 6 Technische Daten e
16. The Serial Interface Of The VSM72 e 33 4 2 2 Communication Protocol cssc 34 4 2 3 Survey of Commands sss 34 4 3 Gas Correction Factors a ene 36 4 4 Switchpoints sese 37 4 5 Mode Cold Cathode e 38 4 6 Mode Sensor Transition n 39 4 7 HBeadjustment rennen 40 4 8 Bake Out Detachment of Electronics 42 5 Maintenance and Servi ce 43 6 Technical Data n ana 45 Declaration of Conformity rentes 47 Hersteller Manufacturer Constructeur Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel Stra e 10 D 94036 Passau Tel 49 851 95986 0 Fax 49 851 95986 40 email info thyracont de Internet http www thyracont com 26 THYRACONT Safety Instructions Read and follow the instructions of this manual Inform yourself regarding hazards which can be caused by the product or arise in your system Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with Take account of the ambient conditions when installing your VSM72 The protection class is IP 40 which means the unit is protected against penetration of foreign bodies Adhere to the applicable regulations and take the necessary precautions for the process media used Consider possible reactions between materials an
17. a RS485 5 via RS485 Code unknown check sent telegram code 7 via RS485 logic error command cannot be executed at the moment zero adjustment not possible measurement error exceeds possible range of readjustment send unit for repair 4 THYRACONT Declaration of Contamination THYRACON T ATTENTION This declaration about contamination has to be filled out correctly and must be attached to all vacuum gauges and components which are sent back to us for repair or service Otherwise delays will be the consequence This declaration must be filled out and signed by authorized and qualified staff only 1 Type of Product 2 Reason for Return 3 Used Machinery Materials 4 Harmful Contamination of the Product toxic non corrosive non ricrobiologicai noo explosive not Iredioactive non lother substances noQ 5 Harmful substances and dangerous products of reaction which were in contact with the product Name Chemical Steps in case of First ald in case Manufacturer Identification tego escape of the harm of an accident 6 Legally Binding Declaration guarantee that ali statements in this form are are correct and complete The dispatch of the contaminated products will be arranged according to legal regulations Company Name Street ZIP City Phone Telefax J Email ompany stamp legally binding signature THYRACONT 4 6 Technical Data Measurement Principle H
18. ange electronics units and sensor heads CAUTION Make sure that no moisture or dust can intrude the electronics unit Reco During reassembly pay attention to correct orientation do not twist while attaching This can damage the transducer Means for positioning bolt on the bottom plate of the magnet housing notch at the sensor head THYRACONT 5 Maintenance and Service WARNING 43 Danger of possibly contaminated parts Contaminated parts can cause personal injuries Inform your self regarding possible contamination before you start working Be sure to follow the relevant instructions and take care of necessary protective measures The unit requires no maintenance External dirt and soiling can be removed by a damp cloth Should a defect or damage occur on your VSM72 please send the instrument to us for repair and enclose a decontamination declaration CAUTION The unit is not prepared for customer repair PLEASE NOTE Malfunction of the unit which is caused by contamination or Error messages and malfunction break of filament is not covered by warranty Problem Possible Cause Correction high measurement error contamination ageing extreme temperature maladjustment readjustment 0 5V output signal 1 3V 000000 via RS485 pressure under range pressure lt 1x10 mbar output signal 0 5V defective unit or sensor send unit for repair 1 vi
19. d process media Consider possible reactions of the process media due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit Before you start working find out whether any of the vacuum components are contaminated Adhere to the relevant regulations and take the necessary precautions when handling contaminated parts When returning the unit to us please enclose a declaration of contamination Communicate the safety instructions to other users Pictogram Definition WARNING Danger of an electric shock when touching WARNING Strong magnetic field Danger of personal injury CAUTION Danger of damage to the unit or system PLEASE NOTE Important information about the product it s handling or about a particular part of the documentation which requires special attention THYRACONT 2 2 Vacuum Transducer VSM72 2 1 For Orientation This operating instructions describe installation and operation of products with article numbers VSM72MV VSM72MVCF The article number can be found on the product s type label Technical modifications are reserved without prior notification 22 Delivery Content Included in the delivery consignment are Transducer VSM72 Protective flange cover Operating instructions Available Accessories Measurement cable 2m for connection to VD9 display unit W1506002 Measurement cable 6m for connection to VD9 display unit W1506006 Coun
20. e value in the data field when reading or writing correction factors contains leading zeros and is equal to the 100fold of the factor Range 000020 for 0 20 bis 000800 for 8 00 Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read gas correction factor 2 001C2F g 001C000240z a gt c2 2 40 Unlock gas correction factor 1 001c1e R 001cle n Set gas correction factor 1 001c000057 s 001c000057 g to 0 57 Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 THYRACONT 44 Switchpoints The VSM72 provides 2 independent potential free relay switchpoints These are available as change over switches at the connector according to the pin assignmentals described in chapter 3 3 2 The switches are active below the corresponding pressure setpoints The control LEDs at the connector side of the VSM72 are on then The hysteresis is fixed to 30 from the setpoint value e 2 e a 2 Hysteresis Switc hposnt switching function off Time The programming of both setpoints is done via RS485 interface Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code S for reading s for writing setpoints Data Query to read or unlock 1 Byte 1 for setpoint 1 relay A 2 for setpoint 2 relay B Read or write setpoint 6 Byte
21. eat conduction Pirani Cold Cathode inverted magnetron Measuring Range 1000 5x10 mbar 750 5x10 Torr Max Overload 4 bar abs Accuracy 1000 20mbar ca 30 f r from reading 20 0 001mbar 10 f r 0 001 10 mbar 25 f r Materials with vacuum stainl steel 1 4301 tungsten nickel glass contact molybdenium Anode Material molybdenium Anode Voltage lt 2 b kV Operating Temperature 5 50C 4 THYRACONT Storage Temperature 20 70 Bake Out temperature max 1500 at the flange when electronics is detach ed Voltage Supply 19 30 VDC Output Signal 0 10 VDC measuring range 1 8 8 6 VDC logarithmic Serial Interface RS485 9600 baud 8 databit 1 stopbit no parity Electrical Connection Sub D 15 pole male lockable Vacuum Connection VSM72MV small flange DN25 ISO KF VSM72MVCF conflat flange DN40 CF Dimensions 132 x 70 mm VSM72MV THYRACONT 4 Declaration of Conformity CC Erkl rung ber die Konformit t Diese Erkl rung gilt f r folgend bezeichnete Erzeugnisse Ger teart Vakuum Messumformer Typenbezeichnung VSM72MV VSM72MVCF Zertifikat Nr 267372 Hiermit wird best tigt dass die Produkte den wesentlichen entsprechen die in den Richtlinien des Rates zur Angleichung der Mitgliedstaaten ber dio Vertr glichkeit 2004 108 EG festgelegt sind 94036 Passau Germany Die Messungen wurden in akkreditierten Labors durchgef hrt Zur Beurteilung der Erzeugnisse elektromag
22. em 1 bar Versehentliches ffnen von Spannelementen kann zu Verlet zungen durch herumfliegende Teile f hren Ungesicherte Schlauchverbindungen k nnen sich l sen und Ge sundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien herbei f hren WARNUNG Bei berdruck im Vakuumsystem 1 5 bis 4 bar Bei KF Flanschverbindungen k nnen Elastomer Dichtringe dem Druck nicht mehr standhalten Dies kann zu Gesundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien f hren THYRACONT 3 3 Elektrischer Anschluss 3 3 1 Anschluss an Thyracont Anzeigeger te Wird der Messumformer an einem Thyracont Anzeigegerat betrieben ist ein geeignetes Messkabel zu verwenden siehe Zubeh r ACHTUNG Anschluss des Messumformers niemals mit Spannung f hren dem Kabel herstellen Stecker am Messumformer einstecken und mit Schrauben sichern Gegen ber liegenden Stecker am Anzeigeger t anstecken und sichern Erst danach Spannungsversorgung am Anzeigeger t herstellen bzw einschalten 7 8 THYRACONT 3 3 2 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Messumformer kann auch mit anderen Anzeigeger ten oder kundeneigener Spannungsversorgung betrieben werden Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV gerecht gem untenstehender Pinbelegung herzustellen Stecker Typ SubD PIN 1 15polig m nnlich Lika PN2 i Pin 1 Identifikation Ns V ou P
23. icht berschreiten H here Ausheiztemperaturen bis maximal 150 am Flansch k nnen realisiert werden wenn Sie die Elektronikeinheit und den Magneten des Messumformers vor dem Ausheizen des Sensors abnehmen Hierzu l sen Sie wie abgebildet die beiden Madenschrauben und ziehen die Elektronik Einheit gerade und ohne Drehbewegung nach hinten ab Die Magnet Einheit ebenfalls gerade nach hinten abziehen bo ACHTUNG Messumformer vor dem Abstecken der Elektronik Einheit von der Versorgungsspannung trennen Elektroniken und Sensork pfe nicht untereinander vertauschen ACHTUNG Es darf keinesfalls Feuchtigkeit oder Staub in die Elektronik Einheit gelangen ACHTUNG Beim Montieren auf die Orientierung achten und nicht verdre hen Dies kann zu Sch den am Ger t f hren Positionierhilfen Stift auf Unterseite der Magnet Einheit Nut am Sensorkopf 2 THYRACONT 5 Wartung und Service WARNUNG Vorsicht bei kontaminierten Teilen Es kann zu Gesundheitssch den kommen Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontami nation Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gigen Vorschriften und Schutzma nahmen Das Ger t ist wartungsfrei u erliche Verschmutzungen k nnen mit einem feuchten Tuch beseitigt werden Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem VSM72 auftreten senden Sie das Ger t bitte mit einer ausgef llten Kontaminationserkl rung siehe n chste Se
24. in 2 Signal Output 0 10 VDC t p Pin 3 AGND 100n ae 20 30VDC Pin 4 Voltage Supply 24 VDC PINS l Pin 5 Supply GND iik 2 GNDO Pin6 Relay A N O PIN 12 m gt Pin 7 Relay A Common E 1 Pin8 Relay A N C u Ping PING am gt Pin 10 RS485 4 Pin 11 RS485 oe ua V Pin 12 Shield PING Pin 13 Relay B N O BNS Pin 14 Relay B Common Pin 15 Relay B N C PIN 10 gt a PINT _ RS485 PIN13 _ PIN 14 m RINAS HINWEIS Wir empfehlen Abschirmung Pin 12 und Speisungserde Pin5 beim Speiseger t mit Erdung zu verbinden Falscher Anschluss oder unzul ssige Versorgungsspannung k nnen zu Sch den am Messumformer f hren THYRACONT 3 4 Betrieb 4 1 Allgemeines Messprinzip Der Vakuum Messumformer VSM72 besitzt eine interne Kombination aus Piranisensor der die W rmeleitf higkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt und einem Kaltkathoden lonisationssensor invertiertes Magnetron Beim W rmeleitungssensor wird ein Wendel Filament im Pulsbetrieb bis zu einem bestimmten Temperatur Schwellwert aufgeheizt Die notwendige Aufheizzeit ist ein Ma f r den Absolutdruck Der Kaltkathoden Sensor erzeugt in einer Gasentladung ionisiert Gasmolek le Der gemessene lonenstrom ist ein Ma f r die Anzahl der vorhandenen Gasmolek le und somit f r den Absolutdruck Ausgangssignal Das Mess Signal 1 8 8 6 V des VSM72 ist ber den gesamten Messbereich von 5x10 1000 mbar logarithmisch vom
25. ite zur Reparatur an uns ACHTUNG Das Ger t ist nicht zur kundenseitigen Reparatur vorgesehen HINWEIS Fehlfunktionen des Ger tes die auf Verschmutzung oder Fehlersignal und St rungen Wendelbruch zur ckzuf hren sind fallen nicht unter die Ge w hrleistung Problem M gliche Ursache Behebung Messwertabweichung zu gro Alterung Verschmutzung extreme Temperaturen falsche Justierung Nachjustieren 0 5V lt Mess Signal lt 1 3V 000000 via RS485 Messbereich unterschritten Druck lt 1x10 mbar Mess Signal lt 0 5V Ger t oder Sensor defekt Ger t einschicken 1 via RS485 5 via RS485 Code unbekannt gesendeten Telegramm Code pr fen 7 via RS485 logischer Fehler Bearbeitung des gesendeten Befehls ist momentan nicht m glich Nachjustieren des Pirani Nullpunkts nicht m glich Messwertabweichung ber steigt den Justierbereich Ger t einschicken THYRACONT 21 ACHTUNG Diese Kontaminierungserkl rung muss korrekt und vollst ndig ausgef llt allen Vakuumger ten und komponenten beigelegt werden die Sie zur Reparatur oder Wartung an uns zur cksenden Ansonsten kommt es zu einer Verz gerung der Arbeiten Diese Erkl rung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef llt und unterschrieben werden Kontaminierungserkl rung THYRACONT 2 Grund f r die Einsendung 3 Verwendete s Betriebsmittel 4 Einsat
26. itzt das Ger t eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Daten bertra gung siehe Kapitel 4 2 Das Ger t ist mit einem metallgedichteten Kombinationssensor des Typs Pirani Kaltkathode invertiertes Magnetron ausger stet und temperaturkompensiert Es kann an geeignete Flanschverbindungen angeschlossen werden THYRACONT 5 Bestimmungsgem e Verwendung Das VSM72 dient ausschlie lich der Totaldruckmessung im Bereich 1000 5x10 9 mbar Es darf nur an geeignete und hierf r vorgesehene Komponenten angeschlossen werden Nicht bestimmungsgem e Verwendung Als nicht bestimmungsgem gilt der Einsatz zu Zwecken die von oben genannten abweichen insbesondere der Anschluss an Ger te oder Komponenten die laut ihrer Betriebs anleitung hierf r nicht vorgesehen sind der Anschluss an Ger te die ber hrbare Spannung f hrende Teile aufweisen Bei nicht bestimmungsgem Bem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hrleistungsanspruch Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber 3 Installation 3 1 Hinweise zur Installation WARNUNG Starkes Magnetfeld Das Ger t enth lt starke Permanentmagnete WARNUNG Keine eigenmachtigen Umbauten oder Veranderungen am Gerat vornehmen Aufstellungsort Innenr ume F r nicht vollklimatisierte Betriebsr ume gilt Temperatur 50 450 Rel Luftfeuchte 5 85 nicht betauend Luftdruck 860 1060 hPa 6 THYRACO
27. j1I g atmosphere pressure Adjust on atmosphere pressure 001j100023a a 001j100023a a Before writing the parameters c correction factor s setpoint and J adjustment you must activate them by sending the corresponding unlock command 38 THYRACONT 4 3 Gas Correction Factors The output signal of the VSM72 depends on type and composition of the gas being measured The unit is adjusted for N and dry air For other gases the pressure display can be corrected below 0 1 mbar by setting correction factors for both sensor types via RS485 The measurement results of both sensors are then individually multiplied with the corresponding correction factors by the units microcontroller The VSM72 can thereby provide a corrected pressure signal as analog and digital output Correction factor 1 Pirani Ar 1 6 CO 0 89 He 1 0 Ne 1 4 co 1 0 H2 0 57 N2 1 0 Kr 2 4 Correction factor 2 Cold Cathode Ar 0 80 H2 2 4 N2 1 0 Kr 0 6 CO2 0 74 He 5 9 Ne 3 5 Xe 0 41 Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code C for reading c for writing a correction factor Data Query to read or unlock 1 Byte 1 for correction factor Pirani 2 for correction factor cold cathode read or write 6 Byte unsigned int cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 OR Carriage Return 0Dh 13d Th
28. lten zwischen Pirani und Kaltkathode bei 1 0 x10 mbar 1 Wertangleichung im Bereich 1 0 2 0x10 mbar Standard Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code W zum Lesen w zum Schreiben des Parameters Data 6 Bytes 000001 Wertangleichung 000000 harte Umschaltung cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 OR Carriage Return ODh 13d Beispiel f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Modus Wertangleichung setzen 001w000001i R 001w000001i auf Wertangleichung Modus Wertangleichung lesen 001Wh g 001W000001 a gt Wertangleichung Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 THYRACONT 17 4 7 Nachjustieren Das Ger t ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend d h mit dem Flansch nach unten abgeglichen Andere Einbaulagen Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen extreme Temperaturschwankungen Alterung oder Verschmutzung k nnen ein Nachjus tieren des Piranisensors erforderlich machen Nachjustieren am Ger t Ein Nachjustieren auf Atmosph rendruck oder Nulldruck ist digital ber den Taster adj adjust m glich Der Messumformer erkennt automatisch um welchen Justierpunkt es sich handelt HINWEIS Beim Nullabgleich sollte der Ist Druck
29. netischer Vertr glichkeit wurden folgende Normen herangezogen DIN EN 61326 1 2006 10 DIN EN 55011 2003 08 Klasse B DIN EN 61000 4 2 2001 12 DIN EN 61000 4 3 2003 11 DIN EN 61000 4 4 2002 07 DIN EN 61000 4 6 2001 12
30. nisi nennen nannten 22 Konformit tserkl rung sessseeeeeneeennennnen 24 Hersteller Manufacturer Constructeur Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel StraBe 10 D 94036 Passau Tel 49 851 95986 0 Fax 49 851 95986 40 email info thyracont de Internet http www thyracont com THYRACONT 1 Hinweise f r Ihre Sicherheit gt Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung gt Informieren Sie sich ber Gefahren die vom Ger t ausgehen und Gefahren die von Ihrer Anlage ausgehen gt Beachten Sie die Sicherheits und Unfall Verh tungsvorschriften gt Pr fen Sie regelm ig die Einhaltung aller Schutzma nahmen gt Installieren Sie das VSM72 unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedin gungen die Schutzart ist IP40 d h die Ger te sind gesch tzt gegen Eindringen von Fremdk rpern gt Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschl gigen Vorschriften und Schutzma nahmen gt Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien gt Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der Eigener w rmung des Produkts gt Ger t nicht eigenm chtig umbauen oder ver ndern gt Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontamination gt Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gigen Vorschriften und Schutzma nahmen gt Legen Sie beim Einsenden des Ger
31. nterface Parameter 9600 baud 8 data bits 1 stopbit no parity 4 2 3 Survey of Commands The transducer responds to type queries measurement queries adjustment commands and commands for setting gas correction factors chapter 4 3 Programming of the two relay switchpoints is also done via RS485 chapter 4 4 Further special parameters can be configured which determine the general behaviour of the sensors see chapter 4 5 and 4 6 Survey of Commands THYRACONT 3 Type T STRING read VSM72 VSH208 Measurement Value M FLOAT read Setpoint S s FLOAT read S write s VSM72 SP1 and SP2 Gas Correction Factor C c UNSIGNED INT read C write c VSM72 C1 for Pirani C2 for cold cathode Mode Cold Cathode Li BOOLEAN read I write i Mode W w UNSIGNED INT read W write w Sensor Transition Pressure Adjustment j FLOAT write Examples for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read type 001Te g 001TVSH208p a Read pressure measurement 001M g 001M260014K 4 gt 2 6x10 6 mbar Read setpoint 2 001S2V 001S4000160 gt 4 0x10 4 mbar Unlock setpoint 2 001s2v R 001s2v R Set setpoint 2 to 4 2x10 4 mbar 001s420016q a 001s420016q a Unlock gas correction factor 1 001cle n 001cle n Set gas correction factor 1 001c000120W g 001c000120W g to 1 20 Unlock adjustment for 001j1I g 001
32. odifications or conversions of the instrument are not allowed Installation location Indoor For not fully air conditioned open buildings and operation rooms Temperature 50 450 Rel Humidity 5 85 not condensing Air pressure 860 1060 hPa THYRACONT 29 3 2 Vacuum Connection CAUTION Dirt and damage especially at the vacuum flange have an ad verse effect on the function of this vacuum component Please take account of the necessary instructions with regard to cleanliness and damage prevention when using vacuum compo nents Remove the protective cover is required again during maintenance work Make vacuum connection via small flange DN25 ISO KF VSM72MV or conflat flange DN40CF VSM72MVCF Use clamps that can be opened and closed with appropriate tools only e g strap retainer tension ring use sealing rings with a centering ring Make sure that the sensor flange is connected to ground e g by having electrical contact to the grounded vacuum chamber use metallic clamps The transducer may be mounted in any orientation Mounting with the flange to the top however can lead to early contamination An upright orientation with flange to the bottom is to be preferred in order to keep particles and condensates out of the sensor cell Further the transducer is adjusted in the upright position ex works Different orientation without readjustment will lead to reduced accuracy at pressures above 20 mba
33. other suitable tool 2 Afterwards insert the rubber cap again THYRACONT 41 Readjustment via RS485 Readjustment on atmosphere or zero pressure is also possible by means of software commands via RS485 interface To avoid unintended adjustment the corresponding adjustment point for atmosphere or zero pressure must be unlocked before the actual adjustment can be performed Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Unlock adjustment point for 001j1l g 001j1l g atmosphere pressure Adjustment on atmosphere 001j100023a a 001j100023a n Unlock adjustment point for 001j0k g 001j0k R zero pressure Adjustment on zero 001j100016c R 001j100016c Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 2 THYRACONT 4 8 Bake Out Detachment of Electronics When a bake out of the vacuum chamber is performed the temperature at the sensor flange must not exceed 80 Higher bake out temperatures up to 1500 at the sen sor flange can be realized if the electronics unit and the magnets of the transducer are detached For this purpose unlock the two grub screws as shown below and pull the electronics unit straight and without twisting off the flange Then pull off the magnets too CAUTION The transducer must be disconnected from voltage supply before detaching the electronics unit Do not interch
34. r CAUTION WARNING WARNING When mounting the transducer avoid forced twisting or violent opening This can damage the VSM72 Overpressure in the vacuum system gt 1 bar Accidental or unintended opening of clamp elements under stress can lead to injuries due to parts flying around Unsecured hose connections can release process media thus can leak and possibly damage your health Overpressure in the vacuum system 1 5 to 4 bar KF flange connections with elastomer sealings cannot withstand such pressures Process media thus can leak and possibly damage your health 3 THYRACONT 3 3 Electrical Connection 3 3 1 Operation With Thyracont Display Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control unit a suitable measurement cable must be used See accessories CAUTION Do not connect or disconnect the transducer when the cable is on circuit Connect the cables plug to the transducer and secure it with the screw Connect the other end of the cable to the display unit and secure the plug Only now connect your display unit to mains power or switch it on respectively 3 3 2 Operation With Other Supply And Evaluation Units THYRACONT s The transducer can be operated with other customer related display units or voltage supplies The electrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below Socket Type SubD
35. rung gilt f r folgend bezeichnete Erzeugnisse Ger teart Vakuum Messumformer Typenbezeichnung VSM72MV VSM72MVCF Zertifikat Nr 267372 der Rechtsvorschriften der Mitgliedstaaten ber die elektromagnetische Vertr glichkeit 2004 108 EG festgelegt sind Diese Erkl rung wird abgegeben durch Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel Str 10 94036 Passau Germany Die Messungen wurden in akkreditierten Labors durchgef hrt adote re be Erzeugnisse hinsichtlich elektromagnetischer Vertr glichkeit wurden folgende Normen herangezogen DIN EN 61326 1 2006 10 DIN EN 55011 2003 08 Klasse B DIN EN 61000 4 2 2001 12 DIN EN 61000 4 3 2003 11 DIN EN 61000 4 4 2002 07 DIN EN 61000 4 6 2001 12 Passau 25 07 2007 Datum Od le THYRACONT 3 Content 1 Safety Instructions 26 2 Vacuum Transducer VSMI 27 2 1 For Orientation ccce 27 2 2 Delivery Content nennen 27 2 3 Product Descriphhhe iuueni 27 3 IrnstallatlOn 3 e cinivxe ei cune nono xn n Cen rRe nnus An ck e cp Ou Meu a A RE DER adean 28 3 1 Notes for Installation 28 3 2 Vacuum Connection nnne 29 3 3 Electrical Connection e nnn 30 3 89 1 Operation With Thyracont Display Unit 30 3 8 2 Operation With Other Supply And Evaluation Units 31 4 Operation uiii en EAEE eaU EEES 32 4 1 GEMS sic EEE 32 42 Communication aan ad as ad ee aad x bc dg 33 4 2 1
36. terplug 15pole XB1500002 2 3 Product Description The VSM72 vacuum transducer is measuring total pressure in the range of 1000 5x10 mbar The transducer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units in compliance with pin assignment The analog output signal 1 8V 8 6V has a logarithmic dependence on pressure over the whole range In addition the device has a serial RS485 interface for digital data transfer see chapter 4 2 The transducer is equipped with a metal sealed combination sensor type Pirani Cold Cathode inverted magnetron and temperature compensated It can be mounted to suitable flange connectors 2 THYRACONT Proper Use The VSM72 serves exclusively to provide total pressure measurements in the range 1000 5x1 0 mbar It may only be connected to components specifically provided for such purpose Improper Use The use for purposes not covered above is regarded as improper in particular the connection to components not allowed for in their operating instructions the connection to components containing touchable voltage carrying parts No liability or warranty will be accepted for claims arising from improper use The user bears the responsibility with respect to the used process media 3 Installation 3 4 Notes for Installation WARNING Strong magnetic field The gauge contains strong permanent magnets WARNING Unauthorized m
37. thmic dependence on pressure over the whole measurement range 5x10 1000 mbar Conversion of voltage signal and pressure is done according to the following formula Vour V 0 6 log p mbar 6 8 p mbar 10 Vout 68 06 Serial Interface RS485 The measured absolute pressure can be read out digitally via the transducers serial RS485 interface Additionally you can set various parameters like gas correction factors or setpoints For further information see chapter 4 2 communi cation Warm Up Time The signal output of VSM72 is available immediately after the unit is switched on To take advantage of the maximum accuracy of the unit it is appropriate to allow for stabilization time of 2 minutes especially when extreme pressure changes have occurred Accuracy The unit is adjusted ex works in upright position and at 24V voltage supply Through contamination ageing extreme climatic conditions or different mounting orientation the need for readjustment may arise Accuracy is reduced in the range above 20mbar THYRACONT 3 Dependence On Gas Type The output signal depends on composition and type of the gas being measured The unit is adjusted for Nz and dry air For other gases the pressure display can be corrected below 0 1 mbar by setting correction factors for both sensor types via RS485 see chapter 4 2 and 4 3 4 2 Communication 4 2 1 The Serial Interface Of The VSM72 The VSM72 transducer is equipped with a serial RS4
38. uck Justieren auf Atmospharendruck Unlock Gasart Korrekturfaktor 1 001c1e g 001c1e g Gasart Korrekturfaktor 1 001c0001 20WR 001c0001 20WR auf 1 20 setzen Unlock Justierpunkt f r 001j1I R 001j1I R 001j100023a R 001j100023a R Vor dem Schreiben der Parameter c Korrekturfaktor s Schaltpunkt und j Justierpunkt m ssen diese zun chst mit einem Unlock Befehl freigeschaltet werden THYRACONT 5 4 3 Gasart Korrekturfaktoren Das Mess Signal des VSM72 ist gasartabh ngig Das Ger t ist auf N2 bzw trockene Luft abgeglichen F r andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0 1 mbar korrigiert werden indem Korrekturfaktoren f r beide Sensortypen via RS485 gesetzt werden Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Ger t jeweils mit den entsprechenden Korrekturfaktoren multipliziert so dass am analogen und digitalen Ausgang des Messumformers ein korrigiertes Mess Signal zur Verf gung steht Korrekturfaktor 1 Pirani Ar 1 6 CO 0 89 He 1 0 Ne 1 4 co 1 0 H2 0 57 N2 1 0 Kr 2 4 Korrekturfaktor 2 Kaltkathode Ar 0 80 H2 2 4 N2 1 0 Kr 0 6 CO2 0 74 He 5 9 Ne 3 5 Xe 0 41 Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code C zum Lesen c zum Schreiben des Korrekturfaktors Data Leseanfrage oder Unlock 1 Byte 1 f r Korrekturfaktor Pirani 2 f r Korrekturfaktor Kaltkathode Wert lesen oder schreiben
39. zbedingte gesundheitsgef hrdende Kontaminierung des Produkts toxisch nein atzend nein nein explosiv nein radioaktiv nein sonst Schadstoffe nein 5 Schadstoffe und prozessbedingte gef hrliche Reaktionsprodukte mit denen das Produkt in Kontakt kam 6 Rechtsverbindliche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben in diesem Vordruck korrekt und vollst ndig sind Der Versand des kontaminierten Produkts erfolgt gem den gesetzlichen Bestimmungen Firma institut Ni Stra e PLZ Ort Telefon Telefax Email Firmen pel rechtsverbindiche Unterschrift 2 THYRACONT 6 Technische Daten Messprinzip W rmeleitf higkeit Pirani Kaltkathode invertiertes Magnetron pesabergieh 1000 5x10 mbar 750 5x10 Torr Max berlast 4 bar abs Genauigkeit 1000 20 mbar ca 30 f r v Messwert 20 0 001 mbar 10 f r 0 001 107 mbar 25 f r Materialien mit Edelstahl 1 4301 Wolfram Nickel Glas Molybd n Vakuumkontakt Anodenmaterial Molybd n Anodenspannung 2 5 kV THYRACONT z Messbereich 1 8 8 6 VDC logarithmisch Serielle Schnittstelle RS485 9600 baud 8 databit 1 stopbit no parity Elektrischer Anschluss Sub D 15 polig m nnl verschraubbar Vakuumanschluss VSM72MV Kleinflansch DN25 ISO KF VSM72MVCF Conflat Flansch DN40 CF 24 THYRACONT Konformit tserkl rung CC Erkl rung ber die Konformit t Diese Erkl
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