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TwisTorr 84 FS User Manual

1. P ed p ipojen m turbomolekul rn v v vy do syst mu nesund vejte adhezn a ochrann v ko TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 221 334 13 N vod k Pou it Instalace Obr zek 2 Obr zek 3 222 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod k Pouziti 13 Toto za zen instalujte v hradn do uzav en ho prost ed a nepou vejte je v prost ed kter je vystaveno atmosf rick m vliv m d sn h led prachu agresivn m plyn m ve v bu n m prost ed nebo v prost ed s vysok m nebezpe m po ru Za provozu je t eba dodr ovat n sleduj c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak Z bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 5 C do 35 C relativn vlhkost O 90 bez sr en V p tomnosti magnetick ch pol se v v va mus chr nit feromagnetickym st n n m Viz podrobn informace v p loze Technical Information Vyvevu TwisTorr 84 FS Ize pou vat v hradn ve spojen s nekterym ze speci ln ch ridicich zarizeni Agilent a mus b t pripojena k prim rn mu erpadlu viz sch ma v dodatku Technical Information Jsou k dispozici nasledujici controllery Tab 1 SLO D LU R DIC ZAR ZEN E X3908 64001 nen TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 u E X3908 64002 nn TisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc W X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 z E X3909 64001 nen TwisTorr 84 FS
2. Figure 11 TwisTorr 84 FS CFF 2 75 X3502 64003 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 289 334 17 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline Figure 12 TwisTorr 84 FS ISO 63 X3502 64000 with air cooling kit 290 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 TwisTorr 84 FS Outline Figure 13 TwisTorr 84 FS CFF 4 X3502 64002 with air cooling kit TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 291 334 17 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline Figure 14 TwisTorr 84 FS CFF 2 75 X3502 64003 with air cooling kit 292 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 TwisTorr 84 FS Outline Figure 15 TwisTorr 84 FS KF 40 X3502 64001 with air cooling kit TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 293 334 17 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline Figure 16 TwisTorr 84 FS ISO 63 X3502 64000 with water cooling kit 294 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 TwisTorr 84 FS Outline Figure 17 TwisTorr 84 FS CFF 4 X3502 64002 with water cooling kit TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 295 334 17 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline Figure 18 TwisTorr 84 FS CFF 2 75 X3502 64003 with water cooling kit 296 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 TwisTorr 84 FS Outline Figure 19 TwisTorr 84 FS KF 40 X3502 64001
3. TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Podrecznik Instrukcji 12 Przygotowanie do instalacji Ponpa TwisTorr 84 FS jest dostarczana w specjanym ochronnym opakowaniu w przypadku slad w uszkodzen do kt rych mogtoby doj podczas transportu nale y skontaktowa si z miejscowym biurem sprzeda y Podczas operacji rozpakowywania nale y zwr ci szczeg ln uwag aby nie upu ci pompy TwisTorr 84 FS i zabezpieczy j przed uderzeniami i wibracjami Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu i jest zgodny z dyrektyw dotycz c ochrony rodowiska w sprawie opakowa i materia w opakowaniowych 94 62 WE wraz kolejnymi zmianami UWAGA Aby unikn problem w odgazowywania nale y nie dotyka go ymi r koma cz ci przeznaczonych do wytwarzania pr ni Nale y zawsze stosowa odpowiednie r kawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie Pompa TwisTorr 84 FS nie mo e zosta uszkodzona poprzez wystawienie jej na dzia anie atmosfery Mimo to zaleca si aby pompa do momentu jej instalacji na systemie pozosta a zamkni ta w celu unikni cia zanieczyszczenia jej py em TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 201 334 Podrecznik Instrukcji 12 Przygotowanie do instalacji X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 Posta 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 202 334 Podrecznik Instrukcji 12 Instalacja ZAG
4. Gebrauchsanleitung 2 ste ted W hrend des Betriebs sind Sto und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden da die Lager besch digt werden k nnten F r die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden Der Eingangsdruck am Bel ftungsanschlu soll unter 2 bar ber dem atmosph rischen Druck betragen Zum Pumpen von Gasen mit Partikeln oder aggressiven Verunreinigungen sind die Pumpen mit einer ffnungsklappe Sperrgas Bel ftung integriert ausgestattet ber die zum Schutz der Lager Inertgas Stickstoff Helium oder Argon zuzuleiten ist siehe Anhang Technical Information Mini te IN Verwenden Sie die Pumpe nie wenn korrosives Gas oder korrosive D mpfe in der Luft sind die die Materialien der Pumpe sch digen k nnten WARNUNG Wenn die Pumpe zur F rderung von giftigen leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird sind die f r das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg nge und Ma nahmen zu befolgen Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsf higen Gasen verwendet werden Die Pumpe wurde f r den Durchsatz von leichten Gasen wie Stickstoff Argon und leichteren Gasen konzipiert Wenn Gase gepumpt werden sollen die schwerer sind als Argon wenden Sie sich bitte an den technischen Kundendienst von Agilent f r weitere Informationen TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 45 334 2 Gebrauchsanleitung Wartung
5. sk v vevy vi dodatok Technical Information POZOR Nikdy nepou vajte v vevu za pr tomnosti koroz vnych plynov alebo v parov ktor by mohli po kodi jej vn torn materi ly Ak v vevu pou vate na od erp vanie toxick ch hor av ch alebo r dioakt vnych plynov dodr iavajte pros m po adovan postupy pre likvid ciu jednotliv ch plynov Nepou vajte v vevu v pr tomnosti v bu n ch plynov V veva bola navrhnut pre vysok prenos Dus ka Argonu a dal ch ah ch plynov V pr pade ke by bolo potrebn erpa jej prostredn ctvom a ie plyny obr te sa oh adom al ch inform ci na Servisn slu bu firmy Agilent 242 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod na Obsluhu 14 dr ba V veva TwisTorr 84 FS nevy aduje iadnu dr bu Ak ko vek pravy a opravy syst mu mus vykona autorizovan person l NEBEZPE Sk r ne za nete oko vek robi v syst me odpojte ho od zdroja nap jania vyvetrajte v vevu tak e otvorite pr slu n ventil po kajte k m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 C V pr pade poruchy zariadenia vyh adajte kontaktn stredisko spolo nosti Agilent kde v m pokazen syst m vymenia Sk r ne syst m odo lete na opravu alebo v menu mus te vyplni dotazn k Request for Return Dotazn k pripojen k n vodu na pou itie je potrebn vyplni
6. Festing av pumpen AVON NIE Manglende overholdelse av disse installasjonsinstruksene kan f re til at pumpen losner fra systemet hvis rotoren odelegges Dette kan fore til materielle skader alvorlige personskader eller dod TwisTorr 84 FS kan monteres i en valgfri stilling Fest TwisTorr 84 FS i en stabil stilling ved montere turbopumpens inngangsflens p systemets koplingsflens med en kopling som t ler et dreiemoment p 200 Nm rundt aksen ISO K flensen kan festes ved bruke ekstra resistente st lklemmer som Agilent modell IC 63250 DCMZ Folgende tabell viser det n dvendige antallet klemmer av typen IC63250DCMZ for hver flensstorrelse samt dreiemomentet for stramme dem Tab 2 FLENS TYPE KLEMME ANT STRAMME MOMENT ISO 63 K Dobbel klemme gjenge M10 4 22 Nm Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle l sedelene fra Agilent For detaljer henvises det til Technical Information TwisTorr 84 FS kan monteres 1 en valgfri stilling TwisTorr 84 FS m ikke festes gjennom fundamentet 158 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instruksjon Manual 9 Bruk av TwisTorr 84 FS ADVARSEL ADVARSEL Sorg for at apparatet brukes p riktig m te Operatoren av dette instrumentet skal bruke apparatet slik det er spesifisert denne h ndboken Manglende overholdelse av indikasjonene i denne h ndboken kan fore til at beskyttelsen av apparatet ikk
7. Instructions for Use 16 General Information This equipment is destined for use by professionals The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non compliance even partial with these instructions improper use by untrained persons non authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards The TwisTorr 84 FS is a turbo molecular pump for high and ultra high vacuum applications which is able to pump any type of non corrosive gas or gas compound It is not suitable for pumping liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 81000 rpm driven by a high performance 3 phase electric motor The TwisTorr 84 FS is free of contaminating agents and therefore is suitable for applications requiring a clean vacuum The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment Detailed information is supplied in the appendix Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 263 334 16 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if
8. M gneses mez k jelenl t ben a szivatty t v deni kell ferrom gneses pajzs segits g vel R szletes inform ci rt l sd Technical Information A TwisTorr 84 FS sz ria turb molekul ris szivatty it kiz r lag a megfelel Agilent vez rl egys gek egyik vel szabad haszn lni s a szivatty kat el z leg egy els dleges szivatty ra kell k tni l sd a Technical Information mell kletben megadott rajzot Az alkalmazhat vezerl egys gek a k vetkez k Tab 1 a VR eva W X3508 64001 ee TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 mm W X3508 64002 ee TwisTorr 84 FS AG Rack Profibus san M X3509 64000 ia TwisTorr 84 FS on board 110 220V on W X3509 64001 me TwisTorr 84 FS on board Nm X3910 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB mm 4 40 A TwisTorr 84 FS megfelel az EN 61010 1 szabv ny II telep t si kateg ri j nak Csatlakoztassa az eszk zt a fenti kateg rianak megfelel h l zathoz Opcion lis tartoz kok telep t s hez v lassza a Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 189 334 11 Felhaszn l i K zik nyv A szivatty r gz t se A szivatty r gz t se Ezeknek a telep t si utas t soknak figyelmen k v l hagy sa amennyiben a rotor meghib sodik a szivatty nak a rendszerr l val lev l s t eredm nyezheti gy hogy a dolgokban k rt s lyos s r l st vagy hal lt okozhat A TwisTorr 84 FS b rmely helyzetben telep thet R gz
9. controller the rotating parts are covered with a mechanical barrier to prevent access If the pump is delivered without controller it does not have the mechanical barrier because it cannot be operated alone In that case please install the pump first before running it Operating the pump without connecting it to your system gives access to the rotating parts which may cause heavy injuries The power cord of the controller is defined as disconnecting device in order to remove the power from the pump and the contoller in case of an emergency Make sure the power connector of the instrument can be easily reached and unplugged Provide sufficient space behind the power socket of the controller to unplug the cable If the controller cannot be installed in the system so that the power cord can be easily reached a different option has to be installed to disconnect the controller from mains Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 269 334 16 Instructions for Use Installation Figure 2 Figure 3 270 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instructions for Use 16 Install this device indoors only and in any case do not use the pump in an environment exposed to atmospheric agents rain ice snow dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk During operation the following environmental co
10. mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter flange with a connection capable of withstanding a torque of 250 Nm around its axis The ISO K flange can be fixed using high strength steel clamps like Agilent model IC63250DCM7 The following table shows for each flange the necessary number of IC63250DCMZ clamps and the relevant fixing torque Tab 2 FLANGE FIXING DEVICE N FIXING TORQUE ISO 63 K M10 clamps 4 22 Nm The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware See the appendix Technical Information for a detailed description The TwisTorr 84 FS cannot be fixed by means of its base 212 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instructions for Use 16 Use of TwisTorr 84 FS Ensure the proper usage of the equipment WARNING The operator of this instrument is advised to use the equipment in a manner as specified in this manual If the guidance of this manual is not followed the protection provided by the equipment may be impaired All the instructions to correctly use the turbopump are contained in the controller manual Read carefully this manual before use the pump To obtain better limit pressures it is possible to heat the pump While heating the vacuum chamber the temperature of the inlet flange must not exceed 120 C for a ConFlat flange and 80 C for an ISO flange While heating always use the water cooling
11. ne zranenie POZOR Pozor ozna uj postupy nedodr anie ktor ch m e sp sobi po kodenie zariadenia Pozn mky upozor uj na d le it Inform cie z textu 232 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod na Obsluhu 14 Bezpecnostne symboly Zariadenie je ozna en t mto symbolom ke mus pracovn k vych dza z n vodu aby chr nil s m seba predch dzal rizik m razu a po kodenia zariadenia W Zariadenie je ozna en t mto symbolom ke sa pracovn k mus po as innosti zariadenia zdr iava v dostato nej vzdialenosti Zariadenie je ozna en t mto symbolom ke u vate mus uzemni zariadenie TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 233 334 14 N vod na Obsluhu Uchov vanie Uchov vanie Ak chcete aby turbomolekul rne v vevy zna ky Agilent pod vali maxim lny a spo ahliv v kon dodr iavajte nasleduj ce pokyny neprekra ujte nasleduj ce podmienky prostredia po as prevozu pren ania a uchov vania v vev rozsah tepl t 40 C a 70 C rozsah relat vnej vlhkosti O a 90 bez kondenz cie z kazn k mus pri prvom spusten turbomolekul rnej v vevy v dy pou i re im soft tartu skladovate nos turbomolekul rnej v vevy je 12 mesiacov odo d a dodania POZOR Ak z ak hoko vek d vodu vypr as skladovate nosti zarladenia vr te v vevu do z vodu v ktorom bola vyroben Inform cie z s
12. the holes on the L shaped bracket Place the controller on the studs aligning the 4 rubber holes on the controller top Press the controller towards the bracket Turn the pump upside down Place the bracket on the pump bottom Screw a little bit the three screws M4 in the holes on the pump bottom Rotate the bracket until the controller is on the chosen position TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 8 Tighten the screws properly 9 Turn the pump up again 10 Plug the line cord and connect the pump cable to the pump 11 Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump Figure 41 Mounting 2 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 319 334 17 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Connection of the High Vacuum Flange In the case the rotor is suddenly blocked the torque arising from the system and the high vacuum flange must be absorbed Only the components listed in the following can be used to fasten the pump to the high vacuum flange It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the INSTRUCTION FOR USE section Specifically pay attention to clamp design material of clamps and bolts and bolt fixing torque If the pump is fastened on a vacuum chamber with different flange Agilent there exists the chance of twisting or tearing off in case the rotor is suddenly blocked The com
13. 334 6 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik EVS UG Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die indien niet correct uitgevoerd ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken vla vile beitel Bij dit synbool staat tekst met procedures die indien niet opgevolgsd schade aan apparatuur kunnen veroorzaken De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht 100 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bedrijfshandleiding 6 Veiligheidssymbolen Het apparaat drag dit symbool alleen wanneer de bediener de handleiding moet raadplegen teneinde zichzelf te behoeden voor letsels en het apparaat te beschermen tegen eventuele schade Het apparaat drag dit symbool wanneer de bediener op afstand moet blijven tijdens de werking van het apparaat Het apparaat drag dit symbool wanneer de gebruiker het apparaat moet aarden TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 101 334 6 Bedrijfshandleiding Opslag Opslag OORZICHTIG 102 334 Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan temperatuur van 40 C tot 70 C relatieve vochtigheid
14. Betydelse av logotypen WEEE p etiketterna Symbolen som visas nedan har till mpats i enlighet med CD direktivet som har betecknats som WEEE Den h r symbolen g ller endast i de lander som tillh r den Europeiska Unionen indikerar att produkten p vilken symbolen har applicerats INTE f r skaffas bort tillsammans med vanliga hush lls eller industriavfall men att d remot ett differentierat uppsamlingssystem m ste uppr ttas Vi rekommenderar d rf r att slutanv ndaren tar kontakt med leverant ren av anordningen oberoende om det handlar om moderf retaget eller terf rs ljaren f r att kunna starta uppsamlings och bortskaffningsprocessen detta efter l mplig kontroll av kontraktsenliga tidsgr nser och f rs ljningsvillkor N 2 Ny IL Ny P TJ NET ir X Z NI J 1 LS AY N NZ j Il DA i L N Na 1 vy Al f J SZ N NN E TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper Generell informasjon 149 Sikkerhetssymboler 151 Lagring 152 Klargjgre til installasjon 153 Installasjon 155 Festing av pumpen 158 Bruk av TwisTorr 84 FS 159 Vedlikehold 161 Eliminering 162 Oversetting av den opprinnelige samsvarserkleeringen o e o o e e e e e 148 gt Agilent Technologies 147 334 9 Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper Sikkerhetsanvisninger f
15. General Manager Agilent Vacuum Products Division Note Fax or mail the Customer Request for Action see backside page to Agilent Vacuum Products Division Torino Quality Assurance or to your nearest Agilent representative for onward transmission to the same address CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE PREVENTIVE IMPROVEMENT ACTION TO AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO QUALITY ASSURANCE FAX N XXXX 011 9979350 ADDRESS AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Lein TO Italy E MAIL vpd qualityassurance_pdl ext agilent com COMPANY FUNCTION ADDRESS PROBLEM SUGGESTION REFERENCE INFORMATION model n serial n ordering information time to failure after installation etc CORRECTIVE ACTION PLAN ACTUATION by AGILENT VPD XXX Code for dialing Italy from your country es 01139 from USA 00139 from Japan etc kod Agilent Technologies SHE Agilent Technologies Vacuum Products Division Instructions for returning products Dear Customer Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies see below taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form After evaluating the information Agilent Tec
16. I bruksanvisningen anv nds f ljande standardrubriker AVANT Varningsmeddelandena informerar operat ren om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete m ste utf ras exakt enligt anvisningarna annat fall finns risk f r sv ra personskador Pias Detta varningsmeddelande visas framf r procedurer som m ste f ljas exakt f r att inte risk f r maskinskada skall uppst Detta visar pa viktig information texten 134 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bruksanvisning 8 S kerhetssymboler Apparaten har markerats med den h r symbolen n r operat ren h nvisas till instruktionsboken f r att skydda sig mot risk f r kroppsskada och f r att skydda apparaten mot eventuella skador Apparaten har markerats med den h r symbolen n r operat ren ska h lla sig p avst nd n r apparaten r i funktion Apparaten har markerats med den h r symbolen n r anv ndare ska jorda apparaten TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 135 334 8 Bruksanvisning F rvaring F rvaring Respektera f ljande anvisningar f r att garantera optimal prestanda och drifts kerhet f r Agilent turbomolekyl ra pumpar Vid transport flytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomrade 40 C till 70 C Relativ fuktighet O till 90 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pumparna nar de mottas och s tts i drift f r f rs
17. Manual 87 901 043 01 51 334 3 Mode d emploi Indications generales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants NT ES ANTE Les messages d avertissement attirent l attention de l op rateur sur une proc dure ou une manoeuvre sp ciale qui effectu e de facon impropre risque de provoquer de graves l sions ait Les messages d attention apparaissent avant certaines procedures qui si elles ne sont pas observ es pourraient endommager s rieusement appareillage Les notes contiennent des renseignements importants isol s du texte 52 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Mode d emploi 3 Symboles de securite Ce symbole appos sur l appareil signale l op rateur qu il doit se reporter au mode d emploi pour sa propre securite et pour ne pas endommager l appareil O Ce symbole appos sur l appareil signale l op rateur qu il doit se tenir a distance de s curit pendant le fonctionnement de l appareil Ce symbole appos sur l appareil signale l utilisateur qu il doit mettre l appareil la terre TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 53 334 3 Mode d emploi Stockage Stockage ATTENTION 54 334 Pour garantir les performances et la fiabilit maximales des pompes Turbomol culaires Agilent il est indispensable de respecter les instructions suivantes Le transport la manutention et le stockage des pompes doivent imp rativement avoir lieu dans les c
18. Plastic Figure 34 Model X3502 68002 310 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Water Cooling Kit Connection Figure 35 Model X3502 68002 CAUTION The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure Figure 36 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 311 334 17 Technical Information Water Cooling Kit Connection The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or using a closed circuit cooling system The water temperature must be between 15 C and 25 C with an inlet pressure between 2 and 4 bar This allows a flow higher than 65 l h The water electrical conductance must be lt 500 us cm When the conductance is higher in closed water circuit the use of up to 20 of Ethyl Glycole is suggested 312 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Vent Accessories Vent Accessories The vent valve 969 9844 allows to avoid undesired venting of the pump during t
19. Schutzdeckel erst bei Anschluss der Turbopumpe an das System abnehmen TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 39 334 2 Gebrauchsanleitung Installation Abbildung 2 Abbildung 3 40 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Gebrauchsanleitung 2 Der Apparat nur in geschlossenen R umen installiert werden Er darf nicht in Umgebungen die ungesch tzt vor Wetter Regen Frost Schnee Staub und aggressiven Gasen sind und nicht in explosionsf higen oder erh ht brandgef hrdeten Umgebungen verwendet werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden Maximaler Druck 2 bar uber dem atmosph rischen Druck Temperatur von 5 C bis 35 C Relative Luftfeuchtigkeit O 90 nicht kondensierend Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen F r ausf hrliche Informationen siehe im Anhang Technical Information Die pumpe TwisTorr 84 FS d rfen nur mit einem der passenden Agilent Uontroller verwendet werden und m ssen an eine Prim rpumpe angeschlossen werden siehe Schema im Anhang Technical Information Die verf gbaren Controller sind folgende Tab 1 PART NUMBER CONTROLLER E X3508 64001 __ TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 mmm E A3908 64002 O a UiS TOT 84 FS AG Rack Profibus mme s A3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 220V nu E X3909 64001 8 TwisTorr 84 FS on board 24V 1 X3510 64000 Cont
20. Wartung 46 334 Die Pumpen TwisTorr 84 FS erfordern keine Wartung Eventuelle Eingriffe d rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef hrt werden Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen die Pumpe ber ffnung des entsprechenden Ventils bel ften und abwarten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengeh use unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Agilent Service oder der Agilent advanced exchange service in Anspruch genommen werden der ein general berholtes System als Ersatz f r das defekte System zur Verf gung stellt Bevor Fa Agilent ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst eingesandt wird ist das Formular Request for Return das diesem Handbuch belliegt ausgef llt an die rtliche Verkaufsstelle zu senden Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen Eine eventuelle Verschrottung des Systems hat unter Beachtung der einschl gigen nationalen Vorschriften zu erfolgen TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Gebrauchsanleitung 2 Entsorgung Bedeutung des WEEE Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in bereinstimmung mit der EU Richtlinie WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment angebracht Dieses Symbol nur in den EU L ndern g ltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer
21. a odosla miestnemu predajcovi K piu dotazn ka vlo te do bal ka so syst mom a odo lite spolu s n m Pokia je potrebn system definit vne vyradi z prev dzky likvid cia mus prebehn v s lade so pecifick mi predpismi danej krajiny TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 243 334 14 N vod na Obsluhu Likvid cia Likvid cia V znam loga WEEE nach dzaj ceho sa na t tkoch Aplikovanie doluozzna en ho symbolu dodr uje smernicu EU s n zvom WEEE Tento symbol platn iba pre t ty Eur pskej nie znamen e v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako delen odpad Vyz vame preto kone n ho u vate a aby sa skontaktoval s dod vate om pr stroja i u je to v robca alebo predajca za elom jeho likvid cie pod a zmluvn ch podmienok predaja 244 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual 00 0 15 0 Prirocnik za Navodila 8 Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 246 ki Splo ne informacije 247 Varnostni znaki 249 Shranjevanje 250 Priprava za monta o 251 Monta a 253 Pritrditev rpalke 256 Uporaba rpalke TwisTorr 84 FS 257 Vzdr evanje 259 Odlaganje opadkov 260 Prevod navodil v izvirniku 03 Agilent Technologies 25 331 e e e e 15 Priro nik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne rpa
22. c ble SI le contr leur ne peut pas tre installe dans le systeme d une mani re permettant acc der facilement au c ble d alimentation un dispositif interruption de alimentation lectrique generale different doit tre install alt Ne d coller l adh sif et ne retirer le couvercle de protection qu au moment de brancher la turbopompe au syst me TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 57 334 3 Mode d emploi Installation Figure 2 Figure 3 58 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 ATTENTION Mode d emploi 3 Installer cet appareil dans un endroit clos et ne jamais installer et ou utiliser la pompe dans un endroit expos aux agents atmosph riques pluie gel neige la poussi re des gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou fort risque d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales suivantes pression maxi 2 bar au del de la pression atmosph rique temp rature de 5 C a 35 C humidit relative 0 90 non condensante En pr sence de champs magn tiques la pompe doit tre prot g e l aide d crans appropri s Pour tout autre renseignement se reporter l opuscule Technical Information La pompe TwisTorr 84 FS doit tre utilis es uniquement avec un des contr leurs pr vus Agilent et doivent tre reli es une pompe primaire voir le sch ma en annexe Technical Info
23. con quale coppia di serraggio serrarli La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell apposita minuteria meccanica Agilent Per ulteriori dettagli vedere l appendice Technical Information La TwisTorr 84 FS non pu essere fissata tramite la sua base 26 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Istruzioni per l uso 1 Uso della TwisTorr 84 FS Assicurare il corretto utilizzo del apparecchiatura L operatore di questo strumento invitato ad utilizzare apparecchiatura nel modo specificato in questo manuale Il mancato rispetto delle indicazioni riportate in questo manuale pu compromettere la protezione fornita dal apparecchiatura Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell unit di controllo Leggere attentamente tale manuale prima del utilizzo Per raggiungere migliori pressioni limite e possibile riscaldare il sistema Durante eventuale riscaldamento della camera da vuoto la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 C con flangiatura ConFlat e a 80 C con flangiatura ISO Usare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non collegata alla camera a vuoto o non chiusa con la flangia di chiusura Non toccare la turbopompa e I suoi eventuali accessori durante le operazioni di risca
24. do not change as the inlet screen remains integrated into the center ring TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 307 334 17 Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation 308 334 An air cooling kit 969 9290 is available to improve the TwisTorr 84 FS cooling during operational conditions Fan specifications airflow 12 8 l s 27 1 CFM input voltage 24 Vdc dimensions 60 x 60 x 25 mm 2 36 x 2 36 x 0 98 in power 2 6 W Figure 32 The fan bracket is shaped so that it can be mounted on the pump bottom fixing thread M3 diameter 80 75 mm When the pump is powered by the rack C U the use of the fan extension cable 969 9940 is recommended TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 To fix the fan to the TwisTorr 84 FS pump bottom proceed as follows see figure below 1 Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws 2 Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller 3 Connect the fan supply to the P4 connector of the controller Figure 33 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 309 334 17 Technical Information Water Cooling Kit Connection Water Cooling Kit Connection A water cooling kit is available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient The model part numbers are X3502 68002 Metal X3502 68003
25. en term n a smluvn ch podm nek postar o kompletn likvidaci uveden ho v robku 228 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual 14 Navod na Obsluhu Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne vyvevy 230 V eobecn Inform cie 231 Bezpe nostn symboly 233 Uchov vanie 234 Pr prava na In tal ciu 235 In tal cia 237 Upevnenie vyvevy240 Pou itie v vevy TwisTorr 84 FS 241 dr ba 243 Likvid cia 244 Preklad origin lneho n vodu i Agilent Technologies 229 334 e e e e 14 N vod na Obsluhu Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy Turbomolekul rne v vevy op san v nasleduj cej pr ru ke sa vyzna uj vysokou kinetickou energiou a to v aka vysokej r chlosti ot ania v kombin cii so pecifickou hmotnos ou svojich rotorov V pr pade syst movej poruchy napr pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomen rotora sa mo e uvolni rota n energia NEBEZPE Pokyny k in tal cii uveden v tomto n vode musia by d sledne dodr ovan aby nedoslo k po kodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy 230 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod na Obsluhu 14 V eobecn Inform cie Toto zariadenie je ur en pre profesion lnych pracovn kov Sk r ne za nete zariadenie pou va pre tajte si n vod na pou itie a v etky al ie pokyny spolo n
26. enkelte gastype Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser Pumpen er konstrueret til at have en h j overf rsel af kv lstof argon og lettere gasser S fremt der er behov for at pumpe gasser som er tungere end argon skal man kontakte den tekniske kundeservice hos Agilent for yderligere oplysninger TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Istruktionsbog 7 Vedligeholdelse Pumpen TwisTorr 84 FS kreever ikke nogen form for vedligeholdelse Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale Inden der foretages noget som helst indgreb p systemet skal str mmen f rst afbrydes og luften i pumpen skal fjernes ved at bne ventilen Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset og til temperaturen p pumpens overflade er under 50 C I tilf lde af skader p systemet kontaktes et Agilent reparationsv rksted eller Agilent advanced exchange service der udskifter systemet med et repareret system Inden pumpen sendes til konstrukt rens reparationsv rksted eller advanced exchange service skal Request for Return der er vedlagt denne instruktionsmanual udfyldes og sendes til den lokale forhandler En kopi af dette dokument skal inds ttes i systemets emballage inden afsendelse Skrotning af et system skal foreg i overensstemmelse med det p g ldende lands s rlige love TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 129 334 7 Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse 130 334 Betydni
27. evitar problemas de desgasificaci n no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vac o Utilizar siempre guantes u otra protecci n adecuada La TwisTorr 84 FS no puede da arse permaneciendo simplemente expuesto a la atm sfera De todas formas se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminaci n por polvo TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 71 334 Manual de istrucciones 4 Preparacion para la instalacion X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 Figura 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 72 334 Manual de istrucciones 4 Instalaci n ADVERTENCIA ADVERTENCIA La bomba funciona a alta velocidad de rotaci n Si la bomba se env a junto con el controlador las partes giratorias se protegen mediante una barrera mec nica para prevenir el contacto Si la bomba se env a sin controlador no se suministra la barrera mec nica Puesto que la bomba no puede funcionar sin controlador se solicita instalar la bomba antes de accionarla El funcionamiento de la bomba sin que se la conecte al sistema permite tocar las partes en movimiento que pueden provocar graves accidentes El cable de alimentaci n del controlador tambi n lleva a cabo la funci n de desconexi n de la alimentaci n el ctrica del controlador y de la bomba en caso de emergencia Asegurarse de que se pueda acceder f cilmente a
28. houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 103 334 Bedrijfshandleiding Uitpakken X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 Figuur 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 104 334 Installatie AARSCHUWING AARSCHUWING Bedrijfshandleiding 6 De pomp draait aan hoge snelheid Als de pomp samen met de controller verstuurd wordt worden de draaiende onderdelen beschermd met een mechanische barriere om contact te voorkomen Als de pomp zonder de controller verstuurd wordt is deze mechanische barriere niet aanwezig Omdat de pomp niet zonder controller kan functioneren wordt gevraagd de pomp te installeren vooraleer in te schakelen Het in werking stellen van de pomp zonder dat die aangesloten is op het systeem maakt het mogelijk de bewegende onderdelen aan te raken die anders ernstige letsels zouden kunnen veroorzaken De voedingskabel van de controller dient ook om de elektrische voedin van de controller en de pomp los te koppelen in een noodsituatie Zorg ervoor dat de elektrische kabel makkelijk bereikt kan worden om losgekoppeld te worden Voorzie voldoende ruimte achter de stroomingang van de controller om de kabel los te koppelen Als de controller niet geinstalleerd kan worden in het systeem zodat de voedinskabel makkelijk bereikbaar is moet een ander systeem voorzien worden om de
29. if the effect is greater then the application should be carefully reviewed by Agilent s specialist As a matter of fact in case of high magnetic fields also important forces might be generated and applied to the rotor TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 327 334 17 Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Accessories and spare parts Description Part Numbers W Mains cable NEMA plug 3mlong 099998 nn W Mains cable European plug 3m long cc 969 9997 mm Serial cable and T plus software don 969 9883 cc W Inlet screen IS063 nn X9002 68001 a Inlet screen CFF4 9 cc 23902 68000 W Inlet screen KF40 969 9309 nn Inlet screen CFF 2 75 soo 969 9828 n W Metal Water Cooling kit co KNS902 68002 m Plastic Water cooling kit mms ABB a E Air cooling kit 0 5 m cable OU 0 o W Air cooling kit extension cable 0M 2699940 lt lt Controller side mounting bracket n X3902 68006 W Vibration isolator BA v W Vibration isolator CFF 45 mm 209 9376 mm n Vent Valve N O 0 5 mm orifice 0 9 m cable 9099844 lt m Vent Valve extension cable 9 m AA nn W Vent Screw MO oa 890268008 m Purge Screw MASO OBA 0 N Purge valve 10 SCCM NWIS6KF M12 9099239 eh ai Purge valve 10 SCCM Swagelok MI2 00 9699240 a W Purge valve 20 SCCM NWIGKF MIZ 969924 gt 73 7Doo W Purge valve 20 SCCM Swagelok M12 RR lt lt lt NN Purge valve 10 SCCM
30. kaavakkeen kopio tulee liitt j rjestelm n pakkaukseen ennen sen l hett mist Mik li j rjestelm t ytyy romuttaa toimikaa sen h vitt misess kansallisen lains d nn n m r m ll tavalla TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 177 334 10 Ohjek sikirja H vitt minen H vitt minen Pakkausmerkinn iss olevan WEEE logon merkitys Alla n kyv merkki on lis tty pakkaukseen EY n ns WEEE direktiivin mukaisesti Merkki koskee ainoastaan Euroopan Unionin j senmaita tarkoittaa ett tuotetta EI saa h vitt tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen ker yspisteeseen Loppukayttajaa kehotetaan sen vuoksi ottamaan ker ys ja h vitt misprosessia varten yhteytt laitteen toimittajaan olipa se sitten laitteen valmistaja tai jalleenmyyj tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot 178 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual 00 000 11 0 Felhaszn l i K zik nyv 8 s Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 180 Mi Altalanos informaico 181 Biztonsagi jelz sek 183 Tarolas184 El k szit s telepitesre 185 Telepites 187 A szivattyu r gzitese 190 A TwisTorr 84 FS hasznalata 191 Karbantartas 193 Megsemmisites 194 Az eredeti utasitas forditasa 03 Agilent Technologies 179 33 e e e e 11 Felhaszn l i K zik nyv Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivattyukho
31. kodit lo iska Pro odplyn n v v vy pou vejte vzduch nebo inertn plyn kter je zbaven prachu a sm tek lak p i odv tr vac m otvoru mus b t men ne 2 bary nad atmosferickym tlakem Pro erp n plyn s obsahem pevn ch stic nebo agresivn ch zne i uj c ch l tek jsou tyto v v vy vybaveny speci ln m otvorem vestav n m pro i t n odvzdu n n pot ebn m pro zaji t n p toku inertn ho plynu dus ku h lia nebo argonu za elem ochrany lo isek v v vy viz dodatek Technical Information POZOR V v vu nikdy nepou vejte za p tomnosti korozivn ch plyn nebo v par kter by mohly po kodit jej vnit n materi ly Pokud pou v te vyv vu pro erp n toxick ch ho lav ch nebo radioaktivn ch plyn dodr ujte pros m po adovan postupy pro likvidaci ka d ho plynu V v vu nepou vejte v p tomnosti v bu n ch plyn V v va byla navr ena pro vysok p enos dus ku argonu a dal ch leh ch plyn V p pad e by s n bylo t eba erpat t plyny obra te se ohledn dal ch informac na servisn slu bu firmy Agilent 226 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod k Pouziti 13 dr ba V v va TwisTorr 84 FS nevy aduje dnou dr bu Ve ker pr ce na tomto zarizeni mus prov det opr vn n osoby 114 132230188 Ne za nete prov d t jak koli pr ce na tomto za zen odpo
32. ller vid drift maximitryck 2 bar over atmosf riskt tryck temperatur fr n 5 C till 35 C relativ luftfuktighet 0 90 utan kondens I n rvaro av magnetf lt ska pumpen skyddas med en s rskild sk rm Se bilagan Technical Information f r ytterligare upplysningar Pumpen TwisTorr 84 FS ska endast anv ndas med en av de speciella Agilent systemen och m ste anslutas till en huvudpump se schemat i bilagan Technical Information F ljande kontrollsystem finns tillg ngliga Tab 1 DELNUMMER KONTROLLSYSTEM E X3908 64001 TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 u W X3908 64002 TwisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc j X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 cc M X3909 64001 en TwisTorr 84 FS on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB MASA TwisTorr 84 FS verensst mmer med installationsklass som f rutses av standard SS EN 61010 1 Anslut d rf r anordningen till ett f rs rjningsn t som uppfyller kraven f r den h r klasssen Installation av tillbeh rsutrustning beskrivs i Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 141 334 8 Bruksanvisning Fasts ttning av pumpen Fasts ttning av pumpen VARNING Om de h r installationsinstruktionerna inte iakttas kan det leda till att pumpen kommer loss fr n systemet om det uppst r en skada p rotorn vilket orsakar allvarliga materialskador kroppsskador eller d den TwisTorr 84 FS
33. m a prachem TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 219 334 N vod k Pou iti 13 P prava k instalaci Obr zek 1X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 220 334 Instalace NEBEZPE NEBEZPE N vod k Pou it 13 V v va se b hem sv innosti ot vysokou rychlost Kdy je v v va odesl na spolu s dic jednotkou ot ej c se sou sti jsou chr n ny mechanickou bari rou kter zabra uje doteku Kdy je v v va odesl na bez d c jednotky nen vybavena mechanickou bari rou Vzhledem k tomu e v v va nem e pracovat bez d c jednotky pros me v s o proveden instalace v v vy p ed jej m uveden m do chodu innost v v vy bez p ipojen k syst mu umo uje dotknout se pohybuj c ch se sou st kter mohou zp sobit v n pracovn razy Nap jec kabel d c jednotky slou tak k odpojen elektrick ho nap jen samotn d c jednotky i v v vy v nouzov m stavu Ujist te se e je mo n snadno dos hnout kabelu elektrick ho nap jen za elem jeho odpojen Zajist te vhodn prostor za nap jec z suvkou d c jednotky kv li odpojen kabelu Kdy nelze prov st instalaci d c jednotky do syst mu tak aby byl nap jec kabel snadno dostupn je t eba nainstalovat jin syst m odpojen hlavn ho elektrick ho nap jen
34. nebo p i zhroucen rotoru m e doj t k uvoln n rota n energie 3 34 28108 Pokyny k instalaci uveden v tomto n vodu mus b t p sn dodr ov ny za elem prevence po kozen za zen a zran n obsluhy 214 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod k Pouziti 13 V eobecn Informace Toto zarizeni je ur eno pro odborn ky U ivatel by si m l pred pou it m zarizeni precist tento n vod a v echny dal informace dodan firmou Agilent Firma Agilent neodpov d za jak koli nehody kter vzniknou n sledkem i ste n ho nedodr en t chto pokyn nespr vn m pou v n m neznal mi osobami neopravn nym z sahem do zarizeni nebo jakoukoli innost kter je v rozporu s pokyny uveden mi v pr slusnych st tn ch norm ch TwisTorr 84 FS je turbomolekul rn vyv va pro vysokovakuov a ultra vysokovakuov aplikace kter je schopna erpat jak koli druh nekorozivn ho plynu nebo plynn slou eniny ale nehod se pro erp n tekutin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turb na max 81000 ot min pohan na vysoce v konn m trojf zov m elektromotorem Vyv va TwisTorr 84 FS neobsahuje dn kontaminujici l tky a proto se hod 2 ZII pro aplikace vyZadujici ist vakuum N sledujici odstavce obsahuj informace potrebn k zajist ni bezpe nosti obsluhy pri pouzivani tohoto zarizeni Podrobn informace jsou uvedeny v pr l
35. nobenem primeru pa je ne uporabljajte v prostorih ki so izpostavljeni vremenskim dejavnikome deZ sneg led prahu agresivnim plinom ali v okoljih kjer obstaja nevarnost poZara Tekom delovanja je treba sposotvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere Temperatura od 5 C do 35 C Relativna vla nost 0 90 brez kondenza V prisotnosti magnetnih polje mora rpalka biti za itena s feromagnetnim itom Za dodatne informacije glejte prilogo Technical Information Turbomolekularne rpalke TwisTorr 84 FS se lahko uporabljajo samo s primernimi krmilniki Agilent in morajo biti priklju ene na primarno rpalko glej sliko v dodatku Technical Information Primerni krmilniki so slede i Tab 1 T DELA KRMILNIK E X3908 64001 TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 E X3908 64002 ne is Torr 84 FS AG Rack Profibus cc E X3909 64000 SRA m E X3909 64001 nen TwisTorr 84 FS on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB POZOR Crpalka TwisTorr 84 FS je skladna z Il razredom namestitve ki ga dolo a standard EN 61010 1 Napravo prilju ite na napetost ki je v vskladu z zgornjo kategorijo Za namestitev opcijski dodatkov glej Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 255 334 15 Priro nik za Navodila Pritrditev rpalke Pritrditev rpalke SVARILO Neupo tevanje teh navodil glede namestitve lahko v primeru okvare
36. on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB POZOR Vyveva Twiss Torr 84 FS je ve shode s kategori instalace Il stanovenou normou EN 61010 1 Za zen p ipojte do nap jec s t kter spl uje uvedenou t du Chcete li informace o dopl kov m p slu enstv viz Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 223 334 13 N vod k Pou it Upevn n v v vy Upevn n v v vy NIA 7244 MW Nedodr en t chto pokyn pro instalaci m e v p pad v skytu poruchy rotoru zp sobit odd len erpadla od syst mu s n sledn m v n m zran n m nebo dokonce smrt V v vu TwisTorr 84 FS lze instalovat do libovoln polohy Upevn te v v vu TwisTorr 84 FS ve stabiln poloze a to tak e vstupn p rubu namontujete k protip rub syst mu prost ednictv m spoje kter kolem sv osy snese kroutic moment 250 Nm P rubu ISO K lze upevnit svorkami s oceli s vysokou odolnost jako nap model IC 63250 DCMZ od firmy Agilent N e uveden tabulka obsahuje pot ebn po et svorek IC 63250 DCMZ pro ka dou velikost p ruby spole n s utahovac m momentem Tab 2 P RUBA P CHYTN ZA ZEN PO ET UTAHOVAC MOMENT ISO 63 K Pr chytky M10 4 22 Nm Turbomolekul rn vyv va se vstupn pr rubou ConFlat se mus p ipevnit k vakuov komo e pou it m p slu n ho materi lu firmy Agilent Viz podrobn popis v priloze Technic
37. ou si elle n est pas ferm e avec la bride de fermeture Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les operations de chauffage La temp rature lev e peut tre l origine de l sions graves Lorsque la turbopompe fonctionne viter tout choc oscillation ou d placement brusque car les paliers pourraient se d t riorer Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussi re ou de particules La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf rieure 2 bar au del de la pression atmosph rique Pour le pompage de gaz contenant des particules ou des polluants agressifs ces pompes sont dot es d une purge vent travers laquelle il est n cessaire de fournir la pompe un flux de gaz inerte azote h lium ou argon pour prot ger les paliers voir l annexe Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 61 334 3 Mode d emploi Utilisation de la TwisTorr 84 FS alt N utilisez jamais la pompe en presence de gaz ou de vapeurs corrosifs pouvant endommager le mat riau interne de la pompe NAAA No Lorsque la pompe est utilis e pour le pompage de gaz toxiques inflammables ou radioactifs suivre les proc dures typiques de chaque gaz Ne pas utiliser la pompe en pr sence de gaz explosifs La pompe a t concue pour assurer un transfert lev d azote d argon et de gaz plus l gers En cas de n ces
38. para cada tamano de brida el n mero de mordazas IC63250DCMZ necesarias y el par de apriete para apretarlas Tab 2 BRIDA TIPO DE MORDAZA N PAR DE APRIETE ISO 63 K Mordaza doble con rosca M10 4 22 Nm La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la c mara de vacio mediante los accesorios mec nicos especificos Agilent Para m s detalles v ase el anexo Technical Information La TwisTorr 84 FS no puede fijarse utilizando su base 16 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de istrucciones 4 Uso de la TwisTorr 84 FS LOMAN Asegurar el uso correcto del equipo ADVERTENCIA TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Se aconseja al operador de este instrumento que utilice el equipo de la forma especificada en este manual El incumplimiento de las indicaciones citadas en este manual puede comprometer la protecci n suministrada por el equipo En el manual de la unidad de control se encuentran todas las instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo bomba Leer atentamente este manual antes de su uso Para obtener mejores presiones de m xima es posible calentar el sistema Durante el calentamiento de la c mara de vac o la temperatura en la brida de entrada no debe superar los 120 C con acoplamiento ConFlat y los 80 C con acoplamiento ISO Usar siempre refrigeraci n por agua durante las operaciones de calentamiento No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de
39. parallel spiral pumping channels designed to pump in centrifugal direction on one side and in centripetal direction on the other side These are made of aluminium alloy During normal operation the motor is fed with a voltage of 54 Vac three phase at 1350 Hz To reduce losses during start up to a minimum the frequency increases according to a ramp with a higher Initial voltage frequency ratio The pump must always be cooled before starting using it Running the pump without cooling it could damage inside components The pump can be water cooled or air cooled in the first case an external optional water cooling kit is available model X3502 68002 X3502 68003 in the second case an external optional fan is available model 969 9290 A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheatins If the thermistor reading exceeds 60 C the pump fails and stops with Error Code 2 If the thermistor reading is below O C the pump fails and stops with Error Code 1 see Controller Manual The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange 282 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Technical Specification Max gas throughput e water cooling ambient temperature 35 C water temperature 25 C backing pump 5 m3 h e air cooling ambient temper
40. part O Returns for credit toward the purchase of new or refurbished Products are subject to prior Agilent approval and may incur a restocking fee Please reference the original purchase order number O Units returned for evaluation will be evaluated and a quote for repair will be issued If you choose to have the unit repaired the cost of the evaluation will be deducted from the final repair pricing A Purchase Order for the final repair price should be issued within 3 weeks of guotation date Units without a Purchase Order for repair will be returned to the customer and the evaluation fee will be invoiced O Products returned that have not been drained from oil will be disposed O A Special Cleaning fee will apply to all exposed products O If requesting a calibration service units must be functionally capable of being calibrated Page 2 of 3 Agilent VPD Request for Return ER Agilent Technologies Vacuum Products Division Request for Return Form Fax Product description Agilent PartNo Agilent Serial No Original Purchasing Reference Failure description Type of process for which the equipment was used Type of return LI Non Billable Billable New PO hard copy must be submitted with this form C Exchange Repair Upgrade LJ Demo I Calibration Evaluation LJ Return for Credit Health and safety Substances please refer to MSDS forms gt Agilent will not accept delivery of any product that is exposed to radioac
41. rotorja povzro i odklop rpalke s sistema s posledi nimi okvarami hudimi po kodbami ali celo smrtjo TwisTorr 84 FS lahko montirate v tevilne pozicije TwisTorr 84 FS namestite v stabilen polo aj tako da pritrdite vhodno prirobnico turbo rpalke na tevno prirobnico s tako spojko ki lahko prena a navor 250 Nm okoli svoje osi ISO K prirobnico lahko pritrdite s pomo jo visoko odpornih jeklenih dr al kot pri modelu Agilent IC 63250 DCMZ V naslednji tabeli je za vsako velikost prirobnice navedeno tevilo dr al IC63250DCMZ in navor ki je potrebnen za njihovo pritrditev Tab 2 PRIROBNICA NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE N NAVOR ISO 63 K M10 drzala 4 22 Nm Turbo rpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko le i e s pomo jo primerne Agilent strojne opreme Za dodatne informacije glejte prilogo Technical Information Naprave TwisTorr 84 FS ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo 256 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Priro nik za Navodila 15 Uporaba Crpalke TwisTorr 84 FS SVARILO SVARILO Poskrbite za pravilno uporabo naprave Upravljavcu tega orodja svetujemo da napravo uporablja v skladu z navodili iz tega prirocnika V primeru neupo tevanja navodil iz tega prirocnika je zascita ki jo naprava zagotavlja lahko okrnjena Vsa navodila za pravilno delovanje turbo rpalke se nahajajo v priro niku kontrolne enote Pazljivo preberite ta priro
42. shall not be liable for errors or for incidental or consequential damages in connection with the furnishing use or performance of this document or of any information contained herein Should Agilent and the user have a separate written agreement with warranty terms covering the material in this document that conflict with these terms the warranty terms in the separate agreement shall control Technology Licenses The hardware and or software described in this document are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime contract or subcontract Software is delivered and licensed as Commercial computer software as defined in DFAR 252 227 7014 June 1995 or as a commercial item as defined in FAR 2 101 a or as Restricted computer software as defined in FAR 52 227 19 June 1987 or any equivalent agency regulation or contract clause Use duplication or disclosure of Software is subject to Agilent Technologies standard commercial license terms and non DOD Departments and Agencies of the U S Government will receive no greater than Restricted Rights as defined in FAR 52 227 19 c 1 2 June 1987 U S Government users will receive no greater than Limited Rights as defined in FAR 52 227 14 June 1987 or DFAR 252 227 7015 b 2 November 1995 as applica
43. spolu s riadiacou jednotkou ot aj ce sa asti s chr nen mechanickou bari rou ktor zabra uje kontaktu Ke je v veva dodan bez riadiacej jednotky nie je vybaven mechanickou bari rou Vzh adom k tomu e v veva nem e pracova bez riadiacej jednotky pros me v s o In tal ciu v vevy pred jej uveden m do chodu Ak nie je v veva pripojen k syst mu po as jej innosti je mo n kontakt s pohybuj cimi sa as ami o m e sp sobi v ny pracovn raz Nap jac k bel riadiacej jednotky slu i aj na odpojenie elektrick ho nap jania samotnej riadiacej jednotky i v vevy v n dzovom stave Uistite sa e k bel elektrick ho nap jania je ahko pr stupn kv li jeho odpojeniu Zaistite vhodn priestor za nap jacou z suvkou riadiacej jednotky kv li odpojeniu k bla Ke nie je mo n nain talova riadiacu jednotku do syst mu tak aby bol nap jac k bel ahko pr stupn je potrebn nain talova in syst m odpojenia hlavn ho elektrick ho nap jania Neodstra ujte leplacu p sku a ochrann uz ver sk r ne pripoj te turbov vevu k syst mu TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 237 334 14 N vod na Obsluhu In tal cia Obr zok 2 Obr zok 3 238 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod na Obsluhu 14 Toto zariadenie inStalujte vyhradne do uzavret ho prostredia a nepou vajte ho v prostred ktor je vystaven vonkaj m vplyv
44. toimintaan liittyv t ohjeet l yd t valvontayksik n k ytt oppaasta Lue t m k ytt opas huolellisesti ennen k yt n aloittamista Voit saavuttaa parhaat rajapaineet l mmitt m ll j rjestelm n Tyhji kammion mahdollisen l mmitt misen yhteydess imulaipan l mp tilan ei tule nousta 120 C yl puolelle ConFlat laipoituksella ja 80 C yl puolelle ISO laipoituksella K yt vesij hdytyst aina l mmitystoimenpiteiden aikana lk k ytt k pumppua ellei sis ntulolaippaa ole kytketty tyhji kammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin l mmitt misen aikana Korkea l mp tila saattaa aiheuttaa henkil iden loukkaantumisia TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 175 334 10 Ohjek sikirja TwisTorr 84 FS k ytt HUOMIO V lt kolhuja heiluntaa tai kkiliikkeit turbopumpun toiminnan aikana sill laakerit voivat vahingoittua K yt pumpun ilmansy tt n ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Erityisen aukon l pi sy tett v n paineen tulee olla alle 2 baaria yli atmosf risen paineen Pumput on varustettu hiukkasia tai saasteita sis lt vien aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla Integroitu purge vent jonka l pi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja typpi helium tai argon laakereiden suojaamiseksi katso Technical Information liite lk koskaan k ytt k pumppua jos paikalla on sy
45. van 0 tot 90 2 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 12 maanden vanaf de verzenddatum Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Uitpakken OORZICHTIG Bedrijfshandleiding 6 De TwisTorr 84 FS wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor Zorg er bij het uitpakken voor dat de TwisTorr 84 FS niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 94 62 CE en daaropvolgende wijzigingen Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacuum in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming De TwisTorr 84 FS kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te
46. with ISO 63 high vacuum flange Model X3502 64001 with KF40 high vacuum flange Model X3502 64002 with ConFlat 4 5 external diameter high vacuum flange Model X3502 64003 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum flange The following figures show the 4 models Figure 4 Model X3502 64000 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 279 334 17 Technical Information Description of the TwisTorr 84 FS Figure 5 Model X3502 64001 Figure 6 Model X3502 64002 280 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Figure 7 Model X3502 64003 Pump Description The TwisTorr 84 pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 9 bladed stages and 3 TwisTorr drag stages The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end The turbine is made of high strength aluminium alloy machined from a single block The TwisTorr stages are in the form of four disks The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump The static blades of the stator are made of stainless steel These are supported and accurately positioned by spacer rings TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 281 334 17 Technical Information Description of the TwisTorr 84 FS The TwisTorr stators are in the form of selfpositioning machined disks On each disk there are
47. ytt ohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja k ytt jien vahingoittumisen v ltt miseksi 164 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Ohjek sikirja 10 Yleisi tietoja T m laite on tarkoitettu ammattimaiseen k ytt n Ennen laitteen kayttoonottoa tulee kayttajan lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lis tiedot Agilent ei ota vastuuta seurauksista jotka johtuvat laitteen k ytt ohjeiden t ydellisest tai osittaisesta laiminly nnist ammattitaidottoman henkil n virheellisest laitteen k yt st valtuuttamattomista toimenpiteista tai kansallisen lains d nn n vastaisesta k yt st TwisTorr 84 FS on turbomolekyylipumppu korkean ja ultrakorkean tyhji n k ytt varten joka kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisi kaasuja tai kaasuyhdisteit mutta ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 81000 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jota k ytt korkeatehoinen kolmivaiheinen s hk moottori TwisTorr 84 FS j rjestelm ss ei ole lainkaan likaavia aineita joten se soveltuu my s puhdasta tyhji t vaativiin k ytt tarpeisiin Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen k ytt j n turvallisuuden takaamiseksi laitteen k yt n aikana Yksityiskohtaiset tiedot l ytyv t osasta Technical Information TwisTorr 84 FS User Ma
48. 0 psi Pwr supply Input Voltage 76 Vac 3 Phase provided by the controller Input Frequency 1350 Hz max provided by the controller Max input pwr 130 VA Stand by pwr 8 W Max oper power 70 W according to controller model with water or air cooling Installation category Il Pollution degree 2 Storage temperature 40 C to 70 C Max operating altitude 3000 m t average value standard deviation 284 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Technical Specification Weight kg lbs Pump ISO 63 2 05 kg Pump CFF 4 5 3 50 Kg Pump KF 40 2 37 kg Pump CFF 2 75 3 34 kg TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 285 334 17 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS Outline The following figures show the TwisTorr 84 FS dimensions are in mm inches Figure 8 TwisTorr 84 FS ISO 63 X3502 64000 286 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 IWISIOrr 04 Fo UU tline FORLINE FLANGE VENT SCREW ELECTRICAL CONNECTOR Figure 9 TwisTorr 84 FS KF 40 X3502 64001 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 287 334 17 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline FORLINE FLANGE VENT SCREW Figure 10 TwisTorr 84 FS CFF 4 5 X3502 64002 288 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 IWISIOrr 04 Fo UU tline FORLINE FLANGE VENT SCREW ELECTRICAL CONNECTOR
49. 01 043 01 Technical Information 17 Attach the units and tighten each screw in turn Repeat the sequential tightening until the flange faces meet Tighten the screws with a torque of 20 Nm For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware To facilitate assembly and dismantling apply Felpro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that in some cases the connections can be made only with the bolt in the lower side CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 323 334 17 Technical Information Connection of the Fore Vacuum Pump Connection of the Fore Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the TwisTorr 84 FS pump to the forevacuum pump A hose or vacuum approved pipe can be used If a rigid pipe is used any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows The TwisTorr 84 FS pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil back streaming 324 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage
50. 3 Inlet screen installation 304 Air Cooling Kit Installation 308 Water Cooling Kit Connection 310 Vent Accessories 313 Vibration Isolator Installation 315 Purge Valve Installation 316 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Contents TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation 317 Connection of the High Vacuum Flange 320 Connection of the Fore Vacuum Pump 324 Pump Used with Corrosive Gases 325 Pump Used in Presence of Magnetic Fields 327 Accessories and Spare Parts 328 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 13 334 Contents 14 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual Istruzioni per uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16 Informazioni Generali 17 Simboli di Sicurezza 19 Immagazzinamento 20 Preparazione per l installazione 21 Installazione 23 Fissaggio della pompa 26 Uso della TwisTorr 84 FS 27 Manutenzione 29 Smaltimento 30 Traduzione delle istruzioni original i Agilent Technologies 1 3 e e e e 1 Istruzioni per uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolar Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocita di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rot
51. 4 FS does not require any maintenance Any work must be carried out by authorized personnel Before carrying out any work on the system disconnect it from the mains vent the pump by opening the appropriate valve wait until the rotor has stopped rotating and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakdown contact your local Agilent service center or Agilent advanced exchange service who can supply a reconditioned system to replace that broken down Before returning the pump to the constructor for repairs or advanced exchange service the Request for Return sheet attached to this instruction manual must be filled in and sent to the local sales office A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping If a system is to be scrapped it must be disposed of in accordance with the specific national standards TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 275 334 16 Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the WEEE logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment Directive This symbol valid only in countries of the European Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end user is therefore invited to contact the supplier o
52. 4001 X3502 64002 X3502 64003 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 252 334 Montaza SVARILO SVARILO Priro nik za Navodila 15 Crpalka deluje z visoko rotacijsko hitrostjo Ce rpalko prejmete skupaj s krmilnikom so vrtljivi deli za iteni z mehansko zaporo da se prepre i njihov dotik e rpalko prejmete brez krmilnika nima mehanske zapore Ker rpalka brez krmilnika ne more delovati jo morate pred zagonom namestiti V primeru delovanja rpalke brez vezave na sistem so gibljivi deli prosto dostopni kar lahko povzro iti hude po kodbe Elektri ni napajalni kabel krmilnika slu i tudi za izklop elektri nega napajanja krmilnika in rpalke v primeru sile Poskrbite da bo napajalni kabel naprave prosto dostopen tako da po potrebi lahko vti izvle ete iz vti nice Zagotovite dovolj prostora v predelu za napajalno vti nico krmilnika tako da lahko izvle ete vti kabla e krmilnika ni mogo e namestiti v siistem tako da je napajalni kabel prosto dostopen je treba predvideti druga en sistem za odklop z glavnega elektri nega napajalnega omre ja Lepljiv in za itni pokrov ne odstranjujte dokler ne pove ete turbo rpalko na sistem TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 253 334 15 Priro nik za Navodila Monta a Slika 2 Slika 3 254 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Priro nik za Navodila 15 To napravo lahko namestite le v zaprte prostore v
53. 84 FS User Manual 87 901 043 01 33 334 2 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgenderma en hervorgehoben WARNUNG Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausf hrungsweise die bei unkorrekter Ausf hrung schwere Verletzungen hervorrufen k nnten VORSICHT Die Vorsichtshinweise werden vor Vorg ngen angegeben die bei Nichtbeachtung Sch den an der Anlage verursachen k nnten Die Hinweise enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden 34 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Gebrauchsanleitung 2 Sicherheits Symbole Das Ger t ist mit diesem Symbol gekennzeichnet wenn der Bediener im Handbuch nachschlagen soll um sich selbst und das Ger t vor Sch den zu sch tzen Das Ger t ist mit diesem Symbol gekennzeichnet wenn der Bediener sich w hrend des Betriebs davon fernhalten soll Das Ger t ist mit diesem Symbol gekennzeichnet wenn der Bediener es an die Masse anschlie en soll TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 35 334 2 Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung VORSICHT 36 334 Um ein H chstma an Effizienz und Zuverl ssigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gew hrleisten sind die folgenden Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen d rfen die folgenden Grenz
54. FS User Manual 87 901 043 01 Instruksjon Manual 9 Dette apparatet skal bare installeres i lukkede miljger og skal ikke installeres eller brukes systemet i miljger som utsettes for regn sng eller is stgv aggressive gasser eksplosjonsfarlige miljger eller miljger med stor brannfare Under bruk m folgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur fra 5 C til 35 C relativ fuktighet 0 90 uten kondens Ved magnetfelt m pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer Se Technical Information for detaljer Pumpen TwisTorr 84 FS skal kun brukes sammen med en av de egnede Agilent styreenhetene og den m koples til en hovedpumpe se skjema i tillegget Technical Information F lgende styreenheter kan brukes Tab 1 DELENUMMER STYREENHET E X3908 64001 nen TisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 cc W X3908 64002 TwisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc j X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 u M X3909 64001 ne TwisTorr 84 FS on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB Jets gfe TwisTorr 84 FS samsvarer med installasjonskategori Il i henhold til forskriften EN 61010 1 Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen For installasjon av tilleggsutstyr vises det til Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 157 334 9 Instruksjon Manual Festing av pumpen
55. Konserwacja Konserwacja Pompa TwisTorr 84 FS nie wymaga Zadnej konserwacji Jakakolwiek interwencja musi by wykonana przez upowazniony personel Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie nalezy odtaczyc go od zasilania otworzy odpowiedni zaw r wlotu powietrza odczeka a do catkowitego zatrzymania wirnika i odczeka az temperatura powierzchni pompy bedzie ponizej 50 C W przypadku usterki mozliwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Agilent lub Agilent advanced exchange service kt ry pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zastepstwie uszkodzonego systemu Przed wysytka systemu do konstruktora celem naprawy lub advanced exchange service nale y obowi zkowo wype ni I przekaza do miejscowego biura sprzeda y kart Request for Return za czon do niniejszej instrukcji Jeden egzemplarz karty musi by w o ony do opakowania systemu przed jego wysy k W przypadku pojawienia si konieczno ci z omowania systemu nale y go zlikwidowa w spos b zgodny z obowi zuj cymi normami krajowymi dotycz cymi tego zagadnienia 210 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Podrecznik Instrukcji 12 Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo WEEE Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem dyrektywy Unii Europejskiej nazywanej WEEE Symbol ten obowiazujacy tylko w krajach Unii Europejskiej oznacza e wyr b kt ry nim zostal oznac
56. Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d emploi Manual de istrucciones Manual de istruc es Bedrijfshandleiding Istrukstionsbog Bruksanvisning 87 901 043 01 03 2015 TwisTorr 84 FS Pump models X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 Instruksjon manual Ohjek sikirja Felhasznalo kezik nyv Podrecznik instrukcji Navod k pouziti Navod na obsluhu Prirocnik za navodila User Manual eii Agilent Technologies Notices Agilent Technologies Inc 2013 No part of this manual may be reproduced in any form or by any means including electronic storage and retrieval or translation into a foreign language without prior agreement and written consent from Agilent Technologies Inc as governed by United States and international copyright laws Manual Part Number Publication Number 87 901 043 01 Edition Edition 03 2015 Printed in ITALY Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Leini TO ITALY Warranty The material contained in this document is provided as is and is subject to being changed without notice in future editions Further to the maximum extent permitted by applicable law Agilent disclaims all warranties either express or implied with regard to this manual and any information contained herein including but not limited to the implied warranties of merchantability and fitness for a particular purpose Agilent
57. Nem alkalmas folyad kok vagy szil rd r szecsk k szivatty z s ra A szivatty z si m veletet egy nagyteljes tm ny 3 f zis elektromos motorral hajtott nagysebess g turbina max 81000 fordulat perc biztos tja A TwisTorr 84 FS szennyez anyagokt l mentes s ez rt alkalmas tiszta v kuumot ig nyl alkalmaz sokra A k vetkez bekezd sek a berendez st haszn l kezel biztons g nak garant l s hoz sz ks ges sszes inform ci t tartalmazz k R szletes inform ci t tal l a Technical Information f ggel kben TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 181 334 11 Felhaszn l i K zik nyv ltal nos inform ic Ez a k zik nyv a k vetkez szabv nyos protokollt haszn lja VESZ LY A vesz lyt zenetek felh vj k a kezel figyelm t egy konkr t elj r sra vagy gyakorlatra amit ha nem k vetnek megfelel en s lyos s r l shez vezethet lala A Figyelem zenetek olyan elj r sok el tt jelennek meg amelyeket ha nem tartanak be az a berendez s k rosod s t okozhatja A megjegyz sek fontos a sz vegb l kivonatolt inform ci kat tartalmaznak 182 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Felhaszn l i K zik nyv 11 Biztons gi jelz sek A berendez sen akkor jelenik meg ez a jelzes ha a kezel nek a hasznalati tmutat st kell figyelembe vennie hogy a nmag t s a berendez st a k rt l megovja K A berendez sen akkor jelenik meg ez a
58. Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the WARNING vacuum chamber Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure For pumping gases containing particulate or aggressive pollutants for the bearings these pumps are fitted with a special port integrated purge vent device to allow a steady flow of inert gas He N2 Ar for pump bearing protection see the annex Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 273 334 16 Instructions for Use Use of TwisTorr 84 FS CAUTION Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the internal materials of the pump When employing the pump for pumping toxic flammable or radioactive gases please follow the required procedures for each gas disposal Do not use the pump in presence of explosive gases The pump is designed to pump high throughput of N2 Ar and lighter gas Should you need to pump gases heavier than Ar please contact Agilent technical support for information 274 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instructions for Use 16 Maintenance The TwisTorr 8
59. ROZENIE Pompa procuje z du a predkoscia obrotowa Jezeli pompa jest dostarczana razem ze sterownikiem czesci obracajace sie sa zabezpieczone odpowiednia bariera mechaniczna w celu uniemozliwienia kontaktu Jezeli pompa jest wysytana bez sterownika bariera mechaniczna nie jest dostarczana Poniewaz pompa nie moze dziatac bez sterownika przed jej uruchomieniem nalezy ja odpowiednio zainstalowac Dziatanie pompy niepodtaczonej do systemu umozliwia dotkniecie czesci bedacych w ruchu co moze byc przyczyna powaznych nieszczesliwych wypadk w Kabel zasilajacy sterownika petni r wniez funkcje odtaczania od zasilania elektrycznego sterownika i pompy w przypadku wystapienia sytuacji awaryjnej Upewnic sie czy kabel zasilajacy urzadzenia jest tatwodostepny w celu od czenia go Nale y przewidzie odpowiedni ilo miejsca za gniazdkiem zasilania sterownika aby mo na by o od czy kabel Je eli sterownik nie mo e zosta zainstalowany w uk adzie w taki spos b aby kabel zasilania by atwodost pny nale y zainstalowa inny system od czania od g wnej linii zasilania elektrycznego Usun ta m klej c i zdj korek zabezpieczaj cy dopiero w momencie po czenia pompy do systemu TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 203 334 12 Podrecznik Instrukcji Instalacja Posta 2 Posta 3 204 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Podrecznik Instrukcji 12 To urzadznie nalezy in
60. Swagelok 4 Swagelok 9699292 mm m Purge valve 20 SCCM Swagelok 4 Swagelok 9899236 _CFF4 5 Mounting kit mme X3902 68007 E Metric screws kit DUC 008 m American screws kit a 9902 680093 nn Pump extension cable 3 m 969 9942 328 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 kai Agilent Technologies Vacuum Products Division Dear Customer Thank you for purchasing an Agilent vacuum product At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and or service you have purchased As part of our Continuous Improvement effort we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products On the back side you find a Corrective Action reguest form that you may fill out in the first part and return to us This form is intended to supplement normal lines of communications and to resolve problems that existing systems are not addressing in an adeguate or timely manner Upon receipt of your Corrective Action Reguest we will determine the Root Cause of the problem and take the necessary actions to eliminate it You will be contacted by one of our employees who will review the problem with you and update you with the second part of the same form on our actions Your business is very important to us Please take the time and let us know how we can improve Sincerely Es a Giampaolo LEVI Vice President and
61. TwisTorr 84 FS on board 110 220V z E X3909 64001 ne TwisTorr 84 FS on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 107 334 6 Bedrijfshandleiding Installatie vaaleaa TwisTorr 84 FS is conform de installatiecategorie Il voorzien door de norm EN 61010 1 Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet Zie Technical Information voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn 108 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bedrijfshandleiding 6 Bevestiging van de pomp AVN e LIN Indien deze instructies voor de installatie niet nageleefd worden en zich een defect van de rotor voordoet kan de pomp loskomen van het systeem en schade ernstige letsels of de dood veroorzaken De TwisTorr 84 FS kan in alle standen worden ge nstalleerd Bevestig de TwisTorr 84 FS in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 250 Nm rondom de eigen as kan verdragen De flens ISO K kan bijvoorbeeld worden bevestigd met stalen klemmetjes met grote weerstand zoals model Agilent IC 63250 DCMZ De volgende tabel geeft het benodigde aantal klemmetjes en het juiste aandraaimoment Tab 2 FLENS KLEMTYPE NR AANHAAL KOPPEL ISO 63 K Dubbele klem met M10 schroefdraad 4 22 Nm De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacu mpomp worden bevestigd met behulp van de speci
62. a ver o esquema no ap ndice Technical Information Os controller disponiveis s o os seguintes Tab 1 NUMERO DA PECA CONTROLLER E X3908 64001 TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 u E X3908 64002 nn TwisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc W X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 z E X3909 64001 en TwisTorr 84 FS on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB CUIDADO A TwisTorr 84 FS est em conformidade com a categoria de instala o prevista pela normativa EN 61010 1 Portanto ligue o dispositivo a uma linha de alimentac o apropriada para esta categoria Para a instalac o dos acess rios opcionais consultar Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 91 334 5 Manual de Istruc es Fixacao da bomba Fixacao da bomba Aa 01 A n o observ ncia destas instru es de instala o no caso de haver uma avaria do rotor pode provocar a desconex o da bomba do sistema causando danos ferimentos graves ou morte O TwisTorr 84 FS pode ser instalado em gualguer posic o Fixar o TwisTorr 84 FS em posic o est vel ligando o flange de entrada da turbobomba ao contraflange do sistema com uma conex o capaz de resistir a um torgue de 250 Nm ao redor do pr prio eixo O flange ISO K pode ser fixado com grampos de aco de alta resistencia como o modelo Agilent IC 63250 DCMZ A tabela seguinte descreve para qualquer dimens o de flange o n mero de grampo
63. a att rotationsenergin frig rs VARNING For att undvika skador p utrustningen och f rhindra att skador orsakas p operat rer m ste installationsinstruktionerna som beskrivs i den h r bruksanvisningen f ljas noga 132 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bruksanvisning 8 Allm n information Utrustningen r avsedd f r yrkesm ssig anv ndning Anv ndaren b r l sa denna bruksanvisning samt vrig dokumentation fr n Agilent f re anv ndning av utrustningen Agilent tar inget ansvar f r skador helt eller delvis till f ljd av sidos ttande av instruktionerna ol mplig anv ndning av person utan tillr cklig kunskap obeh rist bruk av utrustningen eller hantering som strider mot g llande lokala f reskrifter TwisTorr 84 r en turbomolekyl rpump f r h ga och mycket h ga vakuumtill mpningar Systemet kan pumpa alla typer av gaser men inte f r att pumpa v tskor eller fasta partiklar Pumpningen stadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 81000 varv minut som drivs av en trefas h geffektsmotor Inga tillsats mnen anv nds i TwisTorr 84 FS som d rf r passar f r till mpningar som kr ver ett rent vakuum De f ljande avsnitten inneh ller all information som beh vs f r att sarantera operat rens s kerhet under anv ndningen Detaljerade uppgifter finns i bilagan Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 133 334 8 Bruksanvisning Allm n information
64. a varnost tistega ki uporablja to opremo Podrobne informacije lahko najdete v prilogi Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 241 334 15 Priro nik za Navodila Splo ne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu SVARILO Svarilo so za to da pritegnejo pozornost uporabnika na dolo ene postopke pri katerih lahko pride do resnih po kodb e se jih ne dr i POZOR Sporo ila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do po kodbe opreme Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila 248 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Priro nik za Navodila 15 Varnostni znaki OPIS ZNAKOV Ta znak na napravi pomeni da mora upravljavec v uporabniskem priro niku poiskati navodila glede zascite pred tveganj telesnih poskodb in po kodb naprave Ta znak na napravi pomeni da se upravljavec delujoci napravi ne sme pribli evati Ta znak na napravi pomeni da mora upravljavec napravo ozemljiti TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 249 334 15 Priro nik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni u inek in zanesljivost rpalk Agilent Turbomolecular se morate dr ati naslednjih vodil Pri po iljanju premikanju in shranjevanju rpalk ne smete prese i naslednjih specifikacij temperaturno obmo je 40 C do 70 C obmo je relativne vla nosti 0 do 90 brez kondenza Turbomolekular
65. aat zij het de fabrikant of een wederverkoper om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten na de van toepassing zijnde termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 113 334 6 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 114 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper Generel information 117 Sikkerheds 119 Opbevar ng 120 Forberedelser for installation 121 Installation 123 Fastgoring af pumpen 126 Anvendelse af TwisTorr 84FS 127 Vedligeholdelse 129 Bortskaffelse 130 Overs ttelse af originalinstruktlonerne s ko Agilent Technologies e e e e 116 115 334 1 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylare turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekyleere turbopumper De molekyl re turbopumper der er beskrevet i n rv rende brugsanvisning har en stor kinetisk energi der skyldes den hgje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke v gt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren g r i stykker kan omdrejningsenergien spredes AVON NIER For at undg materielle skader samt at operat rerne kommer til skade er det strengt n dvendigt n je at overholde installeringsvejledningen I denne brugsanvisning 116 334 TwisTorr 84 FS Use
66. al 87 901 043 01 Podrecznik Instrukcji 12 Symbole zwiazane z bezpieczenstwem Na urzadzeniu zostaje umieszczony ten symbol kiedy operator musi zajrzec do instrukcji obstugi aby zabezpieczyc sie przed zagrozeniem obrazenia I zabezpieczy urz dzenie przed ewentualnymi uszkodzeniami K Na urzadzeniu zostaje umieszczony ten symbol kiedy operator musi znajdowa sie w odpowiednim oddaleniu podczas pracy urzadzenia Na urzadzeniu zostaje umieszczony ten symbol kiedy uzytkownik musi podtaczy urzadzenie do uziemienia TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 199 334 12 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwy szego poziomu funkcjonalno ci i niezawodno ci pomp Turbomolekularnych Agilent nale y przestrzega nast puj cych zalece podczas transportu przestawiania i magazynowania pomp nie nale y przekracza nast puj cych warunk w rodowiskowych temperatura od 40 C do 70 C wzgl dna wilgo od 0 do 90 3 bez opar klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomi w spos b Soft Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 12 miesiecy od daty wysylki UWAGA Je eli z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest dtu szy nale y odesta 200 334 pompe do fabryki W celu jakiejkolwiek informacji prosimy skontaktowa sie z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent
67. al Information Vyv vu TwisTorr 84 FS nelze pfipevnit pomoc jej podstavy 224 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod k Pouziti 13 Pou it v vevy TwisTorr 84 FS NEBEZPECI NEBEZPE Ujistete se o spr vn m pou iti zarizeni Doporu ujeme obsluze tohoto pr stroje pou vat zarizeni zp sobem uveden m v tomto n vodu Nedodr en pokyn uveden ch v tomto n vodu m e ohrozit ochranu poskytovanou za zen m Ve ker pokyny pro spr vn pou v n turbo erpadla jsou uveden v p ru ce dic jednotky P ed pou it m erpadla si tuto p ru ku pozorn p e t te Pro dosa en lep ho maxim ln ho tlaku m ete syst m erpadla zah t P i zah v n vakuov komory erpadla nesm teplota na vstupn p rub p ekro it 120 C v p pad p ruby typu ConFlat a 80 C v p pad p ruby ISO P i zah v n pou vejte v dy chlazen vodou Turbomolekul rn v v vu nikdy nepou vejte nebude li p vodn p ruba p ipojen k vakuov komo e nebo nem li uta enou zav rac p rubu B hem zah v n se turbomolekul rn v v vy ani jej ho p slu enstv nedot kejte Vysok teplota m e zp sobit pop leniny TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 225 334 13 N vod k Pou it Pou it v v vy TwisTorr 84 FS B hem chodu chra te v v vu p ed n razy vibracemi a prudk mi pohyby Mohly by se po
68. al an die Vakuum kammer anzuschlie en F r ausf hrliche Informationen siehe im Anhang Technical Information Modell TwisTorr 84 FS kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 43 334 2 Gebrauchsanleitung Verwendung TwisTorr 84 FS Verwendung IwisTorr 84 FS WARNUNG Vergewissern Sie sich dass das Ger t korrekt betrieben wird Dem Bediener wird geraten das Ger t so zu verwenden wie in diesem Handbuch beschrieben Die Nichtbeachtung der Hinweise dieses Handbuchs kann die Sicherheit des Ger tes beeintr chtigen Alle Anweisungen f r den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten Bitte lesen Sie das Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch F r den Erhalt besserer Grenzdruckwerte ist es m glich das System zu erhitzen Bei einer eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Temperatur an dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht ber 120 C und bei einem ISO Flansch nicht ber 80 C liegen W hrend der Erhitzungsvorg nge immer die Abk hlung mit Wasser verwenden Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist W hrend des Aufheizens d rfen weder die Pumpe noch eventuelle hei e Zubeh rteile ber hrt werden Es besteht Verbrennungsgefahr 44 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01
69. ale mechanische bevestigingselementen van Agilent Zie voor meer informatie de bijlage Technical Information De TwisTorr 84 FS kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 109 334 6 Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 84 FS Gebruik van de TwisTorr 84 FS AVN EIS LATE Waak over het correct gebruik van de apparatuur AARSCHUWING 110 334 De bediener van dit instrument gebruikt de apparatuur bij voorkeur zoals aangegeven in deze handleiding Het niet naleven van de voorschriften in deze handleiding kan de bescherming die d apparatuur biedt in het gedrang brengen Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp staan in de handleiding van de controle eenheid Lees de handleiding aandachtig alvorens de pomp in gebruik te nemen Om een betere limietdruk te bereiken kan het systeem verwarmd worden Tijdens de eventuele verwarming van de vacu mkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer bedragen dan 120 C met ConFlat flens en niet meer dan 80 C met ISO flens Koel tijdens de verwarming altijd met water Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacu mkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bedrijfshandleiding 6 Ve
70. ant simplement expos l atmosph re Toutefois afin d viter toute pollution due la poussi re il est conseill de le garder dans son emballage clos jusqu au moment de l installation TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 55 334 Mode d emploi 3 Preparation pour I installation X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 Figure 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 56 334 Installation AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT Mode d emploi 3 La pompe fonctionne une haute vitesse de rotation Si la pompe est expediee en m me temps que le contr leur les parties rotatives sont prot g es par une protection m canique vitant tout contact Si la pompe est expediee sans contr leur aucune protection m canique n est fournie La pompe ne pouvant pas fonctionner sans contr leur l utilisateur doit installer la pompe avant de l utiliser Le fonctionnement de la pompe sans que celle ci soit raccord e au syst me comporte des risques de contact avec les parties mobiles qui peuvent causer de graves blessures Le c ble d alimentation du contr leur a galement pour fonction de couper alimentation lectrique du contr leur et de la pompe en cas d urgence V rifiez que le c ble d alimentation lectrique de l appareil est facilement accessible pour pouvoir le debrancher rapidement Prevoyez un espace suffisant derriere la prise d alimentation du contr leur pour pouvoir debrancher le
71. aterials present in the product Page 3 of 3 Agilent VPD Request for Return Agilent Vacuum Products Division Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt Ltd Agilent Technologies Sales Sdn Bhd 121 Hartwell Avenue Unit Nos 105 116 Unit 201 Level 2 uptown 2 Lexington MA 02421 USA First Floor Splendor Forum 2 Jalan SS21 37 Damansara Uptown Tel 1 781 861 7200 Plot No 3 District Centre Jasola 47400 Petaling Jaya Fax 1 781 860 5437 New Delhi 110025 Selangor Malaysia Toll Free 1 800 882 7426 Ph 91 11 4623 7100 Tel 603 7712 6106 vpl customerservice agilent com Fax 91 4623 7105 Fax 603 6733 8121 Toll Free 18001801517 Toll free 1 800 880 805 vps customerservice agilent com Benelux Italy Taiwan Agilent Technologies Netherlands B V Agilent Technologies Italia S p A Agilent Technologies Taiwan Limited Groenelaan 5 1186 AA Amstelveen Via F Ili Varian 54 20 Kao Shuang Road Ping Chen City The Netherlands 10040 Leini Torino Italy Tao Yuan Hsien Tel 31 20 547 2000 Tel 39 011 9979 111 32450 Taiwan R 0 C Fax 31 20 547 2093 Fax 39 011 9979 350 Tel 886 3 4959004 Toll free 00 800 234 234 00 Toll free 0800 018 768 vpt customerservice agilent com vpw customerservice agilent com Brazil Japan UK and Ireland Agilent Technologies Brasil Agilent Technologies Japan Ltd Agilent Technologies UK Ltd Avenida Marcos Penteado de Ulhoa 8th Floor Sumi
72. ature 35 C backing pump 5 m3 h Tab 3 Technical Specification Pumping speed ISO 63 CFF 4 5 CFF 2 75 KF 40 N2 67 l s 56 l s 49 l s He 63 l s 46 l s 38 l s H2 53 1 s 40 l s 36 l s Ar 66 l s 57 l s 44 l s Max gas throughput at full Air cooling Water cooling rotational speed with recommended forepump N2 100 sccm 100 sccm Ar 70 sccm 70 sccm Compression ratio N2 1 x 101 He 2 x 106 Hz 5x 102 r gt 1 x 1011 Foreline Tolerance N2 gt 14 mbar He gt 12 mbar H gt gt 4 mbar Ar gt 14 mbar Base pressure with recommended lt 8 x 1010 mbar forepump lt 6 x 10 10 Torr According to standard DIN 28 428 the base pressure is that measured in a leak free test dome 48 hours after the completion of test dome bake out with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre vacuum pump The Foreline Tolerance is the pressure at which the turbopump still produce a compression of 100 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 283 334 17 Technical Information Technical Specification Inlet flange CFF 4 5 0 D ISO 63 CFF 2 75 0 D KF 40 en OT s i qm a a iui _ te ia uu T a gt o V mechanical Agilent DS 102 dry pump Agilent SH 110 dry pump Agilent IDP 3 Operating position Any a ME Re ER N hr DT Em 50 a a a m a n RNE Max cooling water temperature 25 C pe AE N ic Temperature 15 C to 25 C Pressure 2 to 4 bar 30 to 6
73. bili sono i seguenti Tab 1 PART NUMBER CONTROLLER E X3908 64001 nn TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 E X3908 64002 me TwisTorr 84 FS AG Rack Profibus lt W X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 E X3909 64001 TwisTorr 84 FS board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB La TwisTorr 84 FS conforme alla categoria di installazione II prevista dalla normativa EN 61010 1 Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria Per l installazione degli accessori opzionali vedere Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 25 334 1 Istruzioni per uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa WASA L La mancata osservazione di queste istruzioni di installazione nel caso in cui si verifichi un guasto del rotore pu provocare il distacco della pompa dal sistema causando danneggiamenti gravi ferite o morte La TwisTorr 84 FS pu essere installata in gualsiasi posizione Fissare la TwisTorr 84 FS in posizione stabile montando la flangia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema con una connessione capace di resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse La flangia ISO K pu essere fissata usando morsetti in acciaio ad alta resistenza tipo modello Agilent IC 63250 DCMZ La seguente tabella descrive per ogni dimensione di flangia il numero di morsetti IC63250DCMZ necessari e
74. bination of different flange types is not allowed in any case Agilent Vacuum will not accept any liability for all damages resulting from not allowed fastening Installation of ISO K Flange For ISO K flange connections fix the two flanges with the clamps as shown in the following figure a protective screen can optionally be used 320 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Figure 42 Use the required number of claw clamps 4 for ISO 63 flange Tighten the claw clamps with a torque of 22 Nm Installation of ConFlat Flange CFF 4 7 For ConFlat flange connections fix the two flanges with the screws as shown in the following figures a protective screen can optionally be used For ConFlat flange connections in case of a flange with no treaded holes fix the two flanges with the screws using the mounting kit X3502 68007 as shown in the following figures a protective screen can optionally be used TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 321 334 17 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Figure 43 Installation for CFF 4 5 EN VAT SS maun sua A NE Z x AN S IN AS A N Z X3502 68008 METRIC SCREWS KIT X3502 68009 AMERICAN SCREWS KIT Figure 44 Installation for CFF 4 5 Use the required number of screws 6 for CFF 2 75 8 for CFF 4 5 322 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 9
75. ble in any technical data Trademarks Windows and MS Windows are U S registered trademarks of Microsoft Corporation Safety Notices A CAUTION notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in damage to the product or loss of important data Do not proceed beyond a CAUTION notice until the indicated conditions are fully understood and met A WARNING notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in personal injury or death Do not proceed beyond aWARNING notice until the indicated conditions are fully understood and met TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS Pump TwisTorr 84 FS Pump TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 3 334 TwisTorr 84 FS Pump 4 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Contents Contents 1 Istruzioni per l uso 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16 Informazioni Generali 17 Immagazzinamento 20 Preparazione per l installazione 21 Installazione 23 Fissaggio dellapompa 26 Uso della TwisTorr 84 FS27 Manutenzione 29 Smaltimento 30 2 Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Lagerung 36 Vor der Installation 37 Installation 39 Befestigung der Pumpe 43 Verwendung TwisT
76. bomba e os seus eventuais acess rios durante as operac es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es as pessoas TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 93 334 5 Manual de Istruc es Utilizac o do TwisTorr 84 FS CUIDADO Evitar colis es oscilac es ou deslocamentos bruscos da turbobomba guando esta a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos Para a saida de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras ou particulas A press o de entrada atrav s da porta especifica deve ser inferior a 2 bar acima da press o atmosf rica Para bombear gases que cont m particulas ou poluidores agressivos estas bombas est o equipadas com uma porta especifica de purga ventilac o integrada atrav s da gual necess rio fornecer bomba um fluxo de g s inerte nitrog nio h lio ou arg nio para proteger os rolamentos da bomba consultar o ap ndice Technical Information HE NT Nunca usar a bomba na presen a de gases ou vapores corrosivos que possam 94 334 danificar os materiais internos da bomba ATENCAO Quando a bomba amp utilizada para bombear gases t xicos inflam veis ou radioactivos seguir os procedimentos adequados tipicos para cada gas N o usar a bomba na presenca de gases explosivos A bomba projectada para ter uma alta transfer ncia de nitrogenio arg nio e gases mais leves Se for necess rio bombear gases mais pesados que o arg nio pede se entrar em contacto com a Assi
77. cji 201 Instalacja 203 Mocowanie pompy 207 Uzytkowanie pompy TwisTorr 84 FS 208 Konserwacja 210 Przetworstwo odpadow 211 N vod k Pou it 213 Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn v vevy 214 V eobecn Informace 215 Uskladn n 218 P prava k instalaci 219 Instalace 221 Upevn n v vevy 224 Pou it v vevy TwisTorr 84 FS 225 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Contents dr ba 227 Likvidace 228 14 N vod na Obsluhu 229 Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy 230 V eobecn Inform cie 231 Uchov vanie 234 Pr prava na In tal ciu 235 In tal cia 237 Upevnenie v vevy 240 Pou itie v vevy TwisTorr 84 FS 241 dr ba 243 Likvid cia 244 15 Priro nik za Navodila 245 Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 246 Splo ne Informacije 247 Shranjevanje 250 Priprava za monta o 251 Montaza 253 Pritrditev Crpalke 256 Uporaba rpalke TwisTorr 84 FS 257 Vzdrzevanje 259 Odlaganje opadkov 260 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 11 334 Contents 12 334 16 Instructions for Use 261 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 262 General Information 263 Storage 266 Preparation for installation 267 Installation 269 Pump Fixing 272 Use of TwisTorr 84FS 273 Maintenance 2 5 Disposal 276 17 Technical Information 277 Description of the TwisTorr 84 FS279 Technical Specification 283 TwisTorr 84 FS Outline 286 Interconnections 301 Soft Start 30
78. correspondant Tab 2 BRIDE TYPE DE COLLIER N COUPLE DE SERRAGE ISO 63 K Collier double filetage M10 4 22 Nm La turbopompe bride d entr e ConFlat doit tre fix e a la chambre a vide l aide des l ments m caniques Agilent pr vus cet effet Pour tout autre d tail se reporter l appendice Technical Information Le TwisTorr 84 FS ne peut tre fix par sa base 60 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Mode d emploi 3 Utilisation de la TwisTorr 84 FS AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT ATTENTION Garantissez une utilization correcte de l appareil L utilisateur doit utiliser I appareil de mani re conforme aux indications du present mode d emploi Tout manquement aux indications figurant dans ce mode d emploi risque de compromettre la s curit intrins que de l appareil Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbo pompe sont contenues dans le manuel de unit de contr le Lire attentivement ce manuel avant l emploi Pour atteindre des pressions limites meilleures on peut chauffer le syst me Pendant le chauffage ventuel de la chambre vide la temp rature sur la collerette d entr e ne doit pas tre sup rieure 120 C avec collerette ConFlat et 80 C avec collerette ISO Utiliser toujours le refroidissement eau pendant les op rations de chauffage Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d entr e n est pas reli e la chambre vide
79. do para poder deslig lo Providencie um espaco adequado atr s da tomada de alimentac o do controlador para desconectar o cabo Se 0 controlador n o puder ser instalado no sistema de tal modo gue se possa facilmente alcancar o cabo de alimentac o deve ser instalado um sistema diferente de desconex o da alimentac o el ctrica principal Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecc o somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 89 334 5 Manual de Istruc es Instalac o Figura 2 Figura 3 90 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de Istru es 5 Instalar este aparelho somente em ambientes fechados e nunca usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosf ricos chuva gelo neve poeiras gases agressivos em ambientes com possibilidade de explos o ou com elevado risco de inc ndio Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condic es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C humidade relativa O 90 n o condensante Na presenca de campos electromagn ticos a bomba deve ser protegida atrav s de blindagens adequadas Para ulteriores detalhes consultar o ap ndice Technical Information As bombas TwisTorr 84 FS devem ser utilizadas somente com um dos adequados controller Agilent e devem ser ligadas numa bomba prim ri
80. e fungerer Anvisningene for korrekt bruk av turbopumpen er beskreveti styreenhetens bruksanvisning Les noye denne manualen for du bruker pumpen For forbedre grensetrykket er det mulig varme opp pumpen Mens oppvarmingen av vakuumkammeret p g r m temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 C for en ConFlat flens og 80 C for en ISO flens Man m alltid bruke vannkjeling under oppvarmingsoperasjonene Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflensen Ikke beror turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De hoye temperaturene kan fore til brannskader TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 159 334 9 Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 84 FS NING Unng st t svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen n r den er i funksjon Lagrene kan skades Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk Ved pumping av gasser som inneholder svevest v eller etsende stoffer er disse pumpene utstyrt med en spesiell pning integrert rensing vifte Kople en str m av inaktive gasser nitrogen helium eller argon til denne pningen for beskytte lagrene til pumpen se Technical Information dos faye Bruk aldri pumpen i milj er med etsende gass eller damp som kan skade 160 334 materialene p innside
81. ecznik Instrukcji 12 UWAGA Unika uderze wahan lub gwattownych przesunie turbopompy podczas jej dziatania Moga uszkodzi sie tozyska Dla wlotu do powietrza pompy zastosowa powietrze lub oboj tny gaz bez py u lub innych cz stek Ci nienie wej ciowe poprzez odpowiedni wlot musi by ni sze od 2 bar ponad ci nienie atmosferyczne Dla pompowania gaz w zawieraj cych py y zawieszone lub zanieczyszczaj ce pompy te s wyposa one w odpowiedi wlot zintegrowane oczyszczanie wentylowanie poprzez kt ry nale y doprowadzi do pompy gaz oboj tny Azot Hel Argon w celu zabezpieczenia o ysk pompy Patrz dodatek Technical Information Absolutnie nie wylorzystywa pompy w Srodowisku zawierajacym gazy lub opary powodujace korozje poniewaz mogtoby to doprowadzi do uszkodzenia wewnetrznych element w pompy ZAGROZENIE Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gaz w toksycznych tatwo palnych lub radioaktywnych nale y wykona odpowiednie procedury typowe dla ka dego z gaz w Nie stosowa pompy w obecnosci gaz w wybuchowych Pompa jest zaprojektowana w taki spos b aby mo liwy by szybki przesy Azotu Argonu i gaz w l ejszych Gdyby pojawi a si konieczno pompowania gaz w ci szych ni Argon nale y skontaktowa si z dzia em Obs ugi Technicznej firmy Agilent w celu uzyskania koniecznych informacji TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 209 334 12 Podrecznik Instrukcji
82. ed Hvis pumpen leveres sammen med styreenheden er de roterende dele beskyttet med en mekanisk barriere for at forhindre kontakt Hvis pumpen leveres uden styreenheden er den ikke udstyret med en mekanisk barriere Da pumpen ikke kan fungere uden en styreenhed skal du installere pumpen inden du tager den i drift Drift af pumpen uden at den er forbundet til systemet gor det muligt at rore de beveegelige dele hvilket kan for rsage alvorlig personskade Styreenhedens netledning fungerer ogs som afbryder af str mforsyningen for styreenheden og pumpen i tilf lde af en n dsituation Sorg for at enhedens netledning nemt kan n s s ledes at den kan afbrydes S rg for tilstr kkelig plads bag stikkontakten p styreenheden til at kunne tr kke ledningen ud Hvis styreenheden ikke kan installeres i systemet s det er nemt at komme til netledningen skal der installeres et andet system til frakobling netstr mmen av lee Tapen og beskyttelsesproppen fjernes f rst nar turbopumpen tilsluttes systemet TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 123 334 7 Istruktionsbog Installation Figur 3 124 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 OORZICHTIG Istruktionsbog 7 Installer kun pumpen lukkede miljger og anvend den ikke under nogen omstendigheder i miljger der udseettes for p virkninger fra atmosferen regn sne is damp aggressive gasser og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt milj F lgende
83. eguridad del operador al usar el aparato En el anexo Technical Information se facilita informaci n m s detallada TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 67 334 4 Manual de istrucciones Informaci n general Este manual utiliza las convenciones siguientes DADAS di le Los mensajes de advertencia atraen la atenci n del operador sobre un procedimiento o una operaci n especifica que al no realizarse correctamente podria provocar graves lesiones personales VANN Los mensajes de atenci n se visualizan antes de los procedimientos que de no cumplirse podr an provocar da os al aparato Las notas contienen informaci n importante extra da del texto 68 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de istrucciones 4 Simbolos de Seguridad Cuando el equipo est senalizado con este simbolo significa que el operador debe remitirse al manual de instrucciones para protegerse de los riesgos de dano y para proteger al equipo de eventuales Danos Cuando el equipo est se alizado con este simbolo significa que el operador debe manterse alejado durante el funcionamiento del equipo Cuando el equipo est se alizado con este simbolo significa que el usuario debe conectar el equipo a masa TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 69 334 4 Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento ATENCI N 70 334 Para garantizar el nivel m ximo de funcionalidad y fiabilidad de las bomba
84. eiden noudattamatta j tt minen mik li roottorissa syntyy vika voi aiheuttaa pumpun irtoamisen j rjestelm st ja n in ollen vahinkoja vakavia vammoja tai kuoleman TwisTorr 84 FS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon Kiinnitt k TwisTorr 84 FS vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sis ntulolaippa j rjestelm n vastalaippaan liit nn ll joka kest 250 Nm n momentin akselinsa ymp ri Laippa ISO K voidaan kiinnitt suurta rasitusta kest vill ter spuristimilla tyyppi Agilent IC 63250 DCMZ Seuraavassa taulukossa on lueteltu jokaista laippakokoa kohti tarvittavien puristinten IC63250DCMZ lukum r sek momentti johon puristimet kiristet n Tab 2 LAIPPA KIINNIKE M R KIRISTYS MOMENTTI ISO 63 K Kaksoiskiinnike kierteitys MIO 4 22 Nm Turbopumppu ConFlat sis ntulolaipalla tulee kiinnitt tyhji kammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla Lis tietoja l ytyy Technical Information liitteest TwisTorr 84 FSia ei voida kiinnitt perustansa kautta 174 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Ohjek sikirja 10 TwisTorr 84 FS k ytt PES Varmista laitteiston oikea k ytt VAROITUS T t v linett k ytt v n k ytt j n on k ytett v laitteistoa t ss ohjekirjassa osoitetullatavalla T ss ohjekirjassa annettujen ohjeiden noudattamatta j tt minen voi vaarantaa laitteiston antaman suojan Kaikki turbopumpun oikeaan
85. eljen arra hogy ne ejtse le s ker lje annak b rmilyen hirtelen t s t vagy r zk d s t Ne rtalmatlanitsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen jrafeldolgozhat s megfelel a k rnyezetv delemr l sz l 94 62 EK ir nyelvnek s tov bbi m dos t sainak FIGYELEM G zkivon si probl m k elker l s re ne haszn ljon puszta kezeket vakuumnak kitett komponensek kezel s re Mindig haszn ljon keszty t vagy m s alkalmas vedelmet A k rnyezetnek val norm l kitetts g nem tudja k ros tani a TwisTorr 84 FSt Megis ajanlatos z rva tartan a rendszerbe val telepitesig igy megakad lyozva a por altali szennyez des barmely formajat TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 185 334 Felhasznaloi Kezik nyv 11 El keszites telepitesre X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 bra 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 186 334 Telepites Felhaszn l i K zik nyv 11 VESZELY A szivatty nagy forg si sebesseggel m k dik Ha a szivatty t a controllerrel VESZELY FIGYELEM egy tt szallitjak akkor a forg r szeket az rintkez s megakad lyoz s ra mechanikai v d korl t vedi Ha a szivatty t controller nelk l szallitjak a vedoberendezes nem r sze a sz ll tm nynak Mivel a szivatty controller nelk l nem m k dhet kerj k hogy m k dtetes el tt installalja a szivatty t A szivattyunak a rendszerhez val csatlak
86. emas de perdas de g s n o tocar com as m os os componentes destinados exposi o do v cuo Utilizar sempre luvas ou outra protec o adequada O TwisTorr 84 FS n o pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto atmosfera Aconselha se no entanto manter a bomba fechada at o momento da instala o no sistema para evitar eventuais acumula es de p TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 87 334 5 Manual de Istruc es Preparac o para a instalac o X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 Figura 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 88 334 Manual de Istruc es 5 Instalac o ATENCAO ATENCAO A bomba funciona a uma alta velocidade de rotac o Se a bomba for enviada juntamente com o controlador as partes rotativas s o protegidas por uma barreira mec nica para evitar o contacto Se a bomba for enviada sem o controlador a barreira mec nica n o fornecida Como a bomba n o pode funcionar sem o controlador solicita se a instalac o da bomba antes de accion la 0 funcionamento da bomba sem gue esteja conectada ao sistema permite gue se toguem as partes em movimento gue podem provocar graves acidentes 0 cabo de alimentac o do controloador tamb m realiza a func o de desconex o da alimentac o el ctrica do controlador e da bomba em caso de emerg ncia Certifigue se de que o cabo de alimentac o el ctrica do aparelho possa ser facilmente alcanca
87. emporary power failure and enables an automatic vent operation This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec This time can be increased up to about 220 min by means of a setting of the controller software optional To install the vent valve remove the M5 threaded plug see figure below Figure 37 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2 5 Nm TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 313 334 17 Technical Information Vent Accessories VENT ADAPTER M5 MALE M8 FEMALE Figure 38 CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller 314 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Vibration Isolator Installation Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories The two model part numbers are the following model 969 9375 for ISO 63 flange model 969 9376 for CFF 4 5 flange They typically reduce the vibration transmitted from the TwisTorr 84 FS to the system by a factor of 20 Please refer to the relevant instruction manual TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 315 334 17 Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation gas purge valve is available to protect the pump bearings against part
88. en m v tomto n vode Nedodr anie pokynov uveden ch v tomto n vode m e ohrozi ochrann funkcie zariadenia V etky in trukcie potrebn pre spr vnu prev dzku turbo erpadla s uveden v pr ru ke kontrolnej jednotky Pred pou it m si t to pr ru ku pozorne pre tudujte Aby sa dosiahli lep ie hrani n hodnoty tlaku mo no syst m vyhria Pri zahrievan v kuovej komory nesmie teplota na vstupnej pr rube prekro i hodnotu 120 C u obrubov ho syst mu ConFlat a 80 C u obrubov ho syst mu ISO Pri vyhrievan pou vajte v dy chladenie vodou Nikdy nepou vajte turbov vevu ak vstupn pr ruba nie je pripojen k v kuovej komore alebo ak nie je zablendovan V priebehu zahrievania sa nikdy nedot kajte turbov vevy ani iadneho prislu enstva Vysok teploty m u sp sobi pop leniny TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 241 334 14 N vod na Obsluhu Pou itie v vevy TwisTorr 84 FS POZOR Dbajte na to aby v veva po as innosti nebola vystaven n razom kmitaniu alebo prudk m pohybom Mohli by sa po kodi lo isk V vevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertn ho plynu zbaven ho prachu a ast c Tlak na s obsahom pevn ch ast c alebo agres vnych zne is uj cich l tok s tleto v vevy vybaven peci lnym otvorom vstavan m pre istenie odvzdu nenie potrebn m pre zaistenie pr toku inertn ho plynu Dusiku H lia alebo Arg nu kv li ochrane lo
89. endszercsomagba Ha a rendszert le kell selejtezni azt rtalmatlan tani kell a konkr t nemzeti szabv nyoknak megfelel en TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 193 334 11 Felhaszn l i K zik nyv Megsemmis t s Megsemmis t s A c mk n jelenl v WEEE logo jelent se A lent l that szimb lum az EK WEEE elnevez s ir nyelv vel sszhangban ker l alkalmaz sra Ez a szimb lum mely csak az Eur pai K z ss g orsz gaiban rv nyes azt jelzi hogy a term k melyen megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmis t sre hanem azt egy szelekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tov bb tani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megsemmis t si elj r s beind t sa c lj b l az ad sv teli szerz d s hat rid inek s felt teleinek alapos ttanulm nyoz sa ut n fel kell vennie a kapcsolatot a berendez s sz ll t j val legyen ez a gy rt vagy egy viszontelad 194 334 W AT S NW r N 4 Ai Il W 7 Il SM VAX i W VAI N A 5 2 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual 12 Podrecznik Instrukcji Wskaz wki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych 196 Og lne Informacje 197 Symbole zwiazane z bezpieczenstwem 199 Magazynowanie 200 Przygotowanie do instalacji 201 Instalacja 203 Mocowanie pompy 207 Uzytkowanie pompy TwisTorr 84 FS 208 Konse
90. ennus VAROITUS VAROITUS Ohjek sikirja 10 Pumppu toimii korkealla kiertonopeudella Jos pumppu l hetet n yhdess valvontayksik n kanssa py riv t osat on suojattu mekaanisella esteell kosketuksen syntymisen est miseksi Jos pumppu l hetet n ilman valvontayksikk mekaanista estett ei toimiteta Koska pumppu ei voi toimia ilman valvontayksikk asenna pumppu ennen sen k ynnist mist Pumpun toiminta ilman sen kytkemist j rjestelm n tekee liikkuviin osiin koskemisen mahdolliseksi jonka seurauksena voi synty vakavia onnettomuuksia Valvontayksik n virtajohtoa k ytet n my s valvontayksik n ja pumpun s hk virran kytkemiseksi irti hatatilan syntyess Varmista ett laitteen virtajohtoon p st n helposti sen kytkemiseksi irti Varmista ett valvontayksik n pistorasian taakse j tet n riitt v sti tilaa johdon kytkemiseksi irti Jos valvontayksikk ei vol asentaan j rjestelm n siten ett virtajohtoon p st n helposti p virransy tt n on asennettava erilainen j rjestelm Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta kun turbopumppu kytket n j rjestelm n TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 171 334 10 Ohjek sikirja Asennus Kuva 3 172 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Ohjek sikirja 10 Laite tulee asentaa vain suljettuihin tiloihin Sit ei saa miss n tapauksessa k ytt ymp rist ss miss se jou
91. entrada no est conectada al sistema o no est cerrada con la brida de cierre No tocar la turbo bomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas 71 334 4 Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 84 FS ATENCI N ATENCI N ADVERTENCIA 78 334 Evitense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento Los cojinetes podrian danarse Para el envio de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o particulas La presion de entrada a trav s de la puerta debera ser inferior a 2 bar por encima de la presi n atmosferica Para bombear gases que contengan particulas o contaminantes agresivos estas bombas est n dotadas de una puerta especifica de purge vent integrado mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte Nitr geno Helio o Arg n para proteger los rodamientos de la misma vease el anexo Technical Information No utilizar en ning n caso la bomba en presencia de gases o vapores corrosivos que puedan danar los materiales internos de la misma Cuando la bomba se utiliza para bombear gases t xicos inflamables o radioactivos seguir los procedimientos apropiados tipicos de cada gas No usar la bomba cuando haya gases explosivos La bomba est disenada para tener una alta transferencia de Nitr geno Arg n y gases m s livianos En caso de
92. etal as the pump body to prevent corrosion The screw must be fixed with a2 Nm torque The impedance between the pump body and the earth connection point must be lt 0 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 301 334 17 Technical Information Interconnections Connection C Electrical Figure 27 The turbopump is connected to the controller through a 6 pin connector Pins B C and D are the 3 phase supply to the motor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 KQ resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 C the sensor automatically cuts off the power supply 302 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Soft Start To start the pump after a protracted stop of the TwisTorr 84 FS it s recommended to enable the Soft Start function this allows a better grease distribution in the bearings The Soft Start mode is disabled by default To enable the Soft Start mode it must be activated by the suitable software or Remote I O command see Controller Manual Soft Start frequency steps are the following 450Hz 1100Hz 1200Hz 1300Hz 1350Hz or more details see Controller Manual TwisTo
93. evares i 12 m neder fra forsendelsesdatoen Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er leengere er det ngdvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken Yderligere oplysninger f s ved henvendelse til den lokale Agilent representant TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Istruktionsbog 7 Forberedelser for installation FORSIGTIG TwisTorr 84 FS leveres i en speciel beskyttende emballage Kontakt den lokale forhandler hvis emballagen viser tegn p skader der kan veere opst et under transporten S rg for at TwisTorr 84 FS ikke tabes eller uds ttes for st d ved udpakningen Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 94 62 EF og efterf lgende ndringer om miljgbeskyttelse Komponenter der skal uds ttes for vakuum m ikke ber res med bare h nder idet der er risiko for afgasning Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse Normal atmosfarisk p virkning kan ikke skade TwisTorr 84 FS Det anbefales dog at opbevare pumpen i en lukket kasse indtil den skal installeres Herved forhindres at der kommer st v i pumpen TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 121 334 Istruktionsbog 7 Forberedelser f r installation Figur 1 X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 122 334 Istruktionsbog 7 Installation ADVARSEL ADVARSEL Pumpen korer med hoj rotationshastigh
94. f the device whether the Parent Company or a retailer to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale 276 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual 200 B e e 1 0 Technical Information N Description of the TwisTorr84FS 279 Pump Description 281 Technical Specification 203 TwisTorr 84 FS Outline 286 Interconnections 301 Earth Ground Connection 301 Connection C Electrical 302 Soft Start 303 Inlet screen installation 304 Air Cooling Kit Installation 308 Water Cooling Kit Connection 310 Vent Accessories 313 Vibration Isolator Installation 315 Purge Valve Installation 316 TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation 317 Bottom Mounting 317 Side Mounting 318 Connection of the High Vacuum Flange 320 Installation of ISO K Flange 320 Installation of ConFlat Flange CFF 4 321 Original Instructions TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 271 334 17 Technical Information Disposal Connection of the Fore Vacuum Pump 324 Pump Used with Corrosive Gases 325 Pump Used in Presence of Magnetic Fields 327 Accessories and Spare Parts 328 218 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Description of the TwisTorr 84 FS The TwisTorr 84 FS pump is available in various models that differ in the high vacuum flange The TwisTorr 84 FS pump models are Model X3502 64000
95. hnologies will provide you with a Return Authorization RA number via email or fax as requested Note Depending on the type of return a Purchase Order may be required at the time the Request for Return is submitted We will quote any necessary services evaluation repair special cleaning eg Product preparation O Remove all accessories from the core product e g inlet screens vent valves O Prior to shipment and if applicable for your product drain any oils or other liquids purge or flush all gasses and wipe off any excess residue O If ordering an Advance Exchange product please use the packaging from the Advance Exchange to return the defective product O Seal the product in a plastic bag and package product carefully to avoid damage in transit You are responsible for loss or damage in transit O Include a copy of the Health and Safety Declaration in the shipping documentation on the outside of the shipping box of vour returning product O Clearly label package with RA number Using the shipping label provided will ensure the proper address and RA number are on the package Packages shipped to Agilent without a RA clearly written on the outside cannot be accepted and will be returned O Return only products for which the RA was issued Shipping O Ship to the location specified on the printable label which will be sent along with the RA number as soon as we have received all of the required information Customer is respon
96. hu Upevnenie v vevy Upevnenie v vevy Ur Nedodr anie t chto pokynov pre in tal ciu m e v pr pade v skytu poruchy rotora sp sobi oddelenie v vevy od syst mu s n sledn m v nym zranen m alebo dokonca smr ou Vyvevu TwisTorr 84 FS je mo n in talova v ubovo nej polohe Upevnite v vevu TwisTorr 84 FS do stabilnej polohy a to tak e vstupn pr rubu namontujete k protipr rube syst mu prostredn ctvom spoja ktor znesie kr tiaci moment 250 Nm okolo svojej osi Pr rubu ISO K je mo n upevni svorkami z ocele s vysokou odolnos ou ako napr model IC 63250 DCMZ od firmy Agilent Ni ie uveden tabu ka obsahuje potrebn po et svoriek IC 63250 DCMZ pre ka d ve kos pr ruby spolu s u ahovac m momentom Tab 2 PR RUBA UPEV OVAC MECHANIZMUS PO ET UTAHOVACI KR TIACI MOMENT ISO 63 K svorky M10 4 22 Nm Turbov veva so vstupnou pr rubou ConFlat mus by pripojen k v kuovej komore pomocou vhodn ho hardware zna ky Agilent Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information Zariadenie TwisTorr 84 FS sa nem e upevni pomocou vlastnej z kladne 240 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod na Obsluhu 14 Pouzitie vyvevy TwisTorr 84 FS NEBEZPE NEBEZPE Dbajte na to aby bolo zariadenie pou vane spr vnym sp sobom Odpor ame obsluhuj cemu pracovn kovi tohto pr stroja aby ho pou val sp sobom uved
97. iculate and corrosive gases that could move into the pump To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the M12 screw from the purge port as shown in the following figure Figure 39 and then screw the M12 gas purge valve with a torque of 2 5 Nm 316 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Twislorr 84 FS On Board Controller Installation The on board controller can be mounted in two position bottom mounting as per the complete system side mounting To install the controller proceed as described in the following procedures Bottom Mounting See the following figure 1 2 cl A Turn the pump upside down Screw the 4 fixing studs provided with the accessories bag into the holes on the pum bottom Place the controller on the studs aligning the 4 rubber holes on the top of the controller case Press the controller towards the pump Turn the pump up again Plug the line cord and connect the pump cable to the pump Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 317 334 17 Technical Information TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation Figure 40 Mounting 1 Side Mounting NOTE The L shaped bracket P N X3500 68006 is available as an option See the following figure 1 O 61 ww 318 334 Screw the 4 fixing studs provided with the accessories bag in
98. ilizzare sempre guanti o altra protezione adeguata La TwisTorr 84 FS non pu essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all atmosfera Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell installazione sul sistema onde evitare eventuale inguinamento da polvere TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 21 334 Istruzioni per uso 1 Preparazione per l installazione X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 Figura 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 22 334 Istruzioni per uso 1 Installazione ATTENZIONE WARNING La pompa funziona ad alta velocit di rotazione e la pompa viene spedita unitamente al controller le parti rotanti sono protette con una barriera meccanica per prevenire il contatto Se la pompa viene spedita senza il controller non fornita di barriera meccanica Poiche la pompa non pu funzionare senza controller si prega di installare la pompa prima di azionarla Il funzionamento della pompa senza che sia collegata al sistema permtte di toccare le parti in movimento che possono provocare gravi infortuni II cavo di alimentazione del controller svolge anche la funzione di disconnessione dall alimentazione elettrica del controller e della pompa in caso di emergenza Assicurarsi che il cavo di alimetazione elettrica dell apparato possa essere facilmente raggiunto per poterlo scollegare Prevedere uno spazio adeguato dietro la presa di alimen
99. imaria v ase esquema en el anexo Technical Information Los controladores disponibles son los siguientes Tab 1 NUMERO DE PIEZA CONTROLADORES E X3908 64001 TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 u E X3908 64002 nn WisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc W X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 z E X3909 64001 en TwisTorr 84 FS on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB La TwisTorr 84 FS es conforme a la categor a de instalaci n Il prevista por la normativa EN 61010 1 Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una linea de alimentaci n adecuada para dicha categoria Para instalar los accesorios opcionales v ase Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 75 334 4 Manual de istrucciones Fijacion de la bomba Fijaci n de la bomba LVL IHT La falta de cumplimiento de estas instrucciones de instalaci n en caso de que se produzca una averia en el rotor puede implicar la separaci n de la bomba del sistema causando danos heridas graves o la muerte La TwisTorr 84 FS puede instalarse en cualquier posici n Fijar la TwisTorr 84 FS en posici n estable montando la brida de entrada de la turbobomba a la contrabrida del sistema con una conexi n que pueda resistir a un par de 250 Nm alrededor de su eje La brida ISO K puede ser fijada utilizando mordazas de acero de alta resistencia tipo modelo Agilent IC 63250 DCMZ La siguiente tabla indica
100. ime is exceeded the pump has to be returned to the factory Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instructions for Use 16 Preparation for installation The TwisTorr 84 FS pump is supplied in a special protective pack ing If this shows signs of damage which may have occurred during transport contact your local sales office When unpacking the pump be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to the TwisTorr 84 FS pump Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 94 62 and subsequent amendments In order to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Always use gloves or other appropriate protection Normal exposure to the environment cannot damage the TwisTorr 84 FS Nevertheless it is advisable to keep it closed until it is installed in the system thus preventing any form of pollution by dust TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 267 334 16 Instructions for Use Preparation for installation Figure 1 X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 268 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instructions for Use 16 Installation WARNING The pump is running at high speed If the pump is delivered together with a
101. inadores e portanto adequado para aplicac es que requerem um v cuo limpo Nos seguintes par grafos est o descritas todas as informac es necess rias para garantir a seguranca do operador durante o uso da aparelhagem Informac es detalhadas sao fornecidas no ap ndice Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 83 334 5 Manual de Istruc es Informac es gerais Este manual utiliza as seguintes convenc es PUNGE As mensagens de aten o atraem a aten o do operador num procedimento ou uma pr tica espec fica que se n o executada de modo correto poderiam provocar graves les es pessoais CUIDADO As mensagens de cuidado s o visualizadas antes de proceder que se n o observadas poderiam causar danos aparelhagem As notas cont m informa es importantes estrapoladas pelo texto 84 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de Istruc es 5 Simbolos de seguranca O aparelho marcado com este simbolo quando o operador deve consultar o manual de instruc es a fim de se proteger contra os riscos de danos e para proteger o aparelho contra eventuais danos K O aparelho marcado com este s mbolo quando o operador deve se manter distante durante o funcionamento do aparelho O aparelho marcado com este simbolo quando o usu rio deve ligar o aparelho a terra TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 85 334 5 Manual de Istruc es Armazenagem A
102. ion VARNING VARNING Pumpen fungerar p h g rotationshastighet Om pumpen levereras tillsammans med en styrenhet har de r rliga delarna skyddats med ett mekaniskt skydd f r att f rhindra en kontakt Om pumpen levereras utan styrenheten medf ljer inget mekaniskt skydd Eftersom pumpen inte fungerar utan en styrenhet ska pumpen installeras innan den s tts ig ng Om pumpen s tts i funktion utan att den ansluts till systemet kan leda till att r rliga delar vidr rs vilket kan orsaka allvarliga olyckor Styrenhetens elkabeln kopplar ven ur elf rs rjningen till styrenheten ooch pumpen vid n dl ge Se till att apparatens elkabel l tt kan n s f r att kopplas ur F rutse ett Impligt utrymme bakom styrenhetens eluttag f r att koppla ur kabeln Om styrenheten inte kan installeras I systemet s att elkabeln l tt kan n s ska ett annat frankopplingssystem installeras ETUI Ta bort tejpen och skyddsproppen f rst n r turbopumpen ska anslutas till systemet TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 139 334 8 Bruksanvisning Installation Figur 3 140 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bruksanvisning 8 Installeraden h r apparaten endast i st ngda milj er och anv nd den hur som helst inte i milj er som uts tts f r p verkan fr n atmosf ren regn sn is damm aggressiva gaser och inte heller i explosiv eller brandfarlig milj F ljande krav p omgivningsf rh llanden g
103. ion 123 Fastggring af pumpen 126 Anvendelse af TwisTorr 84 FS 127 Vedligeholdelse 129 Bortskaffelse 130 Bruksanvisning 131 S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar132 Allm n information 133 F rvaring 136 F rberedelser f r installation 137 Installation 139 Fasts ttning av pumpen 142 Anv ndning av TwisTorr 84 FS 143 Underh ll 145 Bortskaffning 146 Instruksjon Manual 147 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper 148 Generell informasjon 149 Lagring 152 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Contents Klargjore til installasjon 153 Installasjon 155 Festing av pumpen 158 Bruk av TwisTorr 84 FS 159 Vedlikehold 161 Eliminering 162 10 Ohjek sikirja 163 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 164 Yleisia tietoja 165 Varastointi 168 Valmistelut asennusta varten169 Asennus 171 Pumpun kiinnitys 174 TwisTorr 84 FS k ytt 175 Huolto 177 H vitt minen 178 11 Felhaszn l i Kezik nyv 179 Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 180 ltal nos inform ic 181 T rol s 104 El keszites telepitesre 185 Telepit s 187 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 9 334 Contents 10 334 12 13 A szivatty r gzitese 190 A TwisTorr 84 FS haszn lata 191 Karbantart s 193 Megsemmis t s 194 Podrecznik Instrukcji 195 Wskazowki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych 196 Og lne Informacje 197 Magazynowanie 200 Przygotowanie do instala
104. jelz s ha a kezel nek a berendezes m k dese alatt att l t vol kell tart zkodnia A berendez sen akkor jelenik meg ez a jelz s ha a felhaszn l nak f ldelnie kell a berendez st TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 183 334 11 Felhaszn l i K zik nyv T rol s T rol s A Agilent turbomolekul ris szivatty k maxim lis teljes tm nyszintj nek garant l s ra a k vetkez tmutat sokat kell k vetni szivatty k sz ll t sakor mozgat sakor s t rol sakor a k vetkez k rnyezeti param tereket nem szabad t ll pni h m rs klettartom ny 40 C 70 C relativ p ratartalom 0 90 nem kondenz l A turbomolekul ris szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhaszn l atveszi s el sz r zemelteti ket Egy turbomolekul ris szivatty rakt roz si ideje 12 h nap a szallitas d tum t l szamitva FIGYELEM Ha valamilyen okb l a rakt rozhat si id t t ll pik a szivatty t vissza kell vinni a gy rba K rem inform ci rt forduljon a helyi Agilent vakuumkereskedelmi s szolgaltatasi k pviselethez 184 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Felhaszn l i K zik nyv 11 Elokeszites telepitesre A TwisTorr 84 FSt k l nleges v d csomasol sban szallitjak Ha ez s r l s jeleit mutatja ami sz ll t s k zben felmer lhet forduljon a helyi szolg ltat si irod hoz TwisTorr 84 FS A rendszer kicsomagolasakor gy
105. jemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energia de rotaci n podria ser liberada TONS ANA Para evitar da os a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalaci n descritas en el presente manual 66 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de istrucciones 4 Informaci n general Este equipo es para uso profesional El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra informaci n suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones al uso impropio por parte de personal no preparado a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales especificas La TwisTorr 84 es una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacio capaz de bombear cualquier tipo de gas o compuesto gaseoso pero no es adecuada para bombear liquidos ni particulas s lidas El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad 81000 r p m m x movida por un motor el ctrico trif sico de alto rendimiento La TwisTorr 84 FS no posee ning n agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que reguieren un vacio limpio A continuaci n se facilita toda la informaci n necesaria para sarantizar la s
106. jgforhold overstiges Temperatur fra 40 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 90 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og startes opp f rste gang Lagringstiden for en turbomolekyl r pumpe er 12 m neder fra sendedato LIT gfe Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger m pumpen returneres til fabrikken Vennligst kontakt den lokale Agilent forhandleren for informasjon 152 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instruksjon Manual 9 Klargjore til installasjon TwisTorr 84 FS leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje Viser denne tegn p skader som kan ha oppst tt under transporten m du ta kontakt med det lokale salgskontoret N r TwisTorr 84 FS pakkes ut m du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for stet Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar med EU direktiv 94 62 EF om emballasje og emballasjeavfall samt etterfolgende endringer duse For unng avgassingsproblemer m ingen del som skal utsettes for vakuum h ndteres med bare hendene Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr Normale miljgmessige belastninger kan ikke odelegge TwisTorr 84 FS Likevel anbefaler vi holde pumpen lukket til den er montert I systemet slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstoving TwisTorr 84 FS User Manua
107. jte jej od s t odvzdu n te v v vu otev en m p slu n ho ventilu po kejte a se rotor p estane ot et a po kejte dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V p pad poruchy kontaktujte m stn servisn st edisko firmy Agilent kter m e dodat n hradn repasovan za zen v m nou za porouchan P ed odesl n m v vevy v robci na opravu nebo v m nu za repasovan kus mus te list Request for Return p ilo en k tomuto n vodu vyplnit a odeslat do kancel e m stn ho prodejn ho odd len Pred odesl n m za zen mus te k za zen p ibalit kopii tohoto listu Pokud je t eba syst m definitivn vy adit z provozu mus se zlikvidovat v souladu s konkr tn mi st tn mi normami TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 227 334 13 N vod k Pou it Likvidace Likvidace V znam loga WEEE nach zej c ho se na t tku N e uveden symbol odpov d sm rnic m CE pojmenovanym WEEE Tento symbol platn jen pro st ty Evropsk Unie ur uje e v robek kter je takto ozna en NESM b t likvidov n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek likvidovat doporu ujeme aby se nakontaktoval p mo s v robcem nebo prodejcem kter se po pat i n m prov
108. kan installeras i valfri position F st TwisTorr 84 FSi ett stabilt l ge genom att montera pumpens intagsfl ns till systemetskontrafl ns med en anslutning som m ste t la ett vridmoment p 1 000 Nm kring sin axel Fl nsen ISO K kan till exempel fixeras med hoghallfasta stalbyglar modell Agilent IC 63250 DCMZ I tabellen nedan beskrivs f r varje fl nsstorlek det antal byglar IC63250DCMZ som erfordras och med vilket moment de ska dras t Tab 2 FL NS TYP AV KLAMMER ANT ATDRAGNINGS MOMENT ISO 63 K Dubbel klammer med g nga M10 4 22 Nm Turbopumparna med intagsfl ns ConFlat ska f stas till vakuumkammaren med hj lp av Agilent f stdelar F r detaljer h nvisas till bilaga Technical Information TwisTorr 84 FS systemet kan inte fastsp nnas med sin egen bas 333173315 Turbo V 81 M TwisTorr 84 FS tillh r en andra installationsklass eller 142 334 versp nning som f rutses av standarden SS EN 61010 1 Anslut d rf r anordningen till ett f rs rjningsn t som uppfyller kraven f r den h r klasssen TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bruksanvisning 8 Anv ndning av TwisTorr 84 FS VARNING VARNING Se till att apparaten anv nds p r tt s tt Det rekommenderas att operat ren anv nder apparaten p det s tt som anges handboken Om anvisningarna i den h r handboken inte iakttas kan det st lla apparatens skydd pa spel Alla instruktioner f r en optimal prestanda och drif
109. kate u miestneho zast penia spolo nosti Agilent pre predaj a servis 234 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod na Obsluhu 14 Pr prava na In tal ciu V veva TwisTorr 84 FS sa dod va v peci lnom ochrannom balen Ak je balenie po koden o sa m e sta napr klad po as prepravy obr te sa na miestne zast penie spolo nosti Agilent Pri vyba ovan d vajte pozor aby v veva TwisTorr 84 FS nespadla a chr te ju pred n hodn mi n razmi otrasmi alebo vibr ciami Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovate n a spl a po iadavky smernice 94 62 ES v zmysle n sledn ch prav Ak chcete pred s probl mom s odply ovan m nechytajte komponenty ktor bud vystaven v kuu hol mi rukami V dy pou vajte rukavice alebo In vhodn ochranu V vevu TwisTorr 84 FS nie je mo n po kodi jednoduch m vystaven m atmosf rick m vplyvom Napriek tomu je vhodn aby zariadenie zostalo zabalen a do in tal cie kv li prevencii kontamin cie prachom TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 235 334 N vod na Obsluhu 14 Priprava na inStal ciu Obr zok 1X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 236 334 Instalac a NEBEZPECI NEBEZPECI N vod na Obsluhu 14 Vyveva sa po as svojej innosti ot a vysokou r chlos ou Ke je v veva dodan
110. ke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov rpalka je zasnovana za prenos velike koli ine du ika argona in la jih plinov e bi eleli rpati pline ki so te ji od argona se posvetujte s slu bo za tehni no pomo Agilent TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Priro nik za Navodila 15 Vzdrzevanje Crpalke TwisTorr 84 FS ne potrebujejo nikakrSnega vzdrzevanja KakrSno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje SVARILO Pred za etkom dela na sistemu ga izklju ite iz napetosti pre istite rpalko tako da odprete primerno odprtino po akajte da se rotor ustavi an po akajte da povr inska temperatura rpalke pade pod 50 C V primeru okvare kontaktirajte lokalni Agilent servisni center ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim Preden odnesete rpalko na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto morate izpolniti Reguest for Return obrazec ki je prilozen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni Pred po iljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embala o sistema Sistem je treba uni iti v skladu z dolo enimi nacionalnimi standardi TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 259 334 15 Priro nik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov 260 334 Pomen znamke WEEE na etiketah Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom WEEE Ta simbol ki velja samo v dr avah Evropske Skupnosti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI s
111. krav til omgivelsesforholdene g lder ved drift max tryk 2 bar over det atmosf riske tryk temperatur fra 5 C til 35 C relativ luftfugtighed 0 90 ikke kondenserende Hvis pumpen er anbragt i neerheden af elektromagnetiske felter skal den afskermes Se bilaget Technical Information for yderligere oplysninger Den turbomolekyleer pumpe TwisTorr 84 FS m kun benyttes med en af de specielle Agilent controller og de skal tilsluttes med en primeer pumpe se skemaet i bilaget Technical Information De controller som st r til r dighed er folgende Tab 1 VARENUMMER CONTROLLER E X3908 64001 nen TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 cc E X3908 64002 ne is Torr 84 FS AG Rack Profibus cc E X3909 64000 SRA m E X3909 64001 nen TwisTorr 84 FS on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB TwisTorr 84 FS er i overensstemmelse med installationskategorien fastlagt i standarden EN 61010 1 Slut derfor anordningen til en forsyningslinie som opfylder kravene i denne klasse Der henvises til bilaget Technical Information for oplysninger vedrgrende installation af ekstraudstyret TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 125 334 7 Istruktionsbog Fastgoring af pumpen Fastgoring af pumpen AYO IE Manglende ovreholdelse af denne monteringsvejledning kan i tilf lde af at rotoren g r i stykker medf re at pumpen losrives fra systemet og forasager skader alvorlige kveste
112. kupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki temve morate poskrbeti za njihovo primerno lo evanje Zato pozivamo uporabnike da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku lo evanja in odstranitve odpadkov ele nato ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual i e amp i e e s 000 0 16 Instructions for Use NE Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 262 v General Information 263 Safety Symbols 265 Storage 266 Preparation for installation 267 Installation 269 Pump Fixing 212 Use of TwisTorr 84 FS 273 Maintenance 215 Disposal 276 Original instructions TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 261 334 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed 262 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01
113. l 50 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Mode d emploi 3 Indications generales Cet appareillage a t concu en vue d une utilisation professionnelle Avant toute utilisation de l appareil il est conseill l utilisateur de lire attentivement cette notice dinstructions ainsi que toute autre indication suppl mentaire fournie par Agilent qui d cline par cons quent toute responsabilit en cas de non respect total ou partiel des instructions donn es d utilisation impropre par un personnel non form d op rations non autoris es ou d emploi contraire aux r glementations nationales sp cifiques La TwisTorr 84 FS est une pompe turbomol culaires pour des applications de vide pouss et ultrapouss en mesure de pomper n importe quel type de gaz ou de compos non corrosif Elles ne sont pas adapt es au pompage de liquides ou de particules solides L effet de pompage est obtenu gr ce a une turbine tournant a vitesse lev e 81000 tr min maxi mue par un moteur lectrique triphas haut rendement Le TwisTorr 84 FS est totalement exempt d agents polluants et il est par cons quent indiqu pour toutes les applications exigeant un vide propre Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications n cessaires garantir la s curit de l op rateur pendant l utilisation de l appareillage Des renseignements plus d taill s se trouvent dans appen dice Technical Information TwisTorr 84 FS User
114. l 87 901 043 01 153 334 Instruksjon Manual Klargjore til installasjon Figur 1 X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 154 334 Instruksjon Manual 9 Installasjon ADVARSEL ADVARSEL FORSIKTIG Pumpen har hey rotasjonshastighet under drift Hvis pumpen blir sendt sammen med kontrolleren er de roterende delene beskyttet av en mekanisk barriere for forhindre kontakt Hvis pumpen blir sendt uten kontroller er den ikke utstyrt med en mekanisk barriere Ettersom pumpen ikke kan fungere uten kontroller m du installere pumpen f r den aktiveres Drift av pumpen uten at den er koblet til systemet gj r det mulig ber re de bevegelige delene Dette kan f re til alvorlige ulykker Kontrollerens str mkabel har ogs som oppgave koble fra den elektriske forsyningen til kontrolleren og pumpen i n dstilfeller S rg for at apparatets str mkabel er lett tilgjengelig slik at den kan kobles fra La det v re nok plass bak kontrollerens kontakt slik at kabelen kan kobles fra Hvis kontrolleren ikke kan installeres systemet slik at str mkabelen er lett tilgjengelig m det installeres et annet system for koble fra hovedstr mforsyningen Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes f rst n r turbopumpen koples til systemet TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 155 334 9 Instruksjon Manual Installasjon Figur 3 156 334 TwisTorr 84
115. l cable de alimentaci n el ctrica del equipo para poder desconectarlo Prever un espacio adecuado detr s de la toma de alimentaci n del controlador para desconectar el cable Si el controlador no puede instalarse en el sistema para poder acceder facilmente al cable de alimentaci n debe instalarse un sistema diferente de desconexi n de la alimentaci n el ctrica principal ATENCI N Despegar el adhesivo y quitar el tap n de protecci n s lo al conectar la bomba al sistema TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 13 334 4 Manual de istrucciones Instalaci n Figura 2 Figura 3 14 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 ATENCI N Manual de istrucciones 4 Instalar esta bomba s lo en ambientes cerrados y en ning n caso utilizarla en lugares expuestos a agentes atmosf ricos lluvia hielo y nieve polvo y gases agresivos en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C humedad relativa O 90 no condensadora Cuando existan campos electromagn ticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas V ase el anexo Technical Information para m s detalles La bomba TwisTorr 84 FS debe usarse exclusivamente con uno de los controladores Agilent y debe conectarse a una bomba pr
116. ldamento L elevata temperatura pu causare lesioni alle persone TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 21 334 1 Istruzioni per uso Uso della TwisTorr 84 FS Vus Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della pompa quando in funzione cuscinetti potrebbero danneggiarsi Per la mandata all aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica Per il pompaggio di gas contenenti particolato o inquinanti aggressivi per i cuscinetti queste pompe sono dotate di una apposita porta di purge vent integrato attraverso la quale necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte Azoto Elio o Argon per proteggere i cuscinetti della pompa vedere l appendice Technical Information Geirs Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi che possano danneggiare I materiali interni alla pompa NA A 43 72 04 Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici infiammabili o radioattivi seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi La pompa progettata per avere un alto trasferimento di Azoto Argon e gas pi leggeri Nel caso in cui ci fosse la necessit di pompare gas pi pesanti dell Argon si prega di prendere contatti con l Assistenza Tecnica della Agilent per informazioni 28 334 TwisT
117. lke Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke Turbomolekularne rpalke opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali po kodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija SVARILO Da bi se izognili po kodbam opreme in prepre ili po kodbe osebja morate natan no slediti navodilom za name anje iz tega priro nika 246 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Priro nik za Navodila 15 SploSne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije ki mu jih je posredoval Agilent Agilent ni odgovoren za dogodke ki bi nastali zaradi neupoStevanja teh navodil nepravilne uporabe in nepooblastenega poseganja v opremo ali kakrSnega koli dejanja ki niso v skladu s standardi Crpalke iz serije TwisTorr 84 FS so turbomolekularne rpalke za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo Sistem lahko Crpa vse tipe plinov in plinskih zmesi ni pa primeren za rpanje teko in ali trdnih delcev Crpanje se izvaja preko hitre turbine maks 81000 rpm ki jo vodi visoko u inkovit 3 fazni elektri ni motor TwisTorr 84 FS ne vsebuje onesna evalnih agentov in je primeren za isto vakuumiranje Naslednji odstavki vsebujejo informacije ki so potrebne z
118. lser eller dodsfald TwisTorr 84 FS kan installeres i en hvilken som helst position Fastg r TwisTorr 84 FS i en stabil position ved at montere turbopumpens indlgbsflange p systemets kontraflange med en tilslutning der t ler et moment p 250 Nm omkring akslen Flangen ISO K kan fastg res med klemmer af hojstyrkest l type Agilent model IC 63250 DCMZ Nedenst ende tabel viser for hver flangestgrrelse hvor mange IC63250DCMZ klemmer der kr ves samt med hvilket speendingsmoment de skal strammes Tab 2 FLANGE KLEMMETYPE ANT DREJNINGS MOMENT ISO 63 K Dobbelt klemme gevind M10 4 22 Nm Turbopumpen med ConFlat indlobsflange skal tilsluttes pa vakuumkammeret ved hjeelp af Agilent monteringsudstyret I bilaget Technical Information findes yderligere detaljer TwisTorr 84 FS kan ikke fastg res i fundamentet TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Istruktionsbog 7 Anvendelse af TwisTorr 84 FS ANT ARS Sorg for korrekt brug af enheden Brugeren af dette instrument tilr des at bruge udstyret som angivet i denne vejledning Manglende overholdelse af anvisningerne i denne manual kan forringe den beskyttelse udstyret giver Alle instruktionerne for den korrekte funktion af turbopumpen er indeholdt i manualen for styreenheden Les omhyggeligt denne manual f r den anvendes For at opn bedre begr nsnings tryk er det muligt at opvarme systemet Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret m tempe
119. mkamra esetleges felmelegitese sor n a bemeneti nyjl sn l mert h m rs klet nem lehet magasabb mint 120 C ConFlat tipus illeszt perem eset n illetve a 80 C h m rs kletet ISO illeszt perem eset n Mindig alkalmazzon vizh test a melegites soran Soha ne haszn lja a turb szivatty t ha a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vakuumkamrahoz nem z rja azt le a lezarokarima Ne erintse meg a turb szivatty t vagy annak tartozekait a melegitesi folyamat k zben A magas h merseklet egesi ser leseket okozhat TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 191 334 11 Felhaszn l i K zik nyv A TwisTorr 84 FS haszn lata steve sy Kerilje a szivatty t s t r z s t vagy durva mozgat s t zem k zben A csap gyak megs r lhetnek Haszn ljon port l s szil rd r szekt l mentes leveg t vagy k z mb s g zt a szivatty szell ztet s hez A szell z porton l v nyom snak 2 barn l kisebbnek kell lennie a l gk ri nyom s f l tt A partikul tumot vagy agressz v szennyez d st tartalmaz g zok szivatty z s hoz ezek a szivatty k fel vannak szerelve egy k l nleges porttal integr lt purge vent amelyen kereszt l a szivatty csap gyainak v delm re k z mb s g zt pl nitrog n h lium argon kell bevezetni l sd Technical Information f ggel k aea Soha ne haszn lja a szivatty t olyan mar g zok vagy g z k jelenl t ben amelyek a szivatty belsej ben l v a
120. mm isen kerran Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 12 kuukautta toimitusp iv st Jos varastointiaika on jostain syyst pidempi pumppu tulee palauttaa tehtaalle Pyyd lis tietoja paikalliselta Agilent edustajalta 168 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Ohjek sikirja 10 Valmistelut asennusta varten TwisTorr 84 FS pumppu toimitetaan erityisess suojapakkauksessa mik li siin on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TwisTorr 84 FS in putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tarinoita Pakkausta ei tule jattaa ymp rist n Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivia 94 62 EY ymp rist n suojelusta ja seuraavia muutoksia Jotta kaasun vuoto ongelmilta v ltytt isiin el tyhji lle altistuviin osiin tule koskea paljain k sin K ytt k aina k sineit tai muuta sopivaa suojausta TwisTorr 84 FS ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa auki On kuitenkin suositeltavaa pit se suljettuna kunnes se asennetaan j rjestelm n Siten v ltet n laitteen mahdollinen p lysaastuminen TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 169 334 Ohjek sikirja 10 Valmistelut asennusta varten X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 Kuva 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 170 334 As
121. mo e by mocowana z wykorzystaniem jej wlasnej podstawy TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 207 334 12 Podrecznik Instrukcji Uzytkowanie pompy TwisTorr 84 FS Uzytkowanie pompy TwisTorr 84 FS ZAGROZENIE Nale y zapewni poprawne u ytkowanie urzadzenia Zaleca sle aby operator tego urzadzenia pracowat ze sprzetem w spos b okreslony w niniejszej instrukcji Nieprzestrzeganie zalece podanych w niniejszej instrukcji mo e wp yn negatywnie na zabezpieczenie zapewniane przez urz dzenie Wszystkie instrukcje dotycz ce prawid owego funkcjonowania pompy turbinowej zosta y opisane w instrukcji u ytkowania jednostki kontroli Przed u ytkowaniem uwa nie przeczyta wspomniane instrukcje By uzyska optymalne dopuszczalnie ci nienie przewidziane zosta o ewentualne nagrzanie systemu Podczas ewentualnego nagrzewania kamery pr niowej temperatura na ko nierzu z cznym nie powinna przekracza 120 C z wywinietym ko nierzem ConFlat oraz 80 C i z wywini tym ko nierzem ISO Zawsze stosowa ch odzenie wodne podczas fazy nagrzewania Absolutnie nie wolno uruchamia pompy w przypadku kiedy ko nierz wej ciowy nie jest pod czony do komory lub nie jest zamkni ty z ko nierzem zamkni cia Nie dotyka turbopompy i jej ewentualnych akcesori w podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura mo e spowodowa obra enia cielesne os b 208 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Podr
122. n av pumpen AVON SIE N r pumpen brukes for pumpe giftige brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene f lges Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige milj er Pumpen er utformet for overf re nitrogen argon og lettere gasser Ta kontakt med Agilents tekniske kundest tte for mer informasjon hvis du m pumpe gasser som er tyngre enn argon TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instruksjon Manual 9 Vedlikehold ADVARSEL TwisTorr 84 FS er vedlikeholdsfri Alt arbeid p systemet m kun utfgres av autorisert personell For noe arbeid gjores pa systemet m det frakoples stromtilforselen pumpen m luftes ved pne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom systemet stanser m du ta kontakt med Agilents reparasjonservice eller med Agilents avanserte bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatning for det gdelagte systemet For systemet returneres til produsenten for reparasjon eller som innbytte for et overhalt system m det vedlagte skjemaet Request for Return fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret En kopi av dette arket m vedlegges systemet som sendes tilbake Dersom et system skal kasseres m dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 161 334 9 Instruksjon Manual Eliminering Elimine
123. n und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise 32 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Gebrauchsanleitung 2 Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist f r den fachm nnischen Gebrauch bestimmt Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen unsachgem fsem Gebrauch durch ungeschultes Personal nicht autorisierten Eingriffen und Mifsachtung der nationalen einschl gigen Normen bernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung TwisTorr 84 FS ist eine Turbomolekularpumpe f r Hoch und H chstvakuumanwendungen die jede beliebige Art von Gasen oder gasf rmigen Gemischen pumpen k nnen Sie sind nicht f r das Pumpen von Fl ssigkeiten oder Festk rperpartikeln geeignet Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine max 81000 l min erreicht die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird Modell TwisTorr 84 FS enth lt keinerlei umweltsch dliche Substanzen und eignet sich deshalb auch fur Anwendungen die ein sauberes Vakuum erfordern In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen f r die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Ger ts aufgef hrt Detaillierte technische Informationen sind im Anhang Technical Information enthalten TwisTorr
124. nditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 5 U to 35 C relative humidity 0 90 non condensing In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield See the appendix Technical Information for detailed information The TwisTorr 84 FS pumps must be used in conjunction with one of the suitable Agilent controller and they must be connected to a primary pump see Technical Information Tab 1 PART NUMBER CONTROLLER E X3508 64001 TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 cc N X3908 64002 TwisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc W X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 cc E X3909 64001 en TwisTorr 84 FS on board24V kk X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB CAUTION The TwisTorr 84 FS complies to installation category II as per directive EN 61010 1 Connect the device to a mains line that satisfies the above category For installation of optional accessories see Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 271 334 16 Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing WARNING Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure which could cause property damage or serious injury or death The TwisTorr 84 FS can be installed in any position Fix the TwisTorr 84 FS in a stable position
125. ne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko a ivljenjska doba turbomolekularne rpalke je 12 mesecev od datum po iljanja POZOR e zaradi kakr nega koli razloga prese ete ivljenjsko dobo je treba rpalko vrniti v tovarno Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum 250 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Priro nik za Navodila 15 Priprava za montazo Crpalka TwisTorr 84 FS je dobavljena v posebni za itni embala i e je embala a po kodovana kontaktirajte lokalno prodajno pisarno Pri odpiranju embala e pazite pazite da vam rpalka TwisTorr 84 FS ne pade iz rok in ne izpostavljajte je udarcem ali tresljajem Embala e ne odlagajte v okolje Material je mogoce v celoti reciklirati in izpolnjuje zahteve Direktive Evropskega parlamenta in Sveta 94 62 ES o embala i in odpadni embala i ter nadnadnih sprememb POZOR Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj boste tako prepre ili probleme pu anja Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno za ito Normalna Izpostavljenost na okolje ne more po kodovati naprave TwisTorr 84 FS Kljub temu je priporo ljivo da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem S tem boste preprecili onesna enje s prahom TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 251 334 Prirocnik za Navodila Priprava za monta o 15 Slika 1 X3502 64000 X3502 6
126. ngen af WEEE logoet pa meerkaterne Nedenst ende symbol anvendes i overensstemmelse med det s kaldte EU direktiv WEEE Symbolet kun g ldende for EU landene viser at produktet som det sidder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandoren af anordningen enten fabrikken eller en forhandler for igangseettelse af afhentnings og bortskaffelsesprocessen efter ngje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual Bruksanvisning S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar 132 Allm n information 133 S kerhetssymboler 135 F rvaring 136 F rberedelser f r installation 137 Installation 139 Fasts ttning avpumpen 142 Anv ndning av TwisTorr 84 FS 143 Underh ll 145 Bortskaffning 146 vers ttning av originalinstruktionerna i Agilent Technologies 131 33 e e e e 8 Bruksanvisning S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar De molekyl ra turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en h g kinetisk energi beroende p den h ga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppst i systemet t ex pa grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det h nd
127. nik pred uporabo Za dosego bolj ih mejnih pritiskov je mo no segreti sistem Pri morebitnem segrevanju vakuumske komore temperatura dovodne prirobnice ne sme prese i 120 stopinj C s prirobnicami ConFlat in 80 stopinj C s prirobnicami ISO Vedno morate uporabiti vodno hlajenje med segrevanjem Turbo rpalke ne uporabljajte e dovodna prirobnica ni priklju ena na vakuumsko le i e Tekom segrevanja se turbo rpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatura lahko povzro i opekline TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 257 334 15 Priro nik za Navodila Uporaba rpalke TwisTorr 84 FS POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom rpalke tekom delovanja Nosilci se lahko po kodujejo Za prezra evanje rpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev Pritisk na oddu niku mora biti manj i od 2 bara nad pritiskom atmosfere Za rpanje plinov z agresivnimi delci ali onesna evali so te rpalke opremljene s posebnim vgrajenim odvodnim odzra evalnim priklju kom ki omogo a stalen dovod inertnega plina du ik helij ali argon za za ito le ajev rpalke glej prilogo Technical Information POZOR Nikoli ne uporabljajte rpalke v primeru jedkih plinov ali hlapov ki lahko po kodujejo notranje strukture rpalke SVARILO Pri rpanju strupenih vnetljivih ali radioaktivnih plinov sledite zahtevanim 258 334 navodilom za odstranjevanje vsakega plina rpal
128. norme EN 61010 1 Dlatego te nalezy podtaczy urzadzenie do linii zasilania kt ra spe nia te wymogi Aby zainstalowa opcjonalne akcesoria nale y zapozna si z Technical Information 206 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Podrecznik Instrukcji 12 Mocowanie pompy ZAGROZENIE Nieprzestrzeganie tych instrukcji dotyczacych instalacji moze w przypadku powstania usterki wirnika spowodowac odtaczenie sie pompy od systemu a w konsekwencji doprowadzic do uszkodzen sprzetu obrazen cielesnych osob a nawet Smierci Pompa TwisTorr 84 FS mo e by zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji Pompe TwisTorr 84 FS nalezy zamocowa w stabilnej pozycji cz c ko nierz wej ciowy turbopompy do ko nierza sta ego wytrzyma ego na obci enie 250 Nm wok w asnej osi Ko nierz ISO K mo e by zamocowany za pomoc zacisk w stalowych o wysokiej wytrzymalno ci typ modelu Agilent IC 63250 DCMZ Niniejsza tabela podaje dla ka dego rozmiaru ko nierza ilo potrzebnych zacisk w IC63250DCMZ i moment jakim nale y je dokr ci Tab 2 KO NIERZ TYP ZACISKU ILO MOMENT DOKR CENIA ISO 63 K Podw jny zacisk z gwintem M10 4 22 Nm Turbopompa z kolnierzem wejsciowym ConFlat musi by zamocowana do komory pr zniowej poprzez odpowiednie drobne uk ady mechaniczne firmy Agilent W celu dodatkowych informacji nale y zapozna sie z dodatkiem Technical Information Pompa TwisTorr 84 FS nie
129. not followed correctly could lead to serious injury CAUTION The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment The notes contain important information taken from the text 264 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instructions for Use 16 Safety Symbols The apparatus is marked with this symbol when the user should refer to the instruction manual in order to protect risk of harm to the operator and to protect the apparatus against damage The apparatus is marked with this symbol when the user should stay clear during operation of the apparatus The apparatus is marked with this symbol when the user has to connect a protective earth connection to the apparatus TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 265 334 16 Instructions for Use Storage Storage 266 334 In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps the following guidelines must be followed when shipping moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 40 C to 70 C relative humidity range 0 to 90 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer the shelf life of a turbomolecular pump is 12 months from the shipping date If for any reason the shelf life t
130. nual 87 901 043 01 165 334 10 Ohjek sikirja Yleisia tietoja T m k sikirja k ytt seuraavanlaisia merkint j VACIA Varoitus merkit saavat k ytt j n kiinnitt m n huomion erityiseen k ytt tai toimintatapaan jonka v r nlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkil vaurioihin Huomio merkinn t varoittavat toimenpiteist joiden laiminly nti voi johtaa laitteen vaurioitumiseen Huomiot sis lt v t t rke tekstist otettua tietoa 166 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Ohjek sikirja 10 Turvamerkit MERKKIEN KUVAUS Laitteessa on t m merkki kun k ytt j n on viitattava ohjekirjaan suojautuakseen vahingoilta ja suojatakseen laitetta mahdollisilta vahingoilta Laitteessa on t m merkki kun k ytt j n on pysytt v siit loitolla sen toiminnan aikana Laitteesa on t m merkki kun k ytt j n on maadoitettava laite TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 167 334 10 Ohjek sikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi eritt in tehokkaasti ja luotettavasti Kun pumppua kuljetetaan siirret n ja varastoidaan seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 40 C 70 C suhteellinen kosteus O 90 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja k ytt ess n sit ensi
131. nyagokat k ros thatj k Amikor a szivatty t m rgez t zvesz lyes vagy radioaktiv g zok szivatty z s ra haszn lja k vesse az egyes g zok kezel s re vonatkoz elj r sokat Ne haszn lja a szivatty t robban g zok jelenl t ben A szivatty t gy tervez tk hogy nitrog n argon s m s k nnyebb g zok j tvitel t biztos tsa Amennyiben az argonn l nehezebb g zok szivatty z s ra lenne sz ks g k rj k forduljon az Agilent gyf lszolg lat hoz t j koztat s v gett 192 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Felhaszn l i K zik nyv 11 Karbantart s A TwisTorr 84 FS t pus szivatty k nem ig nyelnek karbantart st A rendszeren v gzett b rmely munk t jogosult szem lyzetnek kell elv geznie VESZELY A rendszeren b rmely munka v gz se el tt v lassza le azt a t pfesz ltsegr l szell ztesse a szivatty t a megfelel szelep kinyit s val v rjon am g a rotor forg sa le ll s am g a szivatty fel let nek h m rs klete 50 C al esik Meghib sod s eset n l pjen kapcsolatba a helyi Agilent szervizk zponttal ahol tudnak adni egy helyre ll tott rendszert a hib s helyett Miel tt jav t sra vagy cser re visszak ldi a rendszert a gy rt hoz az ehhez a g pk nyvh z csatolt Reguest for Return lapot ki kell t lteni s el kell k ldeni a helyi kereskedelmi irod hoz A lap egy m solat t sz ll t s el tt be kell illeszteni a r
132. o produto no qual est aplicado NAO deve ser eliminado juntamente com os residuos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo seja este o fabricante ou um revendedor para encaminhar o processo de recolha e eliminac o ap s a oportuna verificacao dos termos e condic es do contrato de venda 96 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 98 Algemene informatie 99 Veiligheidssymbolen 101 Opslag 102 Uitpakken 103 Installatie 105 Bevestiging van de pomp 109 Gebruik van de TwisTorr 84 FS 110 Onderhoud 112 Afvalverwerking 113 Vertaling van de originele instructies i Agilent Technologies 9 3 e e e e 6 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen VAV Se MIN AN Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instr
133. om d sneh ad prach koroz vne plyny ani vo v bu n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny pretlak Z bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota od 5 C do 35 C relat vna vlhkos O 90 bez kondenz cie V pr tomnosti magnetick ho po a mus by v veva chr nen feromagnetickym t tom Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information V vevu TwisTorr 84 FS je mo n pou va v hradne s niektor m z pr slu n ch kontroln ch zariaden Agilent a mus by zapojen na prim rne erpadlo vi sch mu v dodatku Technical Information K dispoz cii s nasleduj ce kontroln zariadenia Tab 1 SLO DIELU RIADIACE ZARIADENIE E X3908 64001 TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 u E X3908 64002 nn TisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc W X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 z E X3909 64001 en TwisTorr 84 FS on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB POZOR Vyveva TwisTorr 84 FS je v zhode s kateg riou in tal cie Il ur enou normou EN 61010 1 Zariadenie je potrebn pripoji ku zdroju nap jania ktor vyhovuje uvedenej kategorii O in tal cia doplnkovej v bavy pozri pr ru ku Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 239 334 14 N vod na Obslu
134. onditions ambiantes suivantes temp rature de 40 C 70 C humidit relative de 0 a 90 non condensante A la premi re utilisation les pompes turbomol culaires doivent toujours tre mises en marche par le client en mode soft Start Le temps de stockage d une pompe turbomol culaire est de 12 mois a compter de la date d exp dition En cas de d passement du temps de stockage pour toutes raisons la pompe doit tre retourn e en usine Pour tout renseignement contacter le repr sentant Agilent de zone TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Mode d emploi 3 Pr paration pour l installation ATTENTION La pompe TwisTorr 84 FS est livr dans un emballage de protection sp cial en cas d endommagement de l emballage pouvant s tre produit pendant le transport contacter le bureau de vente local Pendant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout particuli rement ne pas laisser tomber la TwisTorr 84 FS et ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive en mati re de protection de l environnement 94 62 CE et modifications successives Afin d viter tout probl me de d gazage ne pas toucher mains nues les l ments devant tre expos s au vide Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropri e La TwisTorr 84 FS ne peut s endommager en rest
135. ontinuaci n es aplicado en observancia de la directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido s lo para los pa ses miembros de la Comunidad Europea indica gue el producto sobre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y gue por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se invita al usuario final a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo tanto si ste es la casa fabricante o un distribuidor para poder proveer a la recogida y eliminaci n del producto despu s de haber efectuado una verificaci n de los t rminos y condiciones contractuales de venta N 2 Ny IL NW ir NG A NI J A LS AY N INT j Il SM L N Na 1 V N Al Ja E VEN Z W N TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual Manual de Istrucoes Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares 82 Informac es gerais 83 Simbolos de seguranca 85 Armazenagem 86 Prepara o para a instala o 87 Instalac o 89 Fixac o da bomba 92 Utilizac o do TwisTorr 84FS 93 Manutenc o 95 Eliminacao 96 Traduc o das instruc es originais i Agilent Technologies 51 33 e e e e 5 Manual de Istruc es Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Man
136. or Turbomolekyleere pumper De turbomolekyl re pumpene som er beskrevet i den folgende Bruksanvisningen har et hoyt kinetisk energiniv som skyldes den hgye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd p rotoren kan roteringsenergien bli frigitt AVON NIE For unng skader p utstyret og forebygge operatorskader m installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen f lges noye 148 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instruksjon Manual 9 Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere Brukeren bor lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent for utstyret tas i bruk Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer pa grunn av manglende oppfolging av disse instruksjonene selv delvis feilaktig bruk av utrent personell ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som p noen m te er i strid med nasjonale bestemmelser TwisTorr 84 FS er en turbomolekyl r pumpe for h ye og ultrahgye vakuumanlegg som kan pumpe alle typer gasser eller gassblandinger Den egner seg ikke for pumping av veesker eller faste partikler Pumpingen oppn s med en hgyhastighetsturbin maks 81000 opm koplet til en trefaset elektrisk motor TwisTorr 84 FS har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med beh
137. or som kan skada materialen inuti pumpen D pumpen anv nds f r pumpning av giftiga l ttant ndliga eller radioaktiva gaser b r man f lja de s rskilda anvisningarna f r varje enskild gas Anv nd ej pumpen i n rheten av explosiva gaser Pumpen skyddas f r att f en h g verf ring av kv ve argon och l ttare gaser Om tyngre gas r argon m ste pumpas kontakta Agilens tekniska support f r information 144 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bruksanvisning 8 Underh ll TwisTorr 84 FS kr ver inget som helst underh ll Allt servicearbete m ste utf ras av auktoriserad personal VARNING Innan n got arbete utf rs p systemet m ste pumpens str mf rs rjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen ppnas V nta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur r l gre n 50 C Om pumpen havererar kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice som kan ers tta systemet med ett renoverat system Innan systemet l mnas in till tillverkaren f r reparation eller advanced exchange service m ste Request for Return som medf ljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala terf rs ljaren Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen Skrotning av ett system skall ske enligt g llande lagstiftning TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 145 334 8 Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning 146 334
138. ore energia di rotazione potrebbe essere rilasciata ASANA PAN Per evitare danni al apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori e necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale 16 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Istruzioni per l uso 1 Informazioni Generali Questa apparecchiatura e destinata ad uso professionale L utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima del utilizzo del apparecchiatura La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilita dovute al inosservanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non addestrato ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche La TwisTorr 84 FS una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso ma non adatta per il pompaggio di liguidi o di particelle solide L effetto pompante ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocit 81000 giri min max mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento La TwisTorr 84 FS amp totalmente priva di agenti contaminanti ed e quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto pulito Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza del operat
139. ore durante utilizzo del apparecchiatura Informazioni dettagliate sono fornite nell appendice Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 17 334 1 Istruzioni per uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni AANKAN I messaggi di avvertenza attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali EVA messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni al apparecchiatura Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo 18 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Istruzioni per uso 1 Simboli di Sicurezza L apparato e contrassegnato da questo simbolo quando operatore deve fare riferimento al manuale di istruzioni al fine di proteggersi dai rischi di danno e per proteggere apparato da eventuali danni K L apparato contrassegnato da questo simbolo quando operatore deve stare lontano durante il funzionamento dell apparato apparato contrassegnato da questo simbolo quando utente deve mettere a massa l apparato TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 19 334 1 Istruzioni per uso Immagazzinamento Immagazzinamento ATTENZIONE 20 334 Per garantire il massimo livello di funzionalita ed affidabilita delle pompe Turbomolecolari Agilent devono es
140. orr 84 FS 44 Wartung 46 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 5 334 Contents 6 334 Entsorgung 47 Mode d emploi 49 Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires 50 Indications g n rales 51 Stockage 54 Pr paration pour l installation 55 Installation 5 Fixation de la pompe 60 Utilisation de la TwisTorr 84 FS 61 Entretien 63 Mise au rebut 64 Manual de istrucciones 65 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 66 Informaci n general 67 Almacenamiento 7 0 Preparaci n para la instalaci n 71 Instalaci n 73 Fijaci n de la bomba 76 Uso de la TwisTorr 84 FS77 Mantenimiento 79 Eliminaci n 80 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Contents 5 Manual de Istru es 81 Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares 82 Informac es gerais 83 Armazenagem 86 Preparac o para a instalac o 87 Instalac o 89 Fixac o dabomba 92 Utilizac o do TwisTorr 84 FS 93 Manutenc o 95 Eliminacao 96 6 Bedrijfshandleiding 97 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 98 Algemene informatie 99 Opslag 102 Uitpakken 103 Installatie 105 Bevestiging van de pomp 109 Gebruik van de TwisTorr 84 FS 110 Onderhoud 112 Afvalverwerking 113 7 Istruktionsbog 115 Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper 116 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 1 334 Contents 8 334 Generel information 117 Opbevaring 120 Forberedelser fgr installation 121 Installat
141. orr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Istruzioni per l uso 1 Manutenzione La TwisTorr 84 FS non richiede alcuna manutenzione Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato AANNAM Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dal alimentazione mandare al aria la pompa aprendo l apposita valvola attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 C In caso di guasto amp possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del Agilent advanced exchange service che permette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di guello guasto Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda Request for Return allegata al presente manuale di istruzioni Copia della stessa deve essere Inserita nell imballo del sistema prima della spedizione Qualora un sistema dovesse essere rottamato procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 29 334 1 Istruzioni per uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo WEEE presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata WEEE Questo simbolo valido solo per i paesi della Comunit Europea indica che il p
142. osti O a 90 bez sr en turbomolekul rni v v vy mus u ivatel po dod vce a poprv v dycky spou t t pozvoln skladovatelnost turbomolekul rn v v vy je 12 m s c ode dne doru en POZOR Pokud dojde z jak hokoli d vodu k p ekro en skladovac lh ty v v vu mus te vr tit v robci Informujte se pros m u m stn ho z stupce pro prodej a servis v v v firmy Agilent 218 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod k Pouziti 13 Pr prava k instalaci V v va TwisTorr 84 FS se dod v ve speci ln m ochrann m obalu Pokud toto balen vykazuje zn mky po kozen k n mu mohlo doj t b hem p epravy kontaktujte va i m stn prodejn pobo ku P i vybalov n d vejte pozor aby v v va TwisTorr 84 FS nespadla a chra te ji p ed v emi nenad l mi n razy ot esy nebo vibracemi Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l Ize 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice 94 62 ES ve smyslu n sledn ch prav POZOR Aby se zamezilo probl m m s odply ov n m nepou vejte hol ruce p i manipulaci s komponenty kter budou vystaveny vakuu V dy pou vejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu V v vu TwisTorr 84 FS nelze po kodit jednoduch m vystaven m atmosferickym vliv m P esto doporu ujeme abyste ji nechali zakrytou dokud nebude nainstalov na do syst mu a t m se ochr nila p ed jak mkoli zne i t n
143. osti Agilent Spolo nos Agilent nenesie iadnu zodpovednos za ak ko vek udalosti zapr inen postupom ktor nie je v s lade dokonca ani v iasto nom s lade s t mito pokynmi zapr inen nespr vnym pou van m zariadenia nepou en mi osobami neopr vnenou pravou zariadenia alebo ak mko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny TwisTorr 84 FS je turbomolekul rna v veva pre vysokov kuov a ultra vysokov kuov aplik cie ktor je schopn erpa ak ko vek druh nekoroz vneho plynu alebo plynn zl eniny ale nehod sa na erpanie tekut n alebo pevn ch ast c Vy erp vanie zabezpe uje ve mi r chla turb na max 81000 ot ok min tu poh an vysokov konn m 3 f zovym elektrick m motorom V veva TwisTorr 84 FS neobsahuje iadne kontamina n inidl a preto sa hod pre aplik cie vy aduj ce ist v kuum Nasleduj ce asti obsahuj v etky potrebn inform cie ktor zaru uj bezpe nos pracovn ka v priebehu pr ce so zariaden m Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 231 334 14 N vod na Obsluhu V eobecn inform cie N vod na pou itie obsahuje tieto tandardn ozna enia 3 17423 ARI Nebezpe ie maj s stredi pozornos pracovn ka na ur it postup alebo innos nespr vne vykonanie ktor ch m e sp sobi v
144. ov for rene vakuum De f lgende avsnitt inneholder all informasjon som er n dvendig for sikre brukeren n r utstyret er i bruk For mer detaljert bruk vises det til tillegget Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 149 334 9 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker folgende standardprotokoll Let SE Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsm te eller praksis som hvis den ikke f lges kan medf re alvorlige skader Susie Denne advarselen vises foran fremgangsm ter som dersom de ikke f lges kan f re til at utstyret skades Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten 150 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Instruksjon Manual 9 Sikkerhetssymboler Apparatet er merket med dette symbolet n r operatoren m konsultere brukerh ndboken for beskytte seg mot fare for skader og for beskytte apparatet mot eventuelle skader Apparatet er merket med dette symbolet n r operat ren m holde avstand mens apparatet er i drift Apparatet er merket med dette symbolet n r brukeren m jorde apparatet TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 151 334 9 Instruksjon Manual Lagring Lagring For garantere optimal drift og p litelighet for Agilent turbomolekyl re pumper m folgende anvisninger f lges Under transport flytting og lagring av pumpene m ikke folgende mil
145. oze Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 215 334 13 N vod k Pouziti VSeobecn informace Tento manu l pou v n sledujici standardni protokol 31721818 Varovn hl en jsou ur ena pro upozorn n obsluhy na ur it postup nebo innosti kter by v p pad nedodr en mohly zp sobit v n raz POZOR V stra n hl en jsou uvedena p ed postupy kter by v p pad nedodr en mohly po kodit za zen Pozn mky obsahuj d le it informace p evzat z textu 216 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 N vod k Pouziti 13 Bezpecnostni symboly Zarizeni je ozna eno t mto symbolem kdy mus obsluha vych zet z n vodu aby byla chr n na pred riziky ubl en na zdrav a poSkozeni zarizeni Zarizeni je ozna eno t mto symbolem kdy se obsluha mus behem innosti zarizeni zdr ovat v dostate n vzd lenosti Zarizeni je ozna eno t mto symbolem kdy u ivatel musi ukostrit zarizeni TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 217 334 13 N vod k Pou it Uskladneni Uskladneni Aby byla zaji t na maxim ln provozuschopnost a spolehlivost turbomolekul rn ch v v v firmy Agilent mus te dodr ovat nasledujici pokyny Pri p eprav p em s ov n a skladov n v v v byste nem li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed Teplotn rozp t 40 C a 70 C Rozp t vlhk
146. oztat s nelk l val m k dese lehet ve teszi hogy a mozg r szekhez hozz ferjenek s ez s lyos baleseteket okozhat A controller t pk bele vesz ly eset n a szivatty s a controller elektromos t pl l s nak sz tkapcsol s ra is szolg l Gy z dj n meg arr l hogy a berendezes t pk bel hez k nnyen hozz lehessen ferni azert hogy le lehessen csatlakoztatni Biztositson elegend helyet a controller csatlakozoaljzata m g tt a k bel lecsatlakoztatasahoz Ha a rendszerbe nem lehet telepiteni a controllert gy hogy a t pk bel k nnyen el rhet legyen az elektromos f t p lekapcsol s nak egy m s rendszer t kell telepiteni Ne tavolitsa el az ntapad csikot s a ved kupakot csak a turb szivattv rendszerre csatlakoztat sa el tt TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 187 334 11 Felhaszn l i K zik nyv Telep t s bra 3 188 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Felhaszn l i K zik nyv 11 Ezt a berendez st csak z rt t rbe telep tse s semmik ppen se haszn lja a szivatty t atmoszf rikus k zegeknek kitett k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri nyom s felett h m rs klet 5 C t l 35 C ig relativ p ratartalom 0 90 nem kondenz l
147. pa turbomolekularna przeznaczona sa do wywolywania wysokiej i ultra wysokiej pr ni jest wstanie pompowa jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej nie korozyjnej natomiast nie ma ona zastosowania do pompowania plyn w lub czastek cial statych Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotowa turbine o wysokiej predkosci max 81000 obr min napedzana przez elektryczny silnik tr jfazowy o wysokiej wydajno ci Ponpa TwisTorr 84 FS nie zawiera Zadnych czynnik w zanieczyszczajacych i dlatego tez jest to system odpowiedni do zastosowan w kt rych jest wymagana tzw ezysta pr znia W nast pnych paragrafach zosta y przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpiecze stwa operatora podczas u ytkowania aparatury Szczeg owe informacje zosta y przedstawione w dodatku dotycz cym informacji technicznych Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 197 334 12 Podrecznik Instrukcji Ogolne Informacje W tej instrukcji zastosowano nastepujace umowne znaczenia ZAGROZENIE Komunikaty zagrozeniu przyciagaja uwage operatora co do danej procedury lub danego postepowania kt rego nieprawidtowe wykonanie mogtoby spowodowa powazne uszkodzenia ciata Komunikaty zwiekszonej uwagi sa wySwietlane przed procedurami w przypadku ich braku przestrzegania moze dojs do uszkodzenia aparatury Sa to wazne informacje wyciagniete z tekstu 198 334 TwisTorr 84 FS User Manu
148. que fuere necesario bombear gases m s pesados que el Arg n se ruega contactar con la Asistencia T cnica de Agilent para solicitar informaci n TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de istrucciones 4 Mantenimiento La TwisTorr 84 FS no requiere ning n mantenimiento Cualquier operaci n deber ser realizada por personal autorizado Antes de realizar cualquier operaci n en el sistema desconectarlo de la corriente enviar aire de la bomba abriendo la valvula oportuna esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 C En caso de aver a se podr utilizar el servicio de reparaci n Agilent o el Agilent advanced exchange service que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparaci n o advanced exchange service es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de Request for Return adjunta al presente manual de instrucciones Una copia de la misma se deber introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo En caso de que un sistema se tenga que desguazar eliminarla respetando las normas nacionales espec ficas TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 19 334 4 Manual de istrucciones Eliminacion Eliminacion 80 334 Significado del logotipo WEEE presente en las etiguetas El s mbolo gue se indica a c
149. r Manual 87 901 043 01 Istruktionsbog 7 Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse Brugeren ber leese denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent for udstyret anvendes Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som folge af tilsides ttelse af disse instruktioner fejlagtig brug af personer uden tilstreekkeligt kendskab ukorrekt anvendelse af udstyret eller h ndtering der strider imod geeldende lokale regler Pumpen TwisTorr 84 FS er en turbomolekyl r pumpe til anvendelse med hgj og ultrahgj vakuumtilpasning som er i stand til at pumpe en hvilken som helst type gas eller ikke etsende gasholdige blandinger men som ikke er egnet til pumpning af veesker eller faste partikler Pumpningen sker ved hjeelp af en hurtigroterende turbine 81000 omdr min Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med h j effekt TwisTorr 84 FS er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse der kreever rent vakuum De folgende afsnit indeholder oplysningerne der er n dvendige for at garantere sikkerhed for operatgren i forbindelse med anvendelse af udstyret Bilaget Technical Information indeholder detaljerede oplysninger TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 117 334 1 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes folgende standardrubrikker AYO IE Advarselsmeddelelserne informerer operat ren om at en speciel p
150. r bevoegd personeel worden uitgevoerd Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren de voeding loskoppelen de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent of de Agilent advanced exchange service in te schakelen zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen moet de bij deze handleiding gevoegde kaart Request for Return volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd Een kopie van deze kaart moet v r versturing bij het systeem in de verpakking worden gevoegd Mocht een systeem gesloopt worden ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bedrijfshandleiding 6 Afvalverwerking Betekenis van het logo WEEE op de etiketten Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG richtlijn WEEE Dit symbool alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap geeft aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het appar
151. raturen p indlgbsflangen ikke overskride 120 C med flange ConFlat og ikke overskride 80 C med flange ISO Brug altid vandafkgling under opvarmnings operationerne Pumpen m aldrig aktiveres hvis indlobsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjeelp af lukkeflangen R r aldrig turbopumpen eller dens tilbeh r I forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den h je temperatur kan resultere i skade p personer TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 127 334 7 Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 84 FS FORSIGTIG Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbindelse med brug 128 334 af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af lejerne Pumpen skal forsynes med luft eller delgasser der ikke indeholder st v eller faste partikler Indgangstrykket ved den specielle d r skal v re mindre end 2 bar over atmosf risk tryk I forbindelse med pumpning af specielle eller forurenende gasser er disse pumper udstyret med en d r til udluftning igennem hvilken det er n dvendigt at forsyne pumpen med delgasser kv lstof helium eller argon for at beskytte pumpens lejer se bilaget Technical Information FORSIGTIG Anvend aldrig pumpen ved tilstedev relse af tsende gasser eller dampe som kan skade pumpens indvendige materialer ADVARSEL N r pumpen anvendes til toksiske brandfarlige eller radioaktive gasser f lges fremgangsm den for den
152. ring Betydelsen av symbolet p logo WEEE p etikettene Symbolet nedenunder som finnes er anvendt i henhold til EC direktiv kalt WEEE Dette symbolet som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter pa IKKE m behandles som vanlig hus industriavfall men m legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen henvende seg til leverand ren av anordningen som kan v re et firma eller en forhandler som s rger for oppsamling og eliminering etter ha kontrollert avtal og betingelser i kj pekontrakten 162 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual 10 Ohjek sikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 164 Yleisi tietoja 165 Turvamerkit 167 Varastointi 168 Valmistelut asennusta varten 169 Asennus 171 Pumpun kiinnitys 174 TwisTorr 84 FS k ytt 175 Huolto 177 H vitt minen 178 Alkuper isen ohjeiden k nn s i Agilent Technologies 163 334 e e e e 10 Ohjek sikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet T ss k ytt ohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea m r kineettist energiaa joka aiheutuu korkeasta py rimisnopeudesta yhdistettyna pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa py rimisenergia saattaa vapautua V GT Tassa k
153. rmation Les contr leurs disponibles sont les suivants Tab 1 N DE R F CONTR LEUR E X3908 64001 TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 u E X3908 64002 nn WisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc W X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 cc E SRA 24V z X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB La TwisTorr 84 FS est conforme la cat gorie d installation ll pr vue par la norme EN 61010 1 De ce fait brancher le dispositif une ligne alimentation compatible avec cette cat gorie Pour l installation des accessoires en option se reporter a Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 59 334 3 Mode d emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe NAAR EES AUS En cas de panne du rotor tout manquement au respect de ces instructions comporte des risques de decrochage de la pompe du systeme pouvant entra ner des dommages des blessures graves ou la mort Le TwisTorr 84 FS peut tre install e dans n importe quelle position Fixer le TwisTorr 84 FS dans une position stable en reliant la bride d entr e de la turbopompe a une contre bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 250 Nm autour de son axe Le flasque ISO K peut tre fix a l aide d triers en acier a haute r sistance comme le mod le Agilent IC 63250 DCMZ Le tableau suivant indique pour chaque dimension de flasque le nombre de brides IC 63250 DCMZ n cessaires et le couple de fixation
154. rmazenagem Para garantir o nivel Maximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent devem ser observadas as seguintes prescri es durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condi es ambientais devem ser as seguintes temperatura de 40 C a 70 C humidade relativa de 0 a 90 nao condensante ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve activ las sempre em modalidade Soft Start O tempo m ximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular de 12 meses a contar da data da expedic o WU Se por uma raz o qualquer o periodo de armazenagem for superior ser necess rio enviar outra vez a bomba para o fabricante Para mais informac es contatar o representante local da Agilent 86 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de Istru es 5 Prepara o para a Instala o O TwisTorr 84 FS fornecido numa embalagem protectora especial se esta apresentar sinais de danos que poderiam ter ocorrido durante o transporte entrar em contacto com o escrit rio de vendas local Durante a remo o da embalagem tomar muito cuidado para n o deixar cair o TwisTorr 84 FS e para n o submet la a choques ou vibra es N o depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente recicl vel e em conformidade com a norma para a protec o do meio ambiente 94 62 CE e modifica es sucessivas Para evitar probl
155. rmijd schokken trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is De lagers kunnen anders beschadigd raken Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de atmosferische druk bedragen Deze pompen zijn voor het pompen van gassen die gevaarlijke of vervuilende deeltjes bevatten van een speciale poort voorzien met ingebouwde purge vent waardoor de pomp een stroom inert gas stikstof helium of argon moet krijgen ter bescherming van de pomplagers zie bijiage Technical Information VOORZICHTIG Gebruik de pomp nooit in aanwezigheid van bijtende gassen of dampen die de interne materialen van de pomp kunnen beschadigen Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige brandbare of radioactieve gassen moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen De pomp is ontworpen voor een hoge overdracht van Stikstof Argon en lichtere gassen Indien het nodig mocht zijn zwaardere gassen te pompen dan Argon neem dan contact op met de Technische Dienst van Agilent voor meer informatie TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 111 334 6 Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud WAARSCHUWING 112 334 De pompen TwisTorr 84 FS zijn onderhoudsvrij Eventuele werkzaamheden moeten doo
156. rocedure eller en vis type arbejde skal udfgres preecist efter anvisningerne modsat fald er der risiko for sveere personskader aleje Denne advarselsmeddelelse vises f r procedurer der skal f lges neje for ikke at risikere maskinskader Dette gar opm rksom p vigtig information i teksten 118 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Istruktionsbog 7 Sikkerhedssymboler Apparatet er markeret med dette symbol n r brugeren skal konsultere brugsanvisningen for at beskytte sig mod risikoen for skader og for at beskytte enheden fra mulige skader Apparatet er markeret med dette symbol n r brugeren skal holde sig p sikker afstand under drift af apparatet Apparatet er markeret med dette symbol n r brugeren skal jordforbinde apparatet TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 119 334 1 Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring FORSIGTIG 120 334 Det er n dvendigt at overholde f lgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekyl re pumper fra Agilent S rg for at omgivelserne opfylder f lgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 40 C til 70 C relativ fugtighed fra O til 90 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for forste gang De turbomolekyl re pumper m opb
157. rodotto sul guale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto utente finale a contattare il fornitore del dispositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita 30 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual oo e 0 7 0 Gebrauchsanleitung 7 Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 32 s Allgemeine Informationen 33 Sicherheits Symbole 35 Lagerung 36 Vor der Installation 37 Installation 39 Befestigung der Pumpe 43 Befestigung der Pumpe 43 Verwendung TwisTorr 84 FS 44 Wartung 46 Entsorgung 47 Ubersetzung der Originalanleitungen 03 Agilent Technologies 31 34 e e e e 2 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verf gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren ber eine gro e Menge kinetischer Enersie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch k nnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden Um Sch den am Ger t zu vermeide
158. roller TwisTorr 84 FS PCB TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 41 334 2 Gebrauchsanleitung Installation ste tee Das Modell Twis Torr 84 FS entspricht der Installationskategorie Il gem der Norm EN 61010 1 Die Vorrichtung mu daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden die dieser Kategorie entspricht F r die Installation der Optionsteile siehe im Anhang Technical Information 42 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Gebrauchsanleitung 2 Befestigung der Pumpe NANA Im Fall der Nichtbeachtung dieser Installationsanleitung kann sich bei einem Schaden am Rotor die Pumpe vom System l sen was zu Sach oder Personensch den bis hin zu schweren Verletzungen und zum Tod f hren kann Modell TwisTorr 84 FS kann in jeder beliebigen Position installiert werden Die Pumpe ist stabil zu befestigen indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird der mit einem Drehmoment von 250 Nm um seine eigene Achse belastbar ist Der ISO K Flansch kann z B mit hochfesten Stahlklammern befestigt werden wie das Agilent Modell IC 63250 DCMZ Die folgende Tabelle zeigt f r jede Flanschgr fse die erforderliche Anzahl von Klemmen Modell IC 63250 DCMZ und das jeweilige Anzugsmoment Tab 2 FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ ANZUGSMOMENT ISO 63 K Doppelschelle mit NM10 Gewinde 4 22 Nm Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen Agilent Befestigungsmateri
159. rr 84 FS User Manual 87 901 043 01 303 334 17 Technical Information Inlet screen installation Inlet screen installation Figure 28 Model X3502 68000 304 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Figure 29 The inlet screen models are the following VON TY JUN HU Tu My quar NY ROGO NUDO u NU vw KDU i DO NI DO DIDO DD DU DY MU I QU DLT 1 1 ND N i ti AT 4 YO VA 5 fi A un AD M DDU DT KD DO MY wer FS Model X3502 68001 X3502 68001 ISO 63 X3502 68000 CFF 4 5 969 9309 KF 40 969 9328 CFF 2 75 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 na ON Y 7 YN Technical Information Mi u 1 ig 7 W N ge i Y W y 17 SCO 305 334 17 Technical Information Inlet screen installation prevent the rotor blades from being damaged by debris The inlet screen however does reduce the pumping speed as per following table Reduction in pumping speed X3502 68000 20 18 7 9 X3502 68001 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure Figure 30 306 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Inlet screen installation The screen can be mounted on each pump The screen can be removed as shown in the following figure Figure 31 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump
160. rwacja 210 Przetworstwo odpadow 211 Ttumaczenie instrukcji oryginalnej i Agilent Technologies 195 334 e e e e 12 Podrecznik Instrukcji Wskaz wki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazowki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obstugi posiadaja wysoka ilos energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoka predkoScia obrotowa razem z masa wlaSciwa wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyklad z powodu kontaktu miedzy wirnikiem a stojanem lub z powodu pekniecia wirnika energia obrotowa moze by zwolniona Aby uniknac uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciata operator w nalezy obowiazkowo przestrzega zalece dotyczacych instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obstugi 196 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Podrecznik Instrukcji 12 Og lne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do uzytku zawodowego Uzytkownik musi przeczyta bardzo uwaznie niniejsza instrukcje kazda dodatkowa informacje dostarczona przez firme Agilent przed uzytkowaniem aparatury Firma Agilent uchyla sie od jakiejkolwiek odpowiedzialnosci w przypadku czesciowego lub catkowitego braku przestrzegania instrukcji w przypadku niewtasciwego uzytkowania przez nieprzeszkolony personel w przypadku nieupowaznionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych Pompa TwisTorr 84 FS jest pom
161. s IU 63250 DCMZ necess rios e o torque de aperto a utilizar Tab 2 FLANGE TIPO DE BORNE N TOROUE DE APERTO ISO 63 K Borne duplo com rosca M10 4 22 Nm A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada na c mara de v cuo atrav s de parafusos espec ficos da mec nica Agilent Para ulteriores detalhes consultar o apendice Technical Information O TwisTorr 84 FS nao pode ser fixado atrav s da sua base 92 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de Istru es 5 Utilizacao do TwisTorr 84 FS ATENCAO ATENCAO Certifigue se da correcta utilizac o do aparelho Recomenda se que o operador deste instrumento utilize o aparelho do modo especificado neste manual A n o obedi ncia s indica es mostradas neste manual pode comprometer a protecc o fornecida pelo aparelho Todas as instruc es para o correcto funcionamento da turbobomba estao contidas no manual da unidade de controlo Ler com muita atenc o este manual antes do uso Para alcancar melhores press es limite poss vel aguecer o sistema Durante o eventual aguecimento da c mara de v cuo a temperatura na flange de ingresso n o deve ser superior a 120 C com flange ConFlat e a 80 C com flange ISO Use sempre o arrefecimento a gua durante as operac es de aquecimento Nunca activar a bomba se a flange de entrada n o estiver ligado a c mara de v cuo ou n o estiver fechado com a flange de fecho N o tocar a turbo
162. s est appligu conform ment a la directive CE nomm e WEEE Ce symbole uniguement valide pour les pays de la Communaut europ enne indique que le produit sur leguel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un systeme de collecte s lective Apr s avoir v rifi les termes et conditions du contrat de vente utilisateur final est donc pri de contacter le fournisseur du dispositif maison m re ou revendeur pour mettre en oeuvre le processus de collecte et mise au rebut 64 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 66 Informaci n general 6 7 Simbolos de Seguridad 69 Almacenamiento 70 Preparaci n para la instalaci n 71 Instalaci n 13 Fijaci n de labomba 76 Uso de la TwisTorr 84FS 77 Mantenimiento 79 Eliminaci n 80 Traducci n de las instrucciones originales s ko Agilent Technologies e e e e 65 334 4 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energia cin tica debido a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa especifica de sus rotores En el caso de un dano del sistema por e
163. s turbomoleculares Agilent deber n aplicarse las siguientes instrucciones durante el transporte desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deber n superarse las siguientes condiciones ambientales temperatura entre 40 C y 70 C humedad relativa entre O y 90 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez el periodo m ximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de 12 meses a contar de la fecha de envio al cliente En caso de superarse por cualquier motivo el periodo m ximo permitido de almacenamiento ser necesario devolver la bomba al fabricante Para mayores informaciones al respecto se ruega contactar con el representante local de Agilent TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de istrucciones 4 Preparacion para la instalacion La TwisTorr 84 FS se suministra en un embalaje especial de protecci n si se observan danos que podrian haberse producido durante el transporte ponerse en contacto con la oficina local de ventas Durante la operaci n de desembalaje tener cuidado de que no se caiga La TwisTorr 84 FS y de no someterla a golpes o vibraciones No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva para la preservaci n del medio ambiente 94 62 CE y modificaciones siguientes ATENCI N Para
164. sere osservate le seguenti prescrizioni durante il trasporto lo spostamento e l immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 40 C a 70 C umidit relativa da O a 90 non condensante il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare amp di 12 mesi dalla data di spedizione Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento superiore occorre reinviare la pompa in fabbrica Per ogni informazione si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Istruzioni perl uso 1 Preparazione per I installazione ATTENZIONE La pompa TwisTorr 84 FS viene fornita in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verificati durante il trasporto contattare ufficio vendite locale Durante operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa TwisTorr 84 FS e a non sottoporla ad urti o vibrazioni Non disperdere imballo nel ambiente Il materiale amp completamente riciclabile e risponde alla direttiva per la tutela del ambiente 94 62 CE e successive modifiche Onde evitare problemi di degasamento non toccare con le mani nude componenti destinati ad essere esposti al vuoto Ut
165. sible for freight charges on returning product O Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations IATA DOT ADR etc and carrier requirements RETURN THE COMPLETED REQUEST FOR RETURN FORM TO YOUR NEAREST LOCATION EUROPE NORTH AMERICA PACIFIC RIM Fax 00 39 011 9979 330 Fax Free 00 800 345 345 00 Fax 1 781 860 9252 Please visit our website for Toll Free 00 800 234 234 00 Toll Free 800 882 7426 Option 3 individual office information vpt customercare agilent com vpl ra agilent com http www agilent com Page 1 of 3 Agilent VPD Request for Return ti Agilent Technologies Vacuum Products Division Terms and conditions TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division Products and Services Terms of Sale O Unless otherwise pre negotiated customer is responsible for the freight charges for the returning product Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations IATA DOT etc and carrier requirements O Agilent Technologies is not responsible for returning customer provided packaging or containers O Customers receiving an Advance Exchange product agree to return the defective rebuildable part to Agilent Technologies within 15 business days Failure to do so or returning a non rebuildable part crashed will result in an invoice for the non returned non rebuildable
166. sit de pomper des gaz plus lourds que argon veuillez contacter l assistance technique Agilent pour plus d informations 62 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Entretien AVERTISSEMENT Mode d emploi 3 Le TwisTorr 84 FS ne demand aucun entretien Toute intervention doit tre effectu e par un personnel agr Avant toute intervention sur le syst me le d brancher refouler l air de la pompe en ouvrant la soupape pr vue cet effet attendre jusqu l arr t complet du rotor et jusqu ce que la temp rature superficielle de la pompe soit inf rieure 50 C En cas de panne il est possible de b n ficier du service r parations Agilent ou du Agilent advanced exchange service qui permet obtenir un syst me r g n r en remplacement du syst me endommag Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour r paration ou advanced exchange service remplir et faire parvenir au bureau de vente local la fiche Request for Return jointe au pr sent manuel d instructions Une copie de cette fiche devra tre mise dans l emballage du systeme avant l exp dition En cas de mise au rebut de un syst me proc der son limination conform ment aux r glementations nationales concernant la gestion des d chets TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 63 334 3 Mode d emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo WEEE figurant sur les tiguettes Le symbole ci dessou
167. sollte daher den Lieferanten des Ger ts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverk ufer kontaktieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen gepr ft hat x 1 V Ny 4 it J LJ pa AN TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 47 334 2 Gebrauchsanleitung Entsorgung 48 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual Mode d emploi Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires 50 Indications g n rales 51 Symboles de s curit 53 Stockage 54 Pr paration pour l installation 55 Installation 57 Fixation de la pompe 60 Utilisation de la TwisTorr 84 FS 61 Entretien 63 Mise au rebut 64 Traduction de la mode d emploi originale i Agilent Technologies 49 334 e e e e 3 Mode d emploi Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires Normes de securite pour Pompe Turbomoleculaires Les pompes Turbomol culaires d crites dans le Manuel d Instructions suivant ont une Energie cin tique lev e due a la grande vitesse de rotation associ e la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l nergie de rotation pourrait tre lib r e NT ESSAI Pour viter tout d g t aux appareillages et emp cher toute blessure aux op rateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation d crites dans ce manue
168. st ncia T cnica da Agilent para informac es TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de Istruc es 5 Manutenc o ATENCAD O TwisTorr 84 FS n o necessita de qualquer manutenc o Todas as operac es devem ser efectuadas por pessoal autorizado Antes de executar gualguer operac o no sistema deslig lo da alimentac o introduzir ar na bomba abrindo a v lvula especifica aguardar ate a completa paragem do rotor e at que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 C Em caso de defeito possivel usufruir do servico de assist ncia Agilent ou do Agilent advanced exchange service que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito Antes de reenviar ao fabricante uma bomba para as reparac es ou o advanced exchange service indispens vel preencher e enviar ao escrit rio de vendas local a ficha Request for Return anexa ao presente manual de instruc es A c pla da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedic o Caso um sistema tenha que ser destru do proceder a sua eliminac o respeitando as normas nacionais especificas TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 95 334 5 Manual de Istruc es Eliminac o Eliminac o Significado do log tipo WEEE presente nos r tulos O s mbolo abaixo indicado aplicado de acordo com a directiva CE denominada WEEE Este simbolo valido apenas para os paises da Comunidade Europeia indica que
169. stalowa wylacznie w pomieszczeniach zamknietych i w zadnym przypadku nie wykorzystywa pompy w pomieszczeniach nara onych na oddziatywanie czynnik w atmosferycznych deszcz mr z Snieg pyty gazy chemiczne w pomieszczeniach z atmosfera wybuchowa lub Z wysokim zagroZeniem po aru Podczas dziatania obowiazkowo nale y przestrzega nastepujace warunki otoczenia maksymalne ci nienie Z bary ponad ci nieniem atmosferycznym temperatura od 5 C do 35 C wzgl dna wilgo 0 90 bez opar W obecnosci p l elektromagnetycznych pompa musi by odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie W celu szczeg lowego zapoznania sie z tematem patrz dodatek Technical Information Pompy turbomolekularnej TwisTorr 84 FS nalezy u ywa wylacznie wraz ze specjalnym kontrolerem Agilent i nalezy ja podtaczy do pompy st wnej patrz schemat w zalaczniku Technical Information Kontrolery bedace w dyspozycji sa nastepujace Tab 1 NR CZESCI KONTROLER W X3908 64001 TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 u k X3908 64002 mene WisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc z X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 220V z E X3909 64001 en TwisTorr 84 FS on board 24V a X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 205 334 12 Podrecznik Instrukcji Instalacja UWAGA Pompa TwisTorr 84 FS odpowiada wymaganiom Il kategorii instalacji przewidzianej przez
170. stroomtoevoer te onderbreken VOORZICHTIG Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 105 334 6 Bedrijfshandleiding Installatie Figuur 2 Figuur 3 106 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bedrijfshandleiding 6 Installeer dit apparaat alleen in afgesloten ruimten In geen geval mag de pomp niet geinstalleerd en of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden regen vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig Zijn max druk 2 bar boven de atmosferische druk temperatuur van 5 C tot 35 C relatieve vochtigheid O 90 niet condenserend In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden Zie de bijlage Technical Information voor meer informatie De pompen TwisTorr 84 FS moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van Agilent gebruikt worden en op een primaire pomp aangesloten worden zie schema in de bijlage Technical Information De beschikbare controllers zijn de volgende Tab 1 ONDERDEELNUMMER CONTROLLERS E X3908 64001 TisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 u X3908 64002 ne TisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc H X3909 64000
171. ta g ngen De turbomolekyl ra pumparna kan lagras i 12 m nader fr n leveransdatumet Ni Om lagringstiden av n gon anledning r l ngre m ste pumpen skickas tillbaka till fabriken Var god och kontakta den lokala Agilent terf rs ljaren f r ytterligare information 136 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bruksanvisning 8 Forberedelser for installation OBSERVER Pumpen TwisTorr 84 FS levereras i ett sarskilt skyddande emballage Kontakta det lokala forsaljningskontoret om emballaget visar tecken pa skador som kan ha uppstatt under transporten Se till att TwisTorr 84 FS inte tappas eller utsatts for stotar vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller direktiv 94 62 EG om milj skydd och f ljande ndringar Komponenter som skall uts ttas f r vakuum far inte hanteras med bara h nder pga kontamineringsrisken Anv nd allt d handskar eller liknande skydd Normal p verkan fran omgivningen kan inte skada TwisTorr 84 FS Trots det r det s krast att h lla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet f r att f rhindra att det kommer in damm eller annat i den TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 137 334 Bruksanvisning F rberedelser f r installation X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 Figur 1 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 138 334 Bruksanvisning 8 Installat
172. tallation an der Anlage geschlossen bleiben um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 37 334 Gebrauchsanleitung 2 Vor der Installation Abbildung 1 X3502 64000 X3502 64001 X3502 64002 X3502 64003 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 38 334 Gebrauchsanleitung 2 Installation VORSICHT WARNUNG Die Pumpe rotiert sehr schnell Wenn sie zusammen mit dem Controller verschickt wird sind die rotierenden Teile mit einer mechanischen Sperre gesch tzt damit es zu keinem Kontakt kommt Wenn sie ohne Controller verschickt wird ist die mechanische Sperre nicht dabei Da die Pumpe ohne Controller nicht arbeiten kann sollte sie vor der Einschaltung installiert werden Wenn die Pumpe ohne Verbindung zum System l uft k nnen die beweglichen Teile ber hrt werden was zu schweren Unf llen f hren kann Das Versorgungskabel des Controllers dient auch dazu Controller und Pumpe m Notfall von der Stromversorgung abzuschneiden Vergewissern Sie sich dass das Versorgungskabel leicht zug nglich ist und schnell abgezogen werden kann Sorgen Sie daf r dass am Versorgungsanschluss des Controllers ausreichend Platz zum Abziehen des Kabels ist Wenn der Controller nicht so installiert werden kann dass das Versorgungskabel leicht zug nglich ist muss ein anderes System zur Unterbrechung der Haupt Stromversorgung installiert werden Das Klebeband abziehen und den
173. tazione del controller per scollegare il cavo Se il controller non puo essere installato nel sistema in modo tale da poter facilmente raggiungere il cavo di alimentazione deve essere installato un diverso sistema di disconnessione dall alimentazione elettrica principale Staccare adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 23 334 1 Istruzioni per uso Installazione Figura 2 Figura 3 24 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 ATTENZIONE Istruzioni per l uso 1 Installare questo apparato solo in ambienti chiusi ed in ogni caso non utilizzarlo in ambienti esposti ad agenti atmosferici pioggia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima Z bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 5 C a 35 C umidit relativa 0 90 non condensante In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi Vedere l appendice Technical Information per ulteriori dettagli La pompa TwisTorr 84 FS deve essere utilizzata solo con uno degli appositi controller Agilent e devono essere collegate ad una pompa primaria vedere lo schema nell appendice Technical Information I controller disponi
174. tive biological The product has been exposed to the following substances e da gt explosive substances or dioxins PCB s without written evidence of decontamination by selecting YES you MUST complete the table to the right CAS Number Toxic Ares Ono Harmful Dew Ono TP ooo Corrosive Des Ono N y Reactive Des Ono y Flammable Oves Ono TP ooo Explosive 7 Oves im TP ooo Radioactive Ows Ono Biological Dew Ono AAAPDBAD Oss Lino ooo I AJ k A n m J Sensitizer yes Ino Other dangerous substances CI yes LINO Goods preparation If you have replied YES to one of the above questions Has the product been purged CI yes No If yes which cleaning agent method Has the product been drained from oil C yes NOT APPLICABLE confirm to place this declaration on the outside of the shipping box declare that the above information is true and complete to the best of my knowledge and belief I understand and agree to the terms and conditions on page 2 of this document Authorized Signature Position NOTE If a product is received at Agilent which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product and is liable for any harm or injury to Agilent employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous m
175. to the bearings an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line To supply the inert purge gas e 8 nitrogen to the pump through the purge port connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0 1 to 0 8 mbar l s CAUTION To prevent bearing damage Agilent suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm 0 17 mbar I s This value can be exceeded according to the process requirements Please contact Agilent for specific applications The purge gas throughput with the recommended forepump of 15 m h 11 CFM allows achieving a high vacuum pressure in the 10 8 mbar range The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points 1 Close the corrosive gas flow into the system 2 Leave the Turbo pump and the backing pump running and the purge gas flowing wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system 3 Turn off the Turbopump 4 Open the Turbo vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system b When the Turbo pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure for a better bearing protection it is advisable to leave the p
176. tomo Shibaura Building 6 Mead Road Oxford Industrial Park Rodrigues 939 6 andar 4 16 36 Shibaura Minato ku Yarnton Oxford 0X5 10U UK Castelo Branco Office Park Tokyo 108 0023 Japan Tel 44 0 1865 291570 Torre Jacarand Tambor Tel 81 3 5232 1253 Fax 44 0 1865 291571 Barueri Sao Paulo CEP 06460 040 Fax 81 3 5232 1710 Toll free 0800 728 1405 Toll Free 0120 655 040 vpj customerservice agilent com China Korea Other Countries Agilent Technologies China Co Ltd Agilent Technologies Korea Ltd Agilent Technologies Italia S p A No 3 Wang Jing Bei Lu Chao Yang District Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Via F Ili Varian 54 Beijing 100102 China Kangnam gu Seoul 10040 Leini Torino Italy Tel 86 0 10 64397888 Korea 135 280 Tel 39 011 997 9111 Fax 86 0 10 64391318 Tel 82 0 2 2194 9449 Fax 39 011 997 9350 Toll free 800 820 3278 Fax 82 0 2 3452 3947 Toll Free 00 800 234 234 00 vacuum cnmarketing agilent com Toll free 080 222 2452 vpc customerservice agilent com vpk customerservice agilent com France Mexico Customer Support amp Service Agilent Technologies Agilent Technologies Parc Technopolis Z A de Courtaboeuf Concepcion Beistegui No 109 NORTH AMERICA 3 avenue du Canada CS 90263 Col Del Valle Toll Free 800 882 7426 91978 Les Ulis cedex France C P 03100 Mexico D F vpl ra agilent com Tel 33 0 1 64 53 61 15 Tel 52 5 523 9465 EUROPE Fax 33 0 1 64 53 50 01 Fa
177. ts kerhet av turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning Instruktionsboken b r l sas mycket noggrannt innan anv ndning F r att uppn h gre trycknivaer kan systemet v rmas upp Under en eventuell uppv rmning av vakuumkammaren b r ej temperaturen p intagningsfl nsen verstiga 120 C med ConFlat fl ns och 80 C med ISO fl ns Anv nd alltid vattenkylning under uppv rmningsf rloppen S tt aldrig ig ng pumpen om intagsfl nsen varken r kopplad till vakuumkammaren eller r blockerad p plats med l sfl nsen Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 143 334 8 Bruksanvisning Anv ndning av TwisTorr 84 FS ETUI Undvik sammanst tningar sv ngningar eller pl tsliga f rflyttningar av turbopumpen n r den r ig ng Lagren kan bli skadade Pumpen ska f rses med luft eller med delgaser som rfria fr n damn eller andra partiklar Ing ngstrycket mot r tt d rr m steunderstiga 2 bar ut ver det atmosf riska trycket F r pumpning av gaser inneh llande partiklar eller aggressiva f rorenande medel r dessa pumpar f rsedda med en speciell ppning integrerad rensning ventilation igenom vilken man ska leda en str m av delgas kv ve helium eller argon f r att skydda pumpens lager se bilagan Technical information ETUIS Anv ndn aldrig pumpen om det finns fr tande gas eller ng
178. tse a TwisTorr 84 FSt stabil helyzetben a turb szivatty bemeneti karim j t egy r gz tett ellenkarim ra csatlakoztatva amely k pes ellen llni 250 Nm tengely k r li nyomat knak P ld ul az ISO K karima r gz thet nagy teherb r s ac lkapcsokkal mint az IC 63250 DCMZ Agilent t pus A k vetkez t bl zat megmutatja a kapcsok sz ks ges sz m t s a hozz tartoz r gz t nyomat kot Tab 2 KARIMA R GZ T ESZK Z N R GZ T NYOMAT K ISO 63 K M10 kapcsok 4 22 Nm A ConFlat bemeneti karim s turb szivatty t a megfelel Agilent hardverrel kell r gziteni a vakuumkamr hoz R szletes lefr s rt l sd Technical Information A TwisTorr 84 FS nem r gzithet az alapjan kereszt l 190 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Felhaszn l i K zik nyv 11 A TwisTorr 84 FS haszn lata VESZELY Gy z dj n meg a berendezes helyes haszn lat r l VESZELY Az eszk z kezel je szamara ajanlott hogy a berendez st ebben a haszn lati tmutat ban irtak szerint haszn lja Az tmutat ban szerepl utasit sok be nem tartasa a berendez s ltal ny jtott vedelmet veszelyeztetheti A turb szivatty helyes alkalmaz s ra vonatkoz minden utasit st mestal l a vez rl egys g k zik nyv ben Miel tt a berendez st haszn ln figyelmesen olvassa el az eml tett k zik nyvet A jobb nyom s hat rertekek el r se rdek ben a rendszert fel lehet melegiteni A vakuu
179. tuu kosketuksiin s tekij iden sateen j n tai lumen p lyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tulipalovaara K yt n aikana on noudatettava seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine Z baaria yli atmosf risen paineen l mp tila 5 C 35 C suhteellinen kosteus 0 90 ei tiivist v Mik li l sn on magneettikentti tulee pumppu suojata t h n tarkoitukseen olevilla suojilla Lis tietoja loytyy Technical Information liitteest TwisTorr 84 FS turbomolekyylipumppuja saa k ytt ainoastaan yhdess tarkoitusta varten olevien Agilent valvojien kanssa ja ne on kytkett v p pumppuun ks Technical Information liitteen kaaviota Saatavilla on seuraavan tyyppisi valvojia Tab 1 OSANUMERO VALVOJA M X3908 64001 TwisTorr 84 FS AG Rack RS232 485 mm W X3908 64002 IwisTorr 84 FS AG Rack Profibus cc gt X3909 64000 TwisTorr 84 FS on board 110 2200 z a X3909 64001 TwisTorr 84 FS on board 24V u X3510 64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB HUOMIO TwisTorr 84 FS on normin EN 61010 1 osoittaman asennusluokan II mukainen Kytke laite t m n vuoksi s hk verkkoon joka t ytt t m n luokan vaatimukset Ks Technical Information liitett lis varusteiden asentamista varten TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 173 334 10 Ohjek sikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys VIK Asennusohj
180. ual de Instruc es t m uma alta quantidade de energia cin tica devida a alta velocidade de rotac o unida a massa espec fica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rotac o poderia ser liberada ATENCAO Para evitar danos aparelhagem e prevenir les es aos operadores necess rio seguir atentamente as instru es de instala o descritas neste manual 82 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Manual de Istru es 5 Informacoes gerais Esta aparelhagem destina se a uso profissional O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruc es e todas as informac es adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem A Agilent n o se responsabiliza pela inobserv ncia total ou parcial das instruc es pelo uso indevido por parte de pessoas nao treinadas por operac es n o autorizadas ou pelo uso contr rio as normas nacionais especificas As bombas TwisTorr 84 s o bombas turbomoleculares para aplicac es de alto e ultra alto vacuo capazes de bombear qualquer tipo de g s ou de composto gasoso mas nao sao adequadas para aspirar liquidos ou particulas s lidas O efeito da bomba obtido atrav s de uma turbina rotativa de alta velocidade 81000 r p m m x movida por um motor el ctrico trifasico de alto rendimento O TwisTorr 84 FS totalmente isentos de agentes contam
181. ucties in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd 98 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Bedrijfshandleiding 6 Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De pomp TwisTorr 84 FS is een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuumtoepassingen die elk soort gas en gasvormige verbindingen kan pompen Deze pomp is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine max 81000 toeren min die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement De TwisTorr 84 FS is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een schoon vacuum verlangen In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage Technical Information TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 99
182. urge gas flowing into the Turbo pump with the chamber or the Turbo vent valve opened to avoid system overpressure If the vent valve can t be kept opened the backing pump should be left operating TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 325 334 17 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 45 Purge layout 326 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation The result is increased electrical power consumption by the motor most of which is dissipated in the rotor Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependant from the intensity time function and distribution of the magnetic field In general therefore an increase in pump current can be expected If this increase is lower than 50 of the current value drawn by the motor in high vacuum operation no particular problem should be expected However
183. vytt vi kaasuja tai h yryj jotka voivat vahingoittaa pumpun sis ll olevia materiaaleja Kun pumppua k ytet n myrkyllisten paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa lk k ytt k pumppua r j hdysherkkien kaasujen l hell Pumppu on suunniteltu typen argonin tai kevyempien kaasujen pumppaamiseen Mik li argoniin n hden painavampia kaasuja joudutaan pumppaamaan ottakaa yhteytt Agilentin tekniseen huoltoon lis tietoja varten 176 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Ohjek sikirja 10 Huolto TwisTorr 84 FS pumput eiv t vaadi mit n huoltoa Mahdolliset toimenpiteet tulee j tt valtuutetun henkil n teht v ksi Ennen mink n tyyppist toimenpidett j rjestelm ss kytkek se irti s hk verkosta p st k pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin t ydellist pys htymist Antakaa t m n j lkeen pumpun pintal mm n laskea alle 50 C en Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k ytt Agilentin korjauspalvelua tai Agilent advanced exchange service vaihtopalvelua jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle Ennen pumpun l hett mist valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti t ytett v ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon Request for Return kaavake joka on liitteen ohjekirjassa Kyseisen
184. werte nicht berschritten werden Temperatur von 40 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 90 nicht kondensierend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in Gang zu setzen Die Lagerdauer f r eine Turbomolekularpumpe betr gt 12 Monate ab dem Speditionsdatum Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gr nden die genannte Frist berschreiten sollte ist die Pumpe an das Werk zur ckzusenden F r Informationen wenden Sie sich bitte an den rtlichen Agilent Vertreter TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Gebrauchsanleitung 2 Vor der Installation Die Pumpe TwisTorr 84 FS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert Eventuelle Transportsch den sind der zust ndigen rtlichen Verkaufsstelle zu melden Die TwisTorr 84 FS ist vorsichtig auszupacken wobei es vor dem Herunterfallen und vor St en und Vibrationen zu sch tzen ist Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgem zu entsorgen Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der Umweltschutzrichtlinie 94 62 EWG und deren sp teren Anpassungen VORSICHT Um Entgasungen zu vermeiden d rfen die Teile die mit dem Vakuum in Ber hrung kommen nicht mit den blo en H nden angefasst werden Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden Die TwisTorr 84 FS kann durch die Umgebung an sich keine Sch den erleiden Es sollte jedoch bis zur Ins
185. with water cooling kit TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 297 334 17 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline Hydrogen Helium Nitrogen Argon Pumping Speed l s 1 E 06 1 E 05 1 E 04 1 E 03 1 E 01 1 E 00 Inlet Pressure mbar Figure 20 Graph of Pumping Speed vs Inlet Pressure for TwisTorr 84 FS pump Hydrogen Helium Nitrogen Argon Compression Ratio 1 E 1 1 E 0 Foreline Pressure mbar Figure 21 Graph of Compression ratio vs Foreline Pressure for TwisTorr 84 FS pump 298 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Figure 22 Graph of Iso Flow Iso Power TwisTorr 84 FS pump Nitrogen Figure 23 Graph of Iso Flow Iso Power TwisTorr 84 FS pump Argon TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 299 334 17 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline Figure 24 Graph of Iso Flow Iso Power TwisTorr 84 FS pump Helium Figure 25 Graph of Iso Flow TwisTorr 84 FS pump Hydrogen 300 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Technical Information 17 Interconnections The following figure shows the TwisTorr 84 FS interconnections Figure 26 Earth Ground Connection It is required to connect the pump body to protective earth with a M5 screw marked thread in the pump body using a green yellow wire of size AWG 16 Please ensure a reliable connection with using an M5 screw and a snap ring or washer disc of the same m
186. x 52 5 523 9472 Toll Free 00 800 234 234 00 vpf sales agilent com vpt customercare agilent com PACIFIC RIM please visit our website for individual office Germany and Austria Singapore n information Agilent Technologies Agilent Technologies Singapore Pte Ltd nni p ag Sales amp Services GmbH 8 Co KG 1 Yishun Avenue 7 Lyoner Str 20 Singapore 768923 N 3 60 528 Frankfurt am Main Tel 65 6215 8045 ao P ED Site Atag ane Order GERMANY ne www a silent com chem vacuum ag Tel 49 69 6773 43 2230 Toll free 1 800 2762622 Een Fax 49 69 6773 43 2250 vps customerservice agilent com p 12 13 Agilent Technologies Inc 2014 Printed in ITALY 3 2015 Publication Number 87 900 943 01 EE Agilent Technologies
187. z Biztons gi tmutat Turbomolekularis szivattyukhoz A jelen g pk nyvben le rt turb molekul ris szivatty k nagy mozg si energi val rendelkeznek nagy forg si sebess g k s a rotorok fajlagos t mege miatt A rendszer hib s m k d se p ld ul a rotor s az ll r sz rintkez se vagy a forg r sz sz tt r se eset n a forg si energia felszabadulhat VESZ LY A berendez s k rosod s nak s a kezel szem lyzet s r l s nek megel z s re az ebben a g pk nyvben adott telep t si utas t sokat szigor an be kell tartani 180 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 Felhaszn l i K zik nyv 11 Altal nos informaico A berendez st professzion lis felhaszn l k sz m ra tervezt k A felhaszn l nak a berendez s m k dtet se el tt el kell olvasnia ezt a g pk nyvet s a Agilent ltal biztos tott b rmely inform ci t A Agilent nem vonhat felel ss gre olyan esem nyek rt amelyek az ezen utas t soknak val ak r r szbeni meg nem felel s szakk pzetlen szem lyek ltali nem megfelel haszn lat a berendez sbe val jogosulatlan beavatkoz s vagy a konkr t nemzeti szabv nyokkal ellent tes b rmely m velet miatt t rt ntek A TwisTorr 84 FS szivatty i turb molekul ris szivatty k melyeket magas s rendk v l magas v kuumalkalmaz sokhoz terveztek hogy b rmely t pus nem korrod l g z illetve g zvegy let szivatty z s ra k pes legyen
188. zony NIE mo e by likwidowany razem z innymi odpadami gospodarstw domowych lub odpadami przemystowymi Musi natomiasti by skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpad w segregowanych Dlatego tez zaleca sie aby uzytkownik koncowy po uprzedniem sprawdzeniu terminu i warunk w zawartych w kontrakcie sprzedazy skontaktowal sie z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu sktadowania i likwidacji Ny N AT y N 7 W JA IX ZA IN Z 4 il NV X Z NI At NY 4 ON N Y gt TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 211 334 12 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 212 334 TwisTorr 84 FS User Manual 87 901 043 01 TwisTorr 84 FS User Manual 13 Navod k Pouziti Bezpe nostn n vod pro Turbomolekularni vyv vy 214 V eobecn Informace 215 Bezpe nostn symboly 217 Uskladn ni 218 Pr prava k instalaci 219 Instalace 221 Upevn n v vevy 224 Pou it v vevy TwisTorr 84 FS 225 dr ba 227 Likvidace 228 Preklad origin ln ho n vodu i Agilent Technologies 213 334 13 N vod k Pouziti Bezpe nostn n vod pro Turbomolekularni v vevy Bezpecnostni n vod pro Turbomolekularni v vevy Turbomolekul rn vyv vy jak jsou popisov ny v nasledujicim n vodu obsahuj velk mno stv kinetick energie d ky vysok ot iv rychlosti v kombinaci s konkr tn m objemem jejich rotor V p pad syst mov nefunk nosti nap kontaktu rotoru anebo statoru

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