Manuel pour RC8 - CMI
Contents
1. Mode d emploi de la scie DISCO DAD321 gt AUCUNE MANIPULATION NE DOIT ETRE ENTREPRISE SUR CETTE MACHINE SANS AVOIR ENCLENCHE L AIR COMPRIME gt Ne jamais laisser tra ner ses mains dans la zone de la lame et du chuck gt Quand une alarme retentit quittancer avec la touche ALRMCLR apr s avoir pris connaissance du message gt Lors du retrait du porte wafer ne pas laisser l eau s couler sur le chuck gt Rotations 30000 rpm pour le silicium 25000 rpm pour le verre et la c ramique gt Cut speed 5 mm s pour le silicium 1 mm s pour le verre et la c ramique Login sur PC Mise en marche de la scie DAD321 o Enclencher l air comprim gt poign e bleu sur le mur droite de la scie o Enclencher l eau d min ralis e gt robinet violet sur le mur o Enclencher l eau de refroidissement gt les 2 poign es noires derri re la scie Disco o Enclencher l interrupteur principal gt sur le coffret o Tourner la clef sur start o Presser Sys init le message initialization completed appara t Choix de la lame o Lame nickel pour silicium Rpm 30000 vitesse de coupe cut speed 5mm s o Lame r tino de pour verre Rpm 25000 vitesse de coupe cut speed 1mm s Vitesse de rotation o Main menu F5 Blade maintenance F7 Setup data modifier seulement le param tre vitesse spindle rev ENTER puis revenir au Main menu au moyen de la touche EXIT Changement du porte lame o Main menu gt F5 Bla2. de maintenance gt F1 Blade replacement pour d gager le porte lame o Tourner la clef sur Axis Release et ouvrir le capot o Enlever la protection du porte lame noire en d vissant l crou molet en haut droite de la protection o Utiliser l outil ad quat r gl sur 40 Pour information Pas gauche Le changement de lame pour cause de casse ou d usure se fait exclusivement par le staff CMI IL EST STRICTEMENT INTERDIT DE DEVISSER L ECROU ALUMINIUM DE 33 mm DE DIAMETRE Changement logiciel de lame et setup o Main menu F5 Blade maintenance F1 Blade replacement F5 Blade select choisir la lame ENTER ne pas oublier d updater le choix ENTER et EXIT EPFL CMI 1 4 YD 16 09 2008 o Enclencher la rotation de la lame SPINDL et l eau CUT WATER Contr ler que les 2 d bits shower blade soient 1 l min o Laisser tourner la scie avec l eau de refroidissement enclench e 10min au minimum avant d effectuer le setup Profiter d entrer ou de modifier votre programme et de monter le wafer sur son support Programmation Les programmes commen ant par 0 sont r serv s la maintenance Ils peuvent tre copi s mais pas modifi s Vous pouvez copier les programmes 001 005 o Main menu F4 Device data list choisir le programme dans la liste et le copier gt F2 Copy entrer un N ENTER o Editer le programme ENTER activer Shift pour entrer le nom o D placer l
3. e programme vers votre r pertoire F3 move Param tres Menu lt Device Data L gt 4 2 o UNIT mm o CUT MODE A B AS A chuck vient de droite B coupe aller et retour AS programmer plusieurs canaux o CUT SHAPE Round ou Square SPINDLE Rev Valeur contr ler o RND WORK SIZE diam tre du substrat rond Pr voir une certaine marge 2mm l axe de r f rence est le centre de rotation du chuck ou SQR WORK SIZE dimensions du rectangle de travail selon la m thode ci dessous O Mettre la pi ce au centre le mieux possible Mesurer et mettre les valeurs de CH1 et CH2 selon le dessin ci dessous 2x hauteur la plusigrande d passant le milieu du chuck soit 2 b gt valeur de CH2 2x largeur la plus grange d passant le milieu du chuck soit 2 gt valeur de CH1 Pr voir une certaine marge pour les 2 dimensions 2mm N Ne pas confondre les deux canaux CH1 et CH2 o WORK THICKNESS paisseur du substrat o TAPE THICKNESS paisseur du blue tape o BLADE HEIGHT distance entre le chuck et le bas de la coupe mettre environ 80 um en fonction du blue tape o FEED SPEED 5mmi s pour le Si et 1mm s pour le verre o Y INDEX pas entre les coupes la mesure peut se faire le wafer mont voir plus loin EPFL CMI 2 4 YD 16 09 2008 Montage du wafer sur le support Attention de bien placer le wafer au centre du support L axe de r f rence est le centre de rotatio
4. ent d effectuer un r glage plus fin o Eventuellement effectuer une seconde coupe pour confirmer Enlever le wafer o Refaire un setup selon le chapitre Setup obligatoire O Sciage Deux menus choix AUTOCUT et SEMI AUTOCUT L alignement du wafer et la position de coupe sont identique dans les 2 menus AUTOCUT Presser F1 les canaux 4 3 2 1 sont sci s successivement o Ajuster la luminosit du moniteur et le focus du microscope l aide des boutons ad quats Alignement du wafer o Utiliser les touches YA Yv pour aligner la ligne sur un l ment du wafer Terminer par la touche YA o Presser F5 la table se d place vers la gauche o Utiliser de nouveau les touches YA Yv pour aligner la ligne avec l l ment sur le wafer terminer avec la touche YA o Presser sur F5 la table se d place automatiquement sur la droite EPFL CMI 3 4 YD 16 09 2008 o Contr ler l alignement adjustment done Une fois l alignement terminer r gler la position de coupe Position de la coupe _ Si CUT MODE est AS pour plusieurs canaux il faut toujours aligner sur la premi re coupe vue depuis l utilisateur avant de terminer par ENTER o Utiliser les touches YA Yv hair wide et hair narrow pour aligner la ligne du centre avec le centre de la coupe terminer par YA et ENTER pour confirmer la position de coupe Le wafer tourne alors de 90 ou de la valeur indiqu e dans le programme o C
5. n du chuck Le support se monte que dans une seule position Setup obligatoire o Main menu F5 Blade maintenance F3 Setup functions F1 Chuck table setup contr ler les 4 param tres gt ENTER Eliminer les gouttes d eau avec la soufflette durant cette op ration o Presser ENTER contr ler le message au bas de l cran presser ENTER puis revenir au Main menu au moyen de la touche EXIT Contr ler que la led setup soit enclench e o Effectuer une 2 fois le setup pour un changement de lame Chargement du wafer o Utiliser une place libre sur le wafer ou utiliser un wafer de test pour l ajustement du trait de scie Positionner le support contre les deux goupilles o Presser la touche VAC et contr ler que l aiguille soit dans la zone verte de la jauge vide Ajustement du trait de scie avec le microscope o Main menu F5 Blade maintenance F5 Hairline alignment correction IMPORTANT Contr ler TOUTES les valeurs RND work size SQR work size work height tape height blade height cut speed spindle rev gt valeurs de la pi ces o la coupe sera effectu e Les valeurs affich es l cran sont celle du dernier utilisateur o ENTER La coupe s effectue l emplacement de la position de la lame START sciage de test o Sciage termin centrer les lignes avec les touches de direction YA Yv terminer par la touche Yy et confirmer avec ENTER Hair wide et Hair narrow permett
6. ontr ler l alignement entrer la position de la coupe pour le canal 2 3 et 4 si n cessaire pressez START et le sciage d bute avec le canal 4 3 ou 2 o Une fois le sciage termin presser sur ALRMCLR pour arr ter l alarme puis VAC le message Press C T VAC key to axis move appara t VAC le chuck se d place sur la droite le microscope se d place vers l arri re et le vacuum est supprim Enlever le support o Lors du retrait du porte wafer ne pas laisser l eau couler sur le chuck SEMI AUTOCUT Presser F 2 seulement le canal 1 est sci Ajuster la luminosit du moniteur et le focus du microscope l aide des boutons ad quats Presser F4 menu single channel alignment Alignement du wafer et Position de la coupe Modifier of cut pour indiquer le nombre de coupes Si 0 le wafer complet est sci Choisir F5 Rear ou F10 Front direction des coupes O O O Mesure du pas index Dans diff rents menus il est possible d utiliser la fonction F8 MEASURE avec la possibilit de reseter le compteur F3 Index OU tourne le chuck de 1 4 de tour sur la gauche Arr t de la machine Exit du programme Arr t de la lame SPINDL quand spindle off couper l eau lair l lectricit EPFL CMI 414 YD 16 09 2008
Download Pdf Manuals
Related Search