ヒーター交換要領書
Contents
1. EN ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02 1 MP 2 0 i iii i 1 TP 1 S411 11Y a 1 192 Tri a 1 9 7 N EE 2 MA OO Mi i 2 3 2 282 tee 3 SE cc 4 4 MU Nch 6 NN ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02 1 1 12. A 4 ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02 1 2 3 4 5
3. 10 500V 10M 500V 10M 11 12 13 14 8 ULK 10A 14A ULVAC No 090317
4. 6 7 8 9 lt 10 5 ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02
5. 4 100OV 90 C 2 120g 1cm 6 ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02 A 90C 4 10Nm
6. 3 10Nm 4 10Nm 3 10Nm 3 10Nm A Q 5 100V 170C Q 6 170C 3 7 1707C 8 EN a ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02 9
7. rle gt s a A Es LE 15 L 40 5 xL 185 1 le 5 0 0 15 L 40 3 EE EI 1 ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02 1 3 M6x25 4 2 2 Um mw oo mh 4 M6 6 4 M4 W1 7 Me uohohwhwhdlIhuhuhtu li 9 E Mx 9 E Mx oo lo 1 mh 0 EE IhWh 5 M5X10 M5 3 0 V Wl1 M5 0 61g 1 4 me em wm ho ma wmonaion me ws ls BN we 1 2 ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 0
8. SK00 4802 DC 001 02 15 SA 0 11 A a NN Sc A lt 16 17 18 500V 10M 500V 10M 0 19 2 20
9. 21 9 ULK 10A 14A
10. 2 2 2 1 5N m LU Box 10mm 3 ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02 3 gt gt N HWFM gt
11. ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02 ULK 10A ULK 14A http www ulvac cojp ULK 10A 14A ULVAC No 090317 SK00 4802 DC 001 02 ULVAC ULK 10A ULK 14A
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