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BS78

1. 10 mm 2 mm 1 mm 40 mm 10 mm 5 mm
2. UN BS78 u 3 For EU and EFTA countries Marking by the symbol CE indicates compliance with the EMC directive of the European Community This marking shows conformity to the following technical
3. 4 J BS78 3 3 1 II 5 32 Z r e L OEM D 8 3 3 ae 12 3 13 3 4 1 Ek 13 Se E 14 ME RE WEE 15 3 1 1 2 3 BS78 N NS R RS Rmax 6 3S 0 01 mm 0 01 mm Rmax 12 5S
4. B H For foreign customers Note This product or technology may be restricted by the government in your country Please make sure that end use end user and country of destination of this product do not violate your local governmen
5. 20 C 20 C 23 C Bl 1 2 13 4 0 1379 1 2 3 x 1 23 20 x C0 7 x 10 0 1379 gt SECH N CH On 20 C amp U8 n 2 10 c1 2 3 2 BD60 95 BD60
6. BS78 A A SS LE A wt J 1 IF POPs 790 nm
7. 40 EE 50 50 50 50 48 1 97 1 97 1 97 1 997 1 899 L 296 11 65 70 Ja 320 2 2 essen 20 0 79 48 1 89 L 50 50 50 50 50 43 1 97 1 97 D n 1 97 1 97 1 69 96 3 78 L 346 13 62 120 u s 3970 20 0 79 50 50 23 0 91 50 50 50 50 50 68 1 97 1 979 1 997 m 1 97 197 197 2 68 L 146 5 75 L 396 15 59 170 420 wee 20 0 79 50 50 48 50 50 50 50 50 50 93 1 97 1 97 1 89 1 97 1 97 1 97 1 97 1 979 1 979 3 66 196 7 72 L 446 17 56 22g ee EEE 50 50 50 50 2310391 1 997 1 97 1 97 87 ZR FUR s d Error 1 Unit mm inch Fig 3 24 Deletion of reference point quantity when the reference point is changed or when a vacuum is used is available as a special specification BS78 E 17 4 Spcifications Specification Measuring length mm inch Performance and functions 10 N NS only 40 70 120 170 220 270 320 370 420 Overall length mm inch 58 mm Measuring length 10 mm Open sided type Measuring length
8. 3 11 BS78 J 9 4 3 9 2 3 A B AA 1 4 N m BS78 40N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS 3 12 ee EE 9 8N 3 13 4 9 N JEDO ZE
9. Im 0 01 M M 3 8 BS78 40N NS R RS 120N NS R RS 170N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS M4 x 8 M4 x 8 Pd S md m 4 ei 7 4 4 I N 8 J 3 9 BS78 2 ED z 51 2ER BS78 40N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS M4x8 M4x8 m 4 m 4 BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS 3 10 3
10. o 4 ON
11. L28 0 Sy 7 48D 6Sp o gl j s GEESE 9v 8LLO E OE X EN Z 80070 96t L 9 ASJoS Bununoui peau 1049943 l z0r8e E a LOZE pee imi 505 Sls leie GLIFE gt SI lele S 6c lt 525 SIS it lio JAIN oo EIE m SER EE E 9 pr oo H8L0 9 S 38 9620 9 8LLOE 29 K L GELS H gg OE EIS 8z Z 8S 9JoS Bununoui e eog 800 0F 986 0 ZO 86 N A 69 1 Er uonisod uonoeiep eubis sleoS E 19 BS78 pin6 euldoeuw y ol s19J 1 IN 7 SION your 009 S S ZL Xewy sl eoehns 6ulunow peay Joloslep ay Jo sseuuBnoi eoeuns oul 8 eloN your 092 S 6 9 xewy SI eoeuns Bununoui eleos eu jo ss uuBnoi seoehns yL Z 91ON eoeuns 6ulunow eui uo suolsueuwlp 6ululdoew eui eleolpul Jsuelse ue Aq peyJew sway eu SION youl ww lun duuelo sleoS 496t V 464070 Z ald aoualajay 6Z0 0 2 199edS BS78
12. OE 13 13 10 J BS78 6 ZA gt B gt A OU TRHLIILFT HONG ES 1 4N m 5 3 12 1 2 3 BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS 13 14 7 1 4 N m BS78 270N NS R RS 320N NS R RS gt Oa 0 9 a Ce N C 13 15 8 BS78 J 11 3 3 1
13. 3 18 1 2 3 18 3 2 0 8 N m 4 3 19 2 0 2 mm 3 19 D A B 320 1 6 Vp p Hr n 1 6 Vp p 5 7 14 J 13 20 BS78 LH 3 5
14. M4x 8 3 M4 x 8 ww 13 21 BS78 J 15 3 6 R RS 3 6 1 3 22 3 6 2 3 23
15. 10 rW 1 eui RIA Are JIS C6802 CDRH CDRH Center for Devices and Radiological Health 1976 8 1 EN60823 1 1 CLASS 1 LASER PRODUCT CLASS 1 LASER PRODUCT LASERSCHUTZKLASSE 1 PRODUKT TO EN 60825 2 J BS78 A AN
16. 2 M3 x 30 3 3 16 12 J BS78 3 4 3 4 1 OFF BD BS78 1 HEAD IN Lat 2 CH1 S SIN EG GND 3
17. Fig 3 13 10 E BS78 D Leave the scale in the condition of Fig 3 12 for one hour or more until the scale temperature stabilizes 6 Secure the remaining scale clamps by gradually and alternately tightening screws A and B Use only the right side scale clamp for clamps with two screws and use the right side and the left side scale clamps for clamps with three screws Final fastening torque 1 4 N m BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS Fig 3 14 7 Fasten scale clamps on both ends of the scale with the same torque Final fastening torque 1 4 N m BS78 270N NS R RS 320N NS R RS Fig 3 15 8 Check the surface of the scale for oil and dust If the surface is dirty wipe it clean with gauze moistened with alcohol Be sure to wipe off oil and dust on the surface thoroughly BS78 E 11 3 3 Detector Head Mounting 1 Move the machine table and adjust the mounting position of the detector head to roughly the center of the scale 2 Use the supplied mounting screws to semi tighten the detector head Detector head mounting screw M3 x 30 hex socket head cap screw Scale Plain washer Scale clamp nominal 3 Detector head Reference plate Detector
18. 5 15 2 2 kk 1 2 1000 mm 1 1000 mm H A O E EE E kkk 1 1 2 X Y DC 0 1 V DIV X Y 1 MHz RAIL A RONS SA A lt 11 1 EE AIS WE OLE EE 1 e EE 1 Tua n CN n aun un m Nuu mmm as TIE TSS cena aaa M M xu BS78 J 3 2 3 2 3 1 Pc 0 55 um Ps 1 4 0 14 um 20 C Ps 0 1379 um 4
19. Fig 3 17 4 Set the TIME DIV switch to the X Y mode 5 Get the deviation sensitivity VOLTS DIV of CHI and CH2 to 0 5 V DIV 6 Set the input coupling switches of CH1 and CH2 of the oscilloscope to GND and adjust the oscilloscope to locate the signal in the center of the screen 7 Set the input coupling switches of CHI and CH2 of the oscilloscope to DC 8 Turn the detector s power on BS78 E 1 3 3 4 2 Azimuth Adjustment The direction shown in the figure below is referred to as the azimuth direction A stable output signal of the specified value amplitude 1 6 Vp p or higher can be obtained by adjusting the detector head direction _ 0 ia mi AT ze m O d S p 0 Z amp IH P Azimuth direction L Ze Azimuth direction Fig 3 18 1 Loosen the detector head mounting screws 2 Rotate the detector head as shown in Fig 3 18 until you find the point where the amplitude of the Lissajous figure is at a maximum 3 Alternately tighten the two detector head mounting screws little by little at the detector head position with the maximum amplitude of the Lissajous figure Fastening torque 0 8 N m 4 Check that there is no interference between the scale and detector head and make sure that there is a gap of 2 0 2 mm as shown in Fig 3 19 2 10 2
20. 1 2 3 COLE 3 23 3 6 3 0 1 um WE 0 2 mm s 100 mm s 16 J BS78 3 6 4 50 mm 40 270 tetta EE sR a a 50 50 50 50 48 296 70 ri
21. N CH On Der Kompensationswert nach der Temperaturanpassung betr gt Stellen Sie den Detektor auf diesen Wert ein 2 3 2 Kompensationswert Einstellung Siehe den Abschnitt Kompensationswert Einstellung in der Gebrauchsanweisung des Detektors BD60 95 Serie Der Kompensationswert des Detektors BD60 Serie wurde werkseitig auf Null eingestellt In diesem Zustand ert nt der Warnton und die Einheit ist funktionsunf hig Stellen Sie daher den Detektor vor der Inbetriebnahme auf den korrekten Kompensationswert des Ma stabs ein Au erdem mu f r Detektoren die keine Kompensation durchf hren die Aufl sung berechnet werden Schlagen Sie daher in der Gebrauchsanweisung nach 4 G BS78 3 MONTAGE UND EINSTELLUNGEN Gehen Sie folgenderma en vor Einzelheiten entnehmen Sie bitte den entsprechenden Seiten 3 1 Vorbereitung der Montageltl che aie E HE liess 5 3 2 Montage des MaBSstabS EE 8 3 3 Montage des Detektorkopfesiun nennen E N 12 324 Signaleinstelluns eegene e s egt a ra te tk oO Oe den Gi ee allein 13 3 4 1 Vorbereitung zur Si1gnaleinstellung 3 u U rot een 13 3 4 2 Azimuteinstellung EE 14 3 5 Abschlu von Montage und Einstellung J eicere enge 15 3 1 Vorbereitung der Montagefl che 1 berpr fen Sie die Gr e schraffierte Teile in der Abbildung und Genauigkeit der Montagefl che 2 berpr fen Sie die Genauigkeit
22. LRELUHL S corcee 5 Lei a le 9 LI ia le el LI ees e 0t SZ ees lune OF9g TREN AZ SSEYW Z ae DESL lt 2441 4 Y VINEN 09 r FET Fz Fel T eq LEE BS78 22 J BS78 R RS 707270 320 uu g 100 tel QA t 4 Y 2 DES EN FE ELSE EES A OW P EIS nu S 2SS l XCWH f 3 BEBICO UBL RJ A e 2 SES xeugur S BkIEl CO fal AR Ar X pe ECT TCO II XE 1 Z gt Co tid 02 9r Sd HOzE 8ZSA 962 Sd HOZ2 82Sa 021 96 SH 02 8254 z o 1 1 H Hr EMEN x T ES ES N tr F 9 V L Z BE 3 e 1 ji vt D Ob 0000000 20099990 O x EW e NEHMEN KV Z 0rZ 68 ae 0F SC 0F S
23. CH2 C COS G GND BS78 BD15 BD15 CH1 CH2 BS78 LOJ HEAD IN Osau Out One Oneser 3 17 4 TIME DIV X Y MODE 5 CH1 CH2 VOLTS DIV 0 5 V DIV 6 CH1 CH2 INPUT COUPLING GND POSYITION 7 CH1 CH2 INPUT COUPLING DC 8 ON BS78 J 13 3 4 2 1 6 Vp p
24. BS78 40N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS B A Ge A Zi H BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS Abb 3 12 Wenn Sie den Ma stab gegen die Bezugsfl che dr cken ben Sie mit den Fingern an zwei Stellen einen Druck von 9 8 N oder weniger auf die der Bezugsfl che gegen berliegende Kante des Ma stabs aus wie in der nachstehenden Abb 3 13 gezeigt Wird ein Druck von 4 9 N oder mehr auf die Mitte des Ma stabs ausge bt wie in der nachstehenden Abb 3 13 gezeigt oder wird der Ma stab mit Verzug montiert kann die angegebene Genauigkeit nicht erzielt werden Dies gilt auch f r die folgenden Verfahren Falls der Verdacht auf Verzug des Ma stabs durch berm ige Kraftanwendung besteht l sen Sie die Ma stabsklammer um den Ma stab korrekt zu montieren O RICHTIG Abb 3 13 10 6 BS78 5 Lassen Sie den Ma stab f r etwa eine Stunde oder l nger in dem in Abb 3 12 gezeigten Zustand bis sich seine Temperatur stabilisiert 6 Sichern Sie die brigen Ma stabsklammern durch allm hliches und abwechselndes Anziehen der Schrauben A und B Verwenden Sie nur die rechte Ma stabsklammer f r Klammern mit zwei Schrauben und die rechte und linke Ma stabsklammer f r Klammern mit drei Schrauben Endanzugsmoment 1 4 N m BS78 70N NS R RS 270N
25. 320 370 420 220 446 Fehler 1 Einheit mm Fig 3 24 Die L schung der Bezugspunktmenge im Falle einer Bezugspunkt nderung oder bei Unterdruckanwendung ist als Sonderspezifikation erh ltlich BS78 G 17 4 TECHNISCHE DATEN Spezifikation Me l nge mm Leistung und Funktionen 10 N NS Nur 40 70 120 170 220 270 320 370 420 Gesamtl nge mm 58 mm Me l nge 10 mm Offener Typ Me l nge 26 mm Me l nge 40 bis 420 mm Max Verfahrweg mm Me l nge 2 mm Me l nge 10 mm Offener Typ Me l nge 10 mm Me l nge 40 bis 420 mm Ma stabsgenauigkeit bei 20 C NS RS Me l nge 10 mm 0 03 um oder weniger Me l nge 40 mm 0 04 um oder weniger Me l nge 70 120 mm 0 10 um oder weniger Me l nge 170 220 mm 0 18 um oder weniger Me l nge 270 mm 0 25 um oder weniger Me l nge 320 mm 0 34 um oder weniger Me l nge 370 mm 0 39 um oder weniger Me l nge 420 mm 0 44 um oder weniger N R Me l nge 10 mm 0 06 hm oder weniger MeBlange 40 mm 0 08 um oder weniger MeBlange 70 120 mm 0 20 um oder weniger MeBlange 170 220 mm 0 35 um oder weniger MeBlange 270 32
26. ON 50 mm 10
27. 0 03 mm BS78 10N NS ua NN Rmax 6 38 0 01 M 0 01 9 8 0 2 20 7 0 2 10 4 0 2 0 03 A v Rmax 12 58 mm M 3 1 BS78 J 5 BS78 40N NS R RS Rmax 6 3S y P 0 01 M 0 01 9 8 0 2 20 7 0 2 39 2 0 2 e 0 03 A v Rmax 12 58 M 2 M3 6 mm 3 2 BS78 70N NS R RS 100 88 0 3 6 M4 6 v Rmax 6 35 40 0 2 2510 15 2510 2 c ect 770 01 IM 0 01 8 a 9 8 0 2 20 7 0 2 e 7770 03 JA Ss 2 M3 6 Rmax 12 58 mm M 39 2 0 2 3 3 BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS L1
28. Sto grundfl che 8 G Abb 3 9 BS78 2 Befestigen Sie die Ma stabsklammern provisorisch 1 oder 2 ganze Umdrehungen weniger als die halb angezogene Position mit den Befestigungsschrauben wie in der Abbildung gezeigt BS78 40N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS M4x8 M4 x 8 Sy Unterlegscheibe Unterlegscheibe y Nennma 4 D EE 4 dy Ma stabsklammer d i Ma stabsklammer e Bezugsplatte BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS U Bezugsplatte d A e gt C Abstandsst ck 5 m A My d Abb 3 10 3 berpr fen Sie Montagefl che und Bezugsfl che des Ma stabs auf Staub und Schmutz Falls die Fl chen verschmutzt sind wischen Sie sie mit alkoholgetr nkter Gaze ab Montagefl che Bezugsfl che Abb 3 11 BS78 G 9 4 Schieben Sie den Ma stab zwischen Ma stabsklammer und Montagefl che ein w hrend Sie seine Bezugsfl che siehe Abb 3 9 leicht gegen die Sto grundfl che dr cken Hinweis Ziehen Sie die in der Abbildung mit A und B gekennzeichneten Schrauben der Ma stabsklammer schrittweise und abwechselnd an Verwenden Sie nur die linke Ma stabsklammer f r Klammern mit zwei Schrauben und die mittlere Ma stabsklammer f r Klammern mit drei Schrauben Endanzugsmoment 1 4 N m
29. Ber hren Sie die Steckerkontakte nicht mit den Fingern weil sonst die internen Elektronikteile durch statische Elektrizit t besch digt werden k nnen Wenn der Stecker nicht angeschlossen ist z B w hrend des Transports bringen Sie unbedingt die Schutzkappe an Schalten Sie vor dem Anschlie en oder Abtrennen des Steckers unbedingt die Stromzufuhr des Detektors aus Verbinden Sie die Sonde CHI des Oszilloskops mit S SIN und G GND des Signaleinstellteils des Detektors Verbinden Sie die Sonde CH2 des Oszilloskops mit C COS und G GND des Signaleinstellteils des Detektors Anschlu der Einheit BS78 an eine Detektoreinheit der BD15 Serie Osziloskop Detektor der BD15 Serie 7 QD Om ex CH1 Signaleinstellteil Detailansicht CH2 Sonde Anschlu stecker Ma stabseinheit BS78 ji S 6 6 ei Pe ee ee e F lee 9s D I HEAD IN nue E LASER SCAE BS78 Abb 3 17 Stellen Sie den Schalter TIME DIV auf X Y MODE Stellen Sie die Deviationsempfindlichkeit VOLTS DIV von CHI und CH2 auf 0 5 V DIV ein Stellen Sie die Eingangskopplungsschalter von CH1 und CH2 am Oszilloskop auf GND und stellen Sie das Oszilloskop so ein da das Signal in Bildschirmm
30. is 30 2 20 7 0 2 g Unit mm inch Fig 3 4 6 E BS78 BS78 270N NS R RS 320N NS R RS 10 M4 depth 6 0 24 L1 Model L1 BS78 270N NS R RS 298 11 74 or more BS78 320N NS R RS 348 13 70 or more 100 1 3 94 0 04 40 0 2 1 575 0 008 100 1 3 94 0 04 88 0 3 3 465 0 011 Scale mounting surface 25 0 2 25 0 2 25 0 2 25 0 2 0 E 10 008 984 0 008 I 0 984 0 en 0 984 008 E Rmax 6 38 250 pinch Ko N 77 0 01 0 00089 M Au 0 01 0 00039 25 co s g AS 1 2 81 ole acl Ar A S7 Ya 1 9 8 10 2 20 7 10 2 Scale mounting surface En 8 8 0 386 0 008 0 815 0 008 os es 7110 03 0 00118 A T S 1 496 0 008 Detector head K EL 2 M3 depth 6 0 24 Detector head mounting surface mounting surface 47 1 850 Rmax 12 58 500 pinch Unit mm inch Note M refers to the machine guide Fig 3 5 BS78 370N NS R RS 420N NS R RS Model L1 L2 1 0 04 BS78 370N NS R RS 398 15 67 or more 75 2 953 BS78 420N NS R RS 448 17 64 or more 100 3 94 12 M4 depth 6 0 24 L1 L2 L2 es L2 L2 50 0 3 1 969 0 011 T _ 25 0 2 25 0 2 25 0 2 25 0 2 25 0 2 E 0 984 008 0 984 rn 008 0 984 008 0 984 0 s 0 720 0 008
31. 02L 9y8 SN NOz8 8LS9 SN N022 8 S8 02 963 96 SN N0 8 S Z 0 o 1 H Sg v 800 100 g ERHEBEN Y D Op 0000000 00009000 OE x EW e TEAM lt V RS H M 0 SZ NEBEN NILCHEIN Q EXEC lt E 4 Y vIWN Fel D i J 21 BS78 BS78 R RS 407120 170 220 370 420 uui Me 100 7 tel Gar 4 Y 2 3X E dE EN FE el C Dekor gi GE 2 3 3E COE 3 4 EI pu VE on ccm a c 2 SEN xeuuft 3l BEI CO IL S Hs Y pe XE T Ul Co B EJ XR EP CO LH EE OL 001 001 Yrr SH Hozy 8LS9 OL s4 S 968 SH d0Z6 8 S 9 OO 9yz su uozz 8 s8 9 SL 961 su 0ZL 8ZS 9 OS 9yl SH 0ZL 8 S Ss 99 SY or 8ZS N er alu ET 5 On Smets ar cv DEXEN Z EPRI IHM VARY c
32. 26 mm measuring length 40 to 420 mm Max travel mm inch Measuring length 2 mm Measuring length 10 mm Open sided type Measuring length 10 mm measuring length 40 to 420 mm Scale accuracy At 20 C 68 F NS RS type Measuring length 10 mm 0 03 um or less Measuring length 40 mm 0 04 um or less Measuring length 70 120 mm 0 10 um or less Measuring length 170 220 mm 0 18 um or less Measuring length 270 mm 0 25 um or less Measuring length 320 mm 0 34 um or less Measuring length 370 mm 0 39 um or less Measuring length 420 mm 0 44 um or less N R type Measuring length 10 mm 0 06 um or less Measuring length 40 mm 0 08 um or less Measuring length 70 120 mm 0 20 um or less Measuring length 170 220 mm 0 35 um or less Measuring length 270 320 370 mm 0 50 um or less Measuring length 420 mm 0 65 um or less Reference point accuracy 0 1 um R RS Return error This is virtually eliminated It should be considered to be less than two resolution limits of the detector that is used Repeatability This is virtually eliminated It should be considered to be less than one resolution limit of the detector that is used Temperature coefficient C F 0 7 x 10 0 39 x 10 Light source Semiconductor laser 790 nm Detecting mode Diffraction grating scanning interferometer Operating temperature C F 10 to 30 50 to 86 n
33. 420N NS R RS L1 L2 1 BS78 370N NS R RS 398 75 BS78 420N NS R RS 448 100 L1 12 M4 6 L2 T L2 L2 T L2 nM ema 2530 2 nM 2530 2 E 4j LAT G zn 7 WWMM LL VMI 3 38 0 2 q 47 ES 2 M3 6 Aa 210 01 eene BE M mm BS78 3 6 J 7 3 2 3 2 1 BS78 10N NS TET 0 8 N m Msx8 0 01 M 3 7 M 3 7 3 2 2 BS78 40N NS R RS 420N NS R RS 1 LAN m
34. Op H A Oo N SER 3 gt B ss o 8 3 3 Se S BAY Se e e ele od let Uj 5 a S ER 8000F 860 LI u LT 1800 07 986 0 0F 86 4 OF Sc 800 0F v8670 80007 7860 800 0F 860 9 Mme os Bununow ejejd eoueJjei tN 2 C OF Se C OT Se 46 OF Se gt Mee Bununoui duwelo sleos FW N 800 0F 625 1 emm 66070 1721 ER 6600 IF 27 6E0 0 LF L1 E 21 BS78 BS78 R RS measuring length 40 120 170 220 370 420 youl ww lun Weuolels peeu OU uim UOI1O8JID JUBWAAOW sleoS DJBDUB1S UOI19JID UOI1O919D lulod eoueJejeH G eloN epln6 euldoew eui ol S18J 1 N SION uourr 0059 S 9 Xewy SI eoeuns 6ulunow peeu O1091SD au Jo sseuufinoi 9oBJnS edlL 8 91ON uouri 092 S 9 xewy SI eoeuns Bununoui eleos y Jo SSSUJ5no seoehns eu z 91ON eoeuns Bununoui y uo SUOISUSUUID DUIUIUOBUU y eleolpul xsuejse Ue Aq DJJBUU sway eu 91ON 620 0 2 4a0edg du eleoS 967 V 620 0 1 e1e d seoueleled e p e OL v6 OOL v6 004 9S L ovv SH H0cv 8 S8 5 789 L ev Ob ee6 SZ gs6 z
35. S 9 eut 18e3eq sypejjs eluowsgejsgjew Jep eunejueuoe ueqo SI z SISAUIH ue euoelljebeluolN Jop ne egeuisBuniieqieeg op ueqe6 sellund ueuenpueui USUOUJ91G WEUIE 1IUJ SI 1 SI9AUIH JeuuurepisqeisgeelN Z yomsspueisqy 8 8 SZ HA s 4 SI SZ 0 E S0 0 8 021 9y8 SN NOZE 8258 a 8 ozi 962 SN Nozz 8 s8 n 96 SN No 8 s8 s O N 11 H llepo z ellelds6nzeg g r S Op 3 7 jeu isgejsgjey Any uonisodsBunssej3 OE X Nc sqneuyossbun nsajag doyuopajog ko rs 09 ch gi 86 e e 88 eet D c H vi Isl em ce E 0T SZ aqneiyossbunbysajag uaye dsinzag yN Z eqnejuossbunDnsejeg ieuuepisqersgeiN pIN N SS et el G 21 BS78 40 120 170 220 370 420 mm BS78 R RS Me l ngen WW HOyulg doy uu pu u 1s s req Bunyau s un smsgsgeisgjeyy prepueis Bunyyous unsseug Punds nzeg 9 SI9AUIH uyeaqs unsynjusuiyoseyy eip jne uols 1u z q N p SIOMUIH S 9 L xvwg 16en q euogjeBeiuouueqeruos Jap lednelueudoelhaqO ai 8 SIEM
36. che 88 0 3 are 25102 15 25 0 2 25 0 2 KS zi eH 7770 01 M X L LL AA Z U 0 01 9 j e Z f Z d I a 9 8 40 2 20 7 40 2 Ma stab Montagefl che S 7770 03 JA 38 0 2 Detektorkopf Montagefl che 47 2 M3 Tiefe 6 Detektorkopf Montagefl che v Rmax 12 58 Einheit mm Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn Abb 3 5 BS78 370N NS R RS 420N NS R RS Modell L1 L2 1 BS78 370N NS R RS 398 oder mehr 75 BS78 420N NS R RS 448 oder mehr 100 L1 12 M4 Tiefe 6 L2 L2 ER L2 L2 E Y a 1 al H oi 2a 8 10 Ma stab Montagefl che Ma stab Montagefl che _Detektorkopf Montagefl che 47 2 M3 Tiefe 6 y Rmax 6 3S 0 01 IM 0 01 9 8 0 2 20 7 0 2 0 03 JA Detektorkopf Montagefl che v Rmax 12 58 Einheit mm Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn BS78 Abb 3 6 G 7 3 2 Montage des Ma stabs 3 2 1 BS78 10N NS Vergewissern Sie sich da weder Staub noch andere Fremdk rper an der Montagefl che haften und montieren Sie den Ma stab parallel zur Maschinenf hrungsbahn wie in der Abbildung gezeigt Anzugsmoment 0 8 N m Die Bezugsfl che ist in der Abbildung durch die punktierte und gestrichelte Linie gekennzeichnet Stellen Sie die
37. pp 15 3 6 Built in Reference Point R RS 16 3 6 1 Reference Point Detection 16 3 6 2 Reference Pont Mask LE 16 3 6 3 Speed Variation During Reference Point Detection 16 3 6 4 Reference Point Position ssassn reinir 17 4 Spcifications J 18 5 Dimensions uu 19 bi 1 Overview Introduction The BS78 is a high precision high resolution scale that has an optical head with a semiconductor laser for reading a high resolution hologram scale 1 1 Features High resolution scale with signal wavelength of 0 1379 um that out performs light wave interferometer systems High stability that is not affected by temperature air pressure and air disturbances High precision of 0 18 um 220 mm Total non contact design virtually eliminates return error Combining with other Magnescale Co Ltd detectors allows sub nanometer 0 14 nm measurement and positioning Large range for mounting allowance values in comparison to regular optical scales allows significantly easier mounting 1 2 Model Names The model name indicates the measuring length and scale type Example BS78 220 N Measuring N Normal type without reference point length NS High precision type without reference point R Normal type with reference point RS High preci
38. stabs betr gt ca 0 55 um w hrend die Detektorsignalteilung Ps theoretisch 1 4 dieses Wertes d h 0 14 um betr gt Dieser Wert ist je nach Ma stab geringf gig unterschiedlich Daher ist eine zus tzliche Teilungskompensation f r jeden Ma stab notwendig um genaue Verschiebungen zu erkennen Die vier niedrigerwertigen Stellen der Detektorsignalteilung f r jeden Ma stab Ps 0 1379 um bei 20 C stehen f r den Kompensationswert Stellen Sie vor der Inbetriebnahme immer den Kompensationswert des Ma stabs f r den Detektor ein wenn Sie einen Detektor verwenden der die Eingabe von Kompensationswerten gestattet Falls der Kompensationswert nicht eingestellt werden kann mu eine lineare Kompensation an der Maschine des Kunden durchgef hrt werden Wenn die Umgebungstemperatur von 20 C abweicht Soll die Einheit in einer Umgebung betrieben werden deren Temperatur von 20 C abweicht mu der Kompensationswert gem der nachstehenden Beschreibung eingestellt werden Das folgende Beispiel zeigt die Einstellung f r eine Betriebstemperatur von 23 C Beispiel Der auf dem Kompensationswertaufkleber angegebene Kompensationswert betr gt 1 2 3 4 0 1379 A 2 13 2 0j 5 X 1 23 20 x 0 7 x 10 0 1379 Temperaturdifferenz zu 20 C W rmeausdehnungskoeffizient des Ma stabs Siehe Seite 18
39. standards EN 55011 Group 1 Class 98 Limits and methods of measurement of radio disturbance characteristics of industrial scientific and medical ISM radio frequency equipment EN 61000 6 2 99 Electromagnetic compatibility EMC Part 6 2 Generic standards Immunity for industrial environments For DC power driven products to meet EN 61000 6 2 99 the following operational conditions must be satisfied 1 Input and output signal cable length 30 m or less 2 Cable length for input power source 10 m or less 3 Scale cable length S0 morless When using the same cable for output signal and input power source the cable must not be longer than 10 m For AC power driven products to meet EN 61000 6 2 99 the following operational conditions must be satisfied 1 Input and output signal cable length 30 m or less 2 Scale cable length S0 morless Dg E EN 60204 1 Warning When using this device with equipment governed by Machine Directives EN 60204 1 measures should be taken to ensure conformance with those directives Warnung Wenn dieses Gerat mit Ausrustungsteilen verwendet wird die von den Maschinenrichtlinien EN 60204 1 geregelt werden m ssen Ma nahmen ergriffen werden um eine bereinsti
40. 2 20 7 0 2 0 386 0 008 0 815 0 008 10 03 0 0018 JA Detector head mounting surface v Rmax 12 58 500 pinch Detector head mounting surface Note M refers to the machine guide a Si og Sl XE Scale Fle 1 496 0 008 mounting E 47 1 850 surface es 8 0 1 0 315 40 004 Reference Unit mm inch BS78 Fig 3 1 E 5 BS78 40N NS R RS 4 M4 depth 6 0 24 50 0 3 1 969 0 011 D Scale mounting surface 25 0 2 o M v Rmax 6 38 250 pinch 0 094 10 008 Sgl 7710 01 0 00039 IM gt 2 0 01 0 00039 ad 8 a Ns e ALS PP i EM 9 8 40 2 207 20 2 Scale mounting surface amp g 3 0 386 0 008 0 815 50 008 og 0 03 0 00118 A S gt Detector head er mounting surface 1 496 0 008 2 Ma depth 6 0 24 Detector head mounting surface 47 1 850 Rmax 12 55 500 pinch Note M refers to the machine guide Unit mm inch Fig 3 2 BS78 70N NS R RS 100 3 94 88 0 3 3 465 0 011 6 M4 depth 6 0 24 40 0 2 1 575 0 008 gt Scale mounting surface 25 0 2 25 0 2 8 0 984 0 008 0 984 0 008 N max 6 3S 250 pin
41. 3 2 2 BS78 40N NS R RS bis 420N NS RIRS esee 8 3 3 Montage des Detekt rkopfes eie t ea 12 3 4 mignalemstellung eege ege 13 3 4 1 Vorbereitung zur Signaleinstellung eese 13 34 2 Azimuteiustellung un aa sa terere tpi rap ea 14 3 5 Abschlu von Montage und Einstellung pp 15 3 6 Interner Bezugspunkt R RS una 16 3 6 1 Bezugspunkterfassung eeseseeseeeeeeeeeeen eene 16 3 6 2 BezugspunktabdeckUng essen 16 3 6 3 Geschwindigkeitsschwankungen w hrend der BezugsspunkteriasSUne ot aqasha Buta 16 3 6 4 Bezugspunktposition uueueessessessnessensnennnennennnennennnennnnnennennnennannnn 17 4 TECHNISCHE DATEN u Uu ul uuu 18 5 AUSSENABMESSUNGEN 19 BS78 G i 1 BERBLICK Vorwort Beim Modell BS78 handelt es sich um einen hochpr zisen hochaufl senden Ma stab der einen optischen Kopf mit einem Halbleiterlaser zum Ablesen einer hochaufl senden Hologrammskala besitzt 1 1 Merkmale e Hochaufl sender Ma stab mit einer Signalwellenl nge von 0 1379 um der Lichtwellen Interferometer Systeme bertrifft Hohe Stabilit t die nicht durch Temperatur Luftdruck und Luftturbulenzen beeinflu t wird e Hohe Pr zision von 0 18 um 220 mm V llig kontaktloses Design das R ckf hrungsfehler eliminiert Die Kombination mit anderen Detektoren von Magnescale Co Ltd erm glicht Mess
42. 3 6 2 Bezugspunktabdeckung Bezugspunkte k nnen mit Hilfe eines Verz gerungsanschlags oder durch Abdecken unn tiger Bezugspunkte mit den mitgelieferten Bezugspunkt Abdeckungsetiketten erfa t werden Um den Bezugspunkt abzudecken bringen Sie einen Aufkleber nach dem in Abb 3 23 gezeigten Verfahren an Anbringungsverfahren 1 Waschen Sie den Ma stab mit Alkohol ab 2 Ziehen Sie den mitgelieferten Bezugspunkt Abdeckungsaufkleber mit einer Pinzette von der Platte ab 3 Bringen Sie den Aufkleber von der Seite mit dem Modellnummernaufkleber an um das unn tige Bezugspunktmuster abzudecken Achten Sie beim Anbringen des Aufklebers darauf da Sie nicht die Ma staboberfl che ber hren und Fingerabdr cke oder andere Verunreinigungen hinterlassen Abb 3 23 3 6 3 Geschwindigkeitsschwankungen w hrend der Bezugspunkterfassung Um die vorgeschriebene Genauigkeit 0 1 um zu erzielen sollte die Geschwindigkeit w hrend der Bezugspunkterfassung konstant gehalten werden Geschwindigkeitsschwankungen sollten auf einen Wert von maximal 0 2 mm s begrenzt werden Die maximale Erkennungsgeschwindigkeit betr gt 100 mm s 16 6 BS78 3 6 4 Bezugspunktposition Die Bezugspunkte sind in 50 mm Abst nden angeordnet Unten angegeben sind die Bezugspunkte f r bestimmte Me l ngen 40 70 146 170 270
43. BS78 R RS Me l ngen wu 1I9UUI doy wepuedelslsejl leq 6unlyous6un6eNmeqsqelsgeIN pyepuejs DunnuouSDunssBj 1unds5nze G SI9AUIH uyeqsbunsynjusulyosey 9ID Jn uols 1uerzeq N p SI9AUIH S S ZL xyvNH 16BJ19d euoeyeBejuouueqeruog Jep 1I9unBJU9UOBIJSdO eld 8 SI9AUIH S 9 xvWy 15BJ19d edoeljepeluousqelsgelIN Jop lledneJuedoelheqo elg z SI9AUIH ue euogyeBejuo N Jop Jne aggews unnsgqueag eip usqs6 91JUnd UIeW USUOUJ91S UJSUIS HU ai SI9AUIH Jswwepsgeisgen 2 yomsspuejsqy 8 8 fer Pl E I t ei i Sc AZ 8 021 9v su HOZE 8ZSa SENE 8 Oz 962 Sd u07c 8 S8 6 6 D E 96 Su uo7 87sa 7 E TR uniyoqsbnzeg N 1 ajn IPPON 5 38 Z enel a n 88 000 e6uelleqey 9r 7 68 Hei 50F97 jeubisqeysgeyy Any uonisodsBunssej3 0 88 0 x We 2 06 aqneiyossBunbysejag jdoy0 49 9q DUnds5nzed n uonsods unsseng H Z Sy Sei N KR s g e amp 5 Glen N t an MEM Eat E ole ee el MEM C OF SC 4 00 Sc 0 OF SS
44. C OF SS aqnesyossbunbysajag uaye dsinzeg by 2 Or Oz BumuousBunssej DIundsBnze m SqelsgeIN sep Bun amag aqneiyossbunbysajag iawwepsqeisgey vIN N rel id Fel EH d G 23 BS78 The material contained in this manual consists of information that is the property of Magnescale Co Ltd and is intended solely for use by the purchasers of the equipment described in this manual Magnescale Co Ltd expressly prohibits the duplication of any portion of this manual or the use thereof for any purpose other than the operation or maintenance of the equipment described in this manual without the express written permission of Magnescale Co Ltd Le materiel contenu dans ce manuel consiste en informations qui sont la propri t de Magnescale Co Ltd et sont destin es exclusivement l usage des acqu reurs de l quipement d crit dans ce manuel Magnescale Co Ltd interdit formellement la copie de quelque partie que ce soit de ce manuel ou son emploi pour tout autre but que des op rat
45. Check for interference Detector haed Scale SS Fig 3 19 D Move the scale and make sure that the amplitudes A and B of the Lissajous figure see Fig 3 20 are 1 6 Vp p or greater over the entire length Note If the output of 1 6 Vp p cannot be obtained even through repeated adjustment recheck the mounting surface accuracy of the scale and detector head refer to pages 5 to 7 and check again that there is no dirt on the scale s surface Lissajous 14 E Fig 3 20 BS78 3 5 Completion of Mounting and Adjustment Secure the cable with the supplied cable clamp and small screw MA x 8 Before using the scale to perform measurements allow the scale to set for about three hours after mount ing so that the secured parts can stabilize and the ambient temperature around the scale can stabilize Fig 3 21 BS78 E 15 3 6 Built in Reference Point R RS 3 6 1 Reference Point Detection A mono directional reference point is used as the built in optical reference point for the Laserscale unit As aresult reference point detection should be performed using the relative traveling directions of the scale and detector head shown in the diagram below The reference point signal will rise during detection Performing reference point detection in the reverse direction will lower the
46. L2 1 BS78 120N NS R RS 148 50 BS78 170N NS R RS 198 75 BS78 220N NS R RS 248 100 L2 v Rmax 6 3S 0 01 IM 0 01 9 8 0 2 20 7 0 2 25 0 2 L 0 03 A Rmax 12 5S M a TNI H 8 a I eo lt e 2 M3 6 3 4 6 J BS78 BS78 270N NS R RS 320N NS R RS L1 HE L1 BS78 270N NS R RS 298 BS78 320N NS R RS 348 10 M4 6 v Rmax 6 3S SEN 100 1 2 40202 100 1 Le 88 0 3 25 0 2 P5202 rou 5202 25 0 GH LO poH d TT gt v Rmax 12 58 M 2 M3 6 a eo al T S a I o o mm 3 5 BS78 370N NS R RS
47. M3 Tiefe 6 Einheit mm Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn Abb 3 2 BS78 70N NS R RS 100 88 0 3 40 0 2 25 0 2 15 25 0 2 y Rmax 6 35 E LTE Lj A DI PR Ma stab Montagefl che 6 M4 Tiefe 6 Ma stab Montagefl che 7 39 2 0 2 16 0 2 A Detektorkopf Montagefl che 2 M3 Tiefe 6 Detektorkopf Montagefl che Rmax 12 58 Einheit mm Hinweis M bezieht sich auf die MaschinenfQhrungsbahn Abb 3 3 BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS Modell L1 L2 1 BS78 120N NS R RS 148 oder mehr 50 BS78 170N NS R RS 198 oder mehr 75 BS78 220N NS R RS 248 oder mehr 100 8 M4 Tiefe 6 Ma stab Montagefl che Rmax 6 38 E UY 0 01 IM 0 01 a at 8 ol a o e Detektorkopf Montagefl che 2 M3 Tiefe 6 Detektorkopf Montagefl che v Rmax 12 55 z Einheit mm Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn 6 G Abb 3 4 BS78 BS78 270N NS R RS 320N NS R RS Modell L1 BS78 270N NS R RS 298 oder mehr BS78 320N NS R RS 348 oder mehr L1 TOME Tete 6 100 1 40 0 2 100 1 Ma stab Montagefl
48. Parallelit t mit Hilfe der Me uhr ein oder versehen Sie die Montagefl che mit einem Anschlag M3 x 8 Unterlegscheibe NennmaB 3 0 01 M i a C lt lt Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn CO 3 1 Abb 3 7 2 2 BS78 40N NS R RS bis 420N NS R RS Vergewissern Sie sich da weder Staub noch andere Fremdk rper an der Montagefl che haften und montieren Sie die Bezugsplatte parallel zur Maschinenf hrungsbahn wie in der Abbildung gezeigt Anzugsmoment 1 4 N m Die Bezugsbohrung befindet sich auf der linken Seite wie in der Abbildung gezeigt Nehmen Sie die Einstellung auf der rechten Seite vor w hrend Sie die Parallelit t mit der Hebel Me uhr berwachen Bezugsbohrung ou WI Im 0 01 M Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn Abb 3 8 Der Ma stab wird bei der Montage zur Einhaltung der Parallelit t gegen die Bezugsplatte gedr ckt Die Bezugsplatte ist ausschlaggebend f r eine genaue Montage des Ma stabs und mu daher genau nach Vorschrift montiert werden Verwenden Sie immer die mitgelieferte Schraube und montieren Sie sie genau nach den Vorschriften BS78 40N NS R RS 120N NS R RS 170N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS M4 x 8 Unterlegscheibe 4 ess Nennma 4 P ui O I Unterlegscheibe Nennma 4
49. S 09 S4 968 SH uoze e sa S qi E f ap o 8 6 001 S89 6 972 SH H0zE 8 S8 lou vi fO 9 gS6 2 S 2122 961 Su uH0 L g S8 99Ueieje S Z 9 6961 OS 4872 S 9 1 SH HOZI 8258 2 s 65 2 99 Su Hoy 84S9 3 N g1 2 n lepoN a a u 8 6 0008 Due lqeo 89 0 91 181 6 Sr 10 m L t 118 Leg L02 U Oh KR GO 800 0F 96r 1 Z OF 8 uonisod uonoejep eubis sleoS 06 XEWZ 6 DEU gt M9J9S Bununow D9Bu Jopejeq S uonisod uoroejep lulod souejejlebH SS a soc SR e 3 SSNS Ce ZE og 1810 9v gt Bye 3 Soo Q tzo S SI ss 9 a O e ei leg G S e leo 800 0F Seege 8000 FEEO 800089 0 Log ep g00 9sg60 8000fb86 0 9L90 FEL x C OF 919 0 AS Bununoui sleld seoueisjled tIN Z uonoeuip uonoejep OF Sc gt 4 uiod 99u9 9j9H eos Bununoui durejo ejeos yN N 298 2 09 uauaAou LIS n 6E0 0 L ET 6E0 0 z i 6E0 0 L 21 t 46800 GEI u 6E0 0 LU 2009 ZSF 0 go 18920 17860 soo O L02 1 v2S 0 C EL BS78 22 E BS78 R RS measuring length 70 270 320 youl ww
50. Sa SIS 51 olo 5 Kit S 2 3 oti N A lS N ga 2 gr T E o E vtrs N a E z uonoeJip uono l p Z 80070 986 0 Z 0 8 6 3 800 0F 786 0 Ces Mes Bununoui sleld 52u 1 J8H FN Z AGJoS Buyunow dwep eleoS FW N lulod goug 9j9H luewueAouw sleoS 800 0F 860 80070 ip860 OF S2 0 SZ 8000f 9 9 Z O Ob 800 0 786 0 4 2 OF SZ 6 0 0 IF 21 6g0 0 L i 6600 IF 11 E 23 BS78 Sicherheitsma nahmen Bei dem Entwurf von Magnescale Co Ltd Produkten wird gr ter Wert auf die Sicherheit gelegt Unsachgem e Handhabung w hrend des Betriebs oder der Installation ist jedoch gef hrlich und kann zu Feuer elektrischen Schl gen oder anderen Unf llen f hren die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben k nnen Dar ber hinaus kann falsche Anwendung die Leistung der Maschine verschlechtern Beachten Sie daher unbedingt die besonders hervorgehobenen Sicherheitshinweise in dieser Bedienungsanleitung um derartige Unf lle zu verh ten und lesen Sie die folgenden Sicherheitsma nahmen vor der Inbetriebnahme Installation Wartung Inspektion oder Reparatur dieses Ger tes oder der Durchf hrung anderer Arbeiten durch Bedeutung der Warnhinweise Bei der Durchsicht dieses Handbuchs werden Sie auf die folgenden Hinweise u
51. head Fig 3 16 1 2 E BS78 3 4 Signal Adjustment 3 4 1 Signal Adjustment Preparations Check that the detector is turned off Connect the detector BD series to the BS78 scale unit 1 Remove the protective cap from the connector plug of the scale unit and connect the connector plug to the HEAD IN terminal of the detector Note Use the screws to secure the connector in place Do not touch the connector pins with your hands as this might damage the inner electronic parts by static electricity When the connector is not used such as during transport be sure to mount the protective cap Be sure to switch off the power supply to the detector before attaching or removing the connector 2 Connect the CHI probe of the oscilloscope to S SIN and G GND of the signal adjustment section of the detector 3 Connect the CH2 probe of the oscilloscope to C COS and G GND of the signal adjustment section of the detector Connecting the BS78 and BD15 series detector unit Oscilloscope BD15 series op CH1 detector amp au N 0585 o Ke G Signal adjustment CH1 section detailed view CH2 Probe CHECK Connector plug N HEAD IN ew BS78 scale unit 9j
52. lun Weuolels peau OU UIM uono uip JUBWAAOW sleoS DJBDUB1S uoll59 uIp uoroejep lulod souejelebH S 91ON epinB euldoew y ol S18J 1 IN SION uouri 009 S 9 L Xewy SI eoehns 6ulunow peeu Joloselep y Jo sseuufinoi soehns oul C 91ON you 092 S 6 9 xewy SI eoeuns Bununoua sleos y jo ssauyHnos eoeuns Sy z 91ON eoeuns Bununoui y uo SUOISUSUUID 6ululdoew y eleolpul xsuejse ue Aq peyJew SW edl 1 91ON 620 0 z Jeoeds uV6E O OL dwep age 96t 1 96 L 2860 SZ 002 Sore 8 4SzLy 0gL GESEL 9 su HOZe 8ZSa 8 SgZ O0ZL 99 L L 962 Sd 0 Z 8 S t s 0848 96 Su uo7 8 s8 3 N 1 21 Iepoiw a m j 4 8 6 0008 ulBu l lqeo Siu 90 OL GIS 6Sr 10 gueJ9j9H goo VO ZLO OF LIEU grLO 2 GOZE l 50r97 5976 88 E L tz 796 H 2 0 8 1 6 9 86 o uonisod uonoeijep offe e5S DEXEWZ BH 1021 M S Bununow SS E uonisod uoloelep jurod OUgJ9 9d peay 40152313q 3 4 Est As Sa T ole e SE Sal 5 ze bja gt Zee S oe
53. pull out the connector when the power switch is on Do not pull atthe cable forcibly or bend it excessively Bending radius inside 50 mm or more Use the BS78 approximately 10 minutes after power is supplied to the unit when the temperature of the detector head reaches a stable state The BS78 is a precision measuring instrument Handle it with extreme care so that no excessive shock is applied to it For transport be sure to pack it in the same way as it was packed at the time of purchase General Precautions When using Magnescale Co Ltd products observe the following general precautions along with those given specifically in this manual to ensure proper use of the products Before and during operations be sure to check that our products function properly Provide adequate safety measures to prevent damages in case our products should develop malfunctions Use outside indicated specifications or purposes and modification of our products will void any warranty of the functions and performance as specified of our products When using our products in combination with other equipment the functions and performance as noted in this manual may not be attained depending upon operating environmental conditions Make full study of tne compatibility in advance 4 E BS78 For EU and EFTA countries Marking by the symbol CE indicates compliance with the EMC directive of the European Community This marking shows conformity
54. sure that there is enough space for the adjustment See pages 5 to 15 Be sure to set the detector to the compensation value of the scale before operation 2 2 Mounting Requirements Measuring Instruments e Lever type dial gauge scale interval 2 1000 mm 0 00008 or 1 1000 mm 0 00004 1 V Dial gaugesstand ES 1 Be ee 1 Capable of 2 quadrant X Y display Input sensitivity DC 0 1 V DIV X Y frequency band 1 MHz or more Tools Hexagonal wrenches 3 mm 0 118 2 mm 0 079 aaa 1 each e Philips Screwdriver No c Na 1 Miscellaneous ACCESSORIES etos pic eg Egger 1 set GAUZE SR EE EE Small amount Alcohol sahen aan une Small amount BS78 E 3 2 3 Before Mounting 2 3 1 Compensation Value The hologram grating pitch PG of the scale is approximately 0 55 um 22 winch while the detector signal pitch Ps is theoretically 1 4 of this that is 0 14 um 5 5 pinch This value differs slightly from scale to scale Therefore it is necessary to additionally make the pitch compensation for each scale in order to detect precise displacements The lowest four digits of the detector signal pitch for each scale Ps 0 1379 um at 20 C 68 F show the compensation value Before operation be sure to always set the compensation value of the scale for the detector when using a detector that allows in
55. tl IE SOV 9 0 X EN 2 NEHMEN Foe c0 70 1070 7 8x ee AHM Enmresar A J 19 BS78 BS78 N NS 40 1207170 220 370 420 uui ge g 2S 9 xeuur 3 APE CO HL SJ XE 4 pee Es Ut CO ENE RE FIS P Co rd OL 00L OOL 9 SN NOZt 8 S8 OL SZ SZ 96 SN NO 8 s8 9 00 9yz SN N0Zg 8 S 9 SL 961 SN NO0ZL 8ZS 9 OS 9yl SN NOZL 8 S8 2 99 SN Not 8 S8 N er 21 Zi x 100 g Stz 6L Sne lr or D Op DEXENZ NAHEN lt VASE LO IT ER 6 0 SC le o NEBEN ILKREIN IA E ar e Y EWEN Fel d el BS78 20 J BS78 N NS 70 270 320 uui ge Exc EE
56. to the following technical standards EN 55011 Group 1 Class 98 Limits and methods of measurement of radio disturbance characteristics of industrial scientific and medical ISM radio frequency equipment EN 61000 6 2 99 Electromagnetic compatibility EMC Part 6 2 Generic standards Immunity for industrial environments For DC power driven products to meet EN 61000 6 2 99 the following operational conditions must be satisfied 1 Input and output signal cable length 30 m or less 2 Cable length for input power source 10 m or less 3 Scale cable length 30 m or less When using the same cable for output signal and input power source the cable must not be longer than 10 m For AC power driven products to meet EN 61000 6 2 99 the following operational conditions must be satisfied 1 Input and output signal cable length 30 m or less 2 Scale cable length 30 m or less EN 60204 1 Warning When using this device with equipment governed by Machine Directives EN 60204 1 measures should be taken to ensure conformance with those directives Warnung Wenn dieses Ger t mit Ausr stungsteilen verwendet wird die von den Maschinenrichtlinien EN 60204 1 geregelt werden m ssen Ma nahmen ergriff
57. 0 370 mm 0 50 um oder weniger Me l nge 420 mm 0 65 um oder weniger Bezugspunktgenauigkeit 0 1 um R RS R ckf hrungsfehler Dies wird praktisch eliminiert Es sollte als weniger als zwei Aufl sungsgrenzen des verwendeten Detektors betrachtet werden Wiederholgenauigkeit Dies wird praktisch eliminiert Es sollte als weniger als eine Aufl sungsgrenze des verwendeten Detektors betrachtet werden Temperaturkoeffizient C 0 7 x 10 Lichtquelle Halbleiterlaser 790 nm Erfassungsart Beugungsgitterabtastungs Interferometer Betriebstemperatur C 10 bis 30 keine Kondensation Lagertemperatur C 10 bis 50 Feuchtigkeit 60 oder weniger Mitgeliefertes Zubeh r Ma stab Me l nge 10 40 70 120 170 220 270 320 370 420 Bedienungsanleitung 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Inbusschraube M3 x 8 2 Inbusschraube M3 x 30 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 Inbusschraube M4 x 8 4 6 8 8 8 10 10 12 12 Unterlegscheibe Nennma 3 4 2 2 2 2 2 2 2 2 2 Unterlegscheibe Nennma 4 4 6 8 8 8 10 10 12 12 Bezugsplatte 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Abstandsst ck 2 2 2 2 2 4 4 Ma stabsklammer 1 2 3 3 3 4 4 5 5 Kabelklemme 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Kleine Schraube M4 x 8 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Genauigkeitstabelle 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Bezugspunkt Abdeckungsaufkleber R RS 5 5 5 5 5 10 10 10 10 Verpackungsinhalt Detektorkopf 1 Ma stab 1 1 S
58. 0F GZ fol Cf Fraser TN AZ aime Be DERM C lt lt c 4 e Y EWEN Da a eq EH J 23 BS78 Safety Precautions Magnescale Co Ltd products are designed in full consideration of safety However improper handling during operation or installation is dangerous and may lead to fire electric shock or other accidents resulting in serious injury or death In addition these actions may also worsen machine performance Therefore be sure to observe the following safety precautions in order to prevent these types of accidents and to read these Safety Precautions before operating installing maintaining inspecting repairing or otherwise working on this unit Warning indication meanings The following indications are used throughout this manual and their contents should be understood before reading the text A Warning Failure to observe these precautions may lead to fire electric shock or other accidents resulting in serious injury or death N Caution Failure to observe these precautions may lead to electric shock or other accidents resulting in injury or damage to surrounding objects Big E 1 N Warning Do not use this unit with voltages other than the specified supply voltage as this may result in fire or electric shock Do not perform installation work with wet hands as this may result in electric shock Do not disassemble or modify the unit as this may result in injury or
59. 1 BS78 z WCF z 1 1 0 1379 um 0 18 um 220 mm 0 14 nm ku WROD Y LIZ JENA AAT PA FPO 7D HU MARCH 1 2 Pi a N NS R RS BS78 u 1 1 3 BS78 2h IN DIN KS 40 mm 10 mm 1 1 BS78 2 J 2 2 1
60. 8 E m n t s 1 9 1 Vt Bunuoqs5nzg G OL 001 OOF 9yy SN N0gb 8 S OL s4 SZ 96 SN NOZe 8zSa 9 00L 972 SN N022 8258 9 SZ 961 SN NOLH8LS9 9 OS 9yl SN N0zL 8ZS 99 SN Nor 8ZS j NJ elei Iepom spz 6L t0 0 7 jeu isgejsgeyy any uonisodsBunssey3 9 Ob 0000000 00000000 9 OE X ENT eqneiuossBunBnsejeg jdoxiopjereq Le foray lt eose S 6c gt x 0r Z 6E gz Wea d ig TM OF G2 OF SZ aqneiyossbunbysajag uayeidsbnzeg yN Z gdqneu0SS5un5sejed J9Uuugl SdB1SgE yN N rel Fel FH BS78 20 G 70 270 320 BS78 N NS Me l ngen ww au S 08 V 0 0 100 77 WI 100 177 Styz 6L ugyeqsBuniunjueurugose N eip jne UOIS Jye zag N p SI9AUIH ez xvin 16e1n q euoejjeDejuouueqeluos 1ep ledneluedoelheqo eld 8 slemulH
61. BS78 N NS measuring length 40 120 170 220 370 420 96t V o 88 rg96 09 iz860 KSE 8 5 Oo o ale N OL 6S 00L 6S OOL 9S2b 9 SN N0g 8 S a tS 9Jo lt OL Cesez sz ee6 SZ Loge oec SN Noze 82sa ze et 9 gt Leg 00L 889 6 92 SN Nozz 8zS8 c MILI NE ERE CETT 9 ge63 SZ 2122 961 SN NOZL 8 98 9 S WEE e 9 1696 1 OS 1872 5 97L SN N0gL 8ZS 3 2 66S 2 99 SN Nor 8s8 E N 1 DN n apo a LS a u 86 0008 6uel ajqeo Lego Lige 10 gz1070F LL8L lt 1 Tee arrOe 8 1021 uonisod uonoejep IBUDIS sleoS 8000 S LOZ L E N GO e 08 X SN Z amp bze0 gt Mee 6ulunow peeu 1o19919q i mE L s _ ME olo i ZJN N SIS Z ge 212 128 mL ler 9 pPle Bes x b Ll I SEED BRE ERN eo 9 g WE H id D OLI i 33 Suse e o 9 9 9 SS LI SN TF O r 3 800 OF 988 0 Z 0 8 6 A 7 800 0F 786 0 800 0F 860 800 0F 860 8000 860 8000 786 0 r9L9 0 FEL 0F SZ 42 OF Sc 0 OF GZ 42 OF GZ C OF Sc ASJOS Bununow ejejd 92uSJ9J8J ylN Z maS Bununoui duelo leos yN N LLO OF 696 L 6E0 0 LF 1 6 0 0 IF 21 6 0 0 IF 21 6g00 LF 1 6 0 0 LU 20 E BS78
62. LASERSCALEs Scale Unit Ma stabseinheit BS78 Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them Keep the manual for future references Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Ger ts den Anweisungen Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum sp feren Nachlesen griffbereit auf LASERSCALE LASERSCALE Instruction Manual Bedienungsanleitung
63. N NS measuring length 70 270 320 your ww lun pin6 euldoeuw eui ol slejel N p SION you 009 S g z XBUUH SI eoehns Bununoui peau Joloelep eui Jo ss uuBnoi soehns au 8 91ON uourr 092 S 9 xewy SI eoehns HuljunowW e eos y jo sseuufinoi soehns Sy Z 91ON eoeuns Bununoui y uo SUOISUSUUID 6ululdoew eui eleolpul ysuelse ue Aq pexeui sulej eu 91ON 620 0 2 1e2eds 96t 1 8 p6 0 OF du ejpeog 96t L 0 Z0 OH ip860 gg goo 8 9zLY 021 E9 6U 9v SN Noze e sg 5 8 9zLY 021 99 L1 963 SN NOLZ 8LS9 D Q 0848 96 SN No7 8 s8 1 6400 Z ajd eouejejeg N D H iepoW amp E o g96 09 Zs FS9 1 ev o w 4 9 6 000 ui5uel alqed b 4 E amp eet 0 91 LIS Uer 10 preo ye60 goueJj9d Sos SL 1850 Sc soo PO L t sl L8H LEO S9v 88 D 0 OV e 3 Ge uonisod uono l p jeubIs ejeos 8000f Ber 207 88 E a m 5 gt ES OE X EN Z G 6Z amp gt M9J9S Bununou DB9u 1o1591 9q Bx SS Ss
64. NS R RS 320N NS R RS BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS 7 Ziehen Sie die MaBstabsklammern an beiden Enden des MaBstabs mit dem gleichen Anzugsmoment an Endanzugsmoment 1 4 N m BS78 270N NS R RS 320N NS R RS Abb 3 15 8 berpr fen Sie die Oberfl che des Ma stabs auf l und Staub Falls die Oberfl che verschmutzt ist wischen Sie sie mit alkoholgetr nkter Gaze ab Wischen Sie l und Staub gr ndlich von der Oberfl che ab BS78 G 11 3 3 Montage des Detektorkopfes 1 Verschieben Sie den Maschinentisch und stellen Sie die Montageposition des Detektorkopfes ungef hr auf die Mitte des Ma stabs ein 2 Ziehen Sie den Detektorkopf mit den mitgelieferten Befestigungsschrauben provisorisch an Detektorkopf Befestigungsschraube Inbusschraube M3 x 30 Unterlegscheibe Nennma 3 Ma stab Ma stabsklammer L Ma stab Bezugsplatte Detektorkopf Detektorkopf Abb 3 16 1 2 G BS78 3 4 Signaleinstellung 3 4 1 Vorbereitung zur Signaleinstellung Stellen Sie sicher dass der Detektor ausgeschaltet ist Schlie en Sie den Detektor BD Serie an die Ma stabseinheit BS78 an 1 Nehmen Sie die Schutzkappe vom Anschlu stecker der Ma stabseinheit ab und schlie en Sie den Anschlussstecker an den Eingang HEAD IN des Detektors an Befestigen Sie den Stecker mit den Schrauben
65. POT LAISSER REVISER A PERSONNEL DIPLOMEE Achtung Farb nderung der Ma stabsteilung ist m glich Die Ma stabsteilung kann die Farbe ver ndern bei l ngerer Lichteinstrahlung Falls der vom Lesekopf emittierte Laserstrahl l ngere Zeit den gleichen Punkt beleuchtet kann es zu einer Farb nderung an dieser Stelle kommen Die Farb nderung hat keinen Einflu auf die Messgenauigkeit bzw Signalqualit t Falls die Ma stabsteilung l ngere Zeit ultraviolettem Licht ausgesetzt wird kann es zu einer starken Verdunklung kommen Dies kann zu einer Verringerung des Ausgangssignal f hren Bitte sch tzen sie den Ma stab vor UV Licht mit einer Abdeckung aoe G 3 Vorsichtsma regeln zum Betrieb An jedem Ma stab ist ein Aufkleber mit dem jeweiligen Skalenteilungs Kompensationswert angebracht Der Detektor mu vor dem Betrieb auf diesen Wert eingestellt werden Siehe Seite 4 Der Stecker der Ma stabseinheit ist mit einer Kappe zum Schutz gegen statische Elektrizit t versehen Entfernen Sie diese Kappe erst unmittelbar vor dem Anschlu des Detektors Vermeiden Sie eine Ber hrung der Steckerkontakte nach dem Abnehmen der Schutzkappe weil dies zu Funktionsst rungen f hren k nnte Schalten Sie die Stromzufuhr erst ein nachdem Sie alle Anschl sse an Ma stabseinheit und Detektor hergestellt und mit Schrauben gesichert haben Der Stecker darf auf keinen Fall bei eingeschalteter Stromzufuhr eingef hrt oder herausg
66. S 2 1 0 7 x 10 6 C 790 nm 10 30 C 10 50 C 60 10 40 70 120 170 220 270 320 370 420 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 M3 x 8 2 M3 x 30 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 M4 x 8 4 6 8 8 8 10 10 12 12 3 4 2 2 2 2 2 2 2 2 2 4 4 6 8 8 8 10 10 12 12 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 2 2 2 2 4 4 1 2 3 3 3 4 4 5 5 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 M4 x 8 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 R RS 5 5 5 5 5 10 10 10 10 1 1 18 J BS78 X z BT 5 BS78 10N NS ww Tj e 2SS l XeugrI SIBEBICOUILE XE S N AS EE e 2S 9 SEU 3i co tl FJ Xac LEE pee X T HG Co EI Aya Py EC Co
67. S Eo g ee TD 2777777 7 VAI 277 co a Z s NS al Scale mounting surface EN F 8 8 e sf Ls gt Ra k Scale mounting surface max 6 38 250 pinch 0 01 0 00039 M 0 01 0 00039 Detector head mounting surface Gs 0 2 20 7 0 2 0 386 0 008 0 815 0 008 0 03 0 00118 JA Detector head mounting surface Rmax 12 5S 500 uinch 38 0 2 1 496 0 008 47 1 850 2 M3 depth 6 0 24 Note M refers to the machine guide Unit mm inch BS78 Fig 3 6 E 7 3 2 Scale Mounting 3 2 1 BS78 10N NS Check that there is no dust or other foreign substances on the mounting surface and mount the scale parallel to the machine guide as shown in the figure Fastening torque 0 8 N m The reference surface is shown by the dotted and dashed line in the figure Adjust the parallelism with the dial gauge or prepare an abutment on the mounting surface M3 x 8 e E Plain washer i 0 01 0 00039 M nominal 3 Pf lt i en Note M refers to the machine guide Fig 3 7 3 2 2 BS78 40N NS R RS to 420N NS R RS 1 Check that there is no dust or other foreign substances on the mounting surface and mount th
68. UIH S g 9 XvnH 684ed edoelje6eluousqelsgelIN Jop lledneJuedoelheqo elg z SIOMUIH ue oyoejjo ejuoyy Jop jne sgewspunlleqieeg eip uaqab 91JUnd useleluewu USUOUJ91S waule Pu SI 1 SI9AUIH Jswwepsgeisgiein z xonisspueisqv Z enejdsBnzeg 8 OL OOF OOF 9rr SH uozr s2sa Ol sz s4 968 Sd H0Z5 8Sd o 9 00L 9yz sy H0zz 8LS9 n 9 sz 961 su H0 I 8 S8 Bunuoqs6nzeg 3 9 OS 9yl SH HozI 8258 so PO 99 su uor 82sa N 1 gl NN llapow 5 38 o 88 58 L 2 EI 6 De jeu isgejsgjeyy ny uonisodsBunssej3 DE XE MZ qneuuoss6un6ils j g Jdoyuoll l q Munds nzag n uonisodsBunssejig 100 e 9 e el a La LT 0f SZ OF SZ Ele Ik m 0 OF SC C OF SZ eqneiuossBunBnsojeg ueme dsDnzeg yN Z 40 OF Sc BunuousBunssey3 yunds6nzeg eqnejuossBunBnsejeg ieuiuepisqeisgelN pW N 09 Sqeisgeyy sop Bundemag 61 el Fel LEI BS78 22 G 70 270 320 mm
69. Verbindungskabel nicht im gleichen Kabelkanal wie das Stromversorgungskabel Stellen Sie den maximalen Verfahrweg des beweglichen Maschinenteils k rzer als den Verfahrweg des Ma stabs ein Me l nge 10 mm Max Verfahrweg des Ma stabs Me l nge 2 mm 1 mm auf jeder Seite Me l nge 40 mm oder mehr Max Verfahrweg des Ma stabs Me l nge 10 mm 5 mm auf jeder Seite Bei berschreitung des max Ma stab Verfahrwegs werden die Signale der Ma stabseinheit nicht ausgegeben so da ein Fehler auftritt Nach der Montage ist eine Signaleinstellung der Ma stabseinheit erforderlich Achten Sie bei der Montage des Ma stabs an der Maschine darauf da gen gend Platz f r die Einstellung vorhanden ist Siehe die Seiten 5 bis 15 Stellen Sie den Detektor vor der Inbetriebnahme auf den Kompensationswert des Ma stabs ein 2 2 Montageanforderungen MeBinstrumente Me uhr mit Hebelgest nge skalenteilung 2 1000 mm oder 1 1000 mm eese 1 Meb hrst nder EE 1 s OSZIIIOSEOD EE 1 M glichkeit zur 2 Quadrant X Y Anzeige Eingangsempfindlichkeit DC 0 1 V DIV X Y Frequenzband 1 MHz oder mehr Werkzeuge Sechskant Stiftschl ssel 5 mimi 2 ge 1 Kreuzschlitzschraubendreher Nt oon EE EE 1 Verschiedenes TO 1 Satz geringe Menge M onn EET geringe Menge BS78 G 3 2 3 Vor der Montage 2 3 1 Kompensationswert Die Hologramm Gitterteilung PG des Ma
70. atz Standardzubeh r 1 18 G BS78 5 AUSSENABMESSUNGEN BS78 10N NS ww 1I9UUI S SZL Veit 16e1eq 9UOgIj95B1UOUUJ9d9IUS 1ep 1I9UnBJUSUOBIJ9dO eld 8 SI9AUIH S 6 9 Veit 15BJ19d edoellebeluowusqelsgelIN Jap 1I9UneJUSUOBIJ9dO aq Z SI9AUIH ue edoelle6eluoWN Jap jne egeus6unlleqjeeg 9ID USd95 Jung u u ueui uedouielSs weule Pu eig SIBMUIH m 38 ner Gi go m au 88 s MI 000 95uellaqey EI 7 68b Hei egneiuossBunBnsejeg en oF E gt doyuoala e jdoxopjeleq Or8e 7 cor 3 S 6c gt gt H 3 Ce N VS 77 T je 3 Y jo oo SS 1 ele SIS aqneiyossbunbasejog 89 jeuBisqeysgey 1n uonisodsBunsseu3 qe1sgelN c0 86 LEL gt 44 N St er G 19 BS78 40 120 170 220 370 420 mm BS78 N NS Me l ngen ww au Udeqs6unJunjueuldoseIN eip jne uols Jye zag N p SI9AUIH S SZL xyNH 16e1n q 9UDglJ95e1UOUJJ9dSIHOS 1ep ledneluedoelheqo a 8 SI9AUIH S 6 9 xyNH 16e4eq aypejje ejuowsgejsgjeyy Jep 1I9UneJUSUOBIU9dO eid Z SISAUIH ue edoelje6eluolN Jap ne egeuwus6unlleqieeg 9ID ueqeB epjung Uae USUOUJS1S WEUIE Pu ai L SIeMulH z slelds6nzeg g xonmsspueisqv JeuuelysqelsgeN 8
71. ch Ro yR 250 pinch J te 0 01 0 00039 M 0 01 0 00039 ala Ss lt 81 ug Ke 302 20 7 302 Scale mounting surface 3 8 0 386 0 008 0 815 0 008 os e 7110 03 0 00118 A Z 38 0 2 1 496 0 008 47 1 850 Detector head mounting surface Detector head mounting surface Rmax 12 5S 500 pinch Note M refers to the machine guide 39 2 40 2 1 543 0 008 2 M3 depth 6 0 24 Unit mm inch Fig 3 3 BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 0 386 0 008 0 815 40 008 710 03 0 00118 JJA Scale mounting surface Detector head mounting surface 1 496 10 008 47 1 850 Detector head mounting surface Rmax 12 5S 500 uinch Note M refers to the machine guide 2 M3 depth 6 0 24 Model L1 L2 1 0 04 BS78 120N NS R RS 148 5 83 or more 50 1 969 BS78 170N NS R RS 198 7 80 or more 75 2 953 BS78 220N NS R RS 248 9 77 or more 100 3 94 L1 I L2 EN L2 8 M4 depth 6 0 24 50 0 3 1969 30011 _ Scale mounting surface 25 0 2 25 0 2 25 0 2 0 984 0 008 0 984 0 008 0 984 0 008 X Rmax 6 3S 250 uinch Re 771 0 01 0 00039 M c Se 0 01 0 00039 95 S oi gs DE N
72. damage the internal circuits This scale unit is a class 1 laser product using a semiconductor laser with wavelength of 790 nm and maximum output of 10 uW The light transmitted from the detector head is hazardous to the human body though it is not visible to the human eye For this reason never open the cover of the detector head assembly As there is a danger of light leakage do not look into the scale insertion openings while the power is on and never try to insert objects other than the scale through the scale insertion openings 2 CLASS 1 LASER PRODUCT LASERSCHUTZKLASSE 1 PRODUKT TO EN 60825 XQ N Caution Be sure to check the machine and device conditions to ensure work safety before working on the machine Be sure to cut off the power supply and other sources of drive power before working on the machine Failure to do so may result in fire or accidents When turning on the power supply or other sources of drive power to operate the machine take care not to catch your fingers in peripheral machines and devices 2 E Big CAUTION Use of controls or adjustments or perfomance of procedures other than those specified herein may result in hazardous radiation exposure DANGER INVISIBLE LASER CERTIFICATION RADIATION WHEN OPEN AVOID PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 DIRECT EXPOSURE TO BEAM CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE Magnescale Co Ltd 45 S
73. der Befestigungsschrauben Koordinaten 3 Das Modell BS78 N NS ist f r beidseitige Montage ausgelegt Die in der nachstehenden Abbildung in Klammern angegebenen Ma e gelten f r den Fall da nach rechts berstehende Kabel verwendet werden Wenden Sie sich bez glich Informationen ber den Typ R RS an Magnescale Co Ltd Ma stab Montagefl che Rauheit Rmax 6 38 Ebenheit 0 01 mm oder weniger Parallelit t zum Maschinen Verfahrweg 0 01 mm oder weniger Detektorkopf Montagefl che Rauheit Rmax 12 58 Parallelit t zum Maschinen Verfahrweg 0 03 mm oder weniger BS78 10N NS NNNN Ma stab Montagefl che YRmax 6 35 4 M3 Tiefe 6 31518 0 01 MM 0 01 Referenz hier n 3 9 8 0 2 20 7 0 2 0 03 A Detektorkopf Montagefl che Ma stab Montagefl ch Detektorkopf Montagefl che SE Mad eee Einheit mm Rmax 12 58 Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn Abb 3 1 BS78 G 5 BS78 40N NS R RS 70 4 M4 Tiefe 6 Ma stab Montagefl che 50 0 3 25 0 2 v Rmax 6 35 amp o du 107777 Ma stab Montagefl che i A A 38 0 2 Detektorkopf Montagefl che 47 Detektorkopf Montagefl che v Rmax 12 55 39 2 0 2 16 0 2 2
74. e reference plate parallel to the machine guide as shown in the figure Fastening torque 1 4 N m The reference hole is located on the left as shown in the figure Adjust at the right side while observing the parallelism with the lever type dial gauge 5 0 0 Reference 24 0 Li 1 0 01 0 00039 M Note M refers to the machine guide Fig 3 8 Note The scale is pressed against the reference plate for parallelism when mounting The reference plate is vital to accurate scale mounting Be sure to always use the supplied screw and mount it exactly as described in the specifications BS78 40N NS R RS 120N NS R RS 170N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS M4x8 Plain washer nominal 4 M4x8 Reference abutment surface Reference abutment surface 8 E Fig 3 9 BS78 2 Attach the scale clamps loosely 1 or 2 full turns looser than the semi tightened position by using the mounting screws as shown in the figure BS78 40N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS M4x8 M4x8 m Plain washer nominal 4 Reference plate BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS Fig 3 10 3 Check the mounting surface and the datum surface of the scale for du
75. e with those directives Warnung Wenn dieses Ger t mit Ausr stungsteilen verwendet wird die von den Maschinenrichtlinien EN 60204 1 geregelt werden m ssen Ma nahmen ergriffen werden um eine bereinstimmung mit diesen Normen zu gew hrleisten BS78 For U S A and Canada THIS CLASS A DIGITAL DEVICE COMPLIES WITH PART15 OF THE FCC RULES AND THE CANADIAN ICES 003 OPERATION IS SUBJECT TO THE FOLLOWING TWO CONDITIONS 1 THIS DEVICE MAY NOT CAUSE HARMFUL INTERFERENCE AND 2 THIS DEVICE MUST ACCEPT ANY INTERFERENCE RECEIVED INCLUDING INTERFERENCE THAT MAY CAUSE UNDERSIGNED OPERATION CET APPAREIL NUMERIQUE DE LA CLASSE A EST CONFORME A LA NORME NMB 003 DU CANADA G 5 INHALT 3 BERBLICK deeg 1 KT 1 Telo Merkmale ee oe order o ebrei 1 1 2 Modellbezeichnungen lt lt 1 1 3 BS78 Konfiguration und Bezeichnung der Teile pp 2 2 VORSICHTSMASSNAHMEN ZUR MONTAGE 3 2 W hrend der Montage inei e eem re de HER 3 2 2 MontaP anforder llP eni aci ene Cei ce Ie p E DE oe dias 3 223 Nor der Montage uii RS RN SN saus 4 2 3 KompensationsWett eo piece tr teet trei tien 4 2 3 2 Kompensationswert Einstellung pe 4 3 MONTAGE UND EINSTELLUNGEN 5 3 1 Vorbereltungider MontageflaCB6J24 2 5 3 2 Montage des Mabstabs nennen en 8 32221 BS78 LONINS EK 8
76. en werden um eine bereinstimmung mit diesen Normen zu gew hrleisten BS78 For U S A and Canada THIS CLASS A DIGITAL DEVICE COMPLIES WITH PART15 OF THE FCC RULES AND THE CANADIAN ICES 003 OPERATION IS SUBJECT TO THE FOLLOWING TWO CONDITIONS 1 THIS DEVICE MAY NOT CAUSE HARMFUL INTERFERENCE AND 2 THIS DEVICE MUST ACCEPT ANY INTERFERENCE RECEIVED INCLUDING INTERFERENCE THAT MAY CAUSE UNDERSIGNED OPERATION CET APPAREIL NUMERIQUE DE LA CLASSE A EST CONFORME A LA NORME NMB 003 DU CANADA E 5 BS78 Contents DES euer 1 ege ee 1 SEES CUP E 1 1 2 Model Names u sent en een nisse 1 1 3 BS78 Configuration and Names of Parts pp 2 2 Mounting Precautions 3 Deals When MOUDUnS uu u au dere nee 3 2 2 Mounting Requirements ga 3 2 3 Before MO 4 2 3 1 Compensation Value eerie epe tine 4 2 3 2 Compensation Value Setting sese 4 3 Mounting and Adjustment 5 3 1 Mounting Surface Preparations oo Gi sedi ee 5 3 2 Scale Mo nting gi 8 3 2 1 BS78 I0N NS KK 8 3 2 2 BS78 40N NS R RS to 420N NS R RS eceeceeseeeeeeteeeeeeeeneeeaes 8 3 3 Detector Head Mounting ec yen ere eere ree a ei peer ind 12 3 4 Signal Adjustment ee RERO ariel eh lee 13 3 4 1 Signal Adjustment Preparations esee 13 3 4 2 Azimuth Adjustment oec nn ernennen 14 3 5 Completion of Mounting and Adjustment
77. ent y ns Deenen 320 re 20 l 48 L50 50 50 50 50 43 96 L 346 120 370 ee c be 4 eee ee Ee eee eee ee Ee EE EES eee SE f EH 50 50 50 50 50 e 146 l 396 170 ehe Ladies 420 p 50 50 196 L 446 220 246 1 mm 3 24 BS78 J 17 4 10 N NS 40 70 120 170 220 270 320 370 420 mm 58 mm 10 mm 26 mm 40 420 mm 2 mm 10 mm 10 mm 40 420 mm 20 C NS RS 10 mm 0 03 um 40 mm 0 04 um 70 120 mm 0 10 um 170 220 mm 0 18 um 270 mm 0 25 um 320 mm 0 34 um 370 mm 0 39 um 420 mm 0 44 um N R 10 mm 0 06 um 40 mm 0 08 um 70 120 mm 0 20 um 170 220 mm 0 35 um 270 320 370 mm 0 50 um 420 mm 0 65 um 0 1 um R R
78. erden 4 G Big For EU and EFTA countries Marking by the symbol CE indicates compliance with the EMC directive of the European Community This marking shows conformity to the following technical standards EN 55011 Group 1 Class 98 Limits and methods of measurement of radio disturbance characteristics of industrial scientific and medical ISM radio frequency equipment EN 61000 6 2 99 Electromagnetic compatibility EMC Part 6 2 Generic standards Immunity for industrial environments For DC power driven products to meet EN 61000 6 2 99 the following operational conditions must be satisfied 1 Input and output signal cable length 30 m or less 2 Cable length for input power source 10 m or less 3 Scale cable length 30 m or less When using the same cable for output signal and input power source the cable must not be longer than 10 m For AC power driven products to meet EN 61000 6 2 99 the following operational conditions must be satisfied 1 Input and output signal cable length 30 m or less 2 Scale cable length 30 m or less EN 60204 1 Warning When using this device with equipment governed by Machine Directives EN 60204 1 measures should be taken to ensure conformanc
79. ezogen werden Unterlassen Sie gewaltsames Ziehen oder berm iges Biegen des Kabels Biegeradius innen mindestens 50 mm Warten Sie vor Benutzung der Ma stabseinheit BS78 ungef hr 10 Minuten nach dem Einschalten der Stromzufuhr bis sich die Temperatur des Detektorkopfes stabilisiert hat Die Ma stabseinheit BS78 ist ein Pr zisions Me instrument Behandeln Sie sie mit u erster Sorgfalt damit sie keinen starken Ersch tterungen ausgesetzt wird Benutzen Sie zum Transport die Originalverpackung der Ma stabseinheit Allgemeine Vorsichtsma regeln Beachten Sie bei Verwendung unserer Produkte die folgenden allgemeinen Vorsichtsma regeln neben den in diesem Handbuch speziell vermerkten Hinweisen um korrekten Gebrauch der Produkte zu gew hrleisten Vergewissern Sie sich vor und w hrend des Betriebs da das Produkt einwandfrei funktioniert Treffen Sie angemessene Sicherheitsma nahmen um im Falle von Funktionsst rungen Sch den zu vermeiden Der Einsatz au erhalb der angegebenen Spezifikationen oder Zwecke und die Modifikation unserer Produkte haben den Verfall der Garantie auf die angegebenen Funktionen und Leistungen unserer Produkte zur Folge Bei Verwendung unserer Produkte in Verbindung mit anderen Ger ten werden je nach den Betriebsumgebungsbedingungen die in dieser Anleitung angegebenen Funktionen und Leistungen m glicherweise nicht erzielt Daher sollte die Kompatibilit t vorher gr ndlich berpr ft w
80. hub ffnungen und versuchen Sie niemals irgendwelche anderen Gegenst nde au er dem Ma stab in die Ma stabs Einschub ffnungen einzuf hren CLASS 1 LASER PRODUCT LASERSCHUTZKLASSE 1 PRODUKT TO EN 60825 N Vorsicht AN 2 G berpr fen Sie vor Arbeitsbeginn unbedingt den Zustand von Maschine und Vorrichtungen um die Arbeitssicherheit zu gew hrleisten Schalten Sie vor Arbeiten an der Maschine unbedingt die Stromzufuhr und andere Antriebsstromquellen aus Anderenfalls besteht Brand oder Unfallgefahr Achten Sie beim Einschalten der Stromversorgung usw zum Betrieb der Maschine darauf da Sie sich nicht die Finger in peripheren Maschinen und Vorrichtungen klemmen BS78 ACHTUNG Die Bet tigung von Bedien und Einstellteilen bzw die Ausf hrung von Verfahren die nicht in dieser Bedienungsanleitung beschrieben sind k nnen zu gef hrlicher Strahlungsbelastung f hren DANGER INVISIBLE LASER CERTIFICATION RADIATION WHEN OPEN AVOID PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 DIRECT EXPOSURE TO BEAM CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE Magnescale Co Ltd 45 Suzukawa Isehara shi Kanagawa 259 1146 Japan MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT Magnescale Co Ltd LASERSCALE BS78 CAUTION Setzer Tee DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO Magnescale Co Ld QUALIFIED PERSONNEL MADE IN JAPAN ATTENTION NE PAS DEMONTER LE CA
81. ions ou entretiens de l quipement moins d une permission crite de Magnescale Co Ltd Die in dieser Anleitung enthaltenen Informationen sind Eigentum von Magnescale Co Ltd und sind ausschlieBlich f r den Gebrauch durch den K ufer der in dieser Anleitung beschriebenen Ausr stung bestimmt Magnescale Co Ltd untersagt ausdr cklich die Vervielf ltigung jeglicher Teile dieser Anleitung oder den Gebrauch derselben f r irgendeinen anderen Zweck als die Bedienung oder Wartung der in dieser Anleitung beschriebenen Ausr stung ohne ausdr ckliche schriftliche Erlaubnis von Magnescale Co Ltd fF H H D KK WE KE WE t kU OR KZE K EI
82. itte angezeigt wird Stellen Sie die Eingangskopplungsschalter von CH1 und CH2 am Oszilloskop auf DC Schalten Sie die Stromzufuhr des Detektors ein G 13 3 4 2 Azimuteinstellung Die in der nachstehenden Abbildung gezeigte Richtung wird als Azimutrichtung bezeichnet Durch geringf giges Verstellen der Detektorkopfausrichtung kann ein stabiles Ausgangssignal des angegebenen Wertes Amplitude 1 6 Vs s oder h her erzielt werden Azimutrichtung Abb 3 18 1 L sen Sie die Detektorkopf Befestigungsschrauben 2 Drehen Sie den Detektorkopf wie in Abb 3 18 gezeigt bis Sie den Punkt finden an dem die Amplitude der Lissajousfigur ihr Maximum erreicht 3 Ziehen Sie die zwei Detektorkopf Befestigungsschrauben abwechselnd und schrittweise in der Detektorkopfstellung mit der gr ten Amplitude der Lissajousfigur an Anzugsmoment 0 8 N m 4 Stellen Sie sicher da kein Kontakt zwischen Ma stab und Detektorkopf besteht und da ein Abstand von 2 0 2 mm vorhanden ist wie in Abb 3 19 gezeigt 2 0 2 Auf Ber hrung uberpr fen Detektorkopf Ma stab Abb 3 19 5 Verschieben Sie den Ma stab und vergewissern Sie sich da die Amplituden A und B der Lissajousfigur D J siehe Abb 3 20 einen Wert von 1 6 Vs s oder gr er ber die gesamte Ma stabsl nge haben Falls trotz wiederholter Einstellung keine Au
83. mmung mit diesen Normen zu gew hrleisten 4 0 For U S A and Canada THIS CLASS A DIGITAL DEVICE COMPLIES WITH PART15 OF THE FCC RULES AND THE CANADIAN ICES 003 OPERATION IS SUBJECT TO THE FOLLOWING TWO CONDITIONS 1 THIS DEVICE MAY NOT CAUSE HARMFUL INTERFERENCE AND 2 THIS DEVICE MUST ACCEPT ANY INTERFERENCE RECEIVED INCLUDING INTERFERENCE THAT MAY CAUSE UNDERSIGNED OPERATION CET APPAREIL NUMERIQUE DE LA CLASSE A EST CONFORME A LA NORME NMB 003 DU CANADA BS78 BS78 jp 1 ERDE ENEAS EE AE EEA AAA EEE 1 1 12 Ee EE 1 13 BS78 kk 2 2 kk 3 PE E D L EE Fe Lees tenente tenentur E A 3 22 DIE en Z EE 3 E E EE UE 4 2 3 1 MEER DIT er ned 4 232 O X y 4 3 kk 5 31 sirnana n RA Rn Annan 5 32 ee 8 3 2 1 BS78 10N NS nee 8 3 2 2 BS78 40N NS R RS 420N NS R RS kk 8 3 3 kk 12 EE 13 3 4 1 kk 13 TOES 42410200 MEER 14 35 15 3 6 R RS ea ee 16 261 Rok oo cecececcsccsccccccccsccccccecsccccececscsesececeescsececeesesesesceecsenesecscecees 16 8 62 BS Ms EE Ee rss a aka 16 363 kk kk 16 364 E 17 ME eO 18 5 SEA 19 J i
84. nd Symbole sto en Machen Sie sich mit ihrer Bedeutung vertraut bevor Sie den Text lesen N Warnung Eine Mi achtung dieser Hinweise kann zu Feuer elektrischen Schl gen oder anderen Unf llen f hren die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben k nnen N Vorsicht Eine Mi achtung dieser Hinweise kann zu elektrischen Schl gen oder anderen Unf llen f hren die Verletzungen oder Sachbesch digung der umliegenden Objekte zur Folge haben k nnen oe G 1 Warnung AC A Betreiben Sie dieses Ger t nur mit der vorgeschriebenen Versorgungsspannung da anderenfalls die Gefahr von Feuer oder elektrischen Schl gen besteht F hren Sie Installationsarbeiten nicht mit nassen H nden aus da hierbei die Gefahr elektrischer Schl ge besonders gro ist Unterlassen Sie jeden Versuch das Ger t zu zerlegen oder umzubauen da dies zu Verletzungen oder Besch digung der internen Schaltungen f hren kann Diese Ma stabseinheit ist ein Laserprodukt der Klasse 1 das einen Halbleiterlaser mit einer Wellenl nge von 790 nm und einer maximalen Ausgangsleistung von 10 uW verwendet Das vom Detektorkopf abgestrahlte Laserlicht ist gesundheitssch dlich obwohl es f r das menschliche Auge unsichtbar ist Aus diesem Grund darf die Abdeckung der Detektorkopfeinheit auf keinen Fall ge ffnet werden Da die Gefahr von Leckstrahlung besteht blicken Sie bei eingeschalteter Stromversorgung nicht in die Ma stabs Einsc
85. not perform compensation so refer to the detector instruction manual 4 E BS78 3 Mounting and Adjustment Follow the procedure below For details refer to the corresponding pages 3 1 Mounting Surface PreparatioBSu 5 322 Scale Mounting 23 Her RERO RN 8 3 3 Detector Head Mounting 3 4 Signal Adjustment ST 3 4 1 Signal Adjustment Preparations 3 4 2 Azimutb Adjustment tenete tret ee sieh 3 5 Completion of Mounting and Adjustment sess nemen nennen nennen 15 3 1 Mounting Surface Preparations 1 Check the mounting surface range the shaded sections in the figure and accuracy 2 Check the accuracy of the mounting screw coordinates 3 The BS78 N NS has been designed for mounting on either side The dimensions shown in parentheses in the figure below illustrate the case when right protruding cables are used Contact Magnescale Co Ltd for information about the R RS type Scale mounting surface Roughness Rmax 6 3S 250 uinch Flatness 0 01 mm 0 00039 or less Parallelism to machine travel 0 01 mm 0 00039 or less Detector head mounting surface Roughness Rmax 12 5S 500 pinch Parallelism to machine travel 0 03 mm 0 00118 or less BS78 10N NS Scale mounting surface 31 5 Rmax 6 35 250 pinch 4 M3 depth 6 1 24 16 0 63 0 01 0 00039 M 0 01 0 00039 e 0
86. o moisture condensation Storage temperature C F 10 to 50 14 to 122 Humidity 60 or less Supplied accessories Scale measuring length 10 40 Instruction manual 1 1 70 120 170 220 270 30 370 420 M3x 8 hex socket head cap screw 2 M3 x 30 hex socket head cap screw 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 M4 x 8 hex socket head cap screw 4 6 8 8 8 10 10 12 12 Plain washer nominal 3 4 2 2 2 2 2 2 2 2 2 Plain washer nominal 4 4 6 8 8 8 10 10 12 12 Reference plate 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Spacer 2 2 2 2 2 4 4 Scale clamp 1 2 3 3 3 4 4 5 5 Cable clamp 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 M4 x 8 small screw 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Accuracy chart 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Reference point masking label R RS 5 5 5 5 5 10 10 10 10 Contents of the package Detector head 1 Scale 1 1 set of supplied accessories 1 18 E BS78 Imensions 5 D BS78 10N NS your ww arum you 009 S G 2l XBUUH SI eoehns 6ulunow peau O10919D y Jo ss uuBnoi soejhns ul 8 91ON uourr 092 S 6 9 xewy SI eoehns Bununoui e eos out jo ss uuBnoi 9oBJnS Sy 2 91ON eoeuns 6ulunow y uo SUOISUSUUID 6ululdoew y eleolpul ysuelse Ue Aq peyJew sway eu SION 4 amp 6 0008 6uel alqed LO L02 1 892 0 8 9
87. put of compensation values Linear compensation must be performed using the customer s machine if the compensation value cannot be set When you operate the unit in an environment where the temperature is not 20 C 68 F To operate the unit in an environment where the temperature is not 20 C 68 F adjust the compensation value as shown below to make a temperature adjustment The following example shows the adjustment method for an operating temperature of 23 C 73 F Example The compensation value shown on the compensation value label is 1 4 0 1379 1 2 3 x 1 23 20 x 0 7 x 109 0 1379 1 2 10 5 A Temperature difference from 20 C 68 F Coefficient of thermal expansion of the scale See page 18 N CH On The compensation value after temperature adjustment will be Set the detector to this value 2 3 2 Compensation Value Setting See the section Compensation Value Setting of the detector BD60 95 series instruction manual Note The compensation value of the detector BD60 series is set to all zeros at the time of shipment In this state the alarm sounds and you cannot operate the unit Be sure to set the detector to the correct compensation value of the scale before operation In addition the resolution must be calculated for detectors that do
88. reference point accuracy Standard specifications Reference point signal Detector head Fig 3 22 3 6 2 Reference Point Mask Reference points can be detected using a deceleration dog or by masking unnecessary reference points with the supplied reference point masking labels If masking the reference point aff x a mask label using the procedure shown in Fig 3 23 Affixing procedure 1 Wash the scale with alcohol 2 Use a set of tweezers to peel off the sup plied reference point mask label from the board 3 Affix the label from the side having the model number label so as to cover the unneeded reference point pattern Note When affixing the label be careful not to touch the scale surface and leave any fin gerprints or other marks Fig 3 23 3 6 3 Speed Variation During Reference Point Detection To attain the designated accuracy 0 1 um speed should be kept constant during reference point detection Any speed variation should be limited to less than 0 2 mm s The maximum detection speed is 100 mm s 1 6 E BS78 3 6 4 Reference Point Position The reference points are positioned at a 50 mm pitch The reference points for specific measuring lengths are shown below
89. sgabe von 1 6 Vs s erzielt werden kann berpr fen Sie die Genauigkeit der Montagefl che von Ma stab und Detektorkopf siehe die Seiten 5 bis 7 und vergewissern Sie sich erneut da kein Schmutz an der Oberfl che des Ma stabs haftet Lissajous 14 G Abb 3 20 BS78 3 5 Abschlu von Montage und Einstellung Sichern Sie das Kabel mit der mitgelieferten Kabelklemme und der kleinen Schraube MA x 8 Bevor Sie den Ma stab f r Messungen benutzen lassen Sie ihn nach der Montage etwa drei Stunden lang ruhen damit sich die befestigten Teile stabilisieren k nnen und die Umgebungstemperatur des Ma stabs sich normalisieren kann Kleine Schraube M4 x 8 d c Kabelklemme d d KC P d Abb 3 21 BS78 6 15 3 6 Interner Bezugspunkt R RS 3 6 1 Bezugspunkterfassung Ein monodirektionaler Bezugspunkt wird als interner optischer Bezugspunkt f r die Laserscale Ma stabseinheit verwendet Demgem sollte die Bezugspunkterfassung in den relativen Bewegungsrichtungen von Ma stab und Detektorkopf durchgef hrt werden wie im folgenden Diagramm gezeigt W hrend der Erfassung steigt das Bezugspunktsignal an Eine Durchf hrung der Bezugspunkterfassung in umgekehrter Richtung f hrt zu einer Herabsetzung der Bezugspunktgenauigkeit Standard spezifikationen Ma stab Bezugspunktsignal Detektorkopf Abb 3 22
90. sion type with reference point BS78 E 1 1 3 BS78 Configuration and Names of Parts Connector plug Scale Reference plate Mounting screw Detector head Compensation value label Scale measuring length 10 mm measuring length 40 mm or more 2 E Fig 1 1 BS78 2 Mounting Precautions 2 1 When Mounting The scale and the detector head are adjusted to each other If more than one scale unit is to be used only combine them with the detector heads provided in the same packing If you do not know which scale and detector head to use together refer to the serial No on the supplied accuracy chart The scale and the head have unique serial numbers Consider the mounting position Abbe error and the environmental conditions temperature humidity vibration and dust thoroughly Do not lead the head cable through the same duct with the power cable Set the maximum travel of the machine s moving part shorter than that of the scale Measuring length 10 mm Scale s max travel measuring length 2 mm 0 08 1 mm 0 04 per each side Measuring length 40 mm or more Scale s max travel measuring length 10 mm 0 39 5 mm 0 20 per each side If the scale s max travel is exceeded the scale unit signals will not be output and an error will occur For the scale unit scale signal adjustment is necessary after mounting When mounting the scale to the machine make
91. st and dirt If the surfaces are dirty wipe them clean with gauze moistened with alcohol Mounting surface Datum surface Fig 3 11 BS78 E 9 4 Insert the scale between the scale clamp and the mounting surface while pressing the datum surface of the scale see Fig 3 9 lightly against the reference abutment surface Note Gradually and alternately tighten screws A and B of the scale clamp indicated in the figure Use only the left side scale clamp for clamps with two screws and use the center scale clamp for clamps with three screws Final fastening torque 1 4 N m BS78 40N NS R RS BS78 70N NS R RS 270N NS R RS 320N NS R RS B 6 A 5 A S ll A 7 Be e BS78 120N NS R RS 170N NS R RS 220N NS R RS 370N NS R RS 420N NS R RS Fig 3 12 Note When pressing the scale against the reference surface lightly press two points on the edge of the scale surface opposite the reference surface with your fingers with a force of 9 8 N or less as shown in Fig 3 13 below If the middle part of the scale is pressed with a force of 4 9 N or more as shown in Fig 3 13 below or if the scale is installed with deformation the specified accuracy cannot be achieved This also applies to the following procedures If it appears that the scale has been bent by force loosen the scale clamp and mount it again properly
92. t regulation 1 16 16 T 259 1146 45 Magnescale Co Ltd 45 Suzukawa lsehara shi Kanagawa 259 1146 Japan BS78 2 917 544 0A E 2014 10 Printed in Japan 2002 Magnescale Co Ltd
93. ung und Positionierung mit Sub Nanometer Genauigkeit 0 14 nm Der gro e Spielraum f r Montagetoleranzwerte gestattet eine erheblich leichtere Montage im Gegensatz zu regul ren optischen Ma st ben 1 2 Modellbezeichnungen Die Modellbezeichnung kennzeichnet die Me l nge und den Ma stabtyp Beispiel BS78 220 N Me l nge N Normaltyp ohne Bezugspunkt NS Hochpr zisionstyp ohne Bezugspunkt R Normaltyp mit Bezugspunkt RS Hochpr zisionstyp mit Bezugspunkt BS78 G 1 1 3 BS78 Konfiguration und Bezeichnung der Teile Anschlu stecker Bezugsplatte Ma stab Detektorkopf Kompensationswertaufkleber Ma stab Me l nge 10 mm Ma stab Me l nge 40 mm oder mehr Abb 1 1 2 G BS78 2 VORSICHTSMASSNAHMEN ZUR MONTAGE 2 1 W hrend der Montage Ma stab und Detektorkopf sind aufeinander abgestimmt Sollen mehrere Ma stabseinheiten verwendet werden darf jede Ma stabseinheit nur mit dem in derselben Verpackung enthaltenen Detektorkopf kombiniert werden Die Zusammengeh rigkeit von Ma stab und Detektorkopf kann anhand der Seriennummer auf der mitgelieferten Genauigkeitstabelle festgestellt werden Ma stab und Kopf besitzen eindeutige Seriennummern Montageposition Abbe Fehler und Umgebungsbedingungen Temperatur Luftfeuchtigkeit Vibrationen und Staub sind entsprechend zu ber cksichtigen Verlegen Sie das Kabel des Detektorkopfes oder das
94. uzukawa Isehara shi Kanagawa 259 1146 Japan MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT Magnescale Co Ltd LASERSCALE Get en COVER REFER SERVICING TO Ser No kes e QUALIFIED PERSONNEL lagnescale Co Ltd MADE IN JAPAN ATTENTION NE PAS DEMONTER LE CAPOT LAISSER REVISER A PERSONNEL DIPLOMEE CAUTION SCALE GRATING MAY DISCOLOR The scale may discolor after being exposed to light for a long time If laser beam from the head irradiates the same spot of the scale for a long time the scale may discolor white at the location This will not affect the performance of the scale On the other hand the scale may discolor dark after being exposed to ultraviolet light for a long time This may affect the signal output level Please shield the scale from UV with a cover Ber E 3 Operating Precautions Each scale bears a label showing a scale pitch compensation value proper to the scale Before operation be sure to set the detector to this value See page 4 A static electricity proof cap is attached to the connector plug of the scale unit Do not remove this cap until you are ready to connect the detector After removing the static electricity proof cap take care not to touch the connector pins as this might cause malfunctions Be sure to make all connections of the scale unit connector and the detector receptacle by fixing them with screws before switching the power on Never insert or

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