Home

Vakuum

1. Vakuumtechnik Vakuum Naturwissenschaftlich HM LEYBOLD H ERAEUS G M BH Ger te Bauelemente Verfahrenstechnik technische Lehrmittel LEYBOLD HERAEUS GA 663 8 Gebrauchsanweisung IONIVAC Operating Instructions Mode d emploi Me r hren und Einbau Me systeme Gauge Tubes and Nude Gauge Heads Capteurs 163 14 17 42 43 158 17 18 158 57 60 62 1 Technische Daten 1 1 MeBrohren Me r hre 1 Technical Data 1 1 Gauge Tubes Gauge Tube 1 Donn es techniques 1 1 Capteurs Capteur IR 10 IR 20 Glasart der MeBrohre Material der Durchf hrungsstifte Material des Isolators Material der Katode Material der brigen Elektroden Aufbau des Elektrodensystems Max Umgebungstemperatur bei Betrieb Max Ausheiztemperatur ohne Stecker R ntgengrenze Obere Grenze des Me bereiches Untere Grenze des Me bereiches Einstelldaten beim Betrieb mit Me ger t Potential des lonenfangers Potential der Katode Potential der Anode Emissionsstrom Heizstrom der Katode Heizspannung der Kathode Empfindlichkeit f r Stickstoff Maximale Leistung beim Ausheizen durch Elektronenbombardement Kat Nr Glass type of gauge tube Material of lead in pins Material of insulator Material of cathode Material of other electrodes Electrode system configuration Max ambient temperature during operation Max bake out temperature without plug X ray limit Upper limit of measuring ra
2. Hier den Kodierstift von innen mit einem Durchschlag austreiben Here knock out the coding pin from inside using an ejector drift Expulser ici la broche code avec un chasse goupille Abb 1 Stecker R hrenseite Fig 1 Plug gauge head side Fig 1 Fiche c t capteur 3 2 Betrieb In Anwesenheit von Halogen Gasen Fluor Chlor Brom und Jod oder deren Verbindun gen wird die Thoriumoxidschicht der Iridium katoden innerhalb k rzester Zeit abgetra gen die Katoden brennen infolgedessen durch In diesem Fall k nnen die Me syste me au er IR 10 IE 10 mit Wolfram Katoden best ckt werden Wir bitten um Anfrage Allgemeine Hinweise Eine nderung der Konstruktion und der in dieser Gebrauchsanweisung angegebenen Daten behalten wir uns vor Die Abbildungen sind unverbindlich 3 2 Operation In the presence of halogens fluorine chlori ne bromine and iodine or their compounds the thorium oxide thoria coat of the iridium cathodes is worn off within a short time caus ing the cathodes to burn through For such applications gauge heads exept IR 10 IE 10 with tungsten cathode are available to order General Notes We reserve the right to alter the design and data given in these Operating Instructions The illustrations are not binding 3 2 Fonctionnement En pr sence d halogenes fluor chlore bro me iode ou de leurs compos s la couche d oxyde de thorium thorine des cathodes eni
3. Cat No Set of electrodes anode a collector Cat No CrNi compression glass 1 0718 nickel plated 1 4301 iridium with thoria coating tungsten DN 40 KF Bayard Alpert 80 150 lt 1x 10 10 1x 10 2 2x 10 10 IM 210 IM 210 D IT 230 IT 230 DS 0 30 200 0 1 2 1 4 typ 2 5 typ 5 8A 9V 163 14 CrNi compression glass 1 0037 nickel plated 1 4301 iridium with thoria coating tungsten DN 40 KF Bayard Alpert 80 150 lt 1x 10 10 1X 10 2 2x 10710 IM 220 0 10 160 0 1 10 1 5 typ 3 typ 6 25 8A 9V 15817 IE 220 IE 413 IE 511 1 3917 glazed CER 708 1 3982 1 4306 iridium with thoria coating tungsten DN 35 CF Bayard Alpert 80 with adapting piece 400 400 1X 10 10 1X 10 2 2x 10 10 IM 210 IM 210 D IT 230 IT 230 DS 0 30 200 0 1 2 1 4 typ 2 5 typ 5 8A 9V 15857 15858 1 3917 glazed CER 708 1 3982 1 4306 iridium with thoria coating tungsten DN 35 CF Bayard Alpert 80 with adapting piece 3 400 400 lt 1 X107 1X 1072 2x 10 10 IM 2202 0 10 160 0 1 10 1 5 typ 3 typ 6 25 8A 9V 15818 158 58 158 19 1 3917 glazed CER 708 1 3982 1 4306 iridium with thoria coating anode Pt Ir 90 10 a Mo Pt wrapped wire collector W wire DN 35 CF Bayard Alpert 80 with adapting piece 400 400 1X 1071 1X 10 2 2
4. Ersatz Kathode Kat Nr Elektrodensatz V 10 V 100 mA 0 016 4 typ V 2 typ 1 mbar 0 5 Maximale Leistung beim 25 mA 600 V 16343 Anode u Kollektor Kat Nr siehe Abschnitt 1 3 2 siehe Abschnitt 1 4 Bayard Alpert 80 150 1 10 10 1 10 2 2 10 10 IM 210 IM 210 D IT 230 IT 230 DS 0 30 200 0 1 2 1 4 typ 2 5 typ 5 8A 9V 163 14 Bayard Alpert 80 150 lt T 19710 1 107 2 10 10 IM 220 0 10 160 0 1 10 1 5 typ 3 typ 6 25 8A 9V 15817 Bayard Alpert 80 400 mit bergangsst ck 400 Sein 1 107 2 10 10 IM 210 IM 210 D IT 230 IT 230 DS 0 30 200 0 1 2 1 4 typ 2 5 typ 5 8A 9V 158 57 158 58 IE 220 1 3917 KER 708 glasiert 1 3982 1 4306 Iridium mit Thoriumoxid Belag Wolfram DN 35 CF Bayard Alpert 80 400 mit bergangsst ck 400 lt A 9 0 1710 2 2 10 10 IM 2202 0 10 160 0 1 10 1 5 typ 3 typ 6 25 8A 9V 15818 158 58 158 19 3 Sonderausf hrung IE 413 IE 511 1 3917 KER 708 glasiert 1 3982 1 4306 Iridium mit Thoriumoxid Belag Anode Pt Ir 90 10 1 3917 KER 708 glasiert 1 3982 1 4306 Iridium mit Thoriumoxid Belag Anode Mo und u Mo Pt Manteldraht Duratinerm 600 Kollektor Wo DN 35 CF Bayard Alpert 80 400 mit bergangsst ck 400 lt 1 10 1 1 1072 2 107 IM
5. Alpert 80 avec pi ce d adapt 400 400 lt 1 10 19 1 107 210 10 IM 220 D 10 160 0 1 10 1 5 typ 3 typ 6 25 8A 9V 15818 15858 15819 Bayard Alpert 80 avec pi ce d adapt 3 400 400 lt 1 10 1 10 2 2 107 IM 510 0 50 180 0 05 20 1 4 typ 2 7 typ 17 60 mA 700 V 158 62 15863 Extraktor System 80 avec piece d adapt 3 400 400 Ste TOF 1 10 9 10 12 IM 510 100 220 0 5 2 1 4 typ 3 7 typ 5 30 mA 700 V 158 60 15861 1 voir 1 3 2 voir 1 4 3 ex cution sp ciale Marque d pos e de la Firme Vacuumschmelze AG Hanau 1 3 Systeme IR 20 IE 20 und IE 211 Die Systeme IR 20 IE 20 und IE 211 k nnen prinzipiell auch mit dem IM 220 betrieben werden Da Katoden und Anodenpotential bei diesem Betriebsger t jedoch von denen der angegebenen Betriebsger te abwei chen reduziert sich die Empfindlichkeit der oben genannten Me systeme in diesem Fall auf 3 3 mbar Dar ber hinaus ist zum An schluB eines IE 211 an das IM 220 eine MeBlei tung in Sonderausf hrung erforderlich Zu beachten ist da bei Systemen mit nur einer Katode die zweite von dem IM 220 als defekt angezeigt wird 1 4 Systeme IE 21 und IE 220 Die Systeme IE 21 und IE 220 k nnen auch mit den IM 210 IM 210 D IT 230 und IT 230 DS betrieben werden Dabei kann das IE 21 mit der MeBleitung f r das IE 20 Kat Nr 15843 ang
6. and anode potential with these control units are diffe rent from those of the IONIVAC IM 220 the sensitivity is increased to approx 7 5 mbar 1 3 Capteurs IR 20 IE 20 et IE 211 On peut brancher ces capteurs galement au coffret du manom tre IONIVAC IM 220 mais puisque les potentiels de la cathode et de l anode pour ce manom tre ne sont pas les m mes que pour les manom tres men tionnes dans le tableau la sensibilite des capteurs sera r duite dans ce cas a 3 3 mbar Pourle raccordement du capteurlE 211 au manom tre IONIVAC IM 220 il faut en outre un c ble de mesure sp cial Avec un capteur une seule cathode le manom tre IONIVAC IM 220 indique d ailleurs un d faut de la deuxi me cathode 1 4 Capteurs IE 21 et IE 220 On peut brancher ces capteurs galement aux manom tre IONIVAC IM 210 et IM 210D ou COMBIVAC IT 230 et IT 230 DS Pour le capteur IE 21 on peut se servir du c ble de mesure r f 15843 du capteur IE 20 un c ble de mesure sp cial n est necessaire que si on veut utiliser les deux cathodes Pourle raccordement du capteur IE 220 un desmanom tres ci dessus il faut toujours un c ble de mesure sp cial Comme les poten tiels cathodique et anodique pour ces mano metres ne sont pas les m mes que pour le IONIVAC IM 220 la sensibilite du capteur en sera augmentee a env 7 5 mbar 2 Anschlu an die Apparatur Beim Einbau ist darauf zu achten da die Me systeme beim Betrie
7. leadthrough may be damaged Nude Gauge Head IE 211 From series 3 on the IE 211 gauge head must only be connected by means of the lead Cat No 158 46 without coding pin If there is still a coding pin A it must be removed To do so open the plug cover and drive out the coding pin from inside using a drift punch This is necessary as otherwise the gauge head may be damaged The new series enables the installation oftwo cathodes But in that case a special gauge head cable must be used Ne jamais employer en plus de filtre en m tal fritt sur les capteurs IONIVAC qui cause raient des alt rations de mesure trop grandes 3 Remarques importantes 3 1 Branchement du c ble de mesure Ne pas enfoncer la fiche du c ble en forcant Avant de l enficher s assurer que toutes les broches soient parall les et droites sinon le passage de courant risque d tre d truit Capteur ins r jauge noy e IE 211 A partir de la s rie 3 n utiliserle capteur ins r IE 211 qu avec c ble de mesure r f 158 46 fiche sans broche code Si la broche code A s y trouve encore voir Fig 1 l enlever en poussant de l int rieur Ouvrirle couvercle dela fiche et expulserla broche code l aide d un chasse goupille Cette mesure est im p rative sinon le capteur risque d tre d t rior La nouvelle s rie est concue pour permettre d incorporer 2 cathodes mais dansce cason a besoin d un c ble de mesure sp cial
8. 2 2 10 10 IM 210 IM 210 D IT 230 IT 230 DS 0 30 200 0 1 2 1 4 typ 2 5 typ 5 8 A 9 V 16317 C C mbar mbar mbar u mA A V 1 mbar n siehe Abschnitt 1 3 see Section 1 3 Voir 1 3 1 2 Einbau Me systeme Einbau Me system IE 10 IE 20 IE 21 IE 211 Material der Durchf stifte CrNi CrNi CrNi 1 3917 Material des Isolators Druckglas Druckglas Druckgias KER 708 glasiert Material des Durchf tellers 1 0037 vernickelt 1 0718 vernickelt 1 0037 vernickelt 1 3982 Material des Flansches 1 4301 1 4301 1 4301 1 4306 Material der Katode Iridium mit Iridium mit Iridium mit Iridium mit Thoriumoxid Belag Thoriumoxid Belag Thoriumoxid Belag Thoriumoxid Belag Material der brigen Anode Ni Elektroden lonenf nger Mo Wolfram Wolfram Wolfram Gitter Mo Einbaume system auf Flansch DN 40 KF DN 40 KF DN 40 KF DN 35 CF Aufbau des Elektrodensystems Max Umgebungs temperatur bei Betrieb Max Ausheiztemperatur ohne Stecker Rontgengrenze Obere Grenze des MeBbereiches Untere Grenze des MeBbereiches Einstelldaten beim Betrieb mit MeBgerat konzentr Triode C 80 C 150 mbar lt 1 10 mbar 1 mbar 5 10 7 IM 110D Potential des lonenf ngers VO Poiential der Katode Potential der Anode Emissionsstrom Heizstrom der Katode Heizspannung der Katode Empfindlichkeit f r Stickstoff Ausheizen durch direkten Stromdurchgang Kat Nr
9. 510 0 50 180 0 05 20 1 4 typ 2 7 typ 17 60 mA 700 V 158 62 15863 Kollektor Wo Reflektor 1 3917 DN 35 CF Extraktor System 80 400 mit bergangsst ck 400 lt 1 10 12 11074 2 10 712 IM 510 0 100 220 05 2 1 4 typ 3 7 typ 5 30 mA 700 V 15860 15861 Eingetragenes Warenzeichen der Firma Vakuumschmelze AG Hanau 1 2 Nude Gauge Heads Nude Gauge Head IE 10 IE 20 IE 21 Material of lead in pins Material of insulator Material of pin sealing plate Material of flange Material of cathode Material of other electrodes Nude gauge head on flange Electrode system configuration Max ambient temperature o during operation Max bake out temperature without plug X ray limit Upper limit of measuring range Lower limit of CrNi compression glass 1 0037 nickel plated 1 4301 iridium with thoria coating anode Ni collector Mo grid Mo DN 40 KF concentric triode C 80 C 150 mbar lt 1x 107 mbar 1 measuring range mbar 5 X 1077 Operating characteristics IM 110 D when used with control unit Collector potential VO Cathode potential V 10 Anode potential V 100 Emission current range mA 0 016 Cathode heater current A 4 typ Cathode heater voltage V 2 typ Sensitivity for nitrogen 1 mbar 0 5 Max power dissipation during degassing by resistance heating 25 mA 600 V Cat No 16343 Spare cathode
10. b der Vakuum Ap paratur oder Anlage keinen Schwingungen St Ben oder Ersch tterungen ausgesetzt sind Die Einbaulage ist beliebig In unmittelbarer N he des Me systems darf jedoch kein Be l ftungsventil installiert werden Die schlag artig auftretende Luftstr mung kann eine mechanische Zerst rung der empfindlichen Katode zur Folge haben Beim Einbau von mehreren MeBsystemen an einem Bauelement T St ck oder Kreuz St ck ist eine optische Trennung vorzu sehen Die Me systeme d rfen sich nicht sehen Durch gegenseitige Beeinflussung k nnen Fehlmessungen verursacht werden 2 1 Einbau MeBsystem IE 10 Kat Nr 163 43 Die netzartige Elektrode Anode dieses Ein bau MeBsystems ist aus physikalischen Gr nden oval An der Anode d rfen keine Manipulationen vorgenommen werden Ein Ver ndern der Anodenform verf lscht das Me ergebnis 2 2 Me r hren IR 10 und IR 20 Der Kolben der Me r hre besteht aus JENAer GLAS 8243 Ausdehnungskoeffizient 52 107 pro C zwischen 20 und 300 C An die gleiche Glassorte kann sie direkt ange schmolzen werden An Apparaturen die aus 2 Connection to the Vacuum System Care should be taken when the gauge heads are fitted that they are not subjected to any undue disturbance from the apparatus or plant during operation impacts vibrations and shocks The gauge head can be fitted in any mounting position But no venting valve should be in stalled in direct vicinit
11. emplit la fonction de baffle optique suppl mentaire Die zus tzliche Installation von Sinterfiltern ist bei LONIVAC MeBsystemen nicht zul ssig da hierdurch zu hohe Me fehler auftreten k nnen 3 Wichtige Hinweise 3 1 Anschlu der MeBleitung Beim Anschlu der MeBleitung darf der Stecker nicht mit Gewalt aufgesetzt werden Achten Sie bitte vor dem Aufstecken darauf da alle Stifte parallel und gerade ausgerich tet sind Anderenfalls kann die Stromdurch f hrung zerst rt werden MeBsystem IE 211 Ab Baureihe 3 darf das MeBsystem IE 211 nur mit der Leitung Kat Nr 158 46 ohne Kodie rungsstift angeschlossen werden Falls der Kodierungsstift A siehe Abb 1 noch vor handen ist mu dieser herausgedr ckt wer den Hierzu den Steckerdeckel ffnen und den Kodierstift von innen mit einem Durch schlag austreiben Diese Ma nahme ist er forderlich da sonst das Me system besch digt werden kann Die neue Baureihe erlaubt den Einbau von zwei Katoden kat Nr 158 58 Dieser Betrieb ist je dochnurmiteiner Sonder MeBleitung m glich IONIVAC gauge heads do not permit the additional installation of sintered metal filters as this might cause measuring errors 3 Important Notes 3 1 Connection of gauge head cables The plug ofthe gauge head cable should not be forced onto the gauge head connector pins Before fitting please check that all pins are parallel and not bent in any way as otherwise the current
12. entladung gesch tzt werden durch den Einbau der Dampfsperre Best Nr 41178105 Diese Dampfsperre besteht aus mehreren Edelstahlblenden und pa t in jeden Kleinflansch DN 40 KF wobei der verwendete Zentrierring die Fixierung bernimmt Bei Glas Me r hren die unter Verwendung einer Quetschverschraubung eingebaut werden kann die Dampfsperre direkt zwi schengelegt werden Die Einbau Me systeme IE 10 und IE 20 auf DN 40 KF sind dagegen vor der Montage der Dampfsperre in ein Kleinflansch Bauteil einzubauen Wir empfehlen ein T St ck DN 40 KF mit dem eine zus tzliche optische Abschirmung erreicht wird Connection fittings for IE 211 IE 220 IE 413 and IE 511 Copper gasket set of 10 DN 35 CF Welding flange DN 35 CF Welding flange DN 35 CF rotary 1 set of bolts nuts and washers Note Do not use any force when inserting the plug Make sure at first that all pins are in parallel and straight as otherwise the current lead through may be damaged Cat No 839 43 Cat No 835 43 Cat No 835 63 Cat No 83901 2 4 Protective measures The IONIVAC gauge tubes and nude gauge heads can be protected against contamina tion or vapour deposits and particularly in sputtering plants against gas discharge by installing the baffle Ref No 411 78105 This baffle consists of several stainless steel plates and fits into every DN 40 KF small flange Fixing is by the centering ring With glass gauge tubes which are i
13. eschlossen werden eine MeBleitung in Sonderausf hrung ist nur dann erforder lich wenn beide Katoden genutzt werden sollen Zum Anschlu des IE 220 an eines der oben genannten Ger te ist prinzipiell eine MeBlei tung in Sonderausf hrung erforderlich Da Katoden und Anodenpotential dieser Be triebsger te von den Potentialen des IM 220 abweichen erh ht sich die Empfindlichkeit auf etwa 7 5 mbar 1 3 IR 20 IE 20 and IE 211 Gauge Heads These gauges can also be used in combi nation with the IONIVAC IM 220 control unit but as cathode and anode potential with the IM 220 are different from those with con trol units specified in the table the sensitivity of the above gauges will in that case be reduced to 3 3 mbar Additionally to con nect the IE 211 to the IONIVAC IM 220 a special gauge head cable will be required Please take also into account that for gauges with only one cathode a second cathode will be signaled as defective by the IONIVAC IM 220 control unit 1 4 IE 21 and IE 220 Nude Gauge Heads These gauges can also be used in combina tion with IONIVAC IM 210 and IM 210 Das well as with COMBIVAC IT 230 and IT 230 DS con trol units To connect the IE 21 the gauge head cable for IE 20 Cat No 158 43 canbe used a special cable is only required if both cathodes of the IE 21 shall be used To connect the IE 220 to one of the above control units a special gauge head cableisin any case necessary As cathode
14. gst ne Reflecteur 1 3917 Capteur insere sur bride DN 40 KF DN 40 KF DN 40 KF DN 35 CF DN 35 CF DN 35 CF DN 35 CF Systeme d lectrodes concentr triode Temp rature ambiante max durant le service C 80 Temp rature d tuvage max sans fiche C 150 Limite des rayons X mbar 1 107 Limite sup rieure de la zone de mesure mbar 1 Limite inf rieure de la zone de mesure mbar 5 1077 Donn es operationnelles IM 110D avec coffret d alimentation Potentiel du collecteur d ions vo Potentiel de la cathode V 10 Potentiel de l anode V 100 Zone du courant d mission mA 0 016 Courant de chauffage de la cathode incandescente A 4 typ Tension de chauffage de la cathode incandescente V 2 typ Sensibilit pour l azote 1 mbar 0 5 Puissance max pendant le d gazage de l anode chauff e par r sistance 25 mA 600 V R f 16343 Cathode de rechange r f Jen d lectrodes anode et collecteur r f Bayard Alpert 80 150 si 10 10 1 107 2 10 10 IM 210 IM 210D IT 230 IT 230 DS 0 30 200 G1 2 1 4 typ 2 5 typ 5 8A 9V 163 14 Bayard Alpert 80 150 lt 1 10 10 1 10 2 2 10 10 IM 220 0 10 160 0 1 10 1 5 typ 3 typ 6 25 8A 9V 15817 Bayard Alpert 80 avec piece d adapt 400 400 1 10 10 1 10 2 2 10 10 IM 210 IM 210 D IT 230 IT 230 DS 0 30 200 01 2 1 4 typ 2 5 typ 5 8A 9V 15857 158 58 Bayard
15. nge Lower limit of measuring range Operating characteristics when used with control unit Collector potential Cathode potential Anode potential Emission current range Cathode heater current Cathode heater voltage Sensitivity for nitrogen Max power dissipation during degassing by electron bombardement Cat No Capteur en verre Broches de passage en materiel Isolateur en Cathode en Materiau des autres electrodes Systeme d lectrodes Temp rature ambiante max durant le service Temp rature d tuvage max sans fiche Limite des rayons X Limite sup rieure de la zone de mesure Limite inf rieure de la zone de mesure Donn es op rationnelles avec coffret d alimentation Potentiel du collecteur d ions Potentiel de la cathode Potentiel de l anode Zone du courant d emission Courant de chauffage de la cathode incandescente Tension de chauffage de la cathode incandescente Sensibilit pour l azote Puissance max pendant le d gazage de l anode chauff e par bombardement lectronique R f JENAer Glas 8243 JENA GLASS 8243 VERRE JENA 8243 1 3981 1 3981 JENAer Glas 8243 JENA GLASS 8243 VERRE JENA 8243 Iridium mit Thoriumoxid Belag iridium with thoria coating Anode Ni lonenf nger Mo Gitter Mo konzentr Triode 80 400 1 107 4 5 10 7 IM 110 D 0 AO 100 0 016 4 typ 2 typ 0 5 25 mA 600 V 16342 Wolfram Bayard Alpert 80 400 lt 1 10 1 1 10
16. nstalled by means ofacompression fitting the bafflecan be directly inserted The nude gauge heads IE 10 and IE 20 on DN 40 KF small flange must be mounted into a small flange component before fitting the baffle We recommend a DN 40 KF tee by which additional optical screening is achieved Raccords pour IE 211 IE 220 IE 413 et IE 511 Lot de 10 joints en cuivre DN 35 CF Ref 83943 Bride a souder DN 35 CF Ref 835 43 Bride a souder DN 35 CF Ref 835 63 Jeu de boulons crous et rondelles Ref 839 01 Attention Ne pas mettre la fiche en forcant Avant de l enficher v rifier que toutes les broches soient paralleles et droites sinon le passage de courant risque d tre d truit 2 4 Mesures de s curit Les capteurs IONIVAC peuvent tre prot g s de la contamination par d p t de mat riaux vapor s ou pulv ris s par suite d une d charge dans le gaz l aide d un baffle r f 41178 105 Ce baffle consiste en plusieurs crans d acier inox et peut tre ins r dans toutes les petites brides DN 40 KF ou on les fixe par l anneau de centrage utilis Pour les capteurs en verre raccord s par l interm diaire d un serre joint on peut inter caler directement le baffle Les capteurs ins r s IE 10 et IE 20 sur petite bride DN 40 KF doivent par contre tre mont s dans un composant petite bride avant l installation du baffle Nous conseil lons l emploi d une pi ce en T DN 40 KF qui par sa courbure r
17. r IE 10 Ref 163 43 Pour des raisons relatives la physique l lectrode r ticulaire anode de ce capteur ins r est ovale Ne pas faire de manipulations sur l anode Toute modification apport e la forme de l anode fausserait les r sultats des mesure 2 2 Capteurs IR 10 et IR 20 Le corps du capteur est en VERRE IENA 8243 verre de duret moyenne dontle coef ficient de dilatation est de 52 1077 par C entre 20 et 300 C qui peut tre soud direc tement un verre ayant les caract ristiques JENAer GLAS DURAN Pyrex oder Solidex bestehen kann die Me r hre mit Hilfe von bergangsgl sern sogenannte Schachtel halme angeglast werden An Metall Apparaturen l t sich die Me r hre an einen Flansch durch eine Quetsch verschraubung anbringen Quetschverschraubung DN 40 KF f r Glasrohr 25 mm Kat Nr 184 66 2 3 Einbau MeBsysteme Die Einbau MeBsysteme sind auf einem Kleinflansch DN 40 KF bzw auf einem UHV Flansch aufgebaut und k nnen direkt an eine Apparatur angebaut werden Anschlu Zubeh r zu IE 10 IE 20 und IE 21 Zentrierring DN 40 KF mit Perbunan Dichtring dto jedoch aus Edelstahl mit VITILAN Dichtring bergangs Zentrierring DN 32 40 KF mit Perbunan Dichtring dto jedoch aus Edelstahl mit VITILAN Dichtring Spannring DN 32 40 KF Kat Nr 18343 Ultra Dichtring DN 32 40 KF Kat Nr 88377 St tzring DN 32 40 KF Kat Nr 883 78 Spannring fur Ultra Dichtring Kat N
18. r 183 28 Kat Nr 883 48 Kat Nr 18358 Kat Nr 883 58 Kat Nr 882 78 seal tubulation fittings can be used for con necting apparatus made of JENA GLASS DU RAN Pyrex or Solidex The gauge tube can be fitted to metal systems by means ofa steel flange with com pression fitting DN 40 KF compression fitting for glass tubulation 25 mm dia Cat No 184 66 2 3 Nude gauge heads The nude gauge heads are mounted on a DN 40 KF small flange or a UHV flange respectively and can be fitted directly to the system Connection fittings for IE 10 IE 20 and IE 21 Centering ring DN 40 KF with Perbunan O ring gasket Cat No 183 28 Centering ring DN 40 KF of stainless steel with VITILAN gasket Adapting centering ring DN 32 40 KF with Perbunan gasket Adapting centering ring DN 32 40 KF of stainless steel with VITILAN gasket Cat No 883 58 Clamping ring DN 32 40 KF Cat No 18343 Ultra high vacuum sealing ring DN 32 40 KF Cat No 88377 Supporting ring DN 32 40 KF Cat No 883 78 Clamping collar for ultra high vacuum sealing ring Cat No 883 48 Cat No 183 58 Cat No 88278 convenables Le soudage aux appareillages ou syst mes en VERRE IENA DURAN Pyrex ou Solidex peut s effectuer par l interm di aire de tubes en verre de transition nom populaire bambous Le capteur peut tre raccord aux appareil lages m talliques par une bride en acieravec serre joint l interm diaire d un serre join
19. ridium esttr s vite usag e etles cathodes br lent Dans ce cas on peut quiper les cap teurs sauf IR 10 IE 10 de cathodes en tung stene Veuillez nous consulter ce sujet Remarques g n rales Nous nous r servons le droit de modifier la construction et les donn s techniques indi qu es dans le pr sent mode d emploi Les illustrations sont sans engagement LEYBOLD HERAEUS GMBH Bonner Stra e 498 Postfach 5107 60 D 5000 K ln 51 Telefon 0221 3 7011 Telefax 02 21 37 01 250 Telex 888481 20 Ih d DFS 10 0 2 86 Printed in the Federal Republic of Germany
20. t Petite bride DN 40 KF avec serre joint pour tubulure en verre de 25 mm de diam tre R f 184 66 2 3 Capteurs ins r s Le syst me d lectrodes est mont sur une petite bride DN 40 KFou surune bride ultra vide et le capteur peut donc tre mont directement sur l appareillage sous vide Raccords pour IE 10 IE 20 et IE 21 Anneau de centrage DN 40 KF et joint en Perbunan R f 18328 id mais en acier inox avec joint en VITILAN R f 88348 Anneau de centrage pour passer de DN 40 KF DN 32 KF et joint en Perbunan R f 18358 id mais en acier inox avec joint en VITILAN R f 883 58 Collier de serrage DN 32 40 KF R f 18343 Joint rondelle ultra vide DN 40 KF 32 KF R f 88377 Anneau support r f 88378 Collier de serrage pour joint rondelle ultra vide Ref 88278 Anschlu Zubeh r zu IE 211 IE 220 IE 413 und IE 511 Kupfer Dichtung Satz 10 St ck DN 35 CF Kat Nr 83943 Anschwei flansch DN 35 CF Kat Nr 83543 Anschwei flansch DN 35 CF Kat Nr 835 63 1 Satz Schrauben Muttern und Unterlegscheiben Kat Nr 839 01 Achtung Stecker nicht mit Gewalt aufsetzen Achten Sie bitte vor dem Aufstecken darauf daB alle Stifte parallel und gerade ausgerichtet sind Anderenfalls kann die Stromdurchf hrung zerst rt werden 2 4 Schutzma nahmen IONIVAC Me r hren und Einbau Me syste me k nnen gegen Verschmutzung oder Be dampfung und speziell in Sputteranlagen vor Gas
21. x 10 1 IM 510 0 50 180 0 05 20 1 4 typ 2 7 typ 17 60 mA 700 V 158 62 15863 1 3917 glazed CER 708 1 3982 1 4306 iridium with thoria coating anode Mo and Duratherm 600 collector W wire reflector 1 3917 DN 35 CF Extraktor System 80 with adapting piece 3 400 400 1x 10 2 1x 10 4 2x 10 12 IM 510 0 100 220 0 5 2 1 4 typ 3 7 typ 5 30 mA 700 V 158 60 15861 1 see Section 1 3 2 see Section 1 4 3 special design Registered trade name of Vacuumschmelze AG Hanau 1 2 Capteurs IONIVAC ins res Capteurs IONIVAC inseres IE 10 IE 20 IE 21 IE 220 IE 413 IE 511 Broches de passage en CrNi CrNi CrNi 1 3917 1 3917 1 3917 1 3917 Isolateur en verre comprim verre comprim verre comprim CER 708 vernie CER 708 vernie CER 708 vernie CER 708 vernie Platine de scellement en 1 0037 nickel 1 0718 nickel 1 0037 nickel 1 3982 1 3982 1 3982 1 3982 Bride en materiel 1 4301 1 4301 1 4301 1 4306 1 4306 1 4306 1 4306 Cathode en Iridium recouvert Iridium recouvert Iridium recouvert Iridium recouvert Iridium recouvert Iridium recouvert Iridium recouvert de thorine de thorine de thorine de thorine de thorine de thorine de thorine Mat riau des autres Anode Ni Anode Pt Ir 90 10 Anode Mo et electrodes Collecteur Mo Tungstene Tungstene Tungstene Tungstene et fil enrob Mo Pt Duratherm 600 Grille Mo Collecteur Collecteur fil tungst ne fil tun
22. y of the gauge head Sudden exposure to air flow may cause mechanical damage to the sensitive cathode When fitting several gauge heads to one component tee or cross they should be optically isolated from each other optically opaque mounting mutual interaction may cause faulty measurements 2 1 Nude gauge head IE 10 Cat No 163 43 For physical reasons the netshaped electro de anode of this nude gauge head is oval Do not carry out any manipulations on the anode Changes of the anode shape will cause faulty results 2 2 Gauge tubes IR 10 and IR 20 The bulb of the gauge tube is made of JENA GLASS 8243 a medium hard glass with a coefficient of expansion of 52 x 10 7 per C between 20 and 300 C It can be fused directly to the same type of glass Graded 2 Raccordement au systeme a vide Il faut veiller ce que les capteurs ne subis sent pas de vibrations chocs ou secousses pendant le fonctionnement de l appareillage ou de l installation sous vide Onpeutles monter dans toutes les positions Il ne faut toutefois pas monter de robinet d entr e d air proximit du capteur L irrup tion soudaine d air peut en effet provoquer un dommage m canique de la cathode Si on monte plusieurs capteurs sur un com posant pi ce en T ou croix il faut pr voir une s paration optique entre les capteurs montage opaque en effet l influence r ciproque peut tre une source d erreur de mesure 2 1 Capteur ins

Vakuum

Contents

Download Pdf Manuals

Related Search

Related Contents