COOLVAC Basic Line
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1. dislocatore Si consiglia di sostituire l intero dislocatore del rigeneratore nella testa fredda dopo 9000 ore di funzionamento Questa operazione pu essere effettuata solo da Oerlikon Leybold Vacuum Service o da personale adeguatamente addestrato Oerlikon Leybold Vacuum ha corsi pratici per la manutenzione la ripara zione e la risoluzione dei problemi di criopompe e altri componenti crio tecnici Ulteriori dettagli sono disponibili su richiesta Attenzione Lavori di manutenzione eseguiti non correttamente sono un pericolo per la sicurezza la durata di servizio e la funzionalit e possono invalidare la garanzia 5 1 Service di Oerlikon Leybold Vacuum Ogni volta che si inviano attrezzature indicare se il materiale contamina Contaminazione to o privo di sostanze che potrebbero rappresentare un rischio per la salute Se contaminato specificare esattamente quali sono le sostanze coinvolte necessario utilizzare il modulo che abbiamo preparato a questo scopo Modulo Una copia del modulo stato riprodotto alla fine di queste istruzioni Dichiarazione di contaminazione per compressori pompe da vuoto e com ponenti in inglese Declaration of Contamination for Compressors Vacuum Pumps and Components Un altra forma idonea disponibile su internet www oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum Documentation Download Documents Allegare il modulo al materiale o racchiuderlo con l apparecchiatura Que2. il metodo pi veloce e pi efficace e perch il carbone attivo sulle superfici della pompa non viene saturato da vapore acqueo La durata di una rigenerazione dipende dalle dimensioni della pompa e da durata quantit e tipo di gas pompato Essa deve essere determinata volta per volta per ciascuna applicazione facendo delle prove Durante la rigenerazione rispettare tutte le norme di sicurezza Attenzione GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 25 Funzionamento Fig 4 5 Rigenerazione prima e seconda fase Chiudere la valvola di alto vuoto V1 Spegnere la criopompa sull unit compressore Cautela La temperatura massima ammissibile sulle superfici della pompa di 50 122 F In caso di riscaldamento frequente come avviene durante la rigenerazione limitare la temperatura a 30 86 F nel primo stadio e a 40 C 104 F nel secondo stadio Accendere la pompa di prevuoto ma mantenere la valvola V2 chiusa La pressione nella criopompa aumenta a causa del desorbimento di gas Quando raggiunge 1 mbar aprire la valvola di prevuoto V2 e la valvola di bloccaggio V5 max pressione nella pompa La pressione nella criopompa non deve superare i 1100 mbar A pressioni maggiori la valvola di sicurezza si apre Nella COOLVAC 800 BL UHV si rompe invece il disco di rottura a circa 1500 mbar e va quindi sostituito vapore acqueo Quando si libera vapore acqueo durante il processo di ri
3. 49 0 221 347 1439 Fax 49 0 221 347 1945 service vacuum kn oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Mobil Customer Service Emil Hoffmann Strasse 43 D 50996 Cologne Suerth Phone 49 0 221 347 1765 Fax 49 0 221 347 1944 service vacuum kn oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum Dresden GmbH Zur Wetterwarte 50 Haus 304 D 01109 Dresden Service Phone 49 0 351 88 55 00 Fax 49 0 351 88 55 041 info vacuum dr oerlikon com 09 08 Oerlikon 5700 Mellon Road LV_09869_2008 USA Export PA 15632 Phone 1 724 327 5700 Fax 1 724 325 3577 info vacuum ex oerlikon com Europe Belgium Oerlikon Leybold Vacuum Nederland B V Belgisch bijkantoor Leuvensesteenweg 542 9A B 1930 Zaventem Sales Phone 32 2 711 00 83 Fax 32 2 720 83 38 sales vacuum zv oerlikon com Service Phone 32 2 711 00 82 Fax 32 2 720 83 38 service vacuum zv oerlikon com France Oerlikon Leybold Vacuum France S A 7 Avenue du Qu bec Z A Courtaboeuf 1 B P 42 F 91942 Courtaboeuf Cedex Sales and Service Phone 33 1 69 82 48 00 Fax 33 1 69 07 57 38 sales vacuum or oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum France S A Valence Factory 640 Rue A Berg s B P 107 F 26501 Bourg l s Valence Cedex Phone 33 4 75 82 33 00 Fax 33 4 75 82 92 69 info vacuum vc oerlikon com Great Britain Oerlikon Leybold Vacuum UK Ltd Unit 2 Silverglade Business Park Leatherhead Road UK Chessington Surrey KT9 2Q
4. GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 5 Informazioni di sicurezza Rigenerazione di criopompe Criopompe prive di un sistema di rigenerazione elettrico Le criopompe sono riscaldate fino a temperatura ambiente con un flusso secco pre riscaldato di gas inerte azoto argon al loro interno In tal caso le temperature nella criopompa non possono essere fissate e controllate definitivamente Per questo motivo pu accadere che gas come idrogeno e ossigeno siano contemporaneamente nella pompa Attenzione La formazione di miscele esplosive di gas sar impedita esclusivamente dalla diluizione con il gas inerte secco La prima cifra di un riferimento 3 1 2 ad esempio il numero di figura la seconda cifra il suo numero di una voce in questa figura Ci riserviamo il diritto di modificare il progetto e i dati specificati Le figure non sono vincolanti 6 GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Descrizione 1 Descrizione Le criopompe sono pompe ad alto vuoto che rimuovono gas e vapori dalla camera a vuoto tramite condensazione e adsorbimento su superfici molto fredde Per far funzionare una criopompa COOLVAC sono necessari un gruppo compressore linee flessibili e una pompa di prevuoto Il gruppo compres sore fornisce alla criopompa gas elio compresso per la generazione delle basse temperature La pompa di prevuoto impiegata per evacuare la crio pompa fino alla sua pressione di partenza e
5. Quando sono pompati azoto ossigeno e idrocarburi la temperatura del temperatura secondo stadio della testa fredda dovrebbe essere inferiore a 23 K per l drogeno dovrebbe essere inferiore a 18 K m La criopompa deve essere rigenerata quando la temperatura del rigenerazione secondo stadio della testa fredda supera i valori indicati o quando la pressione finale della pompa aumenta La vita utile di una criopompa fino a quando sar necessaria la rigene razione pu essere stimata 1 Funzionamento a pressione costante Quando il flusso di gas nella camera a vuoto mantenuto a un livello costante e quando la pressione di esercizio mantenuta abbastanza costante vale quanto segue C c S p Capacit Vita utile Velocit di pompaggio pressione di funzionamento Esempio Una COOLVAC 10 000 deve pompare argon a 10 mbar Car 9000 bar l Sar 47000 I s 5500 8400 1577 10 mbar 5500 bar l s 8 400 40 10 bar t 65476195 76 giorni GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 23 Funzionamento p lt pressione crossover Fig 4 4 Funzionamento 2 Funzionamento ciclico Quando la camera a vuoto viene pompata a partire dal valore di crossover fino alla pressione finale di ciascun caso si applica quanto segue VERE Capacit Numero di cicli Valore di crossover Esempio Una COOLVAC 10 000 pompa argon da una camera a vuoto a partire dal valore di crossover ogni volta fino a
6. at tivo si saturato di acqua dall applicazione il prevuoto pu richedere fino a 12 ore In tali casi consigliamo di riscaldare le superfici della pompa duran te il prevuoto con i riscaldatori di rigenerazione Per fare ci la temperatu ra dei criopannelli non deve superare 315 K Fate funzionare la pompa di prevuoto con la zavorra di gas tempo di prevuoto Per il prevuoto chiudere la valvola da alto vuoto V1 e le valvole di prevuoto V2 e V3 Pompare la criopompa attraverso la linea di bypass 3 1 183 Chiudere la linea di bypass a circa 1 mbar aprire la valvola di prevuoto V2 ed evacuare la criopompa attraverso la trappola di adsorbimento 3 1 3 si veda la Fig 4 1 Non appena si raggiunge la pressione di partenza chiudere la valvola V2 e accendere la criopompa come spiegato nella Sezione 4 1 3 Cautela Se non stata installata alcuna trappola di adsorbimento la valvola di prevuoto V2 deve essere chiusa a una pressione p lt 4 10 mbar poich potrebbero penetrare dei vapori di olio nella criopompa Chiudere la valvola di bloccaggio V5 Aprire la valvola di prevuoto V3 e iniziare ad evacuare la camera a vuoto 18 GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funzionamento V4 x A V3 v1 x Za V Valvola aperta A v Valvola chiusa A Fig 4 1 Pompaggio della criopompa prima e seconda fase 4 1 2 Cottura della camera a vuoto La cottura bakeout necessaria per raggiungere pressione nel re
7. di gas a seguito del riscal damento incontrollato della pompa La pressione di accensione per le miscele H2 O2 130 mbar perci la pressione totale per questa miscela di gas deve essere mantenuta al di sotto di questo valore Come alternativa il Laboratorio Lawrence Livermoore raccomanda di tenere la pressione parziale di idrogeno inferiore a 17 mbar Questo assicura che nessuna miscela esplosiva H O si possa formare Le misure di sicurezza devono essere rispettate anche rispetto al sistema di prevuoto In esso durante la pre evacuazione e la rigenerazione i gas compressi sono a pressione atmosferica Norme di sicurezza In conformit alle norme di sicurezza vigenti quando si trattano gas pericolosi devono essere indicate le seguenti classi di rischio Gas o miscele di gas infiammabili A Gas o miscele di gas esplosivi Gas tossici Gas aggressivi corrosivi A Quando si utilizzano gas infiammabili corrosivi tossici effettuare un test in conformita alle norme per recipienti a pressione prima della messa in servizio del sistema Le criopompe che sono state usate per pompare gas pericolosi devono Attenzione essere adoperate solo da persone che hanno familiarit con la gestione delle sostanze pericolose e che hanno familiarit con le misure di sicurezza opportune Nell Unione europea l operatore deve avere superato un esame in conformit con la direttiva europea 97 23 CE sulle attrezzature a pressione
8. la rigenerazione di gas non infiammabili Attenzione Il modello standard della COOLVAC non adatto per processi dove m si sviluppano o sono generati gas corrosivi m Si sviluppano gas che possono formare miscele infiammabili durante la rigenerazione m si sviluppa ossigeno in concentrazione superiore a quella atmosferica 3 2 Installazione della criopompa nel sistema valvola gate di alto vuoto Si consiglia di installare una valvola gate da alto vuoto o da ultra alto vuoto tra la criopompa e la camera a vuoto La valvola gate deve essere collegata elettricamente in modo da chiudersi automaticamente quando la criopompa si spegne Una valvola gate da alto vuoto riduce il tempo di preparazione del sistema Con questa valvola chiusa la criopompa pu prima essere evacuata fino alla sua pressione di partenza e la camera a vuoto pu essere successivamente pompata fino alla pressione di raccordo pressione di cross over durante il raffreddamento Inoltre la valvola gate pu essere chiusa durante la rigenerazione della criopompa in modo che la camera a vuoto sia costantemente a bassa pressione e non debba essere ventilata Una valvola gate da alto vuoto indispensabile durante le operazioni di servizio La criopompa con la sua flangia da alto vuoto pu essere installata sulla priemadone camera a vuoto con qualsiasi orientazione Lasciare spazio sufficiente tra il sistema e il motore della testa fredda per lavori di manutenz
9. per evacuare la camera a vuo to fino alla pressione di raccordo Inoltre utilizzata per rigenerare la crio pompa 1 1 Costruzione e Funzionamento Nelle criopompe i gas e i vapori sono trattenuti su superfici molto fredde gas non sono pompati attraverso la criopompa ma rimangono all interno della pompa All aumentare della saturazione dei gas condensati e adsorbiti nella pom pa la temperatura delle superfici della pompa aumenta e la velocit di pompaggio crolla Occorre quindi rigenerare le criopompe ad intervalli regolari in modo da eliminare il gas intrappolato Le basse temperature sono generate in un testa fredda a due stadi Questa collegata a un compressore tramite un paio di linee flessibili La criopompa dotata di un diodo di silicio che funge da sensore di temperatura nel secondo stadio della testa fredda Riscaldatori di rigenerazione A seconda del comando la criopompa dotata di riscaldatori di rigenera zione con interruttori di temperatura che spengono la tensione di riscalda mento quando viene raggiunta la massima temperatura ammissibile 1 2 Specifiche Standard Le flange vengono oscurate con tappi in plastica per la spedizione Non sono inclusi con la criopompa gli elementi di fissaggio e le guarnizioni per la flangia di alto vuoto Non sono inclusi con la criopompa gli elementi di fissaggio e le guarnizioni per le flange che non sono munite di componenti come passanti di corren te protezioni d
10. tuttavia costi tuire un pericolo Inoltre noto che in determinate circostanze miscele di H con o di H2 con aria per esempio possono essere infiammabili e potrebbero esplodere Miscele di CO con aria di CO con e di CH con O possono anch esse presentare simili propriet Potenziali fonti esterne di accensione possono essere date da componenti elettrici come misuratori di vuoto a ionizzazione unit di misura di pressione riscaldate e non chiuse e riscaldatori per la rigenerazione difettosi che vengono installati nella camera a vuoto e o nell involucro della pompa Per quanto riguarda gas e miscele di gas infiammabili esplosivi tossici o corrosivi necessario osservare misure di sicurezza speciali quando la criopompa si riscalda La valvola di sicurezza e la pompa di prevuoto devono essere dotati di uno scarico per deviare i gas le miscele di gas pericolosi in un raccoglitore o nell atmosfera nel rispetto della normativa di sicurezza e di tutela ambientale vigente Tenere sempre il condotto di scarico aperto e privo di sporcizia 4 GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Informazioni di sicurezza Le apparecchiature elettriche installate nella camera a vuoto come i riscal datori per la rigenerazione e le teste di vacuometro devono essere dotati di Attenzione un blocco elettrico che interrompa positivamente l alimentazione elettrica di tali unit qualora si sviluppino miscele esplosive
11. 0 700 18 000 4 000 5 200 6 200 3000 32 10 000 500 ISO K 20 ANSI 40 KF 40 KF 5 100 50 150 800 30 000 8 400 10 000 12 000 5500 45 Descrizione COOLVAC Flangia Oa h h hg 800 BL CF 202 5 538 420 389 260 800 BL ISO K 180 535 418 386 257 1500 BL CF 252 555 437 406 326 hy 1500 BL ISO K 240 549 431 400 320 2000 BL CF 305 566 448 417 307 2000 BL ISO K 290 560 442 411 301 3000 BL ISO K 370 604 486 455 345 5000 BL ISO K 450 613 495 464 430 10000 BL ISO K 550 704 586 555 515 Lifts Fig 1 1 Disegno dimensionale della criopompa dimensioni in mm 1 4 Informazioni per l ordine Voce N COOLVAC 800 BL ISO K 844160V1006 COOLVAC 800 BL CF 844160V1002 COOLVAC 800 BL UHV CF 844160V9002 altre COOLVAC BL su richiesta Unita compressore vedi catalogo Oerlikon Leybold Vacuum Linee flessibili vedi catalogo Oerlikon Leybold Vacuum Prolunga del cavo elettrico di alimen zione testa fredda 4 5 m di lunghezza 893 74 Indicatore bassa temperatura Modello 211 S con rel di innesco uscita analogica e interfaccia RS 232 844 110 Cavo di collegamento per 211 S lungh 10 m 844 113 Cavo di collegamento per 211 S lungh 10 m UHV 844 114 GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 9 Descrizione E TT tT te et ee ENE EER Ba VaR ee so sE ee ANST oes See ENEA salita media im anodo catodo 2 4 mV K Tensione V vol
12. 0 BL BasicLine Part Nos 844160V1002 CF 844160V 1006 ISO K 844160V9002 UHV Applicable harmonized standards m EN 292 1 2 Machinery safety m EN 1012 1 and 2 Safety requirements for compressors and vacuum pumps m EN 60204 1 Electrical equipment for machinery Cologne March 15 2004 Cologne March 15 2004 Munn Wa eb Marcus Eisenhuth Hans Wischott Vice President R amp D Cryotechnologies Head of Product Development Mechanical Design LV PD44 0216 01 03 04 GA Erklarung englisch Coolvac BL xl eybold Leybold Vacuum GmbH Bonner Strasse 498 Bayenthal D 50968 Cologne Phone 4449 0 221 347 0 Fax 49 0 221 347 1250 documentation leybold com www leybold com 32 GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum cerlikon leybold vacuum Declaration of Contamination of Compressors Vacuum Pumps and Components The repair and or servicing of compressors vacuum pumps and components will be carried out only if a correctly completed declaration has been sub mitted Non completion will result in delay The manufacturer can refuse to accept any equipment without a declaration A separate declaration has to be completed for each single component This declaration may be completed and signed only by authorised and qualified staff Customer Dep Institute Reason for return applicable please mark Repa
13. L Sales Phone 44 13 7273 7300 Fax 44 13 7273 7301 sales vacuum In oerlikon com Service Phone 44 20 8971 7030 Fax 44 20 8971 7003 service vacuum In oerlikon com Italy Oerlikon Leybold Vacuum Italia S p A 8 Via Trasimeno 1 20128 Milano Sales Phone 39 02 27 22 31 Fax 39 02 27 20 96 41 sales vacuum mi oerlikon com Service Phone 39 02 27 22 31 Fax 39 02 27 22 32 17 service vacuum mi oerlikon com Netherlands Oerlikon Leybold Vacuum Nederland B V Proostwetering 24N NL 3543 AE Utrecht Sales and Service Phone 31 30 242 6330 Fax 31 30 242 6331 sales vacuum ut oerlikon com service vacuum ut oerlikon com Leybold Vacuum USA Inc Spain Oerlikon Leybold Vacuum Spain S A C Huelva 7 E 08940 Cornell de Llobregat Barcelona Sales Phone 34 93 666 46 16 Fax 34 93 666 43 70 sales vacuum ba oerlikon com Service Phone 34 93 666 49 51 Fax 34 93 685 40 10 service vacuum baQoerlikon com Sweden Oerlikon Leybold Vacuum Scandinavia AB Box 9084 SE 40092 G teborg Sales and Service Phone 46 31 68 84 70 Fax 46 31 68 39 39 info vacuum gt oerlikon com Visiting delivery address Datavagen 57B SE 43632 Askim Switzerland Oerlikon Leybold Vacuum Schweiz AG Leutschenbachstrasse 55 CH 8050 Zurich Sales Phone 41 44 308 40 50 Fax 41 44 302 43 73 sales vacuum zh oerlikon com Service Phone 41 44 308 40 62 Fax 41 44 308 40 60 se
14. a sovratemperatura ecc GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Descrizione 1 3 Dati Tecnici COOLVAC Flangia di alto vuoto Flangia di prevuoto Flangia per la connessio ne del vacuometro Flangia con passante di corrente Valvola di sicurezza con attacco per linea scarico Passante corrente a 4 poli per diodo silicio su flangia Riscaldatori se installati 1 stadio 2 stadio Testa fredda integrata COOLPOWER Peso approssim Tempo raffredd a 20 Indice di cross over Velocit pompaggio H20 Ar N2 H2 Capacit Ar N2 H2 a10 Portata massima Ar No H2 Connessioni elio raccordi autobloccanti maschi Tutte le misure in conformit con PNEUROP DN DN DN DN DN DN W VAC W VAC kg K min mbar l ls Is Is Is bar l bar l mbar l s 3 mbar l s 800 1 500 160 ISO K 200 ISO K 160 CF 200 CF 6 ANSI 25 KF 25 KF 40 CF 16 KF 16 KF 7 25 7 25 15 25 50 60 150 210 2600 4600 640 1200 800 1500 1000 2500 300 1000 4 5 12 12 6 COOLVAC 800 BL UHV ha invece un disco di rottura 2 000 3 000 250 ISO K 320 ISO K 250 CF 8 ANSI 10 ANSI 25 KF 25 KF 16 KF 16 CF 16 CF 40 KF 16 KF 160 42 90 42 7 25 7 25 25 35 70 80 250 500 7000 10 500 1600 2 500 2100 3 000 3200 6 000 1600 2500 15 28 12 15 6 10 1 2 8 12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 5 000 400 ISO K 40 KF 40 KF 5 100 42 10
15. cerlikon leybold vacuum COOLVAC Basic Line Criopompe Refrigeranti COOLVAC da 800 BL a 10 000 BL Istruzioni per l uso GA12148 002 A1 Voci N 844160V1006 844160V1002 844160V9002 e pompe modificate da Oerlikon Leybold Vacuum Sommario 1 1 1 2 1 3 1 4 3 1 3 2 3 3 3 4 3 5 4 1 4 1 1 4 1 2 4 1 3 4 1 4 4 2 4 3 4 4 4 4 1 4 5 Informazioni di sicurezza importanti Descrizione Costruzione e Funzionamento Specifiche Standard Dati Tecnici Informazioni per l ordine Trasporto e Stoccaggio Installazione Utilizzo conforme Installazione della criopompa nel sistema Collegamento della pompa di prevuoto e della valvola di sfogo Collegamento dell unit compressore Collegamenti elettrici Funzionamento Accensione Portare la criopompa alla sua pressione di partenza Cottura della camera a vuoto Avviamento e raffreddamento della criopompa Pre evacuazione della camera a vuoto e collegamento della criopompa Funzionamento Rigenerazione Spegnimento 4 4 1 Procedure durante brevi interruzioni per esempio in mancanza di energia elettrica Dismissione dal servizio Manutenzione Service di Oerlikon Leybold Vacuum Risoluzione dei problemi Smaltimento dei rifiuti Dichiarazione CE di conformit 2 GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Pag 11 12 12 12 14 16 17 18 18 18 19 20 21 23 25 27 27 27 28 28 29 31 32 Infor
16. eguato sia nella pompa sia nella camera a vuoto Sostituire il dislocatore Purificare il sistema a elio Pulire il compressore la testa fredda e le linee flessibili Aggiungere elio all unit compressore Controllare letture con un altro termometro Controllare la taratura del diodo di silicio Trovare la fuga e sigillarla Pulire i criopannelli il deflettore e lo scudo per la radiazione termica Vedere sintomo 2 Collegare correttamente le linee flessibili Collegare la connessione di alta pressione del compressore alla connessione ad alta pressione sulla criopompa Collegare le connessioni di bassa pressione tra di loro Schermare la radiazione termica proveniente dalla camera a vuoto Abbassare la temperatura ambiente in pros simit della criopompa sotto 40 C 104 F Sostituire l adsorbitore e pulire la testa fredda se necessario Azionare la criopompa collegandola all unit compressore consigliata Risoluzione dei problemi Sezione di riferimento 4 3 4 1 Service 5 Service 5 Istruzioni per l uso unit compressore Istruzioni per l uso unit compressore Istruzioni per l uso unit compressore Service 1 4 3 4 GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 29 Risoluzione dei problemi Sintomo 2 La testa fredda funziona in modo irregola re o troppo rumorosa 3 L unit compressore si spegne da sola 4 La pressio ne finale della cri
17. eybold Vacuum Informazioni di Attenzione Attenzione AL AA sicurezza Protezione contro le pressioni in eccesso La criopompa una pompa da vuoto ad accumulo di gas il che significa che le molecole di gas estratte dalla camera a vuoto vengono accumulate nella criopompa Quando la pompa si riscalda durante la rigenerazione o a seguito di una interruzione di corrente il volume di gas liberato pu diventare in un tempo molto breve tanto grande da sviluppare una pressione superiore a quella atmosferica nel sistema da vuoto o nell alloggiamento della pompa Per questa ragione tutte le criopompe della Oerlikon Leybold Vacuum sono provviste di una valvola di sfogo della pressione che si apre se la pressione interna supera quella atmosferica Questa valvola di sicurezza si apre a 1100 mbar Le valvole di sicurezza non devono mai essere bloccate n modificate Quando si ha a che fare con criopompe incorporate o di progettazione speciale prive della propria copertura il proprietario operatore stesso deve fornire al sistema un opportuno dispositivo di sicurezza che non possa essere aggirato o bloccato Protezione contro i gas pericolosi In alcuni processi da vuoto vengono utilizzati o generati dei gas dal pro cesso i quali non pongono alcun problema durante la fase di pompaggio i volumi maggiori che possono essere liberati quando la criopompa si riscal da rigenerazione o mancanza di alimentazione potrebbero
18. generazione la pompa di prevuoto deve funzionare con la zavorra d aria Il vapore acqueo si libera in quasi tutti i sistemi a eccezione dei sistemi UHV puri 26 12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funzionamento Non appena la pompa raggiunge una pressione inferiore a 4 10 mbar a temperatura ambiente la rigenerazione stata completata Per le applicazioni UHV occorre raggiungere una pressione di circa 10 mbar Chiudere le valvole V2 e V5 e spegnere la pompa di prevuoto Accendere la criopompa sull unit del compressore La criopompa pronta per il funzionamento quando la temperatura nel secondo stadio delle teste fredde lt 20 K 4 4 Spegnimento La criopompa deve essere rigenerata prima di spegnerla per i dettagli rigenerare si veda la Sezione 4 3 Non esporre la criopompa alla pressione atmosferica fino a quando non aprire la pompa raggiunge almeno la temperatura ambiente Questo impedisce che i criopannelli di carbone adsorbano acqua Quando la criopompa viene tenuta spenta per un periodo di tempo lungo dovrebbe essere lasciata alla pressione di prevuoto o riempita a 1000 mbar con azoto secco o argon Le linee flessibili che la collegano all unit compressore non devono essere staccate 4 4 1 Procedure durante brevi interruzioni per esempio in mancanza di energia elettrica Durante le interruzioni di funzionamento la criopompa si riscalda e i gas pompati vengono rilasciati Se questo
19. gime UHV La temperatura in entrambe le fasi della testa fredda non deve superarei Cautela 50 122 durante la cottura quindi le temperature di entrambi gli stadi della testa fredda devono essere monitorate continuamente GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 19 Funzionamento VIO V4 x Ze Thakeout lt 50 C Fig 4 2 Cottura della camera a vuoto e avviamento della criopompa 4 1 3 Avviamento e raffreddamento della criopompa Dopo aver raggiunto la pressione di partenza accendere la criopompa sull unita del compressore La valvola di alto vuoto V1 e la valvola di prevuoto V2 devono essere chiuse Si consiglia di registrare regolarmente i seguenti dati prima e dopo il raffreddamento m Ore di funzionamento del compressore m Temperatura finale della criopompa m Lettura della pressione sul compressore m Tempo di raffreddamento della criopompa Questi dati sono molto utili per determinare il momento in cui la crio pompa deve essere rigenerata e per la risoluzione dei problemi Il tempo di raffreddamento approssimativo per la criopompa indicato nella sezione 1 3 La criopompa pronta per funzionare quando la temperatura del secondo stadio inferiore a 20 K Aprire la valvola di alto vuoto solo dopo che la camera a vuoto ha raggiunto la pressione di crossover per questo fare riferimento alla Sezione 4 1 4 20 12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funziona
20. i controllori e l unit del compressore dall alimen tazione di rete prima di iniziare qualsiasi lavoro di montaggio o smontaggio La criopompa il sistema e tutti i componenti installati devono essere ac curatamente e professionalmente messi a terra al fine di evitare l accu mulo di cariche elettrostatiche Non posare i cavi di collegamento elettrico in punti di passaggio e proteg gerli dai danni che possono essere causati da oggetti appuntiti e taglienti Non installare mai cavi di collegamento danneggiati Sostituire immedia tamente un cavo danneggiato con un nuovo cavo Assicurarsi di evitare tensioni meccaniche quando si collega un cavo alla criopompa e alle unit di comando e controllo Inoltre occorre rispettare i valori ammessi per le tensioni e le correnti di ogni particolare unit come specificato nelle Istruzioni per l uso Se in vece l apparecchio Oerlikon Leybold Vacuum fornisce tensioni di se gnale essenziale che nell elaborazione del segnale a valle l impian to del cliente disponga di un isolamento positivo di questi segnali da ten sioni potenzialmente pericolose tali misure di protezione devono essere efficaci anche in presenza di un difetto nel sistema Se circuiti di riscaldamento o sensori sono pilotati direttamente occorre anche fornire basse tensioni funzionali con isolamento positivo dalla tensione di rete come propria tensione di alimentazione GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon L
21. ione se possibile componenti caldi Se possibile non installare la criopompa direttamente accanto a componenti caldi del sistema campi magnetici campi magnetici esterni nella posizione del motore della testa fredda non devono superare 30 mT mT milliTesla 30 mT 300 Gauss Nel caso di campi magnetici superiori contattateci per un consiglio radiazioni Poich la testa fredda contiene diverse componenti in plastica deve es sere protetta contro raggi X o radiazioni radioattive Il massimo livello di radiazione non dovrebbe eccedere 2000 Gy Gy Gray 1 Gy 100 rad vapore acqueo N materiale elettrico non protetto n cavi devono essere installati sotto la criopompa Durante il processo di rigenerazione il vapore acqueo presente nell aria pu condensare sulla superficie esterna della pompa e gocciolare 12 GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 VI V2 V3 V4 Linea di scarico Pompa di prevuoto a membrana Pompa turbomolecolare Misuratore di prevuoto Strumento di misura della temperatura Misuratore di prevuoto Misuratore di alto vuoto Camera a vuoto Criopompa Gruppo compressore Linee flessibili Valvola di sicurezza Valvola di scarico Valvola gate di alto vuoto Valvola di prevuoto Valvola di prevuoto Valvola di ventilazione Sistema criopompa Dry Fig 3 1 Schema di un sistema criopompa Installazione Li
22. ioni quando si maneggiano pezzi contaminati Separare i componenti puliti a seconda del materiale e smaltirli di conseguenza Noi offriamo questo servizio Ulteriori dettagli sono disponibili su richiesta Se ci inviate una qualsiasi attrezzatura osservare le norme descritte nella Sezione 5 1 Oerlikon Leybold Vacuum service GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 31 Dichiarazione CE di conformit nel senso della direttiva CEE sulle macchine 98 37 CE allegato Il B We the Leybold Vacuum GmbH declare herewith that the product listed below on the basis of its design and engineering as well as in the embodiment which we have placed on the market complies with the applica ble safety and health requirements set forth in EC guidelines The protection aims of the EMC Guidelines 89 336 EEC can only be attained when properly using Leybold components like compressors controllers and cables At the same time we herewith certify conformity with EEC Directive on Low Voltages 73 23 EEC When operating with pressurized components like Helium pressure lines gas distributors or compressors the basic safety requirements of the EC directives must be observed This includes attentive reading and obser vation of all operating instructions of the Leybold system components used This declaration becomes invalid if modifications are made to the products without consultation with us Designation Cryopump Model COOLVAC 80
23. ir chargeable warranty Address Exchange chargeable warranty O exchange already arranged received Person to contact Return only rent loan O for credit Phone Fax Calibration O DKD O Factory calibration End user Quality test certificate DIN 55350 18 4 2 1 A Description of the Leybold product Failure description Material description Catalog number Additional parts Serial number Application Tool Type of oil Forevacuum pumps Application Process B Condition of the equipment No Yes No Contamination No Yes 1 Has the equipment been used O ei oxic A a 2 Drained Product service fluid Q A corrosive Q O All openings sealed airtight flammable O 4 Purged a m explosive a O If yes which cleaning agent radioactive O and which method of cleaning microbiological O 1 if answered with No go to D fex other harmful substances O a C Description of processed substances Please fill in absolutely 1 What substances have come into contact with the equipment Trade name and or chemical term of service fluids and substances processed properties of the substances According to safety data sheet e g toxic inflammable corrosive radioactive Tradename Chemical name booo 6 gd No Yes 2 Are these substances harmful O O q 3 Dangerous decomposition products when heated O O If yes which Components contaminated by microbiological exp
24. les Office 5 13 Kawagishi machi Suita chi Osaka 564 0037 Phone 81 6 6393 5211 Fax 81 6 6393 5215 info vacuum os oerlikon com sales vacuum os oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum Japan Co Ltd Tsukuba Technical Service Center Kogyo Danchi 21 Kasuminosato Ami machi Inashiki gun Ibaraki ken 300 0315 Service Phone 81 298 89 2841 Fax 481 298 89 2838 info vacuum iik oerlikon com sales vacuum iik oerlikon com Korea Oerlikon Leybold Vacuum Korea Ltd Jellzone 2 Tower 159 4 Jeongja Dong Bundang Gu Sungnam Si Gyeonggi Do Korea 463 384 Sales Phone 82 31 785 1367 Fax 82 31 785 1359 623 7 Upsung Dong Cheonan Si Chungcheongnam Do Korea 330 290 Service Phone 82 41 589 3035 Fax 82 41 588 0166 Singapore Oerlikon Leybold Vacuum Singapore Pte Ltd 1 Science Park Road Singapore Science Park 2 02 12 Capricorn Building Singapore 117528 Sales and Service Phone 65 6303 7000 Fax 65 6773 0039 sales vacuum sg oerlikon com service vacuum sg oerlikon com Taiwan Oerlikon Leybold Vacuum Taiwan Ltd No 416 1 Sec 3 Chung Hsin Rd Chu Tung Hsin Chu Taiwan R O C Sales and Service Phone 886 3 500 1688 Fax 886 3 583 3999 sales vacuum hc oerlikon com service vacuum hc oerlikon com cerlikon leybold vacuum www oerlikon com
25. li Per questo fare riferimento alle Istruzioni per l uso del compressore Cautela Non confondere le connessioni ad alta pressione e a bassa pressione perch ci potrebbe danneggiare la testa fredda Non allentare mai il fissaggio della testa fredda alla pompa n provare a ruotare la testa fredda Ci danneggerebbe la pompa 16 GA12148_002_A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Installazione Stadio 1 riscaldatore 160 W Valore nomin appross 11 O 140 Stadio 2 riscaldatore 90 W Valore nomin appross 14 Q 17 Q non collegato per teste fredde a singolo stadio Pt 100 Valore nomin appross 100 quando la pompa calda Fig 3 4 Assegnazione dei pin dei passanti di corrente a 6 poli per riscaldatori e di sensori di temperatura Pt 100 opzionali 3 5 Collegamenti elettrici Non allentare mai il fissaggio dei passanti alla pompa n provare a ruota Cautela re i passanti Ci danneggerebbe i cavi di collegamento all interno della pompa Le criopompe COOLVAC sono dotate di diodi di silicio che fanno da sensori di temperatura nei secondi stadi delle teste fredde Il range di misura dei diodi di silicio varia da 4 K a 320 K si veda la Fig 1 5 Il segnale di misura estratto da un passante di corrente Collegare un cavo per il sensore e uno strumento adatto A seconda dell ordine le criopompe COOLVAC sono dotate di riscaldatori per la rigenerazione con interruttori di temperatura che interro
26. lla pressione finale si veda la Sezione 4 1 4 per esempio una camera a vuoto da 1000 litri e 0 8 mbar per ogni volta 5500 i 800 mbar 5500 P 800 10 n 6875 24 QGA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funzionamento 4 3 Rigenerazione Poich le criopompe sono pompe ad accumulo di gas il gas che pompe ad accumulo di gas viene accumulato e conservato nella pompa deve essere rimosso di volta in volta Questo processo denominato rigenerazione Una criopompa deve essere rigenerata quando m la temperatura nel secondo stadio della testa fredda aumenti per un periodo di tempo pi lungo del solito gt 5 min sopra i 20 m aumenta la pressione massima raggiungibile nella camera a vuoto m nel caso di tempi di evacuazione prolungati Si consiglia di rigenerare preventivamente la criopompa a intervalli rego lari La lunghezza degli intervalli deve essere valutata caso per caso due metodi di valutazione sono riportati nella Sezione 4 2 Per rigenerare la criopompa occorre riscaldarla fino a temperatura metodi di rigenerazione ambiente Ci sono quattro modi per farlo m riscaldamento senza supporto esterno m immissione di gas secco per sostenere il riscaldamento m purificazione della pompa con gas caldo m riscaldamento con riscaldatori elettrici Se i gas che vengono pompati non presentano pericoli durante il riscalda mento si consiglia la rigenerazione elettrica perch questo
27. losive or radioactive products substances will not be accepted without written evidence of decontamination D Legally binding declaration 1 we hereby declare that the information supplied on this form is accurate and sufficient to judge any contamination level Name of authorised person block letters Dae Signaturofauthorised person 1 un e RR firm stamp 17200001_002_00 Oerlikon Leybold Vacuum GA12148_002_A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 33 Sales and Service Germany Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Strasse 498 D 50968 Cologne Phone 49 0 221 347 1234 Fax 49 0 221 347 1245 sales vacuum oerlikon com www oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Sales Area North Northeast Branch Office Berlin Industriestrasse 10b D 12099 Berlin Phone 49 0 30 435 609 0 Fax 49 0 30 435 609 10 sales vacuum bn oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Sales Area South Southwest Branch Office Munich Sendlinger Strasse 7 D 80331 Munich Phone 49 0 89 357 33 9 10 Fax 49 0 89 357 33 9 33 sales vacuum mn oerlikon com service vacuum mn oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Sales Area West amp Benelux Branch Office Cologne Bonner Strasse 498 D 50968 Cologne Phone 49 0 221 347 1270 Fax 49 0 221 347 1291 sales vacuum kn oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Service Competence Center Emil Hoffmann Strasse 43 D 50996 Cologne Suerth Phone
28. mazioni di sicurezza Informazioni di sicurezza importanti Indica procedure che devono essere assolutamente osservate per prevenire Attenzione i rischi per le persone Indica procedure che devono essere assolutamente osservate per prevenire Prudenza danni al prodotto o la sua distruzione Le COOLVAC di Oerlikon Leybold Vacuum sono state progettate per un utilizzo sicuro ed efficiente quando usate propriamente e in accordo con queste Istruzioni per l uso L utente ha la responsabilit di leggere attentamente e osservare strettamente tutte le misure di sicurezza descritte in questa sezione e all interno delle Istruzioni per l uso La COOLVAC deve funzionare solo in situazioni appropriate e alle condizioni descritte nelle Istruzioni per l uso Deve essere gestita e manutenzionata solo da personale addestrato Consultare gli enti locali statali e nazionali per quanto riguarda requisiti e regolamenti specifici Rivolgere qualsiasi ulteriore questione su sicurezza funzionamento e o manutenzione al nostro ufficio pi vicino La mancata osservanza delle seguenti precauzioni pu provocare gravi infortuni alle persone Protezione contro il freddo estremo Per evitare infortuni derivanti dal contatto con le superfici estremamente Attenzione fredde temperature inferiori a 120 K all interno della pompa rimuovere la criopompa dal suo fissaggio solo dopo aver raggiunto la temperatura ambiente Sicurezza elettrica Scollegare la criopompa
29. mento 1013 mbar gt p gt 4 102 mbar Fig 4 3 Pre evacuazione della camera a vuoto 4 1 4 Pre evacuazione della camera a vuoto e collegamento della criopompa Pre evacuare la camera a vuoto aprendo la valvola di prevuoto V3 La V3 dev essere chiusa finch non viene raggiunta una pressione paria Cautela 4 10 mbar Se la valvola V3 tenuta aperta per un periodo di tempo pi lungo e se la pressione scende al di sotto di 4 10 mbar possono rifluire dei vapori di olio dalla pompa di prevuoto alla camera GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 21 Funzionamento pressione di crossover o di cut in Se occorre evacuare la camera a vuoto attraverso la pompa di prevuoto fino a pressioni inferiori a 4 10 mbar necessario installare una trappola di adsorbimento 3 1 3 tra la camera a vuoto e la pompa di prevuoto La valvola di prevuoto V3 pu essere chiusa e la valvola di alto vuoto V1 pu essere aperta non appena la quantit di gas nella camera a vuoto ha raggiunto la pressione di crossover della criopompa Il valore di crossover la quantit massima di gas nella camera a vuoto che pu essere pompato dalla criopompa senza lasciare che il secondo stadio della criopompa diventi pi caldo di 20 K Se si apre una criopompa verso una camera a vuoto in cui la pressione di crossover non stata raggiunta la criopompa si scalder sopra 20 K e smetter di pompare Spegnere la pompa di prevuoto diversi
30. minuti dopo aver chiuso la valvola di prevuoto V3 La pressione di crossover o di cut in la pressione massima nella camera a vuoto alla quale consentito aprire la valvola di alto vuoto tra criopompa e camera a vuoto Si deriva dal valore di crossover Valore di crossover Pressione di cut in Volume della camera a vuoto Esempio COOLVAC 10 000 collegata a una camera a vuoto da 10001 Qco 800 mbar 800 mbar 1000 0 8 mbar Quindi la pressione nella camera a vuoto da 1000 non deve superare 0 8 mbar quando viene chiusa la valvola di prevuoto V3 e aperta la valvola di alto vuoto verso la criopompa 22 GA12148_002_A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funzionamento 4 2 Funzionamento Rispettare tutte le istruzioni di sicurezza date all inizio Attenzione Si ricordi quanto segue durante il funzionamento della criopompa m Noncaricare la criopompa oltre il suo valore di crossover altrimenti si valore di crossover scalda e il gas pompato verr rilasciato Dopo un sovraccarico prolungato la criopompa deve essere riavviata come da Sezione 4 1 m La pressione nella camera a vuoto durante il funzionamento continuo deve essere inferiore a 5 10 mbar m Le criopompe standard in cui le superfici della pompa sono ricoperte di ossigeno carbone attivo non possono pompare grandi quantit di ossigeno puro m
31. mpono la ten sione di riscaldamento quando si raggiunge la temperatura massima permessa Temperature pi elevate possono danneggiare i componenti all interno della testa fredda In caso di riscaldamenti frequenti ad esempio quando si esegue la rigenerazione di routine di una criopompa limitare le temperature a 30 C nella fase 1 e a 40 C 315 K al 2 stadio Non usare mai resistenze elettriche nelle fasi della testa fredda senza un lettore di temperatura o un regolatore di temperatura Connettori adatti per i passanti del riscaldatore Pt 100 sono disponibili per esempio nelle serie di connettori DIN a 6 poli femmina Binder Series 581 voce n 99 2022 00 06 www binder connector de GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 17 Funzionamento 4 Funzionamento 41 Accensione 4 1 1 Portare la criopompa alla sua pressione di partenza pressione di partenza Prima di avviare la cripompa pomparla fino alla sua pressione di partenza La pressione di partenza per applicazioni normali di circa 8 10 mbar Se la pressione di partenza troppo alta il tempo di raffreddamento pu allungarsi notevolmente o la pompa potrebbe non raggiungere la sua temperatura di funzionamento Quando si pompa elio o idrogeno la pressione di partenza 8 10 mbar Se si vogliono raggiungere pressioni nel basso UHV la pressione di partenza deve essere lt 1 1 0 mbar Se una pompa viene messa in servizio per la prima volta o del carbone
32. nea di scarico Pompa di prevuoto rotativa Trappola adsorbimento linea prevuoto Misuratore di prevuoto Strumento di misura della temperatura Misuratore di prevuoto Misuratore di alto vuoto Camera a vuoto Criopompa Gruppo compressore Linee flessibili Valvola di sicurezza Valvola di scarico Linea di bypass con valvola Valvola gate di alto vuoto Valvola di prevuoto Valvola di prevuoto Valvola di ventilazione Valvola di bloccaggio per trappola Sistema criopompa classico GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Installazione Attenzione Diodo di silicio Il diodo di silicio sensibile ai raggi X o alle radiazioni radioattive A secon da dell orientazione di installazione sono possibili errori di misura ulteriori in presenza di campi magnetici Vi preghiamo di contattarci per informazioni su sensori alternativi 3 3 Collegamento della pompa di prevuoto e della valvola di sfogo La pompa di prevuoto viene utilizzata per evacuare la criopompa fino alla pressione di partenza per evacuare la camera a vuoto fino alla pressione di raccordo e per rimuovere il gas rilasciato dalla criopompa durante la rigenerazione La velocit di pompaggio richiesta per la pompa di prevuoto dipende dalle dimensioni della camera a vuoto e dal tempo di svuotamento desiderato Quando si utilizzano pompe a palette rotative installare una trappola di adsorbimento nella linea fra la criopompa e la pompa di prevuot
33. o Saremo lieti di essere di aiuto nella scelta della pompa di prevuoto Utilizzare le due valvole di prevuoto V2 e V3 per collegare la pompa di prevuoto alla camera sotto vuoto e alla criopompa Le valvole V2 V3 e V4 dovrebbero essere installate il pi vicino possibile all involucro della pompa o alla camera a vuoto Collegare la porta di scarico della pompa di prevuoto a una linea di scarico La pompa di prevuoto pu rilasciare gas pericolosi durante la rigenerazione Per questo motivo lo scarico della pompa di prevuoto deve essere collegato a una linea di scarico adeguata Anche un gas inerte pu essere pericoloso in grandi quantit se sostituisce l ossigeno dell aria che respiriamo Trappola di adsorbimento della linea di prevuoto La dimensione della trappola dipende dalla pompa di prevuoto impiegata Tale trappola di adsorbimento sul prevuoto impedisce il riflusso dei vapori di olio dalla pompa di prevuoto alla criopompa L adsorbente nella trappola deve essere rigenerato o ricambiato a intervalli regolari Se non installata alcuna trappola di adsorbimento sul prevuoto assicurarsi che la valvola di prevuoto V2 si chiuda automaticamente quando la pressione scende al di sotto di 4 10 mbar Sotto tale pressione possono rifluire vapori di olio dalla pompa di prevuoto alla criopompa Se vengono rilasciate grandi quantit di vapore acqueo nel rigenerare la criopompa si installi una linea di bypass 3 1 13 attorno alla tra
34. old Vacuum Tianjin International Trade Co Ltd Shanghai Branch Add No 33 76 Futedong San Rd Waigaogiao FTZ Shanghai 200131 China Sales and Service Phone 86 21 5064 4666 Fax 86 21 5064 4668 info vacuum sh oerlikon com service vacuum tj oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum Tianjin International Trade Co Ltd Guangzhou Office and Service Center 1st F Main Building Science City Plaza No 111 Science Revenue Guangzhou Science City GZSC 510663 Guangzhou China Sales Phone 86 20 8723 7873 Phone 86 20 8723 7597 Fax 86 20 8723 7875 info vacuum gz oerlikon com service vacuum tj oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum Tianjin International Trade Co Ltd Beijing Branch 1 908 Beijing Landmark Towers 8 North Dongsanhuan Road Chaoyang District Beijing 100004 China Sales Phone 86 10 6590 7622 Fax 86 10 6590 7607 sales vacuum bj oerlikon com ndia Oerlikon Leybold Vacuum India Pvt Ltd EL 22 J Block IDC Bhosari Pune 411026 ndia Sales and Service Phone 91 20 3061 60000 Fax 91 20 2712 1571 sales vacuum pu oerlikon com service vacuum pu oerlikon com Japan Oerlikon Leybold Vacuum Japan Co Ltd Headquarter 23 3 Shin Yokohama 3 chome Tobu A K Bldg 4th Floor Kohoku ku Yokohama shi 222 0033 Sales Phone 81 45 471 3330 Fax 81 45 471 3323 info vacuum yh oerlikon com sales vacuum yh oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum Japan Co Ltd Osaka Sa
35. opompa troppo elevata 5 Il prevuoto della criopompa richiede troppo tempo Possibile causa Il circuito dell elio contaminato Azione correttiva consigliata Purificare il sistema a elio Pulire il compressore la testa fredda e le linee flessibili Dislocatore o valvola di controllo logori Sostituire o pulire il dislocatore Come misura preventiva il dislocatore va sostituito ogni 9000 ore di funziona mento Motore della testa fredda difettoso non correttamente collegato Pressione dell elio troppo elevata Campo magnetico esterno oltre 30 MT Vedere istruzioni per l uso dell unit compressore Temperatura dei criopannelli troppo elevata Il sistema o la criopompa hanno sviluppato una fuga Degassaggio superfici all interno del sistema Criopompa contaminata da vapori d olio Funzionamento irregolare testa fredda I dischi di indio nella criopompa sono stati danneggiati dal surriscaldamento durante la rigenerazione o il bakeout I dischi di indio sono necessari per il contatto tra i criopannelli e lo schermo per la radiazione termica Criopompa saturata di gas Primo stadio di temperatura troppo basso Le superfici di carbone attivo sono sature di vapore acqueo Valvola di sfogo con perdita Il sistema o la criopompa hanno sviluppato una fuga La velocit di pompaggio della pompa di prevuoto insufficiente Sostituire il motore della testa fredda o collegarlo co
36. ppola di adsorbimento Questa linea di bypass impedisce che la trappola diventi satura di vapore acqueo durante la rigenerazione 14 GA12148_002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Installazione Flangia di alto vuoto Valvola di sicurezza o disco di Flangia rottura Flangia Passante corrente per diodo Si Flangia Collegamento He bassa pressione Collegamento He alta pressione Connessione elettrica per prevuoto connessione all unit compressore dei misuratori e ricambi Fig 3 2 COOLVAC 800 ISO K componenti di collegamento altri prodotti COOLVAC sono simili Valvola di sicurezza Se verranno pompati gas pericolosi collegare la valvola di sicurezza a Attenzione una linea di scarico Non bloccare mai la valvola di sicurezza GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 15 Installazione 3 amp E 2 Linea flessibile di alta S 2 mo Le A pressione rosso 1 CD La 9 SA S Linea Flessibile Colore Collegata a Colore P Alta pressione rosso Alta pressione compressore rosso 6 y Alta pressione rosso X Alta pressione testa fredda rosso Bassa pressione verde Bassa pressione testa fredda verde N Bassa pressione verde Bassa pressione compressore verde Fig 3 3 Collegamento dell unit compressore 3 4 Collegamento dell unit compressore Collegare la testa fredda della criopompa al gruppo compressore tramite linee flessibi
37. provoca un aumento della pressio ne della criopompa al di sopra la sua pressione iniziale circa 8 10 la criopompa non pu pi raggiungere la temperatura di esercizio Occorrer quindi rigenerarla Quanto tempo una criopompa possa rimanere spenta senza che la pres sione diventi troppo alta dipende dalla temperatura di esercizio e dal tipo e quantit di gas pompato Quando si pompa azoto una criopompa con una temperatura di esercizio di 14 K pu restare spenta per circa 5 minuti 4 5 Dismissione dal servizio Spegnere la pompa come descritto nella Sezione 4 4 Lasciare che la testa fredda si riscaldi prima di staccare le linee flessibili lasciare che la testa fredda si riscaldi Se si allentano le linee flessibili con la testa fredda a basse temperature si scald pu causare una perdita di elio Il distacco delle linee flessibili con la testa fredda a bassa temperatura Attenzione pu durante il riscaldamento portare a un aumento della pressione al di l della pressione di esercizio ammissibile di 28 bar 406 psig 2 8 MPa Tutti i giunti autosigillanti che non sono in uso devono essere dotati di tappi di protezione GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 27 Manutenzione 5 Manutenzione trappola di adsorbimento Rigenerare o sostituire regolarmente l adsorbente nella trappola di adsorbimen to di prevuoto Per questo si rimanda alle Istruzioni d uso della trappola di adsorbimento
38. rrettamente Far uscire un po di elio dal compressore Schermare il campo magnetico Vedere sintomo 1 Trovare la fuga e sigillarla Cuocere il sistema Pulire la criopompa Sostituire i criopannelli se il carbone attivo contaminato da vapori di olio Installare una trappola di adsorbi mento o cambiare l adsorbente Vedere sintomo 2 Riparare la criopompa Rigenerare la criopompa Usare i riscaldatori del 1 stadio per mante nere la temp del 1 stadio tra 65 K e 100 K Riscaldare i criopannelli durante il prevuoto Pulire la valvola o sostituirla Trovare la fuga e sigillarla Usare pompa di prevuoto pi grande 30 12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Sezione di riferimento Service 5 Service 5 Service 5 Istruzioni per l uso unit compressore 4 1 2 Service 5 3 3 Service 5 4 3 4 2 3 3 Smaltimento 7 Smaltimento dei rifiuti L attrezzatura pu essere stata contaminata dal processo o da influenze Contaminazione ambientali In questo caso il materiale deve essere decontaminato secondo le norme vigenti Offriamo questo servizio a prezzi fissi Ulteriori dettagli sono disponibili su richiesta Le parti contaminate possono essere dannose per la salute e l ambiente Attenzione Prima di cominciare qualsiasi lavoro verificare per prima cosa se qualche parte sia stata contaminata Rispettare le norme rilevanti e adottare le necessarie precauz
39. rvice vacuum zh oerlikon com America USA Oerlikon Leybold Vacuum USA Inc 5700 Mellon Road USA Export PA 15632 Phone 1 724 327 5700 Fax 1 724 325 3577 info vacuum ex oerlikon com Sales Eastern amp Central time zones Phone 1 724 327 5700 Fax 1 724 333 1217 Pacific Mountain Alaskan amp Hawaiian time zones Phone 1 480 752 9191 Fax 1 480 752 9494 Service Phone 1 724 327 5700 Fax 1 724 325 3577 Latin America Oerlikon Leybold Vacuum USA Inc Brazilian Office Av D ria 360 cj 12 Campo Belo 04635 070 Sao Paulo SP BRAZIL Sales Phone 55 11 3554 3117 Fax 55 11 3554 3117 Nelson Batistucci oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Strasse 498 D 50968 Cologne Phone 49 0 221 347 0 Fax 49 0 221 347 1250 info vacuum oerlikon com Asia PR China Oerlikon Leybold Vacuum Tianjin International Trade Co Ltd Beichen Economic Development Area BEDA No 8 Western Shuangchen Road Tianjin 300400 China Sales and Service Phone 86 22 2697 0808 Fax 86 22 2697 4061 Fax 86 22 2697 2017 sales vacuum tj oerlikon com service vacuum tj oerlikon com Oerlikon Leybold Vacuum Tianjin Co Ltd Beichen Economic Development Area BEDA No 8 Western Shuangchen Road Tianjin 300400 China Sales and Service Phone 86 22 2697 0808 Fax 86 22 2697 4061 Fax 86 22 2697 2017 info vacuum tj oerlikon com service vacuum tj oerlikon com Oerlikon Leyb
40. sta dichiarazione circa il tipo di contaminazione necessaria per soddisfare i requisiti di legge e per la protezione dei nostri dipendenti Saremo obbligati a rispedire al mittente qualsiasi attrezzatura che non sia accompagnata da una dichiarazione di contaminazione 28 12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 6 Risoluzione dei problemi Sintomo 1 La temperatu ra dei criopan nelli troppo alta o il raffred damento richie de troppo tempo Possibile causa La criopompa saturata di gas La pressione iniziale o il valore della pressione di crossover cut in erano troppo elevati Dislocatore logoro Come misura preventiva il dislocatore va sostituito ogni 9000 ore di funzionamento Il gas elio contaminato La pressione di elio troppo bassa Lettura errata della temperatura Il sistema o la criopompa hanno sviluppato una fuga criopannelli il deflettore o lo scudo per la radiazione termica sono contaminati Il motore della testa fredda non funziona correttamente Le linee flessibili non sono state collegate correttamente La criopompa stata sovraccaricata termicamente da radiazione termica proveniente dalla camera a vuoto Temperatura ambiente troppo alta Adsorbitore saturo sull unit del compressore Il compressore troppo piccolo per la criopompa si veda la Sezione indicata Azione correttiva consigliata Rigenerare la criopompa Produrre un prevuoto ad
41. t 0 2040 60 80 100 200 300 400 500 Temperatura K kelvin Fig 1 2 Caratteristica di diodi di silicio tipo D corrente di misurazione 10 uA e assegnazione pin sul connettore lato criopompa fuori vista 10 GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Trasporto e Stoccaggio Fig 2 1 Posizione stabile per il trasporto COOLVAC con accessori 2 Trasporto e Stoccaggio Posizionare le COOLVAC 800 1 500 e 2 000 con un tappo di plastica pulito sulla flangia di alto vuoto in caso di spedizione e collegare un paranco per il sollevamento alla flangia di alto vuoto e al motore della testa fredda Posizionare le COOLVAC 3 000 5 000 e 10 000 sui piedini e sollevarle tramite gli occhielli per la gru Proteggere le pompe contro scivolamenti e ribaltamenti Cautela Utilizzare dispositivi di sollevamento con sufficiente capacit di carico Attenzione Non sostare mai sotto la pompa sospesa mentre viene spostata Stoccaggio Chiudere la pompa a tenuta stagna insieme a un essiccante GA12148 002 A1 09 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 11 Installazione 3 Installazione 3 1 Utilizzo conforme Le criopompe sono pompe ad alto vuoto che rimuovono gas e vapori da una camera a vuoto per mezzo di condensazione e adsorbimento su su perfici molto fredde Per il funzionamento di una criopompa COOLVAC sono richiesti un gruppo compressore linee flessibili e una pompa di prevuoto La COOLVAC adatta per il pompaggio e
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