第4章 TPD カーブの解析方法
Contents
1. 1x108 0 0000 100 O 10710 upnagggpnagggapnaggunadgaeqiinagauunadatbndttc e H200 2 18 O 00000 410 000000000000000000 OU unugupnxugupnagunagunagunagupnadgupnadgpmiauudun 1emx 1cmx 80nm O 0 00 8x 10 2ms3 8pmei D 1 22 3 2 U 600 3004 2 251x30 0000 4 1 1 31 1 5 107 0000000000000 00000000000000 1 1020 0 0 10000 0 H 2On DD n n 2 00 09 1 50E 09 D 100E 09 g lt 5 00E 10 0 00E 00 50 200 350 500 650 800 Temperature C 0 4 1 HOQ 000 pDupnnununuunuunuunununuunugnnuagapnaudnpmoaunmpa n 0000 4100000 110 1 100 11 11000000 00 0 0 00 O 1x 100 1x 1010 1x 10120 0 0 1x10 000000000000000 00 4100000 0000 H200 000000 041 00002. 15 16 17 18 19 000000 20 21 22 23 000000000000 00 M2z 2800 0 CH4I OO DO 24 2 26 00000000000000 D uuu 43 1 2
3. 2 OH 0 Mz 10 000 6 10 2000 3 2 3 FFO 5 19980000 0000 QM 5 34 1000 FFHDUDBUDUD 000 2 Ti OCz2 s40 000000 H200 M Z 180 000000000 00 2 160 000000600 0 4 2 Intensity A U 50 200 350 500 650 800 Temperature 0 4 2 M z 16170 00 180 TDS 0000 10 2 2
4. 6 200 9 2 FF 19 5 0 20 100 0 10 0000 200 9 M z FF 20 100 22 10 2 11 000000 C2H0 260 9 M z FF 12 2 5 13 5 6 24 5 6 25 20 1 26 100 0 27 2 8 12 000000 com 280 2 M z FF 12 6 3 14 0 8 16 2 8 28 100 29 1 2 13 000 NJ M z FF 14 14 28 100 0 7 0 7 90ev 70ev 9000 d 70 1 21 3 M z FF 1 3 2 100 2 4 3 M z FF 4 100 3 0000 CHAD 160 9 M z FF 1 16 5 12 3 0 13 7 8 14 16 0 15 85 0 16 100 17 1 2 4 000000 NK 179 M z FF 14 2 2 15 7 5 16 80 0 17 100 18 0 4 5 2 18 9 M z FF 2 4 16 1 8 17 26 18 100 14 00000 9 18 0000210 32 9 M z FF M z FF 12 21 16 18 13 3 5 32 100 14 6 3 34 0 4 24 3 7 25 11 7 19 00000 360 26 62 3 2 27 64 8 35 17 0 28 100 0 36 100 29 2 2 37 5 4 38 32 4 15 0000 Cer 30 9 M z FF 20 00000 400 9 1 9 6 2 12 0 7 20 22 6 13 12 36 0 34 14 3 3 38 0 06 15 4 7 40 100 25 3 8 26 22 2 21 000000 Com 9 27 33 4 2 28 100 12 9 7 29 20 0 16 16 0 30 22 2 22 2 1 28 13 0 16 44 100 M z FF 45 1 2 14 7 48 15 2 4
5. 2 1 24 C2 25 CoH 0 8 26 CoH 2 8 27 2 28 CO 1 2 2 13 0 13 4 O 2 20 N29 29 C2Hs5 58 0 10 41 30 C2H6 CH20 31 CH3O 3 68 32 O24 CHO 35 35C 36 35 37 373 38 37 40 1 07 41 C2H O 5 3 58 42 C2H20 9 C3H e 12 14 43 C2H3O C3H 7 100 0 44 CO232 100 14 5 3 72 45 C2H50 1 2 66 3 86 74 46 C2H50H 3 100 1 08 47 C2H5O0H2 6 2 60 C2H 402 50 22 61 C2H 502 1 02 50 004 0000 0000 UD 1 H 1 99 9885 2 0 0115 2 He 3 0 000137 4 99 999863 6 C 12 98 93 13 1 07 7 N 14 99 632 15 0 368 8 O 16 99 757 17 0 038 18 0 205 10 Ne 20 90 48 21 0 27 22 9 25 14 Si 28 92 2297 29 4 6832 30 3 0872 16 S 32 94 93 33 0 76 34 4 29 36 0 02 17 CI 35 75 78 37 24 22 18 Ar 36 0 3365 38 0 0632 40 99 6003 51
6. 4 36 6 2 Intensity A U 50 200 350 500 650 800 Temperature C 4 4 2 000000000000 MID Data C WA 1000SX DataX NCA T0002YTi 2 mfd 2002 050 16 14 00 52 Ti 21 0O00 O00000 fmin 2PC Pa M z 1 M z 2 M z 12 1 0 45 43 1 38E 07 9 66E 12 3 92E 11 2 99E 13 2 0 06 45 44 1 38E 07 9 45E 12 3 92E 11 2 56E 13 3 0 13 45 43 1 38E 07 9 42 12 3 93E 11 3 06E 13 4 0 2 44 43 1 38E 07 9 30E 12 3 87E 11 2 83E 13 37 0 27 45 1 38E 07 8 65E 12 3 91E 11 2 73E 13 o 0 33 1 37E 07 9 10E 12 3 79E 11 3 69E 13 D uuu DH 2 coogi I U LUM z 1l M z 21 M z 1201 O O IDO O U OM Z 11 M z 2 M z2 120 OOO U U 2002 O5 16 14 00 52 Ti 21 18 M z 1 2 2 2 12 2 15 2 16 2 17 45 8 61 12 3 75E 11 2 76E 13 8 16E 13 1 47E 11 8 55E 12 44 9 26E
7. 44 60230 C2H4O 4 45 C2H 50 46 C2HsOH 3 47 C2HsOH gt 60 C2H 4029 61 C2H502 Partial pressure measurement in vacuum technology I nficon 2001 p 26 00000 48 003 FF 0000 H2 H20 HCI CI C2H5OH C2H5OH 1 H 3 2 4 2 H2 100 12 C 13 CH O 14 CH29 O 15 16 4 NH2 1 8 17 NH3 26 18 H204 NH 4 100 5 5 19 H3O 2 3 22 CO2 24 25 2 26 CoH 2 8 3 27 C2H 3 23 9 28 C2H4 1 6 9 N24 29 C2H5 CHO 23 4 30 C2H 6 CH20 6 0 O 31 CH3O 100 32 O23 CH40 14 35 35 17 0 100 36 H CI 100 37 37 5 4 31 9 38 H37CI 32 4 40 C3H4 41 C2H O C3H5 42 C2H20 C3H e 2 9 43 C2H 30 C3H7 44 CO239 7 6 8 45 C2H 50 34 4 46 C2H 50H 16 5 47 C2HsOH gt 60 C2H 4029 61 C2H 502 49 3000 1 0000 CO2 HCOOH HCOOH CH3COOH 00 1 H 2 2 12 CH 9 7 13 CH 2 97 14 gt 9 2 2 6 75 15 7 5 27 87 16 OX CH4 NH2 16 0 80 0 2 28 17 OH NH3 100 1 26 18 H209 NH4 0 4 18 1 19 H3O 22
8. 000 180 0000000 2 000000000000 0 0 U H200 2 180 0000000 100 00000 OH 0 170 0000000 H200 2 180 0 2374 M z 160 0000000 H20 35 0 M z 18 0 1 1 0 O D 4 0 OH M z 17 0 0 0 0 0 I H20 M z2 18 0 O 0 23 O M zal6 0 O 0 0 H2O M z 18 0000 FF 0 01D T I2 8 8 2 430000000 2 1700 0 000 20000000 00 OHO H20 M z 18 x 0 23 FF Intensity A U 7 2 17 db iiini 50 200 350 500 650 800 Temperature C U 4 3 M O 17H 00000 000 H200 00 44000000000 0 2 16 0 000 2 18 200000000 00 o
9. 000000 10000000000000000000 H20 M0 180 2 17 0000 23000000000 H 20M40 0 18 0 U 000 0230000000 HO0O M0 0189000000000000 egBM zarr 1 E000 HOMO 0 1800000 023000000000000 2 E500 5 30 000000000 E30 FFO 0 230000000000 000 5 40 1 2001 O7 02 11 00 11 2 Ti 5 3 0 23 H20 M z 18 x 4 UU M z 17 M z 18 FF 5 47 1 46 11 4 73 11 C5 E 3 6 47 1 50 11 4 81 11 7 47 1 38 11 4 82 11 8 48 1 55 11 5 01E 11 9 48 144 11 4 98 11 10 48 1 65E 11 5 24E 11 11 49 1 76E 11 5 25E 11 3 00 500000000000000600 1 1 070 020 11 00 11 2 Ti 5 3 0 23 4 1 M z 17 M z 18 H2O M z 18 x FF 5 47 1466 11 4 73 11 1 32E 11 6 47 1 50E 11 4 81 11 1 35E 11 7 47 1 38 11 4 82 11 1 35E 11 8 48 155bE 11 5 01 11 1 40E 11 9 48 LA4E 11 4 98 11 1 39E 11 10 48 1656 11 5 24 11 1 47E 11 11 49 1766 11 5 25 11 1 47 11 4 0000000000 17 0000000000 0000 0000 1000 450000 H20 M z 18 x 0 23 FF 17 50 200 350 500 650 800 Temperature 045 M m 170 00000000 20000 41 10 0 00 S
10. 12 3 82 11 2 86E 13 7 36E 13 1 57E 11 9 17E 12 45 8 96E 12 4 00 11 2 56E 13 6 80E 13 1 41E 11 8 84E 12 45 9 65E 12 3 83E 11 3 04E 13 6 99E 13 1 45 11 9 33E 12 45 9 25E 12 4 00E 11 2 72 13 6 99 13 1 50E 11 8 99E 12 45 9 25E 12 3 91E 11 2 31E 13 7 13E 13 1 45 11 8 81E 12 45 9 54E 12 3 99E 11 2 56E 13 6 64E 13 1 50E 11 9 16E 12 3 2 2002 050 16 14 00 52 Ti 21 M z 1 M 2 2 12 2 15 M z 16 M z 17 M z 18 45 954 12 3 99 11 226 15 6 64E 15 1 50E 11 916 12 1 706 17 44 8 7 12 4 07E 11 2 68E 13 6 78E 13 1 52 11 8 50 14 1 70 11 45 903 12 3 82 11 2 97E 13 6 82 13 L51E 11 amp 96E 12 1 77 11 45 8 94E 12 3 94E 11 2 94E 13 6 50E 13 1 46E 11 9 81E 12 1 81E 11 46 9 19E 12 3 99E 11 2 66E 13 6 65E 13 1 57E 11 1 02E 11 1 97E 11 38 48 49 51 54 56 58 61 1 18 8 94 12 1 08 11 1 10 11 1 40 11 1 60 11 1 96 11 2 47E 11 3 94E 11 3 99E 11 4
11. 00000 Ti 1000000 0 112 410000 1 5x10 0 0000000000000000 00000000000 1x105 100000 H 20000000000000 2 H00 00000000 Spm 00000000 Ti 3 95x 1070 00000 4 17 108 100000 000000000 43 440000 33 040 2 D uuu D D uut 1 52x 1079 2 51x 1016 mol 4 17x 1078 TiDOnD 1 12 10 1 1 52 10 10 2 51 1015 4 17x 1079 1 12 1072 1 52 10 1 2 51 1014 4 17 10 10 1 12x 1073 1 52 10 2 2 51x 1013 4 17x 1074 1 12x 10 4 1 52x 10 1 102 2 51x 1012 4 17x 10 12 040 00000000 H200 00 00 8m0 0000 3 95x 10 00000000000 1 12x 1075 mol mol 1080 000 Ti map E 1019 1o D 000 1010000 1019 1020000 1010000 1020000 1000060 000 2
12. 000000000 H200 00 0000 mol 1 52 1079 2 51 1016 4 17x 108 1 52x 10710 2 51 1015 4 17x 1079 1 52x 10 1 2 51 1014 4 17 10 10 1 52 10 12 2 51x 1013 4 17x 10 1 1 52x 10 13 2 51x 1012 4 17x 10 12 D uuu 1 22 1 H200 0 0 UU 251x105 1 1030000000 0000 0000 152x102 32 1 1 1 2 0 42 10 n 000 10 10 nr 103 n 10 Hon 10 0000 1020000 10 Dn nn 10730000 10720000 H T npngupnuununupnnunnumanpnauapnpununudn 00000 3 95x 10 0 00000000000 0714 10 00000 0000000600 1 52 1020 000000 Hoop 4 17x 10800
13. 040 UUDUD EX HET ZI 153 IT og E E 000 5
14. 09E 11 4 04E 11 4 07E 11 4 06E 11 4 27E 11 2 42E 13 8 16 2 52E 13 1 02E 2 98bE 13 1 16 2 41 13 1 43 2 88 13 1 85 3 13 13 2 34 2 95 13 2 96 2002 050 160 14 00 52 Ti 5 APT 45 46 48 49 51 54 56 58 13 1 74 11 12 1 85 11 12 2 09 11 12 2 52 11 12 3 14 11 12 3 92 11 12 4 99 11 2 16 2 17 M za8 1 46 11 9 81E 12 1 81 11 157E 11 1 02 11 1 97 11 1 74E 11 1 23 11 2 12 11 85 11 1 50 11 2 40 11 2 09E 11 1 90 11 2 88E 11 2 52E 11 2 55E 11 3 69 11 14 11 3 42 11 4 73E 11 3 92 11 4 85 11 6 17 11 39 1 23 11 1 50E 11 1 90E 11 2 55E 11 3 42bE 11 4 85E 11 6 41E 11 2 12bE 11 2 40E 11 2 88E 11 3 69E 11 4 73E 11 6 17E 11 8 33E 11 D uuu 000 H20 M0 0 180000000 2 17 0
15. 1 30 100 31 7 48 32 2 41 1 000000 CH 0H 320 9 M z FF 18 1 9 28 6 4 29 64 7 31 100 32 66 7 33 1 0 45 22 U HL B D U CHi 440 9 2 FF 25 0 0 0 HCOOH 460 9 1 5 0 M z FF 12 0 6 28 13 4 13 0 9 29 58 0 14 2 3 44 14 5 15 7 2 45 66 3 25 0 8 46 100 26 9 8 47 6 2 27 43 5 28 61 0 26 460 b 29 100 2 FF 30 21 7 14 9 6 37 4 6 16 22 3 38 6 7 30 100 39 20 2 46 37 0 40 2 6 47 0 1 41 15 0 42 4 8 43 22 8 27 00000 CHsCOCH 580 9 44 24 0 M z FF 45 0 8 14 3 85 15 20 70 23 440 9 26 5 19 M z FE 27 7 85 14 12 9 29 2 85 15 0 1 37 1 48 16 5 0 38 1 68 28 10 8 39 4 30 29 0 1 41 1 43 30 31 1 42 7 65 44 100 43 100 45 0 7 44 2 27 46 0 2 58 24 56 24 000000 5 46 9 M z FF 17 5 5 18 2 3 26 8 3 27 23 9 28 6 9 29 23 4 30 6 0 31 100 0 32 14 42 2 9 44 7 6 45 34 4 46 16 5 46 28 n 0 O O U n C4H 00 580 9 30 0 0 0 600 9 M z FF M z FF 14 1 0 13 2 97 15 1 3 14 6 75 26 4 1 15 27 87 27 27 1 16 2 28 28 26 4 17 1 26 29 36 7 28 2
16. 20 38 1 7 29 10 41 39 10 9 31 3 68 40 1 1 40 1 07 41 28 2 41 3 58 42 28 2 42 12 14 43 100 43 100 44 3 2 44 3 72 50 1 1 45 86 74 51 1 1 46 1 08 55 1 0 60 50 22 57 2 6 61 1 02 58 13 9 59 0 8 3 2 C3H7OH T 600 9 29 1000002000 LU iso C4H ao 2 FF u 580 9 15 3 39 M z FF 19 2 86 14 1 24 26 1 36 15 6 89 27 8 58 26 2 71 29 6 29 27 25 56 31 3 53 28 3 33 38 1 42 29 5 69 39 5 63 37 2 30 41 7 15 38 4 10 42 3 55 39 22 71 43 15 78 40 3 42 44 4 37 41 41 86 45 100 42 34 85 46 2 60 43 100 57 1 11 44 3 34 59 3 94 50 1 35 51 1 03 a Partial pressure measurement in 57 3 34 vacuum technology Inficon 2001 58 3 92 P 27 59 0 21 b 30 000 00000 1978 o 0000 d 1998 47 2 0000000000000 UD 1 MU 1 H 2 2 4 12 C 13 CH 14 CH2 15 CHs NH 16 CH 4 NH2 17 OH 5 18 H204 NH 4 19 F 20 20Ne HF 9 22 6021 2Ne 24 C24 25 CoH 26 C2H 2 0 27 C2H 3 28 COH C2H4 N20 29 C2Hs CHO 30 C2H e CH20 0 31 32 O23 CH40 3 34 18O16O 34S 2326 41 35 35C 36 H35C 37 37C 38 H37C 39 C3H3 40 C3H 48 41 C2HO CsHs 42 C2H 203 C3H e 43 C2H 30 CsH 7
17. ubtrat O 000000000000 00 3 5 amp Subtrat O 0 0000000 000 subtract 42 000 Hel 1 11 12 000000000000 13 14 55
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