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Betriebsanleitung
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1. 4 1 Gasballastregler falls installiert Mit dem Gasballastregler k nnen Sie die Leistung der trocken verdichtenden Pumpe f r Ihre Anwendung optimieren Die Leistungskennwerte der Pumpe mit verschiedenen Ballasteinstellungen sind in Tabelle 2 angegeben Die Stellung des Gasballastreglers kann bei ausgeschalteter oder laufender Pumpe ge ndert werden Mit dem Gasballastregler wird die Luftmenge die in die Endstufe der Pumpe eingef hrt wird ge ndert Die Anwendung von Gasballast verhindert die Kondensation von D mpfen in der Pumpe Kondensate f hren zu Verschmutzungen der Pumpe Durch Drehen des Gasballastreglers k nnen Sie zwischen den nachstehend angef hrten drei Stellungen w hlen Zum Schlie en des Gasballasts den Regler auf die Stellung 0 drehen Diese Einstellung dient e zum Erzielen des besten Endvakuums e zum F rdern von Trockengasen F r geringen Gasballast den Regler auf die Stellung I drehen Diese Einstellung dient e zum Pumpen von kondensierbaren D mpfen e zum Verd nnen von Prozessgasen falls erforderlich F r hohen Gasballast den Regler auf die Stellung II drehen Diese Einstellung dient e zum Pumpen von hohen Konzentrationen kondensierbarer D mpfe e zum Verd nnen von Prozessgasen falls erforderlich e zur Beseitigung von bersch ssigen D mpfen nach der Verarbeitung 4 2 Betriebsbeginn WARNUNG Achten Sie darauf dass die Konstruktion des Systems eine Blockierung der Abgasleitung nich
2. nequ g e Die Dichtfl chen m ssen sauber und frei von Kratzern sein Wir empfehlen den Einsatz einer Absaugeinrichtung die f r alle zu f rdernden Verfahrensgase geeignet ist Achten Sie darauf dass die Absaugeinrichtung bei laufender Pumpe nicht blockiert oder verstopft werden kann Um einen R cklauf des verschmutzten Kondensats in die Pumpe zu vermeiden ist an der Absaugeinrichtung ein Sammelbeh lter zu verwenden Es ist m glich dass sich eine geringe Menge Dichtungsabrieb in der Auspuffleitung der Pumpe ansammelt Der Staub kann mit dem ersten Luftsto nach Starten der Pumpe herausgeblasen werden Dies ist normal und das Staubaufkommen wird mit der Zeit geringer VORSICHT Bei hohen Temperaturen ber 250 C beginnt die Zersetzung von Dichtungsmaterial dies erzeugt gesundheitssch dliche D mpfe 3 9 Dichtigkeitspr fung des Systems Das System nach Einbau auf Undichtheiten pr fen und festgestellte Leckagen beheben um den Austritt von Stoffen aus dem System und das Eindringen von Luft in das System zu verhindern Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 19 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited s AA A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS Diese Seite ist absichtlich leer Seite 20 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited a EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 4 Betrieb
3. Die Normen und Vorschriften die von der XDS Pumpe eingehalten werden sind vollst ndig in der Konformit tserkl rung auf der Einbandseite dieses Handbuches angef hrt Tabelle 4 Elektrische Daten einphasige Pumpen mit Artikelnummer 903 oder 906 Netzspannung Frequenz Leistung Strom Empfohlene V Hz W A Absicherung A Tabelle 5 Elektrische Daten einphasige Pumpen mit Artikelnummer 904 Netzspannung Frequenz Leistung Strom Empfohlene Fa Fo ea A im E E E E E w o w s o Tabelle 6 Elektrische Daten dreiphasige Pumpen mit Artikelnummer 905 Netzspannung Frequenz Leistung Strom Empfohlene V Hz W A Absicherung A Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 11 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited USIEAI SYSSIUYDSL s AA A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS Diese Seite ist absichtlich leer Seite 12 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited SC EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 3 Einbau 3 1 Sicherheitshinweise nequ g WARNUNG XDS Trockenpumpe von Edwards ist nicht zum Pumpen von Gefahrenstoffen geeignet Es obliegt Ihrer Verantwortung zu gew hrleisten dass die XDS Pumpe f r Ihren Anwendungszweck geeignet ist Sollten Sie Zweifel ber die Eignung der XDS Pumpe f r Ihren Anwendungszweck haben so ziehen Sie bitte die Edwa
4. ea ae EE 28 Die Oberfl chentemperatur der Pumpe ist ber 100 C ccsssesenensenensennnnenenen nenn nennen nn nn 29 Die Saugleistung ist schwach 29 Lagerung und ERST DIN nern 31 LAgEF UNG u a E RE O EG 31 SUE eps D ie WEE 31 Ers tzteile und ZUDENOR neue 33 EinleitUng WEE 33 Ersat teil amp arr eeR ANER i een eege a A EE AET ORE ee EEE REAT GEEAE 33 ZUBEN tee nenne 33 Magnetventil ui inpar pnia anne een nee TEE Rene een ee 33 Gasballastadapter nicht f r 05 Ausf hrungen 242444H4ene nenne nen nennen nennen nenn nennen nenn 33 Schwingungsabsorber isana EE aiaa piaia ed AE EE ER Ausp ffadapter EE 34 AR EI Elle 34 rt EE 35 Vor der R cksendung von Produkten f llen Sie bitte die am Ende dieses Handbuchs befindlichen HS Formulare aus Abbildungen Abbildung Seite 1 Die einphasige XDS Trockenpumpe 3 2 LeistungsKennWerte sirr en eis E E Ee 8 3 Ein E EECH 9 4 Elektrische Schnittstelle Einphasige Pumpen 14 5 Unterseite der PUMP riccione hate nee e Ener he are ee 16 6 Dreiphasige Anschl sse 200 bis 230 V 2esesensnsnsnnnnnnnnennnnnnnnnnne nenne nenne nenne nenen nenne nennen 16 7 Dreiphasige Anschl sse 380 bis 460 V 22esesensnsnnennnnnnnnnnnnennnnnne nenne nenne nenn nennen nn nn nenn 16 8 Ba gruppe Einlassfilter wanna ee ann ei re KEE d 26 9 Baugruppe Gasballastregler teste ges degen Aer Zeg ZE Ee SSES 27 Seite ii Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das E
5. CSA Canadian Standards Association Normen zu gew hrleisten muss in den Stromversorgungs kreis der Pumpe ein Leistungsschutzschalter oder ein quivalenter Schalter eingebaut sein Dieser Schalter muss in der N he der Pumpe angeordnet einfach zug nglich und deutlich als Schalter der die Pumpe von der Stromversorgung trennt gekennzeichnet sein Wir empfehlen zwischen Pumpenmotor und Stromversorgung einen Starter oder Leistungsschutzschalter mit einem thermischen berstromschutz einzubauen der den in Tabelle 6 gezeigten Werten entsprechend schaltbar ist Die in Tabelle 6 angegebenen Sicherungsbemessungen sind nur Richtwerte Es ist m glich dass vom Lieferanten Ihres thermischen berstromschutzes andere Werte angegeben werden um den korrekten Betrieb von Sicherung und berstromschutz zu gew hrleisten Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 17 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited nequ g S Sg A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS Hinweis Im Folgenden wird der Anschluss eines Kabels am Klemmbrett im Klemmenkasten erl utert Ist das Produkt bereits mit einem Kabel versehen k nnen Sie die folgende Anleitung ignorieren bewahren Sie diese aber bitte gut auf falls das Kabel sp ter einmal ersetzt wird Es ist trotzdem erforderlich die Drehrichtung zu pr fen Der Durchmesser des Stromversorgungskabels sollte 7 bis 11 mm betragen Gr e und Farbe des Kabels m ssen allen z
6. Konfigurieren Sie den Motor gegebenenfalls f r Ihre Stromversorgung neu siehe Abbildung 6 und 7 e F r eine Stromversorgung von 200 230V wird der Motor gem Abbildung 6 konfiguriert e F r eine Stromversorgung von 380 460V wird der Motor gem Abbildung 7 konfiguriert 3 1 2 Anschluss der Pumpe an die Stromversorgung WARNUNG Vergewissern Sie sich dass die Elektroinstallation der XDS Pumpe gem den rtlichen und nationalen Sicherheitsanforderungen erfolgt Die Pumpe ist an eine entsprechend gesicherte und gesch tzte Stromversorgung und an eine geeignete Erdung anzuschlie en WARNUNG Verlegen Sie das Stromversorgungskabel sowie die Einlass und Auslassschl uche der Pumpe sorgf ltig insbesondere dann wenn die Pumpe auf dem Boden eines Arbeitsbereichs aufgestellt wird Sorgen Sie daf r dass alle Arbeitskr fte in diesem Bereich ber eventuelle Hindernisse im Pumpenbereich informiert sind Das Stromversorgungskabel ist permanent an der Dreiphasenpumpe angebracht Stellen Sie sicher dass das Kabel so verlegt ist dass es keine Stolpergefahr darstellt und es sich nirgends verhaken kann Hinweise 1 Um das automatische Wiederanlassen des Pumpenmotors zu verhindern wenn der Motor nach einem Stromausfall wieder mit Spannung versorgt wird muss die Pumpe ber eine geeignete Steuerung die nach dem Stromausfall von Hand zur ckgestellt wird an der Stromversorgung angeschlossen sein 2 Um die Konformit t mit den
7. anschlie en bringen Sie den Zentrierring und den Einlassfilter im Lieferumfang der Pumpe enthalten am Ansaugstutzen an Beim Einbau d rfen keine Fremdk rper in die Pumpe eindringen Beachten Sie folgende Informationen wenn Sie die Pumpe an Ihr Vakuumsystem anschlie en Angaben ber die nachstehend aufgef hrten Zubeh rteile sind in Abschnitt 7 enthalten Zum Anschluss der Pumpe sind DN25NW Armaturen nicht um Lieferumfang enthalten zu verwenden F r optimale Pumpleistung ist die an den Pumpeneinlass angeschlossene Rohrleitung so kurz wie m glich zu halten und ein Innendurchmesser von mindestens 25 mm zu w hlen e St tzen Sie die Vakuumrohrleitung ab um eine Belastung der Kupplungsstellen zu vermeiden e GO elastische Rohrleitungen im System einbauen um Schwingungs bertragungen zu mindern und eine Belastung der Kupplungsstellen zu verhindern Beim Einsatz von elastischen Faltenb lgen muss der H chstnenndruck der Faltenb lge h her als der vom System erzeugte H chstdruck sein Seite 18 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited A EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung e Bei einigen Anwendungen z B beim Einsatz mit einer turbomolekularen Pumpe ist es empfehlenswert ein Einlasstrennventil in die Rohrleitung vom Vakuumsystem zur Pumpe zu integrieren damit das Vakuumsystem im ausgeschalteten Zustand von der Pumpe abgekoppelt werden kann
8. hei e Das Gebl se funktioniert nicht 5 8 5 Die Saugleistung ist schwach e Der Durchmesser der Anschlussleitungen ist zu klein e Die Anschlussleitungen sind zu lang e Der Einlassfilter ist verstopft e Die Auspuffleitung ist verstopft Bun2jeypuegsuj pun DUDU Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 29 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited s AA A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS Diese Seite ist absichtlich leer Seite 30 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited a EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 6 Lagerung und Entsorgung 6 1 Lagerung Befolgen Sie zur Lagerung der Pumpe folgende Schritte 1 Die Pumpe wie in Abschnitt 4 beschrieben stilllegen Die Pumpe von der Stromversorgung trennen Schutzvorrichtungen ber die Ein und Auslassstutzen anbringen g oa wO Die Pumpe bis zur Wiederverwendung k hl und trocken lagern Bei Bedarf die Pumpe wie in Abschnitt 3 beschrieben vorbereiten und installieren 6 2 Entsorgung Pumpe und Pumpenkomponenten sicher gem den rtlichen und nationalen Sicherheits und Umweltschutzvorschriften entsorgen Das Vakuumsystem und die Pumpe mit trockenem Stickstoff sp len und die Pumpe vom Vakuumsystem trennen Lassen Sie besondere Vorsicht walten bei Komponenten die mit gef hrlichen Verfahrens substanzen in Ber hrung gek
9. so kann es zu Einschr nkungen der Luftk hlung ber die Pumpe und zum Hei laufen der Pumpe kommen 1 Die Pumpe abschalten und vom Netz trennen 2 Mit einem trockenen Tuch und einer weichen B rste Schmutz und Ablagerungen von der Gebl seabdeckung und dem Pumpenk rper entfernen Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 27 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited Bun2jeypuegsuj pun DUDU S Sg A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS 5 6 Die Tip Seals und das Auslassventil erneuern Hinweise zum Auswechseln der Tip Seals und des Auslassventils entnehmen Sie bitte der Betriebsanleitung A726 01 840 5 7 Motorzustand pr fen Erdungs und Isolationswiderstand des Pumpen motors gem den rtlichen Vorschriften f r die regelm ige Pr fung von Elektroger ten pr fen Die Motoren der einphasigen XDS Pumpen entsprechen EN61010 Zur Einhaltung von EN61010 empfehlen wir einen Erdungswiderstand unter 0 1 Q und einen Isolationswiderstand ber 10 M Q Wenn der Motor diese Pr fungen nicht besteht setzen Sie sich bitte mit Edwards in Verbindung 5 8 St rungssuche 5 8 1 Die Pumpe l uft nicht an e Die Pumpe ist nicht an die Stromversorgung angeschlossen z B wegen defekter Sicherung e Die Netzspannung entspricht nicht der Spannung f r die der Motor konfiguriert wurde e Der Motor ist defekt e Der Thermoschutz hat die Pumpe ausgeschaltet 5 8 2 Die Pumpe erreicht die erford
10. soeben gewartete aufbereitete oder l ngere Zeit gelagerte Pumpen 22 4 4 Pumpen kondensierbarer D mpfe mit installiertem Gasballast 2essesensensnnsneenenen sense 22 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite i Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited SIUUDIDSZISOASIJEUU SIUUDIDSZISONSIJEUU S g A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS 4 5 4 5 1 4 5 3 4 6 Ln Auswirkungen der ATEX Richtlinie z4r4s4Hsnnsennnnnnennnnnnnnnn nennen nennen nen nnnn nenne nenn nennen 22 EINIEIEUNG ia ea a a a see a ee ee En ee ee en ee ee 22 Entflammbare luftentz ndliche Stoffe 2 4 un 4 8ceneinkenkiiiean 22 EC LL WEE ER Stilllegung WEE 23 Wartung und Instandhaltung zu Ai 25 Sicherheitshinweise Eu ES Ee SD e SC tan nat alle GN SERPET PENESTE an TAREAS 25 El Dale De EI EE 26 Einlassfilter kontrollieren und reinigen 26 Gasballastregler falls installiert kontrollieren und reinigen 27 Au engebl seabdeckung reinigen uz2s4Hrensnnenennennn nennen nn nnnnnnnnnn nn nenn nnnnnn nennen nn nennen 27 Die Tip Seals und das Auslassventil erneuern 28 M torz st nd Mel E WEE 28 Elle Te 28 Die Pumpe l uft Id alu BEPRFRERERSFRERRFEREEFRERTEREREEFERRRERTELEFEFFEFTELFRREFBERLETRERELELHERERELFERERFERECLRRRER 28 Die Pumpe erreicht die erforderliche Leistung nicht 2s424sssnsennnnnnennn nennen nennen nennen nn 28 DIE Pumpeiist laut 2 22
11. und den Pumpeneinlass um eine sichere Vakuumtrennung zu gew hrleisten wenn die Pumpe ausgeschaltet ist Tabelle 9 Magnetventil Bestellnummer Produkt Stromversorgung Aluminiumgeh use Stahlgeh use PV25EK Ventil 220 240V 50 60 Hz C413 01 000 C413 02 000 PV25EK Ventil 110 127V 50 60 Hz C413 03 000 C413 04 000 7 3 2 Gasballastadapter nicht f r 05 Ausf hrungen Es stehen zwei Gasballastadapters tze zur Verf gung die je nach den Anforderungen der Anwendung benutzt werden k nnen Gasballastadaptersatz A505 02 000 mit dem EB Ventil verwenden Gasballastadaptersatz S A506 26 801 kontrollierter Fluss durch die ffnung 7 3 3 Schwingungsabsorber Schwingungsabsorber reduzierend Schwingungen und L rm bei Pumpen die auf dem Boden bzw auf einem Rahmen aufgestellt sind und tragen au erdem bei unebenen Aufstellfl chen zur Reduzierung der Belastung bei Schwingungsabsorber 4 er Packung A248 01 404 Einbauanleitung Siehe Betriebsanleitung A248 01 880 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 33 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited Joy qnz pun 91193226513 JOySqNZ pun 91193228513 S Sg A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS 7 3 4 Auspuffadapter Der Auspuffadapter wird in den Auslassflansch eingeschraubt Der Auspuffadapter dient dazu den Pumpenauslass an den Kunststoffschlauch mit 12 mm Innendurchmesser anzuschlie en Auspuffada
12. A726 01 882 Ausgabe M bersetzung Betriebsanleitung XDS Trockenpumpe LE EE Pumpenmodell Typ Variante Motorbeschreibung X YY ZZZ 6 XDS10 01 bis 99 903 Spannung 220 240V 50 60 Hz einphasig 4 XDS5 904 Spannung 100 200 V 50 Hz einphasig 100 200 210 V 60 Hz einphasig 905 Spannung 200 230 380 460V 50 60 Hz dreiphasig 906 Spannung 110 120V 50 60 Hz einphasig Ep WARDS www EDWARDSVACUUM COM EbwAaros Konformit tserkl rung Edwards Limited Crawley Business Quarter Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW UK erkl rt in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Rechtsperson gem der Autorisierung durch die EU zur Erstellung des technischen Dokuments dass die Produkte A72X YY ZZZ E 4 007 Pumpentyp Variante Motorbezeichnung X YY ZZZ 4 XDS5 0l bis99 903 Spannung festgelegt auf 220 bis 240 V 50 Hz 6 XDS10 230 bis 240 V 60 Hz einphasig 904 Spannung festgelegt auf 100 200 V 50 Hz 100 200 bis 210 V 60 Hz einphasig 905 Spannung festgelegt auf 200 bis 230 380 bis 460 V 50 60 Hz dreiphasig 906 Spannung festgelegt auf 110 V 50 Hz 115 bis 120 V 60 Hz einphasig auf die sich die vorliegende Erkl rung bezieht folgenden Normen oder anderen normativen Dokumenten entsprechen EN1012 2 1996 A1 2009 Kompressoren und Vakuumpumpen Sicherheitsanforderungen Vakuumpumpen EN60034 1 2010 Drehende elektrische Maschinen Bemessung und Betriebsve
13. N LH Renee inne hr A de mann an EELER rien 11 3 BEIN EE 13 3 1 SicherheitshinWelse nn anna EE ne RER ee 13 3 2 Erw gungen bei der Anlagenkonstruktion 4s4s44Hssnnnnnnnennnnennnene nenne nenn nenen nenn nenne nenn 13 3 3 spackeni nd Uberpr f e ses gedeien dE 13 3 4 Hebetrger PUMPE isprintan a AE a A R EEEa EA AEA AENEON 14 3 5 Aufstellen der PUMPE ebe E EE kee 14 3 6 Elektroinstallation Einphasige Pumpen zuz2ssesensennnnnnnnnnnennnnnnnnnn nennen nenn nenn nenn nenne nenn 14 3 6 1 Pr fung und Konfiguration des Mot rs ui use er ea acer ende 14 3 6 2 Anschluss der Pumpe an die Stromversorgung 22ssssnsunsesnenennnnnnenenne nennen nennen nenne nen nennen nen 15 3 6 3 Drehricht ng pr feni au nenne ana en ee ee rer er 15 3 7 Elektroinstallation Dreiphasige Pumpen 17 3 7 1 Pr fung und Konfiguration des Motors 17 3 7 2 Anschluss der Pumpe an die Stromversorgung 222ssssesnnnennenennnnnnennnnn nennen nennen nennen nennen nen 17 3 7 3 leefeg Ire Mee 18 3 8 Einlass und Auslassstutzen 18 3 9 Dichtigkeitspr fung des Systems 19 4 BERENS 21 4 1 Gasballastregler falls installiert ussessensessnennsnennennnsnnsnennennnenn nen antt ttr EAEE snennnnnn nennen nenn 21 4 2 Betriebsbeginn essen ernennen eh EN 4 3 Erzielen des Endvakuums mit installiertem Gasballast ssescseeeeaeennnaeennnnnnnnnnennnn nenn anne nennen 22 4 3 1 Bereits im Betrieb befindliche Pumpen 22 4 3 2 Neue
14. USIEA SYSSIUYDSL S Sg A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS 2 3 Mechanische Daten 2 3 1 Allgemeines Maximaler Kippwinkel 10 Motordrehzahl 50 Hz Versorgung 1440 Upm Motordrehzahl 60 Hz Versorgung 1730 Upm Masse kg XDS 5 23 XDS 10 24 5 Einlass Auslassstutzen DN25NW Gesamtabmessungen mm 427 x 290 x 249 2 3 2 Ger usch und Schwingungsdaten Schalldruck beim Endvakuum gemessen nach ISO 11201 55 dB A bei Im Schwingung gemessen am Einlassstutzen Klasse 1C nach ISO 10816 1 1995 lt 4 5 mms Effektivwert 2 4 Elektrische Daten 2 4 1 Einphasige Pumpen Der Zweispannungsmotor ist f r eine Einphasen Stromversorgung ausgelegt und eignet sich f r 50 oder 60 Hz Betrieb siehe Tabellen 4 und 5 f r elektrische Daten Der Motor ist von Hand zwischen den Netzspannungen 110 bis 120 V und 220 bis 240 V zu schalten siehe Abschnitt 3 6 2 4 2 Dreiphasige Pumpen Der Zweispannungsmotor ist f r eine Dreiphasen Stromversorgung ausgelegt und eignet sich f r den 50 Hz oder 60 Hz Betrieb siehe Tabelle 6 f r elektrische Daten Der Motor ist von Hand zwischen den Netzspannungen 220 bis 240 V und 380 bis 460 V schaltbar siehe Abschnitt 3 7 Im Lieferzustand sind die Pumpen f r 380 bis 460 V eingestellt Seite 10 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited a EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 2 5 Gesetzgebung und Normen
15. alten WARNUNGEN und VORSICHTSHINWEISE sind wie folgt definiert WARNUNG Mit WARNUNG werden Anweisungen gekennzeichnet die unbedingt zu befolgen sind um Personensch den Tod oder Verletzung zu vermeiden gt VORSICHT Mit VORSICHT werden Anweisungen gekennzeichnet die unbedingt zu befolgen sind um Sachsch den an Ger ten Zubeh rteilen und oder Fehler im Gesamtprozess zu vermeiden In diesem Handbuch werden die Nummern von Seiten Abbildungen und Tabellen aufeinanderfolgend angegeben Die folgenden IEC Warnsymbole befinden sich an der Pumpe Warnung siehe Begleitdokumentation Warnung Gefahr eines Stromschlags Warnung hei e Oberfl chen EPP Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 1 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited unju Punu S Sg A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS 1 2 Auswirkungen der ATEX Richtlinie I3 G c IIB T4 INTERNAL ATMOSPHERES ONLY Tech File Ref MPTR 0271 Dieses Ger t erf llt die Anforderungen der Ger tegruppe II Kategorie 3 der Richtlinie 94 9 EG des Europ ischen Parlaments und des Rates vom 23 M rz 1994 zur Angleichung der Rechtsvorschriften der Mitgliedsstaaten f r Ger te und Schutzsysteme zur bestimmungsgem en Verwendung in explosions gef hrdeten Bereichen ATEX Richtlinie Die ATEX Kategorie 3 gilt f r potenzielle Z ndquellen im Inneren des Ger tes Es wurde keine ATEX Kategorie f r p
16. angegebenen Positionsnummern beziehen Sie sich bitte auf Abbildung 4 Abbildung 4 Elektrische Schnittstelle Einphasige Pumpen 220 7 40V eliletk 230 240V 60Hz Ein Ausschalter I an O aus Spannungswahleinsatz Kabelsteckdose Befestigungsschrauben Netzspannungsw hler Spannungsschild Referenzpfeil UVPWPNHM Seite 14 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited A EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung Vergewissern Sie sich dass die im Spannungsschild 5 an der Motorabdeckung angegebene Spannung Ihrer Netzspannung entspricht Ist dies nicht der Fall so m ssen Sie die Konfiguration des Pumpenmotors entsprechend Ihrer Netzspannung ndern wie unten beschrieben nequ g 1 Die beiden Schrauben 4 l sen und den Spannungswahleinsatz 2 herausheben 2 Den Spannungswahleinsatz 2 drehen so dass die korrekte Spannung neben dem Pfeil 5 an der Klemmenkastenabdeckung angezeigt wird 3 Die beiden Schrauben 4 wieder anbringen 3 6 2 Anschluss der Pumpe an die Stromversorgung WARNUNG Vergewissern Sie sich dass die Elektroinstallation der XDS Pumpe gem den rtlichen und nationalen Sicherheitsanforderungen erfolgt Die Pumpe ist an eine entsprechend gesicherte und gesch tzte Stromversorgung und an eine geeignete Erdung anzuschlie en Schlie en Sie den Pumpenmotor mit einer IEC320 Kaltger tebuchse an die di
17. anschluss Beachten Sie dass diese Option bei 05 Ausf hrungen ohne Gasballast nicht zur Verf gung steht Bei diesen Pumpen kann lediglich eine Einlasssp lung verwendet werden 4 5 3 Gassp lung WARNUNG Falls Sie Sp lungen mit inerten Gasen einsetzen um gef hrliche Gase auf ein sicheres Niveau zu konzentrieren achten Sie darauf dass die XDS Pumpe ausgeschaltet wird falls die Zufuhr von inertem Gas versagt WARNUNG Folgende Ma nahmen sind zu treffen damit die gef rderte Gase au erhalb des Z ndbereichs bleiben Schalten Sie die Sp lung mit inertem Gas ein um vor Verfahrensanlauf Luft aus der Pumpe und der Abgasleitung zu entfernen Der Sp lstrom darf am Ende des Verfahrens erst ausgeschaltet werden nachdem alle entflammbaren Gas oder Dampfreste aus der Pumpe und der Abgasleitung gesp lt worden sind Falls Fl ssigkeiten die entflammbare D mpfe erzeugen in der Pumpenzufuhrleitung vorhanden sein k nnten muss die Sp lung mit inertem Gas an die XDS Pumpe zu allen Zeiten zu denen diese Fl ssigkeit vorhanden ist eingeschaltet sein Entflammbare Fl ssigkeiten k nnen sich aufgrund von Kondensation in der Zufuhrleitung befinden oder als Verfahrens berreste vorhanden sein Bei Berechnung der Durchflussmenge von inertem Gas f r Verd nnungszwecke ist die maximale Durchflussmenge f r die evtl auftretenden entflammbaren Gase D mpfe zu ber cksichtigen Beispielsweise ist bei Einsatz von MFCs Mass Flow Controllers Mas
18. ch dem Betrieb der Pumpen mit Gasballast den Gasballastregler wieder auf 0 um eine optimale Leistung zu erzielen siehe Abschnitt 4 1 4 4 Pumpen kondensierbarer D mpfe mit installiertem Gasballast W hlen Sie Gasballast Gasballastregler in Stellung I oder Il wenn die Verfahrensgase einen hohen Anteil an kondensierbaren D mpfen enthalten Die Pumpe sollte die Betriebstemperatur erreicht haben bevor sie den kondensierbaren D mpfen ausgesetzt wird 4 5 Auswirkungen der ATEX Richtlinie 4 5 1 Einleitung Dieses Ger t erf llt die Anforderungen der Ger tegruppe II Kategorie 3 der Richtlinie 94 9 EG des Europ ischen Parlaments und des Rates vom 23 M rz 1994 zur Angleichung der Rechtsvorschriften der Mitgliedsstaaten f r Ger te und Schutzsysteme zur bestimmungsgem en Verwendung in explosionsgef hrdeten Bereichen ATEX Richtlinie Die ATEX Kategorie 3 gilt f r potenzielle Z ndquellen im Inneren des Ger tes Es wurde keine ATEX Kategorie f r potenzielle Z ndquellen au erhalb des Ger tes zugeordnet da dieses Ger t nicht zum Einsatz in einer externen potenzielle explosionsgef hrlichen Atmosph re geeignet ist Im normalen Betrieb befindet sich keine potenzielle Z ndquelle im Innern der Pumpe im Falle vorhersehbarer bzw seltener Funktionsst rungen k nnen sich jedoch potenzielle Z ndquellen wie in der Richtlinie definiert entwickeln Obwohl die Pumpe zum Pumpen entflammbarer Werkstoffe und Mischungen geeignet is
19. chlie lich aus Aluminium Die Pumpenfl chen die dem gepumpten Gas ausgesetzt sind enthalten kein Kupfer Zink oder Kadmium Seite 4 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited a EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 1 6 CSA Produktklassifikation Schutzart vor Stromschlag Klasse 1 Versorgungsspannung 110 120V 50 60 Hz oder 220 240V 50 60 Hz Betriebsart Kontinuierlich Explosionsschutz Nicht gesch tzt Schutz vor Eindringen von Fl ssigkeiten Nicht gesch tzt IPXO Installationskategorie Il Verschmutzungsgrad 2 Mobilit tsgrad Tragbar tischmontiert Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 5 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited unju s AA A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS Diese Seite ist absichtlich leer Seite 6 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited a M EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 2 Technische Daten 2 1 Betriebs und Lagerbedingungen Umgebungstemperatur Betrieb 10 bis 40 C Lagerung 30 bis 70 C Oberfl chentemperatur der Pumpe bei Vollbetrieb in der Regel 45 C ber Umgebungstemperatur Maximale Luftfeuchtigkeit in Betrieb 90 Einsatz in H hen bis zu 2000 m 2 2 Leistung 2 2 1 Allgemeines Tabelle 1 enth lt die allgemeinen Kennwerte der Pumpen V
20. da die Pumpe sonst hei laufen und sich festfressen und dadurch den Motor Thermoschutz ausl sen k nnte Wird die Pumpe bei hohen Umgebungstemperaturen und bei hohem Gasdurchsatz eingesetzt so k nnte die Temperatur des Pumpenk rpers 100 C erreichen um Kontakt mit hei en Oberfl chen zu vermeiden sind deshalb geeignete Schutz vorrichtungen anzubringen Achten Sie darauf dass die Abgasleitung nicht verstopft werden kann Sofern die Pumpe mit einem Auslasstrennventil ausgestattet ist vergewissern Sie sich dass die Pumpe bei geschlossenem Ventil nicht betrieben werden kann 3 3 Auspacken und berpr fen Entfernen Sie alle Verpackungsmaterialien entnehmen Sie die Pumpe aus der Verpackungskiste l sen Sie die Schutzabdeckungen von der Einlass bzw Auslass ffnung und untersuchen Sie die Pumpe Bei besch digter Pumpe benachrichtigen Sie bitte den Lieferanten und den Spediteur schriftlich unter Angabe der Artikelnummer der Pumpe Ihrer Auftragsnummer und der Rechnungsnummer des Lieferanten Das gesamte Verpackungsmaterial ist zur Pr fung aufzubewahren Eine defekte Pumpe darf nicht verwendet werden Soll die Pumpe nicht sofort eingesetzt werden so sind die Schutzabdeckungen wieder anzubringen Die Pumpe ist unter geeigneten Bedingungen zu lagern wie in Abschnitt 6 1 beschrieben Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 13 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited nequ g S Sg A726 01 882 A
21. dwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited a EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung Tabellen Tabelle Seite 1 Allgemeine Kennwerte ssis aneii nen ER EEE EEE AE EE EAA EENE DERFAN 7 2 E Diels EE 8 3 Abmessungen MM css nen nn De ER EEE De ae 9 4 Elektrische Daten einphasige Pumpen mit Artikelnummer 903 oder 006 11 5 Elektrische Daten einphasige Pumpen mit Artikelnummer 204 11 6 Elektrische Daten dreiphasige Pumpen mit Artikelnummer 208 11 7 Farbe dierung der Dr hte eege niinagu en ne SNE CECR 15 8 NT Tan Tale Dr 26 9 M gnetVventil snise ee a ee ee ee 33 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite iii Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited SIUUDIDSZIONSIJEUU s AA A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS Diese Seite ist absichtlich leer Seite iv Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited SC M EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 1 Einleitung 1 1 Umfang und Definitionen Dieses Handbuch enth lt Anweisungen zum Einbau Betrieb und zur Wartung der Edwards XDS5 und XDS10 trocken verdichtenden Pumpen Verwenden Sie die XDS Pumpe ausschlie lich gem den Anweisungen in diesem Handbuch Vor dem Einbau und Betrieb der XDS Pumpe ist dieses Handbuch zu lesen Wichtige Sicherheitshinweise sind unter WARNUNG bzw VORSICHT hervorgehoben Diese sind unbedingt einzuh
22. e Anforderungen Ihres rtliches Stromnetzes erf llt Ihr Lieferant oder Edwards liefert geeignete Kabel Die Pumpe ist an eine entsprechend gesicherte und gesch tzte Stromversorgung und an eine geeignete Erdung anzuschlie en Sofern Ihre XDS Pumpe mit einem Netzkabel geliefert wurde ist dieses Kabel an einem Ende mit einem gekapselten IEC Anschluss ausgestattet Am anderen Kabelende kann ein f r Ihre rtliche Stromversorgung geeigneter Stecker angebracht werden Ein Kabel ohne Stecker enth lt folgende farbig codierten Dr hte 1 Vergewissern Sie sich dass der Ein Ausschalter auf Aus gestellt ist 2 IEC Anschluss am Kabelende in den elektrischen Eingangsanschluss am Motor stecken Tabelle 7 Farbcodierung der Dr hte Europa gr n und gelb blau braun USA gr n wei schwarz 3 Ggf den Stecker am anderen Kabelende an die Stromversorgung anschlie en Ist kein Stecker vorhanden die Kabeldr hte an die vorschriftsm igen Klemmen Ihrer Stromversorgung anschlie en 3 6 3 Drehrichtung pr fen VORSICHT Korrekte Drehrichtung des Pumpenmotors pr fen Durch falsche Drehrichtung kann die Pumpe und das Vakuumsystem unter Druck gesetzt werden 1 Die Kunststoffabdeckung ber der Schraub in der Mitte der Motorr ckplatte entfernen 2 Mit dem Ein Ausschalter die Stromversorgung an den Motor einige Sekunden lang einschalten 3 Pr fen ob die Schraube an der R ckseite des Motors in die korrekte Richtung dreht wie d
23. e einphasige XDS Trockenpumpe 1112131415 Dieu dcs 8143 001 1 NW25 Ansaugstutzen 2 Gasballastregler an 05 Ausf hrung nicht installiert K hlgebl se 4 DN25NW 3 4 BSP Auslass Grundplatte Netzspannungsw hler Ein Ausschalter Betriebsstundenz hler o noau w Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 3 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited Punua S Sg A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS 1 3 Beschreibung Die XDS Pumpe ist in Abbildung 1 dargestellt In der nachstehenden Beschreibung sind die Positionsnummern in Abbildung 1 in Klammern angef hrt Die XDS Pumpe ist eine kompakte und zuverl ssige Vakuumpumpe mit hoher Wasserdampfvertr glichkeit Sie ist eingeschr nkt auch zum F rdern korrosiver Gase geeignet n here Informationen zum Pumpen entflammbarer Gase finden Sie in Abschnitt 4 5 sie k nnen Sich auch an Edwards wenden um Rat einzuholen Der Pumpenk rper besteht aus einer feststehenden und einer oszillierenden Spirale Der Antrieb erfolgt ber den Elektromotor ber eine Exzenternocke an der Motorantriebswelle Die ineinandergreifende Bewegung der Spiralen bildet fortlaufende sichelf rmige Hohlr ume Das durch den Ansaugstutzen in die Pumpe eintretende Gas wird durch die bewegte Spirale verdichtet und in die Mitte der Festspirale bef rdert Das Druckgas entweicht durch die Auslass ffnung nahe der Mitte der Festspirale und wird d
24. erdr ngung Pumpleistung sowie maximal zul ssige Dr cke an den Ein und Ausl ssen Der Druckanstieg beim Ausschalten der Pumpe betr gt in der Regel 30 mbar Is Leckdichtigkeit 1 x 10 6 mbar Is Tabelle 1 Allgemeine Kennwerte Maximale Verdr ngung m hr 50 Hz Leistung 60 Hz Leistung Maximale Pumpleistung m hr Pneurop 6602 1979 50 Hz Leistung 60 Hz Leistung Maximal zul ssiger Einlassdruck und Gasballasteinlassdruck Maximal zul ssiger Auslassdruck Die XDS Pumpe ist robust genug um einem berdruck von 1 bar in der Abgasleitung standzuhalten Der Abgasdruck sollte jedoch unter normalen Betriebsbedingungen bei laufender Pumpe dem Atmosph rendruck m glichst genau entsprechen Wenn die Pumpe bei erh htem Abgasdruck betrieben wird beschleunigt sich die Abnutzung der Tip Seals Dies beeintr chtigt die Leistung der Pumpe Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 7 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited USE SYSSIUYDSL USIEAI SYSSIUYDSL S Sg A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS 2 2 2 Leistungskennwerte Die Stellung des Gasballastreglers bestimmt die Leistungskennwerte der Pumpe Diese Leistungskennwerte werden ausf hrlich in Tabelle 2 aufgef hrt Die in Abbildung 2 dargestellten Kurven zeigen die Beziehung zwischen Einlassdruck und Saugleistung der Pumpe Tabelle 2 Leistungskennwerte Gasballastregler geschlossen Stellung 0 ty
25. erliche Leistung nicht e Das Vakuumsystem ist undicht e Ihr Druckmessvorgang oder Manometerkopf ist ungeeignet bzw zeigt einen falschen Druck an e Die Vakuumarmaturen sind schmutzig oder besch digt e Der Einlassfilter ist verstopft e Die Auspuffleitung ist verstopft e Die Pumpe enth lt Reste von Verfahrensd mpfen oder Atmosph renwasserdampf Die Pumpe muss mindestens eine Stunde bei hohem Gasballastdurchfluss II und anschlie end f r bis zu 24 Stunden bei niedrigem Gasballastdurchfluss I betrieben werden um die Nennleistung der Pumpe wiederherzustellen e Die Pumpe arbeitet au erhalb der vorgegebenen Betriebsbedingungen e Der Gasballastregler falls installiert ist nicht ordnungsgem geschlossen e Die Tip Seals m ssen ausgewechselt werden e Sofern die Netzspannung mehr als 10 unter der niedrigsten Spannung liegt die auf dem Spannungsschild angegeben ist l uft die Pumpe u U mit reduzierter Vakuumleistung 5 8 3 Die Pumpe ist laut e Die Lager sind verschlissen e Die Pumpe ist mit Partikeln verschmutzt Seite 28 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited SC EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 5 8 4 Die Oberfl chentemperatur der Pumpe ist ber 100 C e Die Umgebungstemperatur ist zu hoch e Die Luftk hlung ist unzureichend oder zu hei e Die Netzspannung ist zu hoch e Das Verfahrensgas ist zu
26. iese Erkl rung gilt f r alle Produktseriennummern ab dem Datum der Unterzeichnung dieser Erkl rung 18 10 2013 Burgess Hill Peter Meares Ort und Datum GV Technical Support Manager Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach IS0900 2008 zertifizierten Qualit tssicherungssystems hergestellt P200 00 502 Ausgabe G gea 0114 09 10 ec WARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung Inhaltsverzeichnis Abschnitt Seite L EIERE L 1 1 Umtang und BDefiniti nen mn een ee oe ee 1 1 2 Auswirkungen der ATEX Richtlinie ssssssssssrsssssssurtssrnnnritttrinttttnt nennen nennen nenne nern nenn nennen 2 1 3 Beschreibung zarsaseseade ansehen ge EE a ee 4 1 4 ENEE d EE A 1 5 BAUWEISE sincrona naked Ge Ee ae nee ee rn er ee 4 1 6 ESA Pr duktkl ssifik tion zusehen ann Era na EE Een 5 2 RE El E EE 7 2 1 Betriebs und Lagerbedingungen 7 2 2 Elle HEET 7 2 2 1 Allgemeines nassen een are nee nn een re aa ne 7 2 2 2 Fels Deen EE eebe Seege SERA 8 2 3 Mechanische RE 10 2 3 1 AJE mMeiNE S annn EEE IBENE RE ELISE SIE aa aaan PETE EE EONI EA NEIE Na ENDE Ee D A IARE 10 2 3 2 Ger usch und Schwingungsdaten usr ssenerennernnnnnnnn nenn nennen nenn nennen nenne nennen nnen nnee 10 2 4 Elektrische Daten eng Akne E ee 10 2 4 1 Einphasige IT e 1 MERERRPTERERERFRFESEEFENEREFEREREETENEREHERUERELERRTERETFRTERTTTRETEUELEUERTERERTEREREETSERRESERURTEN 10 2 4 2 Dreiphasige Pumpen zu ne anreisen 10 2 5 Gesetzgebung ung Normen siet AE
27. inweise WARNUNG Die nachfolgend aufgef hrten Sicherheitshinweise sind genau zu beachten und die entsprechenden Vorsichtsma nahmen zu treffen Die Nichtbeachtung dieser Hinweise kann zu Verletzungen und Sch den an der Anlage f hren Die XDS Pumpe ist so konzipiert dass nur geringe Wartungsma nahmen seitens des Benutzers erforderlich sind Bei Instandhaltungsarbeiten an der Pumpe sind folgende Richtlinien zu beachten e Die Wartung ist von entsprechend geschulten und berwachten Technikern durchzuf hren Die rtlichen und nationalen Sicherheitsanforderungen sind einzuhalten e Vergewissern Sie sich dass der Wartungstechniker mit den Sicherheitsvorschriften f r das jeweilige F rdergut vertraut ist e Vergewissern Sie sich vor Beginn der Arbeiten dass aller erforderlichen Teile vorhanden sind e Die Pumpe und andere Komponenten von der Stromversorgung trennen um ein unbeabsichtigtes Einschalten zu vermeiden e Vor Beginn der Wartungsarbeiten die Pumpe abk hlen lassen auf eine sichere Temperatur f r Hautkontakt Vergewissern Sie sich dass die Pumpe ausgeschaltet ist damit der Thermoschutz die Pumpe nicht wieder starten kann e Interne O Ringe nicht wiederverwenden e Die Pumpe ist mit Verfahrenschemikalien verschmutzt die w hrend des Betriebs gef rdert wurden Die Pumpe ist vor Beginn der Wartungsarbeiten zu reinigen und angemessene Vorkehrungen zu treffen um das Personal vor Auswirkungen von Gefahrenstoffen zu sch t
28. ommen sind Flouroelastomer Dichtungen und O Ringe d rfen nicht verbrannt werden Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited Seite 31 BUN A1OSJUF3 pun DUU s AA A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS Diese Seite ist absichtlich leer Seite 32 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited SC EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 7 Ersatzteile und Zubeh r 7 1 Einleitung Die Produkte Ersatz und Zubeh rteile von Edwards sind ber Edwards Niederlassungen in Belgien Brasilien Kanada Frankreich Deutschland Hongkong Italien J apan Korea der Schweiz Gro britannien den USA und ein weltweites Netz von Vertriebsfirmen erh ltlich Die Mehrzahl dieser Unternehmen besch ftigt Kundendiensttechniker die an umfassenden Edwards Schulungskursen teilgenommen haben Ersatzteile und Zubeh r k nnen Sie bei der n chstgelegenen Edwards Niederlassung oder Vertriebsfirma bestellen Bitte geben Sie bei Ihrer Bestellung f r jedes gew nschte Teil Folgendes an e Modell und Bestellnummer Ihres Ger tes e Seriennummer e Bestellnummer und Bezeichnung des Teils 7 2 Ersatzteile Produkt Bestellnummer Tip Seal und Auslassventil Satz XDS 5 10 A726 01 805 7 3 Zubeh r 7 3 1 Magnetventil Setzen Sie das Magnetventil zwischen Ihr Vakuumsystem siehe Tabelle 9
29. otenzielle Z ndquellen au erhalb des Ger tes zugeordnet da dieses Ger t nicht zum Einsatz in einer externen potenzielle explosions gef hrlichen Atmosph re geeignet ist Im normalen Betrieb befindet sich keine potenzielle Z ndquelle im Innern der Pumpe im Falle vorhersehbarer bzw seltener Funktionsst rungen k nnen sich jedoch potenzielle Z ndquellen wie in der Richtlinie definiert entwickeln Obwohl die Pumpe zum Pumpen entflammbarer Werkstoffe und Mischungen geeignet ist sollten die Arbeitsabl ufe deshalb gew hrleisten dass unter allen normalen und vorhersehbaren Bedingungen die Werkstoffe und Mischungen au erhalb der Explosionsgrenze liegen Kategorie 3 gilt als geeignet um eine Entz ndung zu vermeiden f r den unwahrscheinlichen Fall dass eine Funktionsst rung entflammbare Werkstoffe oder Mischungen durch die Pumpe laufen l sst w hrend die Materialien innerhalb ihrer Explosionsgrenzen liegen Enth lt das Ger t entz ndliche Stoffe ist unbedingt Folgendes zu beachten e Lassen Sie keine Luft in das Ger t eindringen e Vergewissern Sie sich dass das System dicht ist N here Informationen erhalten Sie von Edwards Angaben zur n chst gelegenen Niederlassung von Edwards finden Sie auf der R ckseite dieses Handbuchs Seite 2 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited Gum M EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung Abbildung 1 Di
30. pisches Endvakuum Gesamtenddruck 50 Hz typisches Endvakuum Gesamtenddruck 60 Hz Gasballastregler geschlossen Stellung 1 typisches Endvakuum Gesamtenddruck 50 Hz typisches Endvakuum Gesamtenddruck 60 Hz Gasballastdurchfluss Wasserdampff rderleistung Gasballastregler geschlossen Stellung 2 typisches Endvakuum Gesamtenddruck 50 Hz typisches Endvakuum Gesamtenddruck 60 Hz Gasballastdurchfluss Wasserdampff rderleistung Wasserdampftoleranz 3 5 x 10 Nur f r Ausf hrungen mit Gasballast Abbildung 2 Leistungskennwerte 4 ft min 1 60 Hz Leistung 2 50 Hz Leistung Seite 8 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited a M EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung Abbildung 3 Abmessungen 2 L cher 89 4 Gummif e Die Unterseite des Betriebsstundenz hlers befindet sich 44 mm ber dem Boden dcs 0188 001 Vom Motorende bis zur Mitte der einphasigen Buchse 200 mm Vom Motorende bis zur Mitte des Netzschalters 124 mm Siehe Tabelle 3 f r Abmessungen Tabelle 3 Abmessungen mm Abmessungen siehe Abbildung 3 XDS5 XDS10 on IUN D E F G H J K L M N P Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 9 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited u 7 eq SYSSIUYDSL
31. pter A505 09 000 7 3 9 XDS Schalld mpfer Der XDS Schalld mpfer dient dazu den L rmpegel beim Auspumpen und Einsatz des Gasballasts zu reduzieren XDS Schalld mpfer A505 97 000 Seite 34 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited ec WARDS Index A Abmessungen ssssssssrissssssrrrssrrrrrrrrrrrsrerrsrres 9 Aufstellen der Pumpe 14 Auspacken und berpr fen cnc 13 B BAUWEISE u ausleben Basen ne aaa 4 Beschreibung 4 Betrieb u une en en EN Betriebs und Lagerbedingungen rursmr nn 7 Betriebsbeginn 21 C CSA Produktklassifikation 5 D Dichtigkeitspr fung des Systems 19 Die einphasige XDS Trockenpumpe 3 Dreiphasige Pumpen nenne nenn 10 E Einbau nie nen een em 13 Einlass und Auslassstutzen 22s2esensenenennnnn 18 Einleitung EE 1 Einphasige Pumpen sscscrssrrecesrererrerrrrsen 10 Elektrische Daten 2s2es2sssne ran ne nn 10 Elektroinstallation Dreiphasige Pumpen 17 Einphasige Pumpen 14 ENESOFQUNG TEE 31 Ersatzteile nen 33 Ersatzteile und Zubeh r ccn 33 Erw gungen bei der Anlagenkonstruktion 13 Erzielen des Endvakuums mit installiertem Gasballast 2 mHr nn 22 G Gasballastregler 222s2er2r nennen nennen nennen 4 Gasballastregler falls installiert 21 Ger usch und Schwingungsdaten sescercese 10 Gesetzgebung
32. r 2 O Ring 3 Ansaugflansch Seite 26 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited A P EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 5 4 Gasballastregler falls installiert kontrollieren und reinigen Der Gasballast Filtereinsatz ist im Sitz eingeklebt bitte nicht entfernen 1 2 Siehe auch Abbildung 9 Gasballastregler auf die Stellung Hochdurchfluss I1 stellen Den Regler so weit wie m glich nach unten gegen die Druckfeder 6 dr cken dann den Regler leicht nach links gegen den Uhrzeigersinn drehen um die Bajonettnocken 5 zu l sen und den Regler 1 entfernen Ggf den Regler mit einem sauberen trockenen fusselfreien Tuch abwischen Vergewissern Sie sich dass das Luftloch nicht verstopft ist Den Regler wieder in den Gasballasteinlass einbauen Vergewissern Sie sich dass die Druckfeder vorschriftsm ig zwischen den Bajonettnocken sitzt Den Regler so weit wie m glich nach unten dr cken dann den Regler leicht nach rechts im Uhrzeigersinn drehen bis die Bajonettnocken vorschriftsm ig einrasten Den Gasballastregler in die erforderliche Stellung zur ckdrehen Abbildung 9 Baugruppe Gasballastregler Bun2jeypuegsuj pun BunyeM AG 0156 B 1 Gasballastregler 5 Bajonettnockes 2 O Ring 6 Feder 3 Luftloch 7 Filtereinsatz 4 O Ring 5 5 Au engebl seabdeckung reinigen Wird die Gebl seabdeckung nicht sauber gehalten
33. rds Richtlinien ber die Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen zu Rate siehe Ver ffentlichungen am Ende des Inhaltsverzeichnisses vorne in diesem Handbuch Die Montage der XDS Pumpe ist von einem angemessen geschulten und berwachten Techniker durchzuf hren Bei der Montage der XDS Pumpe insbesondere beim Anschluss der Pumpe an ein vorhandenes System sind die nachstehend aufgef hrten Sicherheitsanweisungen zu befolgen Einzelheiten ber die besonderen Sicherheitsma nahmen sind an der entsprechenden Stelle in den Anweisungen aufgef hrt e Bei Kontakt mit verunreinigten Bestandteilen ist geeignete Schutzbekleidung zu tragen Verunreinigte Teile sind in Abzugsschr nken auseinanderzunehmen und zu reinigen e Vor Beginn der Montage ist das Vakuumsystem zu entl ften und zu reinigen e Vergewissern Sie sich dass der Monteur mit den Sicherheitsvorschriften f r das jeweilige F rdergut vertraut ist e Die anderen Komponenten des Pumpsystems sind vom Stromnetz zu trennen um ein unbeabsichtigtes Einschalten auszuschlie en 3 2 Erw gungen bei der Anlagenkonstruktion Bei der Konstruktion Ihres Pumpsystems sind folgende Punkte zu ber cksichtigen Wenn die Pumpe vor dem Pumpen von kondensierbaren D mpfen warmlaufen oder das Vakuum bei ausgeschalteter Pumpe erhalten bleiben muss verwenden Sie ein geeignetes Ventil zur Trennung der Pumpe vom Vakuumsystem Hohe W rmezufuhr von den Verfahrensgasen in die Pumpe ist zu vermeiden
34. rhalten C22 2 61010 1 04 2004 Sicherheitsanforderungen an elektrische Mess Steuer Regel und Laborger te Teil 1 Allgemeine Anforderungen UL61010 1 2 Auflage Sicherheitsanforderungen an elektrische Mess Steuer Regel und Laborger te Teil 1 Allgemeine Anforderungen EN13463 1 2009 Nicht elektrische Ger te f r den Einsatz in explosionsgef hrdeten Bereichen Grundlagen und Anforderungen EN13463 5 2003 Nicht elektrische Ger te f r den Einsatz in explosionsgef hrdeten Bereichen Grundlagen und Anforderungen EN50581 2012 Technische Dokumentation zur Beurteilung elektrischer und elektronischer Ger te hinsichtlich der Beschr nkung der Verwendung bestimmter Gefahrenstoffe und erf llt die entsprechenden Bestimmungen gem 2006 42 EG Sicherheitsrichtlinie f r Maschinen 2006 95 EG Niederspannunggsrichtlinie 2004 108 EG Richtlinie zur elektromagnetischen Vertr glichkeit EMV Richtlinie 94 9 EG ATEX Richtlinie zum Gebrauch bei z ndf higer Luft 2011 65 EU Richtlinie zur Beschr nkung der Verwendung gef hrlicher Stoffe RoHS Richtlinie z B enth lt das Produkt in homogenem Material mit den in der Richtlinie aufgef hrten Ausnahmen weniger als 0 1 Gewichtsanteil sechswertiges Chrom Blei Quecksilber PBB und PBDE sowie weniger als 0 01 Gewichtsanteil Cadmium Die RoHS Richtlinie ist f r industrielle Vakuumausr stung bis J uli 2019 J uli 2017 f r Instrumente nicht rechtlich bindend Hinweis D
35. seabdeckung reinigen J hrlich 5 5 Tip Seals und Auslassventil erneuern J hrlich oder je nach 5 6 Erfordernis Motorzustand pr fen 15000 Stunden 57 Lager auswechseln 35000 Stunden Wenden Sie sich an Edwards 5 3 Einlassfilter kontrollieren und reinigen Beim Abkoppeln der Pumpe vom Vakuumsystem empfehlen wir jeweils die Durchf hrung folgender Arbeiten e Die vom Einlassfilter in der Einlass ffnung aufgefangenen Fremdk rper entfernen e Einlassfilter kontrollieren und ggf mit einer f r das F rdergut geeigneten Reinigungsl sung reinigen Vor Wiederanschluss der Pumpe an das Vakuumsystem den Einlassfilter wieder einbauen 1 Siehe auch Abbildung 8 Vakuumsystem vom Ansaugflansch 3 abkoppeln und Zentrierring und Filterbaugruppe 1 und den O Ring 2 entfernen Zentrierring und O Ring kontrollieren Sofern diese sauber sind ab Schritt 5 fortfahren Bei Verschmutzung ab Schritt 2 fortfahren 2 O Ring 2 aus dem Zentrierring und der Filterbaugruppe 1 entnehmen Der O Ring darf nicht mit der Reinigungsl sung in Ber hrung kommen 3 Zentrierring und Filterbaugruppe in einer geeigneten Reinigungsl sung waschen und trocknen lassen 4 Ggf den O Ring mit einem sauberen trocknen fusselfreien Tuch abwischen 5 Zentrierring Filterbaugruppe und O Ring an der Einlass ffnung wieder einbauen Das Vakuumsystem wieder an den Ansaugflansch montieren Abbildung 8 Baugruppe Einlassfilter AG 0157 8 1 Zentrierring und Filte
36. sendurchflusscontrollern f r die Zufuhr von entflammbaren Gasen von einem Durchfluss auszugehen der bei vollst ndig ge ffnetem MFC eintreten w rde Die Durchflussmenge der Sp lung ist st ndig zu messen wenn die Durchflussmenge unter die erforderliche Menge abf llt ist der Zufluss der entflammbaren Gase oder D mpfe an die Pumpe zu unterbrechen Hinweis Wir empfehlen dass Sie die Publikation Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen Nr P300 20 000 von Edwards oder Ihrem Lieferanten bestellen und lesen 4 6 Stilllegung Befolgen Sie folgende Schritte zur Stilllegung der Pumpe 1 Wenn die Pumpe l ngere Zeit gelagert werden soll beseitigen Sie vor dem Abschalten alle Verfahrensgase mithilfe der Einlasssp lung oder durch Betrieb der Pumpe mit hohem Gasballastdurchfluss falls Gasballast installiert ist 2 Ggf das Vakkumsystem Trennventil schlie en um ein Zur cksaugen in das Vakuumsystem zu vermeiden 3 Die Pumpe mit dem Ein Ausschalter am Motor ausschalten Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 23 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited OU s AA A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS Diese Seite ist absichtlich leer Seite 24 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited SC EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 5 Wartung und Instandhaltung 5 1 Sicherheitsh
37. t sollten die Arbeitsabl ufe deshalb gew hrleisten dass unter allen normalen und vorhersehbaren Bedingungen die Werkstoffe und Mischungen au erhalb der Explosionsgrenze liegen Kategorie 3 gilt als geeignet um eine Entz ndung zu vermeiden f r den unwahrscheinlichen Fall dass eine Funktionsst rung entflammbare Werkstoffe oder Mischungen durch die Pumpe laufen l sst w hrend die Materialien innerhalb ihrer Explosionsgrenzen liegen 4 5 2 Entflammbare luftentz ndliche Stoffe WARNUNG Folgende Ma nahmen sind zu treffen damit das gef rderte Gas au erhalb des Z ndbereichs bleibt Sofern das Ger t flammbare oder luftentz ndliche Stoffe enth lt beachten Sie unbedingt folgendes e Lassen Sie keine Luft in das Ger t eindringen e Vergewissern Sie sich dass das System dicht ist Seite 22 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited SC EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung e Verd nnen Sie alle entflammbaren Gase bzw D mpfe durch Sp len mit inertem Gas z B mit Stickstoff am Pumpeneinlass und oder Gasballast falls installiert um die Konzentration entflammbarer Gase oder D mpfe in der Pumpe und der Abgasleitung auf weniger als ein Viertel der unteren Explosionsgrenze UEG zu reduzieren e Verhindern Sie die Kondensation von entflammbaren D mpfen im Pumpenmechanismus und in der Abgasleitung durch Sp len mit inertem Gas am Gasballast
38. t zul sst VORSICHT W hrend der Anlaufphase kann feiner Staub vom Auspuff der Scroll Pumpe ausgesto en werden besonders wenn die Pumpe neu ist oder neue Tip Seals eingesetzt wurden N here Informationen zur Montage neuer Tip Seals finden Sie in Abschnitt 5 6 Befolgen Sie folgende Schritte zur Inbetriebnahme der Pumpe 1 Schlie en Sie ggf das Trennventil des Vakuumsystems 2 Die Stromzufuhr zur Pumpe mit dem Ein Ausschalter am Motor einschalten 3 ffnen Sie ggf das Trennventil des Vakuumsystems Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 21 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited OU OU S g A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS 4 3 Erzielen des Endvakuums mit installiertem Gasballast 4 3 1 Bereits im Betrieb befindliche Pumpen Wenn die Pumpen l ngere Zeit abgeschaltet waren ist es m glicherweise erforderlich die Pumpen mindestens eine Stunde lang mit hohem Gasballastdurchfluss Il zu betreiben um sie von kondensierbaren D mpfen wie z B Atmosph renwasserdampf zu befreien Stellen Sie den Gasballastregler auf O um ein optimales Vakuum zu erzielen 4 3 2 Neue soeben gewartete aufbereitete oder l ngere Zeit gelagerte Pumpen Neue oder l ngere Zeit gelagerte Pumpen m ssen m glicherweise mit Gasballast betrieben werden um Atmosph renwasserdampf zu entfernen Dies kann je nach Lagerbedingungen bis zu 24 Stunden dauern Stellen Sie na
39. und Normen 11 Instandhaltung 25 L Lager ng u a 31 Lagerung und Entsorgung issc 31 Leistung rene n E EAO 7 Leistungskennwerte 2cnesanserennennnnn nennen nenne 8 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten AT26 01 882 Ausgabe M bersetzung M Mechanische Daten 10 Motorzustand pr fen cesce 28 P Pumpen kondensierbarer D mpfe 22 S Sicherheitshinweise 13 alle Ui EE ER SE rUNGSSUCHE riaa ine e aE ENEE 28 T Technische Daten 7 Tip Seals und das Auslassventil erneuern 28 U Umfang und Definitionen icce 1 W WArtUNGSPIAN eisene ESA AE an ran 26 Z ZUBERO dente EE ee ni naD 33 Seite 35 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited xX PU s AA A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS Diese Seite ist absichtlich leer Seite 36 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited
40. urch den Auspuff aus der Pumpe abgelassen Die XDS ist eine trocken verdichtende Vakuumpumpe da alle Lager und deren Schmierstoff vom Vakuumraum getrennt sind Der Pumpmechanismus wird direkt ber einen einphasigen Drehstrom Elektromotor getrieben Der Motor ist mit einem Ein Ausschalter 7 und einem Thermoschutz ausgestattet Der Thermoschutz ist mit einer automatischen R ckstellung versehen nach dem Abk hlen wird das Ger t zur ckgestellt und der Motor startet wieder es sei denn Sie haben eine Steuerung eingebaut die von Hand zur ckgestellt werden muss Die Luftk hlung der Pumpe erfolgt ber ein Gebl se das gegen ber dem Motor angebracht ist Die Pumpe ist auf einer Grundplatte auf Gummif en montiert Abschnitt 7 enth lt Angaben ber geeignete Schwingungsabsorber und sonstiges Zubeh r 1 4 Gasballastregler Bei F rdergut mit hohem Dampfgehalt wird Gasballast in die Pumpe bef rdert um eine Kondensierung des mitgef rderten Dampfes zu verhindern Im Feinvakuumbereich kann Luft ber das Gasballastventil an 05 Ausf hrung nicht installiert eingef hrt werden Wahlweise kann ein inertes Gas wie z B Stickstoff ber ein geeignetes Au enventil zugef hrt werden Der Gasballastregler hat drei Stellungen e geschlossen Stellung 0 e niedriger Durchfluss Stellung I e hoher Durchfluss Stellung Il 1 5 Bauweise Die Pumpenspiralen sind aus eloxiertem Aluminium gefertigt das Motorgeh use besteht auss
41. urch den Pfeil am Motor angezeigt Bei falscher Drehrichtung die Stromversorgung sofort ausschalten Setzen Sie sich mit Ihrem Lieferanten oder Edwards in Verbindung Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 15 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited nequ g A726 01 882 Ausgabe M bersetzung ED WARDS Abbildung 5 Unterseite der Pumpe 1 Schrauben 2 Abdeckplatte Abbildung 6 Dreiphasige Anschl sse 200 bis 230 V Seite 16 Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited a EDWARDS A726 01 882 Ausgabe M bersetzung 3 7 Elektroinstallation Dreiphasige Pumpen 3 7 1 Pr fung und Konfiguration des Motors nequ g VORSICHT Vergewissern Sie sich dass der Motor vorschriftsm ig f r Ihre Stromversorgung konfiguriert ist Betreiben der Pumpe bei unvorschriftsm iger Konfiguration f hrt zu Sch den am Motor VORSICHT Zum Anschluss der Drehstrompumpe an die Stromversorgung ist ein Netzkabel mit einer Bemessung von 70 C zu verwenden anderenfalls k nnte das Kabel besch digt werden wenn die Pumpe in hohen Umgebungstemperaturen benutzt wird 1 Die Pumpe mit der Unterseite nach oben hinlegen siehe Abbildung 5 Die drei Schrauben mit denen die Abdeckplatte gesichert ist herausdrehen 2 Vergewissern Sie sich dass der Motor vorschriftsm ig f r Ihre Stromversorgung konfiguriert ist
42. usgabe M bersetzung EDWARDS 3 4 Heben der Pumpe Obwohl die Pumpe weniger als 25 kg wiegt und manuell gehoben werden kann wird empfohlen wann immer m glich eine geeignete Hebevorrichtung zu benutzen Mechanisches Hebezeug ist am Oberrohr des dreiarmigen Pumpenk figs zu befestigen Es ist zu beachten dass die Pumpe w hrend des Hebens ihre Stellung ndern kann wof r entsprechende Sicherheitsvorkehrungen zu treffen sind 3 9 Aufstellen der Pumpe Die Pumpe ist auf einer festen ebenen Grundfl che aufzustellen Platzieren Sie die Pumpe so dass der Gasballastregler falls installiert und der Ein Ausschalter zug nglich sind Sofern die Pumpe eingebaut betrieben werden soll ist eine ausreichende Bel ftung entlang der Pumpe zu gew hrleisten damit die Umgebungstemperatur um die Pumpe 40 C nicht bersteigt Der Abstand zwischen Pumpe und Geh usewand muss mindestens 25 mm betragen Dar ber hinaus ist zu gew hrleisten dass die Pumpe so aufgestellt wird und alle Verbindungselemente wie z B Verfahrensleitung Abgasleitung und Stromkabel so verlegt werden dass sie keine Gefahren darstellen wie z B Stolpergefahr 3 6 Elektroinstallation Einphasige Pumpen 3 6 1 Pr fung und Konfiguration des Motors VORSICHT Vergewissern Sie sich dass der Motor vorschriftsm ig f r Ihre Stromversorgung konfiguriert ist Betreiben der Pumpe bei unvorschriftsm iger Konfiguration f hrt zu Sch den am Motor F r die in Klammern
43. utreffenden Vorschriften f r elektrische Anlagen und Ger te entsprechen 1 F hren Sie das Stromversorgungskabel durch die Stopfb chse und das F hrungsloch 2 Schlie en Sie die Kabeldr hte so wie in Abbildung 6 und 7 gezeigt mittels isolierter Crimpstecker an den Klemmen U1 V1 W1 und Erde im Klemmenkasten an Benutzen Sie f r jeden Anschluss eine Unterlegscheibe einen Federring und eine Mutter in dieser Reihenfolge 3 Bringen Sie die Abdeckplatte wieder an 4 Ziehen Sie die Zugentlastungsmutter an der Kabel Stopfb chse fest 3 7 3 Drehrichtung pr fen VORSICHT Korrekte Drehrichtung des Pumpenmotors pr fen Durch falsche Drehrichtung k nnten Pumpe und Vakuumsystem unter Druck gesetzt werden 1 Die drei Halteschrauben herausdrehen und die Kunststoffabdeckung in der Mitte der Motorr ckplatte entfernen 2 Die Stromversorgung des Motors f r einige Sekunden einschalten 3 Pr fen ob die Schraube an der R ckseite des Motors in die korrekte Richtung dreht wie durch den Pfeil am Motor angezeigt 4 Bei falscher Drehrichtung die Stromversorgung ausschalten und die Pumpe von der Stromversorgung trennen Den Ger testecker ffnen und die Lage der schwarzen Dr hte tauschen 3 8 Einlass und Auslassstutzen WARNUNG Der Auslass ist an eine geeignete Aufbereitungsanlage zu leiten um den Austritt von gef hrlichen Gasen und D mpfen in die Umgebungsatmosph re zu verhindern Bevor Sie die Pumpe an das Vakuumsystem
44. zen e Die thermischen Zersetzungsprodukte von fluorierten Produkten die sich in der Pumpe befinden k nnen wenn diese auf Temperaturen ber 260 C erhitzt wurde d rfen weder ber hrt noch eingeatmet werden Fluorierte Stoffe sind im Normalgebrauch unbedenklich k nnen sich jedoch bei Erhitzung auf mindestens 260 C in sehr gef hrliche Stoffe u a Fluorwasserstoff zersetzen Bei falscher Anwendung oder im Falle eines Feuers kann es zum Hei laufen der Pumpe kommen Sicherheitsdatenbl tter f r die in der Pumpe verwendeten fluorierten Substanzen sind auf Wunsch erh ltlich Wenden Sie sich diesbez glich bitte an Ihren Lieferanten oder an Edwards Edwards Limited 2010 Alle Rechte vorbehalten Seite 25 Edwards und das Edwards Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited Bun2jeypuegsuj pun DUDU Bun2jeypuegsuj pun Bun yem S Sg A726 01 882 Ausgabe M bersetzung EDWARDS 5 2 Wartungsplan Die Wartungsma nahmen sind u U in k rzeren Abst nden erforderlich wenn die Pumpe zum F rdern von aggressiven Gasen und D mpfen eingesetzt wird wie z B von L sungsmitteln organischen Stoffen und S uren oder wenn die Pumpe im Dauerbetrieb im oberen Betriebstemperaturbereich arbeitet siehe Abschnitt 2 1 Den Wartungsplan ggf nach eigener Erfahrung abwandeln Tabelle 8 Wartungsplan Einlassfilter kontrollieren und reinigen J hrlich K Gasballastregler falls installiert kontrollieren und reinigen J hrlich 5 4 Au engebl
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