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Bedienungsanleitung Spannungsverstärker

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1. Herewith we can confirm that the part mentioned above has been manufactured since April 1 2006 according to the EU guidelines for reduction of hazardous substances 202 95 EG RoHS Declaration issued by piezosystem jena GmbH Dr Bernt G tz President Pr ssingstra e 27 07745 Jena Jena 24 January 2011 Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 20 IT plezosystemyjena incredibly precise 4 Instructions for using piezoelectrical elements and power supplies e Piezoelectric actuators from piezosystem jena are controlled by voltages of up to 150 V These values can be quite hazardous Therefore read the installation instructions carefully Only authorized personnel should handle the power supply e After transportation piezoelectric actuators should be allowed to adapt to room temperature for approximately 2 hours before being switched on e Piezoelectric actuators are made from ceramic materials with and without metallic casings The piezo ceramic is a relatively brittle material This should be noted when handling piezoelectrical actuators All piezo elements are sensitive to bending or shock forces e Due to the piezoelectric effect piezo actuators can generate electrical charges by changing the mechanical load or the temperature or by such actions as those described above e Piezoelectric actuators are able to work under high compressiv
2. Wahl der Ansteuerung durch HIGH oder LOW TTL Pegel HIGH Pin 7 ist aktiv OFFSET Potentiometer und MOD Modulationseingang an der Frontplatte sind abgeschaltet LOW Pin 7 ist nicht aktiv Aktorhub wird ber das OFFSET Potentiometer und den MOD Modulationseingang an der Frontplatte gesteuert Aktorspannung 10 bis 150V optional Masse Betriebsspannung PWR Betriebsspannung Tabelle 2 Pinbelegung der R ckverdrahtung 12V40 12V40SG 12V40CLE O 2 ae o Aag oO 2 9 3 a 2 S 6 S o wm N om ON optional wird werksseitig eingestellt muss bei der Bestellung angegeben werden Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com IT plezosystemjena unglaublich pr zise Der Spannungsverstarker 12V40C 12V40CSG in offener Bauform wurde auch zur einfachen Integration in kundenspezifischen Positionier Steuersystemen entwickelt Darum sind alle wichtigen Steuersignale via Steckverbinder auf der R ckseite zug nglich Pin _ Bezeichn Beschreibung GND Masse Signalmasse 16 SRC Source Wahl der Ansteuerung durch HIGH oder LOW TTL Pegel HIGH Pin 7 ist aktiv OFFSET Potentiometer und MOD Modulationseingang an der Frontplatte sind abgeschaltet LOW Pin 7 ist nicht aktiv Aktorhub wird ber das OFFSET Potentiometer und den MOD Modulationseingang an der Frontplatte gesteuert OUT Aktorspannung 10 bis 150V optional GND Mas
3. 2002 95 EGT from January 27 2003 Typ Reference 12V40 12V40 SG Description piezo amplifier Manufacturer piezosystem jena GmbH Pr ssingstra e 27 07745 Jena Herewith we can confirm that the part mentioned above has been manufactured since April 1 2006 according to the EU guidelines for reduction of hazardous substances 202 95 EG RoHS Declaration issued by piezosystem jena GmbH Dr Bernt G tz President Pr ssingstra e 27 07745 Jena Jena 24 January 2011 Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com by Ti piezosystemjena unglaublich pr zise 4 Allgemeine Hinweise zu Piezoaktoren und Spannungsverstarkern 6 Piezoaktoren von piezosystem jena werden mit Spannungen bis 150V angesteuert Beachten Sie bitte die Sicherheitsvorschriften beim Umgang mit diesen Spannungen Nach dem Transport von Piezoaktoren sollten sich diese vor dem Einschalten ca 2h der Raumtemperatur anpassen k nnen Piezoaktoren sind sto und schlagempfindlich Bruchgefahr Vermeiden Sie auch bei eingebauten Piezoaktoren derartige Einwirkungen Durch den piezoelektrischen Effekt k nnen bei Sto oder Schlageinwirkungen Spannungen erzeugt werden die zu berschl gen f hren k nnen Piezoaktoren sind mit hohen Druckkr ften belastbar Ohne Vorspannung d rfen sie nicht auf Zug belastet werden Beachten Sie dass bei Sto einwirkungen z B Herunterfallen und
4. Sie den Innenwiderstand des Monitorausgangs Verwenden Sie nur entsprechend hochohmige Messger te um keine Verf lschung des Messsignals zu erhalten Der Ausgang ist kurzschlussfest vertr gt aber keine injizierten Spannungen Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 3 i IT plezosystemjena unglaublich pr zise 7 6 Aktor Anschluss OUT Uber diese Buchse wird der Aktor angeschlossen 7 7 Schalter Closed loop 12V40SG 12V40CLE Mit diesem Schalter wird zwischen ungeregeltem open loop und geregeltem closed loop Betrieb umgeschaltet Die Variante 12V40SG verf gt ber ein integriertes Messsystem und kann durch eine elektronische Regelung die Hysterese und das Driften des Piezoaktors ausgleichen Die Variante 12V40CLE erh lt das Positionssignal von einem mit dem Aktuator verbundenen Messsystem Bitte beachten Sie bei dynamischer Ansteuerung die Regelzeiten um eine korrekte Positionierung zu erm glichen Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com Ti piezosystemjena unglaublich pr zise 7 8 Steckverbinder R ckseite 14 Der Spannungsverst rker 12V40 12V40SG mit geschlossenem Geh use wurde auch zur einfachen Integration in kundenspezifischen Positionier Steuersystemen entwickelt Deshalb sind alle wichtigen Steuersignale ber den Steckverbinder auf der R ckseite zug nglich Source
5. malfunction Turn the potentiometer into its minimum position 12V40SG 12V40CLE Turn on closed loop Turn the potentiometer into the maximum position so that the actuator does its maximum closed loop movement Turn the potentiometer into its minimum position and switch off closed loop Switch off the power supply Ensure that the potentiometer is in its minimum position The function check is now complete Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com z ERT f IT piezosystemjena incredibly precise 7 How to operate the 12V40 The 12V40 voltage amplifier series was especially developed for one channel positioning tasks in optics laser physics microbiology and machining With an output noise less than 0 3 mV it is well suited for positioning in the sub nm range It is also well suited for OEM applications 7 1 Technical data supply voltage 12V DC optional 24V DC oupas Mk monitor voltage MON 1 415V SMB 0 10V on SG CLE 0 10V rear panel 1006 SMB TOKA ear ane bath EE measuring system strain gauges 12V40SG external 12V40CLE measuring system connector LEMO 08 304 12V40SG ODU 4pin series L 12V40CLE table 1 technical data 12V40 series Tel 49 0 3641 66880 Fax 49 0 3641 668866 info piezojena com www piezosystem de IT piezosystemjena incredibly precise 7 2 Initialization Please connect the device to the wall out
6. not active motion of the actuator will be controlled by the OFFSET potentiometer and the MOD modulation input at the front panel 24 output voltage 10 150 V option ground operating voltage operating voltage table 3 pin wiring of the rear panel connector 12V40C 12V40CSG GND 2 GND option is set at the factory must be specified when ordering Tel 49 0 3641 66880 Fax 49 0 3641 668866 info piezojena com www piezosystem de 8 30 plezosystemjena incredibly precise Possibilities of the error correction If the system does not work properly please check the power cord first ON LED is off please check the power supply OVL or UVL LED flash over or underload please check the modulation input and offset table 4 possibilities of the error correction The eduipment is calibrated before delivery for the appropriate actuator with integrated measuring system An exchange of the actuator amplifier combination leads to inaccuracies in setting movement and loss of positioning accuracy If the equipment is damaged during the use of another actuator no assurance can be undertaken The equipment concept makes adaptations to customer preferences concerning the technical threshold values such as the main voltage or the output voltage possible Please contact our technical service department in order to discover the possibilities for your specific problem Any adjustments necessary
7. use the units near water CAUTION A Allow adequate ventilation around the units so that heat can properly dissipate Do not block ventilated openings or place the units near a radiator oven or other heat sources Do not put anything on top of the units except accessories designed for that purpose e g actuators Only work with the units in a clean and dry environment Only specially prepared units e g actuators can work under other conditions Please only use original parts from piezosystem jena piezosystem jena does not give any warranty for damages or malfunction caused by additional parts not supplied by piezosystem jena Additional cables or connectors will change the calibration and other specified data This can change the specified properties of the units and cause them to malfunction Piezoelements are sensitive systems capable of the highest positioning accuracy They will only demonstrate their excellent properties if they are Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 22 IT piezosystemjena incredibly precise handled correctly Please mount them properly only at the special mounting points e Do not insert objects of any kind into the cabinet slots as they may touch dangerous voltage points which can be harmful or fatal or may cause electric shock fire or equipment failure e Do not place heavy objects on any cables e g power cords sensor cable
8. Bedienungsanleitung Spannungsverstarker 12V40 Serie instruction manual voltage amplifier 12V40 Series N 9 r2va0s6 t l yon S 1 f SOS we z ON D ON 5 P ezosystem ens A i Ze Bitte die Bedienungsanleitung vor dem Anschalten des Ger tes sorgf ltig lesen Beachten Sie bitte insbesondere die Sicherheitshinweise Please read the manual carefully before using the system Please follow the safety instructions for piezoelectric actuators and power supplies Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com Het rie 2 Ti piezosystemjena unglaublich pr zise Bedienungsanleitung Seiten 3 17 deutsch instruction manual english pages 18 31 Deutsche Version 06 07 2012 von AS English Version 2012 07 06 by JL Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com CIA ETNE S S cERT JE Tie IT plezosystemjena unglaublich pr zise Inhaltsverzeichnis 1 Gegenstand 2 Zertifizierung von piezosystem jena 3 Konformitatserklarung 4 Allgemeine Hinweise zu Piezoaktoren und Spannungsverstarkern 5 Sicherheitshinweise 5 1 Pflege und Wartung 5 2 _ Umgebungsbedingungen 6 Kurzanleitung Funktionskontrolle 7 Beschreibung des Spannungsverstarkers 7 1 Technische Daten 7 2 Inbetriebnahme 7 3 Bedienung 7 4 SMB Modulationseingang MOD 7 5 SMB Monitorausgang MON 7 6 Aktor An
9. OD modulation input are switched off The remote control via Pin7 of the rear panel connector is active and possible 7 5 SMB monitor output socket MON 12V40 The output voltage in ratio 10 1 1 15 V is available at this socket and can be monitored by using an analog oscilloscope This is especially recommended for dynamic operation Pay attention to the inner resistance of the monitor output since only high ohmic measurement devices should be used The output is short protected so please avoid injected voltages 12V40SG 12V40CLE The measuring voltage 0 10 V is available at this socket and can be monitored by using an analog oscilloscope This is especially recommended for dynamic operation Pay attention to the inner resistance of the monitor output since only high ohmic measurement devices should be used The output is short protected so please avoid injected voltages 7 6 Actuator socket OUT Please connect the actuator by using this socket 7 7 Switch closed loop 12V40SG 12V40CLE Closed loop operation can be turned on by using this switch The 12V40SG amplifier includes an electronic closed loop and a strain gauge measurement system The 12V40CLE uses a measuring system which is combined with the actuator This allows for compensation of drift and hysteresis of the piezo actuator Please take care of settling time when using in dynamic operation Tel 49 0 3641 66880 Fax 49 0 3641 668866 info pie
10. a Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com a te IT plezosystemjena unglaublich pr zise 7 2 Inbetriebnahme Das Ger t wird r ckseitig an die Spannungsversorgung angeschlossen Beachten Sie die richtige Spannung Achten Sie in diesem Zusammenhang auch auf die richtige Zuordnung von Modulationssignal und Monitorsignal an den front seitigen SMB Buchsen wenn Sie diese benutzen Die Piezoaktoren werden mit Spannungen bis 150V angesteuert Bitte achten Sie auf den Ber hrungsschutz 7 3 Bedienung Der Aktor wird ber die LEMO Buchse des Ger tes angeschlossen Das Potentiometer dient der Einstellung der Ausgangsspannung OFFSET Hiermit wird die Ruhelage des Aktors eingestellt An die Buchse MOD kann ein externes Steuersignal Modulationseingang im Bereich von O bis 10V angelegt werden Damit sind unter Beachtung der dynamischen Bandbreite Scanfunktionen realisierbar Zur Vermeidung von Sch den am Piezoelement wird empfohlen vor dem Ein bzw Ausschalten des Spannungsverst rkers den Regler auf Linksanschlag zu stellen Durch berlagerung von Modulationsspannung und eingestellter Offset Spannung k nnen Spannungen bis 160V generiert werden Ein dauerhafter Betrieb in diesem Betriebszustand ist zu vermeiden da die Lebensdauer der Piezokeramik darunter leidet Au erdem leuchtet bei einer Bereichs berschreitung die OVL Anzeige auf Es erfolgt keine Abschaltung der bersp
11. annung Sie spricht nur bei ger teinternen Fehlern an Zur Durchf hrung hochgenauer Verstellungen im sub um Bereich ist es sinnvoll das Ger t ca 2 Stunden vor der Messung in Betrieb zu nehmen Erst nach dieser Zeit haben sich stabile Temperaturverh ltnisse eingestellt Vorteilhaft f r pr zise Positionieraufgaben wirkt sich eine konstante Umgebungstemperatur aus Bedenken Sie dass Temperatur nderungen von AT 5K bei Stahl einer L nge von 20cm eine Langenanderung von 13um hervorrufen Die besonderen Eigenschaften von Piezoelementen wie Hysterese und Drift k nnen bei Nichtbeachtung Ungenauigkeiten verursachen In unserer piezoline siehe Katalog sind die grundlegenden Eigenschaften von Piezoaktoren ausf hrlich beschrieben Zus tzliche Informationen finden sie in unserem Hauptkatalog F r weitere Informationen stehen wir Ihnen gern zur Verf gung Nach dem Einschalten zeigt die LED ON die Betriebsbereitschaft an Bei Linksanschlag des Einstellreglers f r den OFFSET befindet sich der Aktor an seiner Nullposition des Hubbereiches Wird der Einstellregler anschlie end in die rechte Endlage gedreht so wird der maximale Weg zur ckgelegt Dieser Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com Ti piezosystemjena unglaublich pr zise Weg ist von der Spezifikation des Aktors abhangig und kann je nach Aktortyp variieren Die rote OVL LED zeigt Ubersteuerung die rote UDL LED Unte
12. are to be paid for by the customer Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com IT plezosystemyena incredibly precise 9 Your notes Tel 49 0 3641 66880 Fax 49 0 3641 668866 info piezojena com www piezosystem de Bl GERT 4 ki 31 Tie
13. as Ger t aus Achten Sie bitte auf den Linksanschlag des Potentiometers Die Funktionskontrolle ist hiermit abgeschlossen Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com ni a 7 Ti piezosystemjena unglaublich pr zise Beschreibung des Spannungsverstarkers Der Spannungsverstarker der Serie 12V40 wurde speziell far einkanalige Feinpositionieraufgaben entwickelt Im Vordergrund der Entwicklung stand die unkomplizierte Bedienung bei gleichzeitiger Universalit t des Ger tes Das Ger t ist f r OEM Anwendungen pr destiniert 7 1 Technische Daten Spannungsversorgung 12V DC optional 24V DC max Stromaufnahme 1A bei 12V DC 0 5A bei 24V DC 173mm x 130mm 105mm x 45mm 800 4 40 SISI SIAI Zl ce celce lo Ip lo olelelslels3 oJ6elelglol3 jaja iSlolg 3 3 3 5 518 ce j a a ja R c 2 o 2 2 a joja D 3 c S a x S 3 5 T e gt x 4 3 3 oun oun Modulationseingang MOD Eingangswiderstand Monitorspannung MON 1 415V SMB 0 10V bei SG CLE 0 10V R ckseite Innenwiderstand 100kQ SMB 10kQ R ckseite Restwelligkeit der lt 0 3 MVams 500Hz Dehnmessstreifen 12V40SG extern 12V40CLE Messsystem Buchse LEMO 08 304 12V40SG ODU 4pol Serie L 12V40CLE Tabelle 1 technische Daten 12V40 Serie gt c n Q D a D Oo Cc Oo gt a oO U gt s 212 on o 2 Q o D 3 8 2 8 3 je D 5 5 Z 3
14. bei hochdynamischen Anwendungen Beschleunigungen des Keramikmaterials und somit auch Zugkr fte auftreten Piezoaktoren mit mechanischer Vorspannung k nnen im Rahmen der Vorspannung auf Zug belastet werden Durch strukturbedingte Verlustprozesse innerhalb der Keramik kommt es zu einer Erw rmung beim dynamischen Betrieb Bei ungenigenden K hlungsma nahmen kann es zu Ausf llen kommen Eine Erw rmung ber der Curietemperatur bliche Werte ca 140 C 250 l t den piezoelektrischen Effekt verschwinden Piezoaktoren k nnen elektrisch als Kondensatoren angesehen werden Die Entladungszeiten liegen im Bereich von Stunden bis Tagen Deshalb k nnen auch nach Trennung der Piezoaktoren von der Spannungsversorgung hohe Spannungen anliegen Bleibt der Aktor mit der Elektronik verbunden so wird er innerhalb einer Sekunde nach dem Abschalten auf ungef hrliche Spannungswerte entladen Piezoaktoren k nnen allen durch Erw rmung oder Abk hlung eine Spannung an den Anschl ssen erzeugen Bedingt durch die Eigenkapazit t ist das Entladungspotential nicht zu vernachl ssigen Bei blicher Raumtemperatur ist dieser Effekt unbedeutend Piezoaktoren von piezosystem jena sind justiert und verklebt Ein ffnen der Stellelemente f hrt zur Dejustage Eine Besch digung des inneren Aufbaus ist dabei nicht auszuschlie en Dieses kann zur Funktionsunf higkeit f hren Ger te von piezosystem jena d rfen deshalb nicht ge ffnet werden Ein ffnen f hr
15. cise positioning tasks Please note that a temperature change of AT 5 K will cause a 13 um increase in 20 cm length of steel rod The special qualities of piezo ceramics such as hysteresis and creep can cause inaccuracies in the case of nonobservance These basic qualities of piezo elements are described in the piezoline tutorial in our catalog Do not hesitate to contact our staff if you need further information After switching ON the red LED indicates ready to operate If the OFFSET potentiometer is in its maximum counter clockwise position the actuator is in its rest position By turning the potentiometer into the maximum clockwise position the maximum motion will be done The motion depends on the actuator s specifications so please refer to the hysteresis data curve for details The red OVL LED indicates overload while the red UDL LED indicates underload Please avoid over amp underload in these cases or switch off the device if the LED is still lit Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com IT piezosystemjena incredibly precise 7 4 SMB modulation input MOD The motion of the actuator may be remotely controlled by using this input The control signal must be in the range of 0 10 V There is an internal addition of the MOD signal and the adjusted OFFSET potentiometer If there is an HIGH TTL level at the Pin8 of the rear panel connector OFFSET and M
16. e following amplifiers 12V40 12V40SG 12V40CLE 24V40 24V40SG 24V40CLE 12V40C and 12V40CSG This manual also offers you additional information about piezoelectric products Definition All systems from piezosystem jena such as electronics actuators and optical systems are called units If you have any problems please contact the manufacturer of the system piezosystem jena GmbH Stockholmer Strasse 12 07747 Jena Phone 49 36 41 66 88 0 2 Certification of piezosystem jena el amp oh gt ON ey The company piezosystem jena GmbH has worked S TWO o according to a DIN EN ISO 9001 certified quality el _CERT_ J management system since 1999 Its effectiveness is QB verified and proven by periodic audits by the TUV TIE This instruction manual includes important information for using piezo actuators Please take the time to read this information Piezo positioning systems are mechanical systems that are capable of the highest precision Correct handling guarantees the maintenance of this precision over a long period of time Tel 49 0 3641 66880 Fax 49 0 3641 668866 info piezojena com www piezosystem de _CERT j m prezosystem ena incredibly precise 3 Declaration of conformity CE Declaration of Conformity with EU directive 2002 95 EGT from January 27 2003 Typ Reference 12V40 12V40 SG Description piezo amplifier Manufacturer piezosystem jena GmbH Pr ssingstra e 27 07745 Jena
17. e forces but only actuators with pre load can be used under tensile loads these tensile forces must be less than the pre load given in the data sheet e Please note that the acceleration of the ceramic material e g caused by fall down discharging or high dynamic application can cause damage to the actuator e Heating of the ceramic material will occur during dynamic operation and is caused by structure conditional loss processes This may cause failure if the temperature exceeds the specified values cited below e With increasing temperature up to the Curie temperature usual values approx 140 C 250 C the piezoelectric effect disappears e Piezoelectric actuators such as stacks or various tables work electrically as a capacitor These elements are able to store electrical energy over a long period up to some days and the stored energy may be dangerous e If the actuator remains connected to the drive electronics it is discharged within a second after shutdown and quickly reaches harmless voltage values e Piezo actuators can only generate voltages by warming or cooling The discharge potential should not be ignored due to the inner capacitance This effect is insignificant at usual room temperature e Piezo actuators from piezosystem jena are adjusted and glued Any opening of the unit will cause misalignment or possible malfunction and the guarantee will become invalid e Please contact piezosystem jena or your local re
18. ichkeiten f r Ihr spezielles Problem zu finden kontaktieren Sie bitte unseren technischen Service Anpassungen sind in jedem Fall kostenpflichtig Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com IT plezosystemjena unglaublich pr zise 9 Ihre Notizen we WEEN 17 Tle Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com IT piezosystemjena incredibly precise Table of Contents 1 Introduction 19 2 Certification of piezosystem jena 19 3 Declaration of conformity 20 4 Instructions for using piezoelectrical elements and power supplies 21 5 Safety instructions 22 5 1 maintenance and inspection 23 5 2 environmental condition 23 6 Instructions for checking the function of the system duick start 24 7 How to operate the 12V40 25 7 1 Technical data 25 7 2 Initialization 26 7 3 Service 26 7 4 SMB modulation input MOD 27 7 5 SMB monitor output socket MON 27 7 6 Actuator socket OUT 27 7 7 Switch closed loop 12V40SG 12V40CLE 27 7 8 Wiring of the rear panel connector 28 8 Possibilities of the error correction 30 9 Your notes 31 Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 18 IT plezosystemyena incredibly precise 1 Introduction This manual describes the 12V40 voltage amplifier series from piezosystem jena This series contains th
19. ie auf ausreichende Bel ftung der Steuerelektronik L ftungsschlitze d rfen nicht blockiert werden Die Ger te sollten nicht in unmittelbarer Nahe von Warmequellen z B Heizung Ofen usw aufgestellt werden e Vermeiden Sie unbedingt das Eindringen von Fl ssigkeiten in die Ger te Diese k nnen zu einem elektrischen Schlag Brand oder Fehlfunktionen des Ger tes f hren e Stellen Sie keine schweren Gegenst nde auf die Ger te oder die Kabel Betreiben Sie die Ger te von piezosystem jena nur in sauberer und trockener Umgebung Nur daf r speziell vorgesehene Ger te z B auch Piezoelemente d rfen unter abweichenden Umgebungsbedingungen betrieben werden e Verwenden Sie ausschlie lich das mitgelieferte Zubeh r z B Verl ngerungskabel piezosystem jena bernimmt keine Garantie bei Fehlfunktionen durch fremdes Zubeh r Besonders geregelte Systeme sind nur in dem von piezosystem jena ausgelieferten Zustand voll funktionst chtig Das Verwenden zus tzlicher Kabel oder abweichender Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com Ti piezosystemjena unglaublich pr zise Stecker verandert die Kalibrierung und andere spezifizierte Daten Dieses kann bis zur Fehlfunktion der Ger te f hren Piezoelemente sind empfindliche Pr zisionsger te von gro em Wert Bitte behandeln Sie die Ger te dementsprechend Achten Sie auf einen mechanisch saubere Befestigung der Piezoelemente a
20. indoors only at an altitude up to 2000 m at a temperature of 20 22 C at a relative humidity of 5 80 non condensing Instructions for checking the function of the system quick start When you open the package please check to make sure all the necessary parts are complete see packing list and nothing is damaged Check the electronics and the actuator for any visible damage The top and bottom plates of the actuator if it does not have another shape should be parallel each to each other and not contain any scratches If there is any damage to the system please contact our local representative immediately If the packaging material is damaged please confirm this with the shipping company Before you switch on the system please check that the main voltage supplied in your country is the same as the one installed for the external power supply not included in the shipment that the secondary voltage DC matches with the amplifier Connect the power cable Connect the piezo element by using the LEMO connector Turn off closed loop 12V40SG 12V40CLE Switch on the power supply The red LED indicates that the amplifier is working By turning the potentiometer to its maximum position the actuator will reach its maximum movement Offset is accomplished by the offset potentiometer or external offset e g a load Because of the fast motion of the actuator a noise or crack can be heard This is normal and not a
21. le Bitte berpr fen Sie die Lieferung auf Vollst ndigkeit siehe Packliste und Unversehrtheit aller angegebenen Positionen Sichtpr fung Aktor und Spannungsverst rker Kopf und Bodenplatte des Aktors wenn vorhanden m ssen parallel zueinander stehen keine Kratzer auf Grund und Deckplatte Bitte informieren Sie piezosystem jena sofort bei Besch digungen des Systems Bitte lassen Sie sich Transportsch den vom Lieferanten Paketdienst o best tigen Bitte pr fen Sie vor dem Einschalten des Systems ob das Ger t f r die am Ausgang des Neizteils nicht Bestandteil der Lieferung anliegende Spannung ausgelegt ist Schlie en Sie den Spannungsverst rker an Schlie en Sie das Piezoelement an Schalten Sie die Regelung aus 12V40SG 12V40CLE Schalten Sie das Netzteil ein ON LED muss leuchten Drehen Sie das Potentiometer OFFSET auf Rechtsanschlag der Aktor f hrt seinen max m glichen Hub aus Ein externer OFFSET ist durch Anlegen einer Spannung am Modulationseingang MOD m glich ein eventuell auftretendes Knackger usch wird durch die pl tzliche Beschleunigung des Aktors erzeugt und stellt keine Fehlfunktion dar Drehen Sie das Potentiometer in die linke Position 12V40SG 12V40CLE Schalten Sie die Regelung ein Drehen Sie das Potentiometer auf Rechtsanschlag der Aktor f hrt seinen max geregelten Hub aus Drehen Sie das Potentiometer auf Linksanschlag und schalten Sie die Regelung aus Schalten Sie d
22. let by using the external power supply It must be suitable for the type of amplifier being used The power LED ON lights up after the power supply is switched on If using the modulation signal and monitor signal make sure that the correct front panel SMB sockets are used The actuators are driven by voltages of up to 150 V Please pay attention to shock hazard protection 7 3 Service 26 The actuator is connected to the amplifier by a LEMO socket The potentiometer is used to adjust the level of the output voltage OFFSET The rest position of the actuator is hereby adjusted An external triggering signal in the range of 0 10 V MOD input socket can control the output voltage It is possible to use this input for highly dynamic scanning functions To avoid damage to the actuators it is recommended that the potentiometer be adjusted to its maximum counter clockwise position before switching on the amplifier By superposition of the modulating voltage and adjusted offset voltages up to 160 V might occur This operating state is to be avoided to protect the ceramics and increase the MTBF In addition the OVL LED lights up in the case of a limit error and there is no automatic disconnection of the overvoltage when this occurs To guarantee stable temperature circumstances we recommend that the amplifier be turned on approx 2 hours before measurement in the sub nm range takes place A constant temperature environment is necessary for pre
23. presentative if there are any problems with your actuator or power supply Caution Shock forces may damage the built in ceramic element Please avoid such forces and handle the units with care otherwise the guarantee will become invalid Tel 49 0 3641 66880 Fax 49 0 3641 668866 info piezojena com www piezosystem de IT plezosystemyena incredibly precise Please note that after a long period of storage the piezo stack in your piezo actuator might experience a certain extent of depolarization Your amplifier is equipped with a soft start function which after switching on slowly goes through the whole motion range once This corrects any depolarization effects which might have occurred If your application does not allow such a procedure please let us know This function can only be deactivated at piezosystem jena 5 Safety instructions A A Icons RISK OF ELECTRIC SHOCK Indicates that a risk of electric shock is present and the associated warning should be observed CAUTION REFER TO OPERATOR S MANUAL Refer to your operator s manual for additional information such as important operating and maintenance instructions RISK OF ELECTRIC SHOCK Do not open the units There are no user serviceable parts inside Opening or removing covers may expose you to dangerous shock hazards or other risks For servicing please refer to qualified service personnel Do not spill any liquids into the cabinet or
24. rsteuerung an In diesem Fall bitte Ubersteuerung Untersteuerung vermeiden oder das Gerat sofort ausschalten wenn die Anzeige nicht durch Reduzierung des Steuersignals erlischt 7 4 SMB Modulationseingang MOD Die Bewegung des Aktors kann uber diesen Eingang ferngesteuert eingestellt werden Das analoges Modulationssignal muss im Bereich von 0 bis 10V eingespeist werden Es erfolgt eine Addition der an der SMB Buchse anliegenden Spannung mit der am Regler OFFSET eingestellten Offsetspannung Bei Anlegen eines TTL Pegels HIGH an Ping der R ckverdrahtung werden OFFSET und MOD Modulationseingang frontseitig abgeschaltet und die Steuerung ber Pin7 der R ckverdrahtung wird freigegeben 7 5 SMB Monitorausgang MON 12 12V40 ber diesen Anschluss wird die Ausgangsspannung im Verh ltnis 10 1 1 bis 15V angezeigt Das Ausgangssignal kann z B ber ein Oszilloskop kontrolliert werden Dieses ist besonders bei dynamischer Ansteuerung empfehlenswert Beachten Sie den Innenwiderstand des Monitorausgangs Verwenden Sie nur entsprechend hochohmige Messger te um keine Verf lschung des Messsignals zu erhalten Der Ausgang ist kurzschlussfest vertr gt aber keine injizierten Spannungen 12V40SG 12V40CLE ber diesen Anschluss wird die Spannung des Messsystems 0 10V angezeigt Das Ausgangssignal kann z B ber ein Oszilloskop kontrolliert werden Dieses ist besonders bei dynamischer Ansteuerung empfehlenswert Beachten
25. s actuator cables optical cables Damage may cause malfunction shock or fire e Do not place the units on a sloping or unstable cart stand or table as they may fall or not work accurately Immediately unplug your unit from the wall outlet and refer servicing to qualified service personnel under the following conditions when the power supply cord or plug is damaged if liquid has been spilled or objects have fallen into the unit if the unit has been exposed to rain or water if the unit has been dropped or the housing is damaged 5 1 Maintenance and inspection caution A e Before cleaning the exterior box of the voltage amplifier turn off the power switch and unplug the power plug Failure to do so may result in a fire or electrical shock e Clean the exterior box using a damp cloth that has been firmly wrung out Do not use alcohols benzene paint thinner or other inflammable substances If flammable substances come into contact with an electrical component inside the voltage amplifier it may result in a fire or electrical shock 5 2 Environmental condition The amplifier can be used indoors only at an altitude up to 2000 m at a temperature of 5 35 C at a relative humidity of 5 95 non condensing Tel 49 0 3641 66880 Fax 49 0 3641 668866 info piezojena com www piezosystem de Bi GERT amp KW 23 Tic 24 iy prezosystem ena incredibly precise The recommended environmental conditions
26. schluss OUT 7 7 Schalter Closed loop 12V40SG 12V40CLE 7 8 Steckverbinder R ckseite 8 M glichkeiten der Fehlerbeseitigung 9 Ihre Notizen Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com GO OO ONOO0 PR Ti piezosystemjena unglaublich pr zise 1 Gegenstand Diese Anleitung beschreibt den Spannungsverstarker 12V40 Serie von piezosystem jena Diese Serie enth lt folgende Verst rker 12V40 12V40SG 12V40CLE 24V40 24V40SG 24V40CLE 12V40C und 12V40CSG Weiterhin finden Sie Sicherheitshinweise beim Umgang mit Piezoelementen 2 Zertifizierung von piezosystem jena Die Firma piezosystem jena GmbH arbeitet seit 1999 nach einem nach DIN EN ISO 9001 zertifizierten Qualit tsmanagementsystem dessen Wirksamkeit durch regelm ige Audits durch den TUV gepr ft und nachgewiesen wird Diese Bedienungsanleitung enth lt wichtige Informationen f r den Betrieb und Umgang mit Piezoaktoren Bitte nehmen Sie sich die Zeit diese Informationen zu lesen Piezopositioniersysteme sind mechanische System von h chster Pr zision Durch den richtigen Umgang stellen Sie sicher dass das System die geforderte Pr zision auch ber lange Zeit einh lt Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com m prezosystem ena unglaublich pr zise 3 Konformit tserkl rung CE Declaration of Conformity with EU directive
27. se Betriebsspannung PWR Betriebsspannung Tabelle 3 Pinbelegung der R ckverdrahtung 12V40C 12V40CSG OO OO za H O Y zz 9 zz oo 9 2 z Ooo gt oo 0 O Oo Aa SCHENMTHOROMOHKAMTHOROMROKN Tr NOPAWOnRrOGArr rrr KK KT TK TK NNN NNN NNN OO EO optional wird werksseitig eingestellt muss bei der Bestellung angegeben werden Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 8 16 Ti piezosystemjena unglaublich pr zise Moglichkeiten der Fehlerbeseitigung Funktioniert das Ger t nicht so kontrollieren Sie bitte die Kabel auf Besch digung oder Kurzschl sse Starke Zugbelastungen an den Steckern k nnen zu Unterbrechungen f hren ON LED leuchtet nicht Spannungsversorgung kontrollieren UDL oder OVL LED ber oder Untersteuerung durch die leuchtet angelegte Modulation bitte Modulationsspannung bzw Offset anpassen Tabelle 4 Fehlerbeseitigung Das Ger t wird vor der Auslieferung auf den dazugeh renden Aktor mit integriertem Messsystem individuell kalibriert Ein Tausch der Aktor Verst rker Kombination f hrt zu Ungenauigkeiten in der Stellbewegung und ist deshalb nicht empfehlenswert Wird bei Einsatz eines anderen Aktors dieser oder das Ger t besch digt kann keine Garantie bernommen werden Das Ger tekonzept erlaubt Anpassungen an Kundenw nsche bez glich der technischen Eckwerte wie z B Versorgungsspannung oder Ausgangsspannung Um M gl
28. t zum Garantieverlust Verwenden sie nur mitgelieferte Kabel und Verl ngerungen So k nnen Ger teausf lle durch evil falsche Verbindungen verhindert werden Bei Problemen wenden Sie sich bitte an piezosystem jena oder an den jeweiligen H ndler Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com IT plezosystemjena unglaublich pr zise Achtung Trotz mechanischer Vorspannung k nnen Sto kr fte z B Fallenlassen oder Ansto en zu einer Besch digung des eingebauten Keramikelementes f hren Bei Besch digungen des Piezoaktors aufgrund derartiger Einwirkungen k nnen wir keine Garantie bernehmen Bitte gehen Sie deshalb sehr sorgf ltig mit Ihrem Piezoaktor um 5 Sicherheitshinweise Symbole GEFAHR Dieses Symbol weist auf die Gefahr von Elektrounf llen hin Damit verbundene Warnhinweise sind unbedingt zu beachten ACHTUNG Dieses Symbol weist auf zu beachtende Anweisungen in der Bedienungsanleitung hin die zus tzliche Hinweise zur Bedienung und Warnung enthalten GEFAHR e ffnen Sie das Ger t in keinem Fall Im Inneren des Ger tes befinden sich keine Teile die vom Benutzer selbst gewartet werden k nnen Das ffnen oder Entfernen der Abdeckungen k nnte einen elektrischen Schlag verursachen oder zu anderen gef hrlichen Situationen f hren Reparaturarbeiten d rfen nur von qualifiziertem technischen Personal durchgef hrt werden Achtung A e Achten S
29. usschlie lich an den daf r vorgesehenen Befestigungsstellen Unter den nachfolgend aufgef hrten Umst nden m ssen die Ger te sofort vom Netz getrennt und ein Servicetechniker konsultiert werden besch digte Kabel z B Netzkabel 7 Fl ssigkeiten sind in das Ger t gelangt Ger te waren Regen ausgesetzt oder sind mit Wasser in Ber hrung gekommen 7 Gerat funktioniert bei Bedienung entsprechend der Bedienungsanleitung nicht ordnungsgemaB 5 1 Pflege und Wartung ACHTUNG AA e Schalten Sie das Ger t immer aus und ziehen Sie den Netzstecker bevor Sie das u ere Geh use reinigen e Verwenden Sie zum Reinigen ein gut ausgewrungenes Tuch Verwenden Sie niemals Alkohol Benzin Verd nner oder andere leicht entflammbare Substanzen Ansonsten besteht Feuergefahr oder die Gefahr eines elektrischen Schlages 5 2 Umgebungsbedingungen Das Ger t ist unter folgenden Umgebungsbedingungen einsetzbar Verwendung nur in Innenr umen bei einer H he bis zu 2000 m Temperaturbereich 5 35 C relative Luftfeuchte 5 95 nicht kondensierend Die empfohlenen Einsatzbedingungen sind Verwendung nur in Innenr umen bei einer H he bis zu 2000 m Temperaturbereich 20 22 C relative Luftfeuchte 5 80 nicht kondensierend Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com J ERT 8 5 m prezosystem ena unglaublich pr zise 6 Kurzanleitung Funktionskontrol
30. zojena com www piezosystem de m prezosystem ena incredibly precise 7 8 Wiring of the rear panel connector To realize OEM applications all main control signals are also available at the rear panel connector ground Signal vcc 5 V output for switching SRC MON monitor signal 0 10 V nz modulation input 0 10 V source choice of the amplifier control by HIGH or LOW TTL level HIGH Pin 7 is active OFFSET potentiometer and MOD modulation input at the front panel are switched off LOW Pin 7 is not active motion of the actuator will be controlled by the OFFSET potentiometer and the MOD modulation input at the front panel output voltage 10 150 V option ground operating voltage PWR operating voltage table 2 pin wiring of the rear panel connector 12V40 SG CLE k D a 9 Aag O 2 9 6 3 52s 6 S e 2 x ne a ve option is set at the factory must be specified when ordering Gesch ftsf hrer Dr Bernt G tz Telefon 03641 66880 Fax 03641 668866 www piezosystem com 28 IT piezosystemjena incredibly precise The 12V40C CSG voltage amplifiers do not have a casing They should be integrated into customer systems for OEM applications 1 2 8 9 ground Signal E 16 SRC source choice of the amplifier control by HIGH or LOW TTL level HIGH Pin 7 is active OFFSET potentiometer and MOD modulation input at the front panel are switched off LOW Pin 7 is

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